KR970003481A - 반도체 소자의 전극 산화막 형성방법 - Google Patents
반도체 소자의 전극 산화막 형성방법 Download PDFInfo
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- semiconductor device
- forming
- forming electrode
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Abstract
본 발명은 반도체 소자의 전극 산화막 형성방법에 관한 것으로서, 확산 방지막을 사용하여 전극 산화막 내로 확산되는 이온을 억제하여 전극 산화막이 열화되는 것을 방지하므로써, 전극 산화막의 두께 보전 및 신뢰성을 향상시킬 수 있는 반도체 소자의 전극 산화막 및 형성방법에 관한 것이다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1A도 및 제1B도는 본 발명에 따른 반도체 소자의 전극 산화막 형성방법을 설명하기 위해 도시한 소자의 단면도.
Claims (2)
- 반도체 소자의 전극 산화막 형성방법에 있어서, 실리콘 기판상에 전극 산화막, 다결정 실리콘막 및 확산 방지막을 순차적으로 형성하는 단계와, 상기 확산 방지막 상부에 텅스텐실리사이드를 형성한 후 고온에서 열처리를 실시하여 낮은 저항의 텅스텐 실리사이드를 형성하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 전극 산화막 형성방법.
- 제1항에 있어서, 상기 확산 방지막으로 티타늄 나이트라이드를 200 내지 400A 두께로 형성하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 전극 산화막 형성방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950017282A KR970003481A (ko) | 1995-06-24 | 1995-06-24 | 반도체 소자의 전극 산화막 형성방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950017282A KR970003481A (ko) | 1995-06-24 | 1995-06-24 | 반도체 소자의 전극 산화막 형성방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970003481A true KR970003481A (ko) | 1997-01-28 |
Family
ID=66524184
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950017282A KR970003481A (ko) | 1995-06-24 | 1995-06-24 | 반도체 소자의 전극 산화막 형성방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970003481A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7070704B2 (en) | 2002-01-18 | 2006-07-04 | Fire & Tech Co., Ltd. | Composition of environmental friendly neuter loaded stream extinguisher for ordinary fire (a class) and method for preparing the same |
-
1995
- 1995-06-24 KR KR1019950017282A patent/KR970003481A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7070704B2 (en) | 2002-01-18 | 2006-07-04 | Fire & Tech Co., Ltd. | Composition of environmental friendly neuter loaded stream extinguisher for ordinary fire (a class) and method for preparing the same |
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