KR970002482A - 투영 노광 장치 및 투영 노광 방법 - Google Patents

투영 노광 장치 및 투영 노광 방법 Download PDF

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Abstract

투영 광학 시스템을 통해 투영함으로써 원형 마스크상의 패턴을 가진 광 감지 기판을 노광시키는 투영 노광 장치는 회전 방향의 원형 마스크의 에러를 사전에 정정하는 사전 정렬단과, 사전 정렬단으로부터 마스크단으로 원형 마스크를 이동하는 이동 아암 및 회전 가능 암을 포함한다. 사전 정렬단은 사전 정렬단상의 예전된 방향으로부터 원형 마스크의 지향적 에러를 검출하는 광학 검출 시스템, 사전 정렬단상의 원형 마스크를 회전시키는 회전 가능단과, 원형 마스크가 예정된 방향을 갖도록 지향적 에러에 의해 회전 가능 단을 제어하는 유니트를 포함한다. 투영 노광 장치의 마스크단으로 원형 마스크를 임포트(import)하기 전에 지향적 조정은 사전에 수행될 수 있다.

Description

투영 노광 장치 및 투영 노광 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 투영 노광(projection exposure)장치의 일실시예의 개관도.

Claims (20)

  1. 투영 광학 시스템을 통해 투영함으로써 사각형 패턴영역을 가진 원형 마스크상에 형성된 패턴을 가진 광 감지 기판을 노광시키는 투영 노광 장치에 있어서, 원형 마스크를 조명시키기 위한 조명 광학 시스템과, 마스크 단과, 광감지 기판을 2차원적으로 이동시키는 단과, 사전 정렬단상에 예정된 방향으로부터 원형 마스크의 지향적 에러를 검출하는 검출 수단, 사전 정렬 단상에서 원형 마스크를 회전시키는 회전 가능한 수단 및, 원형 마스크가 예정된 방향을 갖도록 지향적 에러에 의해 회전 가능한 수단을 제어하는 제어 수단을 포함하는, 방향을 위한 원형 마스크를 사전 정렬시키는 사전 정렬단과, 원형 마스크의 사전 정렬된 방향을 유지할 동안 사전 정렬단으로부터 마스크 단으로 원형 마스크를 이동시키는 이동 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 투영 노광 장치.
  2. 제1항에 있어서, 원형 마스크상에 제각기 형성된 적어도 두개의 마크를 검출하는 두 광학 센서와, 원형마스크상의 각각의 두 마크가 광학 센서의 각 광학 경로를 가로질러 상대적으로 통과하도록 광학 센서에 대해 사전 정렬단을 상대적으로 이동시키는 이동 유니트 및, 두 광학 센서에 의해 검출된 마크의 검출된 위치간의 차에 의해 지향적 에러를 계산하는 계산 수단을 구비하는데, 상기 회전 가능한 수단은 사전 정렬단상에 설치된 회전 가능한 단으로 구성되는 것을 특징으로 하는 투영 노광 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 이동 수단은 원형 마스크를 단단히 쥐는 적어도 3개의 폴을 가진 이동 암과, 회전 이동시킴으로써 원형 마스크를 사전 정렬단으로부터 마스크 단으로 이동시키는 원형 마스크를 흡착시키는 흡착부를 가진 회전 기능 암과, 상기 이동 암 및 회전 가능 암의 동작을 제어하는 이동 제어 유니트를 포함하는 것을 특징으로 하는 투영 노광 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 마스크 단은 원형 마스크내의 패턴 영역을 한정하는 사각형의 각 측면의 외부 위치에서 원형 마스크를 홀드하는 흡착부를 포함하는 것을 특징으로 하는 투영 노광 장치.
  5. 사각형 패턴 영역 및, 투영 광학 시스템을 통해 투영시킴으로써 절단부를 가진 원형 마스크상에 형성된 패턴을 가진 광 감지 기판을 노광시키는 투영 노광 장치가 제공되는데, 상기 투영 노광 장치에 있어서, 원형 마스크를 조명시키는 조명 광학 시스템과, 마스크 단과, 광 감지 기판을 2차원적으로 이동시키는 단과, 원형마스크의 절단부를 단단히 고정시키는 두 고정부 및, 사전 정렬 단상에 원형 마스크를 이동시키는 이동 가능한 핀을 포함하는, 원형 마스크를 사전 정렬시키는 사전 정렬단과, 상기 정렬단으로부터 마스크 단으로 사전 정렬된 원형 마스크를 이동시키는 이동 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 투영 노광 장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 이동 수단은 적어도 3개의 폴중의 두 폴을 이용함으로써 원형 마스크의 절단부를 단단히 고정하는 원형 마스크를 단단히 쥐는 적어도 3개의 폴을 가진 이동 암과, 회전 이동시킴으로써 원형 마스크를 사전 정렬단으로부터 마스크단으로 이동시키는 원형 마스크를 흡착시키는 흡착부를 가진 회전 기능암과, 상기 이동 암 및 회전 가능 암의 동작을 제어하는 이동 제어 유니트를 포함하는 것을 특징으로 하는 투영 노광 장치.
  7. 제5항에 있어서, 상기 마스크 단은 원형 마스크내의 패턴 영역을 한정하는 사각형의 각 측면의 외부 위치에서 원형 마스크를 홀드하는 흡착부를 포함하는 것을 특징으로 하는 투영 노광 장치.
  8. 사각형 패턴 영역 및, 투영 광학 시스템을 통해 투영시킴으로써 절단부를 가진 원형 마스크상에 형성된 패턴을 가진 광 감지 기판을 노광시키는 투영 노광 장치가 제공되는데, 상기 투영 노광 장치에 있어서, 원형 마스크를 조명시키는 조명 광학 시스템과, 마스크 단과, 광 감지 기판을 2차원적으로 이동시키는 수단과, 원형마스크의 사전 정렬된 방향을 유지할 동안 원형 마스크를 마스크 단으로 이동시키는 이동 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 투영 노광 장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 이동 수단은 적어도 3개의 폴(pawl)중의 두 폴의 원형 마스크의 절단부를 단단히 고정시킴으로써 원형 마스크에 대해 사전 정렬시키는 원형 마스크를 단단히 쥐는 적어도 3개의 폴을 가진 이동암과, 회전 이동시킴으로써 원형 마스크를 마스크 단으로 이동시키는 원형 마스크를 흡착시키는 흡착부를 가진 회전 가능 암과, 상기 이동 암 및 회전 가능 암의 동작을 제어하는 이동 제어 유니트를 구비하는 것을 특징으로 하는 투영 노광 장치.
  10. 제8항에 잇어서, 상기 마스크 단은 원형 마스크내의 패턴 영역을 한정하는 사각형의 각 측면의 외부 위치에서 원형 마스크를 홀드하는 흡착부를 포함하는 것을 특징으로 하는 투영 노광 장치.
  11. 제8항에 있어서, 상기 투영 노광 장치는 감축 투영 노광 장치인 것을 특징으로 하는 투영 노광 장치.
  12. 투영 광학 시스템을 통해 투영함으로써 사각형 패턴 영역을 가진 원형 마스크상에 형성된 패턴을 가진 광감지 기판을 노광시키는 투영 노광 장치가 제공되는데, 상기 투영 노광 장치에 있어서, 원형 마스크를 조명 시키기 위한 조명 광학 시스템과, 마스크 단과, 광감지 기판을 2차원적으로 이동시키는 단과, 사전 정렬단상에 예정된 방향으로부터 원형 마스크의 저향적 에러를 검출하는 검출 수단, 사전 정렬 단상에서 원형 마스크를 회전시키는 회전 가능한 소자 및, 원형 마스크가 예정된 방향을 갖도록 지향적 에러에 의해 회전 소자를 제어하는 제어기를 포함하는, 방향을 위한 원형 마스크를 사전 정렬시키는 사전 정렬단과, 원형 마스크의 사전 정렬된 방향을 유지할 동안 사전 정렬단으로부터 마스크 단으로 원형 마스크를 이동시키는 이동기를 구비하는 것을 특징으로 하는 투영 노광 장치.
  13. 테그 마크를 가진 마크상에 형성된 패턴으로 투영함으로써 광 감지 기판을 노광시키는 투영 노광 장치내에 포함된 투영 광학 시스템에 대한 구경 측정 수행 방법에 있어서, 광 감지 기판에 대한 노광 위치에서 센서를 배치하는 단계와, 센서 및 마스크상의 테그 마크가 투영 광학 시스템을 통해 결합 관계인 위치에서 마스크를 배치하는 단계 및, 센서를 이용함과 동시에 센서 및 마스크를 상대적으로 이동시킴으로써 투영 광학 시스템을 통해 형성된 테그 마크의 영상을 검출하는 단계로 이루어지는데, 광 감지 기판에 대한 노광 동작의 완료 후와, 광 감지 기판이 투영 광학 시스템의 노광 필드로부터 광 감지 기판을 회수함으로써 상호 교환되는 주기 동안에 구경 측정이 수행되는 것을 특징으로 하는 투영 광학 시스템에 대한 구경 측정 수행 방법.
  14. 제13항에 있어서, 상기 센서는 광 감지 기판을 2차원적으로 이동시키는 XY단상에 설치되고, 상기 마스크는 2차원적으로 이동 가능한 마스크단상에 배치되며, 그리고 XY단 및 마스크 단은 그들의 이동을 위해 제어 됨으로써, 센서와 마스크상의 테그 마크는 광감지 기판에 대한 노광 동작의 완료후와, 광 감지 기판이 투영 광학 시스템의 노광 필드로부터 광 감지 기판을 회수함으로써 상호 교환되는 주기 동안에 투영 광학 시스템을 통해 결합 위치에서 위치되는 것을 특징으로 하는 투영 광학 시스템에 대한 구경 측정 수행 방법.
  15. 제13항에 있어서, 상기 구경 측정은 투영 광학 시스템의 영상 형성 특징에 대한 적어도 한번의 조정과 마스크 및 광 감지 기판에 대한 위치 조정을 위해 수행하는 것을 특징으로 하는 투영 광학 시스템에 대한 구경측정 수행 방법.
  16. 제13항에 있어서, 상기 마스크는 원형 마스크인 것을 특징으로 하는 투영 광학 시스템에 대한 구경 측정 수행 방법.
  17. 투영 광학 시스템을 통해 마크 및 광 감지 기판을 동시에 주사함으로써 테그 마크를 가진 마스크상에 형성된 패턴으로 투영시킴으로써 광 감지 기판을 노광시키기 위한 스텝 및 주사 시스템의 투영 노광 방법에 있어서, 마스크를 조명할 동안 투영 광학 시스템을 통해 마스크 및 광 감지 기판을 동시에 주사시킴으로써 광 감지 기판을 노광시키는 단계와, 투영 광학 시스템의 노광 필드로부터 광 감지 기판을 회수함으로써 광 감지 기판을 상호 교환하는 단계와, 광 감지 기판을 상호 교환하는 단계 동안에, 광 감지 기판에 대한 노광 위치에서 센서를 배치하고, 센서와 마스크상의 테그 마트가 투영 광학 시스템을 통해 결합 관계인 위치에서 마스크를 배치하는 단계와, 센서를 이용함으로써 투영 광학 시스템을 통해 형성된 테그 마크의 영상을 검출함으로써 투영 광학 시스템에 대한 구경 측정을 수행하는 단계로 이루어지는 것을 스텝 및 주사 시스템의 투영노광 방법.
  18. 제17항에 있어서, 상기 센서는 광 감지 기판을 2차원적으로 이동시키는 XY단상에 설치되고, 상기 마스크는 2차원적으로 이동 가능한 마스크 단상에 배치되며, 그리고 XY단 및 마스크 단은 그들의 이동을 위해 제어됨으로써, 센서와 마스크 상의 테그 마크는 광 감지 기판에 대한 노광 동작의 완료 후와 광 감지 기판을 최수함으로써 상호 교환되는 주기 동안에 투영 광학 시스템을 통해 결합 위치에서 위치되는 것을 특징으로 하는 스텝 및 주사 시스템의 투영 노광 방법.
  19. 제17항에 있어서, 상기 구경 측정은 투영 광학 시스템의 영상 형성 특징에 대한 적어도 한번의 조정과, 마스크 및 광 감지 기판에 대한 위치 조정을 위해 수행되는 것을 특징으로 하는 스텝 및 주사 시스템의 투영노광 방법.
  20. 제17항에 있어서, 상기 마스크는 원형 마스크인 것을 특징으로 하는 스텝 및 주사 시스템의 투영 노광방범.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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