JP2004246025A - 露光方法及び露光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ステージ2とフォトマスク4とを相対移動させてCF基板100の露光領域100a…100aを露光する露光方法において、CF基板上にアライメントマーク50を形成する工程と、露光領域100a…100aに露光した際のフォトマスク4に対するステージ2の位置を各領域毎に測定し、アライメントマーク50に対して位置決めされた状態のフォトマスク4を基準として、露光領域100a…100aに露光した際のステージ2の相対位置を取得する工程と、アライメントマーク50を検出してフォトマスク4を位置決めし、そのときのフォトマスク4を基準として、取得した相対位置が再現されるように、フォトマスク4に対するステージ2の位置を測定しつつステージ2とフォトマスク4とを相対移動させる工程とを備える。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、露光方法及び露光装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に、カラーフィルター等の複数層のパターンが形成される基板に対して露光を行う場合、基板のアライメントマークとフォトマスクのアライメントマークとを一致させることにより、既に形成されたパターンとこれから露光するフォトマスクとの位置合わせが行われる。
【0003】
また、大型の基板にパターニングする方法として、基板と、基板よりも面積の小さいフォトマスクとを相対移動させて、基板上の複数の領域に順次マスクパターンを露光するものが知られている(特許文献1参照)。このような露光方法において、基板に複数層のパターンを形成する場合には、各領域のそれぞれに対応して設けられたアライメントマークにフォトマスクのアライメントマークを順次一致させることにより、既に形成されたパターンとフォトマスクとの位置合わせが行われている。
【0004】
【特許文献1】
特開2000−347020号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、露光する領域を切り替える毎にアライメントマークに基づく位置合わせを行うと、複数の領域に対して露光を行うのに長い時間がかかる。さらに、各層に対して露光するたびにアライメントマークに基づく位置合わせがなされると、位置合わせに要する時間が累積され、作業時間が膨大なものとなる。
【0006】
そこで、本発明は、効率的にフォトマスクを位置決め可能な露光方法を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
以下、本発明について説明する。なお、本発明の理解を容易にするために添付図面の参照符号を括弧書きにて付記するが、それにより本発明が図示の形態に限定されるものではない。
【0008】
本発明の露光方法は、基板(100)が載置されたステージ(2)とフォトマスク(4)とを相対移動させて前記基板の複数の領域(100a…100a)のそれぞれに一層分のマスクパターンを露光する工程を含み、前記露光する工程を同一基板に対してフォトマスクを取り替えながら複数回実行して複数層分のマスクパターンを露光する露光方法において、前記基板上に位置認識用マーク(50)を形成する工程と、前記複数の領域に露光した際のフォトマスクに対する前記ステージの位置を各領域毎に測定し、前記位置認識用マークに対して位置決めされた状態のフォトマスクを基準として、前記複数の領域に露光した際の前記ステージの相対位置を取得する工程と、前記位置認識用マークを検出して前記フォトマスクを位置決めし、そのときのフォトマスクを基準として、前記取得した相対位置が再現されるように、フォトマスクに対する前記ステージの位置を測定しつつ前記ステージとフォトマスクとを相対移動させる工程とを備えることにより、上述した課題を解決する。
【0009】
本発明の露光方法によれば、位置認識用マークに対して所定の位置関係に置かれた状態のフォトマスクを基準として、複数の領域に露光した際のステージの相対位置を各領域毎に取得するから、位置認識用マークに対する各領域の相対位置がフォトマスクに対する各領域毎のステージの相対位置として間接的に把握される。そして、その後の層に対する露光においては、位置認識用マークを検出してフォトマスクを位置決めし、フォトマスクに対する各領域毎のステージの相対位置を再現するから、フォトマスクのマスクパターンを既に形成されたパターンに正確に重ね合わせて露光することができる。しかも、位置認識用マークの検出は1回だけでよいから、各領域全てに設けられたアライメントマークを順次検出して位置決めを行っていた従来技術に比較して、効率的にフォトマスクの位置決めが行われる。
【0010】
なお、位置認識用マークは、複数の領域のうちのいずれかの領域に位置合わせするためのアライメントマークとして設けてもよいし、複数の領域のアライメントマークとは別に設けてもよい。位置認識用マークを形成する工程は、相対位置を取得する工程の前に実行してもよいし、相対位置を取得する工程と並行して実行してもよい。相対位置を取得する工程の前に実行する場合には、例えば、相対位置を取得する工程で露光される層の前の層に位置認識用マークを形成し、相対位置を取得する工程ではその位置認識用マークを検出して、フォトマスクを位置決め状態とすればよい。相対位置を取得する工程と並行して実行する場合には、例えば、相対位置を取得する工程で露光される層に対して位置認識用マークのパターンを露光する。このとき、その露光時のフォトマスクの位置を位置認識用マークに対して位置決めした状態のフォトマスクの位置として利用してよい。取得した相対位置の再現において、相対位置を取得してから再現するまでの工程における基板の変形等を考慮して、取得した相対位置を補正し、その補正後の相対位置を再現するようにしてもよい。
【0011】
本発明の露光方法において、前記位置認識用マークは、前記複数の領域のうちいずれかの領域にフォトマスクを位置合わせするためのアライメントマーク(50)であってもよい。この場合、いずれかの領域に対して露光可能な位置にフォトマスクを位置決めした状態がフォトマスクを位置認識用マークに対して位置決めした状態となるから、フォトマスクを位置決めする回数が減り、より効率的にフォトマスクの位置決めをすることができる。
【0012】
本発明の露光方法において、前記基板はカラーフィルタ基板(100)であり、ブラックマトリクスのパターンを露光するのと同時に前記位置認識用マークのパターンを露光してもよい。この場合、ブラックマトリクスの層に対して露光を行うフォトマスクに、位置認識用マークのマスクパターンを設けるだけで位置認識用マークを基板に設けることができる。
【0013】
本発明の露光方法において、前記位置認識用マークは前記基板の外周部に設けられ、前記ステージには前記基板の外周部を前記ステージ側から照明する照明手段(2a)が設けられていてもよい。この場合、位置認識用マークを照明手段により照明することにより、位置認識用マークの画像のS/N比を向上させることができる。さらに、照明手段は、ステージの外周部に設けられることから、ステージ表面のうち露光領域に位置する部分は従来の構成のままでよい。従って、例えば平坦なステージ表面や基板のステージへの吸着力が従来通り確保される。
【0014】
本発明の露光装置(1)は、基板(100)が載置されたステージ(2)と露光すべき層に対応するフォトマスク(4)とを相対移動させて前記基板の複数の領域(100a…100a)のそれぞれに一層分のマスクパターンを露光する露光装置において、前記複数の領域に露光した際のフォトマスクに対する前記ステージの位置を各領域毎に測定し、基板上の所定の位置認識用マーク(50)に対して位置決めされた状態のフォトマスクを基準として、前記複数の領域に露光した際の前記ステージの相対位置を取得する手段(6、9)と、前記位置認識用マークを検出して前記フォトマスクを位置決めし、そのときのフォトマスクを基準として、前記取得した相対位置が再現されるように、フォトマスクに対する前記ステージの位置を測定しつつ前記ステージとフォトマスクとを相対移動させる手段(3、5、7、9)とを備えることにより、上述した課題を解決する。
【0015】
本発明の露光装置によれば、上述した本発明の露光方法を実現可能である。
【0016】
本発明の露光装置において、前記ステージの外周部には前記ステージに載置された基板を前記ステージ側から照明する照明手段が設けられていてもよい。この場合、上述した本発明の露光方法の好ましい態様を実現可能である。
【0017】
【発明の実施の形態】
図1は、本発明を適用した露光装置1の構成を示す側面図である。露光装置1は、カラーフィルタ用のCF基板100に対して露光を行う装置として構成されている。
【0018】
CF基板100は、例えばガラス基板で構成され、ガラス基板の表面には顔料を分散した感光性樹脂やレジストが薄膜状に成膜されている。CF基板100は、例えば厚さ1mm、面積4m2に形成されている。1枚のCF基板100からは、6枚のカラーフィルターが取り出される。このため、図5(a)にも示すように、CF基板100上の6つの露光領域100a…100aに対して露光装置1により露光が行われる。
【0019】
図1の露光装置1は、CF基板100を載置するステージ2と、ステージ2をX軸方向及びY軸方向(図5(a)参照)に駆動する駆動装置3と、ステージ2の上方に配置されたフォトマスク4と、フォトマスク4をX軸方向、Y軸方向、θ方向に駆動する駆動装置5と、ステージ2とフォトマスク4との相対位置を測定するための測定装置6と、フォトマスク4の上方からステージ2上を撮像するカメラ7、7と、フォトマスク4の上方に配置された光源8と、制御装置9とを備えている。
【0020】
フォトマスク4は、ブラックマトリクス(BM)、レッド(R)、グリーン(G)、ブルー(B)の各層に対応して装着される。図5(a)及び図5(b)に示すようにフォトマスク4は、一つの露光領域100aを覆う大きさを有している。図5(a)に示すようにブラックマトリクス用のフォトマスク4は、露光領域100aの外側にアライメントマーク50…50をパターニングするためのマスクパターン51…51を備えている。図5(b)に示すように、R層用のフォトマスク4には、外周側にアライメントマーク52…52が設けられている。G、B用のフォトマスク4もR層用のフォトマスク4と同様にアライメントマーク52…52が設けられている。図1のカメラ7、7はアライメントマーク52、52を撮像可能な位置に設けられ、撮像した画像に基づく映像信号を制御装置9に出力する。駆動装置3及び駆動装置5は、例えば電動モータとして構成され、制御装置9によって制御される。図2(a)にも示すように、ステージ2の外周部にはステージ側からCF基板100を照明する照明装置2aがステージ2の各辺に亘って設けられている。
【0021】
図2(a)は測定装置6の構成を示す平面図である。測定装置6は、レーザー干渉計20と、光学系21と、ステージ2の2辺のそれぞれに亘って延びるフラットミラー22、22と、フォトマスク4の周辺の3つの測定地点x1、x2、y1に設けられたレトロリフレクター23…23とを備えている。
【0022】
図2(b)は、1つの測定地点について測定装置6を拡大して示す側面図である。フォトマスク4の近傍には、レトロリフレクター23を取り付けるための取付部24が設けられている。取付部24は、露光装置1の本体(不図示)に固定して設けられた支持部材25と、支持部材25に対して左右にスライド可能に取り付けられた軸部26と、軸部26の周囲に取り付けられたコイルばね27とを備える。コイルばね27は支持部材25と、軸部26のフランジ部26aとの間に取り付けられており、軸部26の端部26bをフォトマスク4の端部に押し付けている。軸部26においてフォトマスク4の反対側の端部26cには、レトロリフレクター23が取り付けられている。
【0023】
フラットミラー22は、平面状の反射面を有し、垂直に入射したレーザー光Lを反対方向へ反射する。レトロリフレクター23は、多面鏡を反射面に有し、反射面に入射したレーザー光Lを入射方向と逆方向へ反射する。光学系21には、例えば、レーザー干渉計20とフラットミラー22との間に設けられたハーフミラー28と、ハーフミラー28とレトロリフレクター23との間に設けられた反射ミラー29とが含まれている。従って、レーザー干渉計20からのレーザー光Lはハーフミラー28により2分割され、一方はフラットミラー22へ、他方は反射ミラー29を介してレトロリフレクター23に入射する。そして、フラットミラー22及びレトロリフレクター23によって反射されたレーザー光Lは、同一経路を反対方向へ進み、レーザー干渉計20へ入射する。
【0024】
レーザー干渉計20は、フラットミラー22からの反射光とレトロリフレクター23からの反射光との干渉に基づいて、フラットミラー22とレトロリフレクター23との相対距離を測定する。なお、レーザー干渉計20は、フラットミラー22からの反射光に基づいてフラットミラー22までの距離を、レトロリフレクター23からの反射光に基づいてレトロリフレクター23までの距離をそれぞれ測定し、その測定結果から両者の相対距離を測定するものでもよい。また、フォトマスクのアライメント動作における移動量や位置はリニアスケールなど他の測定手段を適用しても良い。
【0025】
図2(a)に示すように、レーザー干渉計20は、点x1及び点x2のY方向、点y1のX方向について、ステージ2とフォトマスク4との相対位置を測定する。Y方向の相対位置は点x1及び点x2の2点において測定されるから、両者の相対位置の差からθ方向の相対位置も特定可能である。なお、3箇所の測定地点に対応してレーザー干渉計20を3台設けて測定してもよい。
【0026】
上記の構成を有する露光装置を用いた本発明の露光方法の手順を説明する。図3は制御装置9が実行するBM露光処理の手順を示すフローチャートである。この処理は、例えば、ブラックマトリクス層となる薄膜が成膜され、その上にレジストが塗布されたCF基板100がステージ2に載置されたときに開始される。
【0027】
まず、制御装置9は、ブラックマトリクス用のフォトマスク4の下方に露光領域100a…100aのいずれか一つ(例えば図5(a)の(1)の露光領域100a)が位置するように、駆動装置3及び駆動装置5の動作を制御する(ステップS1)。この制御は、例えば、制御装置9に予め記録されている露光領域100a…100aの設計上の位置に基づいて行われる。次に光源8を駆動して露光を行う(ステップS2)。この露光では、図5(a)に示すように、ブラックマトリクスのパターンに加えて、マスクパターン51もブラックマトリクス層に露光される。また、制御装置9は、露光の際に測定装置6の計測したフォトマスク4に対するステージ2の相対位置を記録する(ステップS3)。ステップS4では、全ての露光領域100a…100aに対して露光が終了したか否か判定し、終了していないと判定した場合は、ステップS1及びS2を繰り返し、(2)から(6)までの露光領域に対してブラックマトリクス用のフォトマスク4を介した露光を順次行う。
【0028】
図4は、制御装置9が実行する2層目以降露光処理の手順を示すフローチャートである。この処理は、例えば、ブラックマトリクス層の後の層(例えばR層)となるレジストが塗布されたCF基板100がステージ2に載置されたときに開始される。なお、この処理が実行される間、照明装置2aは点灯されている。
【0029】
まず、制御装置9は、R層用に装着されたフォトマスク4の下方に露光領域100a…100aのうちいずれか一つ(例えば図5(b)の(1)の露光領域)を位置させるように、駆動装置3及び駆動装置5の動作を制御する(ステップS21)。この制御は、例えば、図3のステップS1と同様に制御装置9に予め記録されている露光領域100a…100aの設計上の位置に基づいて行われる。次に、図5(b)に示すように、カメラ7からの映像信号に基づいて、アライメントマーク50と、アライメントマーク52との位置ずれを特定し、その位置ずれに基づいてR層用のフォトマスク4と露光領域100aとの位置合わせを行う(ステップS22)。そして、光源8を駆動して露光を行うとともに(ステップS23)、測定装置6からの信号に基づいてR層用のフォトマスク4に対するステージ2の相対位置を特定する(ステップS24)。
【0030】
ステップS25では、次の露光領域(例えば(2)の露光領域100a)に対して露光するときのR層用のフォトマスク4に対するステージ2の位置を特定するとともに、特定した位置までステージ2とフォトマスク4とを相対移動させて位置決めする。(2)の露光領域100aへ露光する際のフォトマスク4に対するステージ2の位置は、図3のBM露光処理において(1)の露光領域を露光してから(2)の露光領域に露光するまでのブラックマトリクス用のフォトマスク4に対するステージ2の移動と同じ量だけR層用のフォトマスク4に対してステージ2を移動させるように設定する。すなわち、(1)の露光領域に位置合わせした状態のフォトマスク4を基準として、(2)の露光領域に対して露光した際のステージ2の相対位置を再現するように位置決めする。従って、まず、各露光領域100a毎に測定したステージ2とブラックマトリクス用のフォトマスク4との相対位置(図3のステップS3参照)に基づいて、(1)の露光領域100aに位置合わせしたときのブラックマトリクス用のフォトマスク4に対するステージ2の位置と、(2)の露光領域100aに位置合わせしたときのブラックマトリクス用のフォトマスク4に対するステージ2の位置との相対関係を特定する。次に、その特定した相対関係と、ステップS24で測定したR層用のフォトマスク4に対するステージ2の位置とに基づいて、(2)の露光領域100aに露光するときのR層用のフォトマスク4に対するステージ2の位置を特定する。そして、測定装置6からの信号に基づいてR層用のフォトマスク4に対するステージ2の位置を測定しつつ、その特定した位置までR層用のフォトマスク4とステージとを相対移動させた後、制御装置9は光源8を駆動して露光を行う(ステップS26)。
【0031】
ステップS27では全ての露光領域100a…100aに対して露光が終了したか否かを判定し、露光が終了していないと判定した場合は、ステップS25、S26を繰り返し、(3)から(6)までの露光領域100aに対して順次露光を行う。なお、露光する順序は適宜に設定してよい。
【0032】
以上のように、露光装置1を用いた露光方法では、露光領域100a…100aに露光した際のブラックマトリクス用のフォトマスク4に対するステージ2の相対位置を各領域毎に取得するから、(1)の露光領域100aのアライメントマーク50に対する各露光領域100aの相対位置がブラックマトリクス用のフォトマスク4に対する各領域毎のステージ2の相対位置として間接的に把握される。そして、R層に対する露光においては、(1)の露光領域100aのアライメントマーク50を検出してR層用のフォトマスク4を位置決めし、その位置に対する各領域毎のステージ2の相対位置を再現するから、R層用のフォトマスク4のマスクパターンを既に形成されたブラックマトリクスのパターンに正確に重ね合わせて露光することができる。しかも、アライメントマーク50の検出は(1)の露光領域100aのものを検出するだけでよいから、各露光領域100a全てに設けられたアライメントマークを順次検出して位置決めを行っていた従来技術に比較して、効率的にR層用のフォトマスク4の位置決めが行われる。
【0033】
本発明は以上の実施形態に限定されず、本発明の技術的思想と実質的に同一である限り、種々の形態で実施してよい。
【0034】
フォトマスク4に対するステージ2の位置の測定は、ステージとフォトマスクとの相対位置を直接測定するものに限定されない。例えば、フォトマスク4が所定の位置に固定されている場合には、ステージ2の位置のみを計測し、ステージとフォトマスクとの相対位置を間接的に測定してもよい。
【0035】
照明手段は、ステージ2の外周に亘って設けられるものに限定されない。例えば、ステージ2の外周に点在させて設けてもよいし、2層目以降露光処理で位置合わせされる一つの露光領域100a(図4のステップS22参照)のアライメントマークのみを照明するように、ステージの外周の一部に設けてもよい。また、照明手段は、常時点灯型のものでなくともよく、アライメントマークを撮像する際に点灯するストロボタイプのものでもよい。
【0036】
【発明の効果】
以上に説明したように、本発明によれば、位置認識用マークに対して所定の位置関係に置かれた状態のフォトマスクを基準として、複数の領域に露光した際のステージの相対位置を各領域毎に取得するから、位置認識用マークに対する各領域の相対位置がフォトマスクに対する各領域毎のステージの相対位置として間接的に把握される。そして、その後の層に対する露光においては、位置認識用マークを検出してフォトマスクを位置決めし、フォトマスクに対する各領域毎のステージの相対位置を再現するから、フォトマスクのマスクパターンを既に形成されたパターンに正確に重ね合わせて露光することができる。しかも、位置認識マークの検出は1回だけでよいから、各領域全てに設けられたアライメントマークを順次検出して位置決めを行っていた従来技術に比較して、効率的にフォトマスクの位置決めが行われる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の露光装置の構成を示す側面図。
【図2】図1の露光装置の測定装置の構成を示す図。
【図3】図1の露光装置の制御装置が実行するBM露光処理の手順を示すフローチャート。
【図4】図1の露光装置の制御装置が実行する2層目以降露光処理の手順を示すフローチャート。
【図5】図1の露光装置のステージ上の様子を示す平面図。
【符号の説明】
1 露光装置
2 ステージ
2a 照明装置
4 フォトマスク
6 測定装置
9 制御装置
50 アライメントマーク
52 アライメントマーク
100 基板
Claims (6)
- 基板が載置されたステージとフォトマスクとを相対移動させて前記基板の複数の領域のそれぞれに一層分のマスクパターンを露光する工程を含み、前記露光する工程を同一基板に対してフォトマスクを取り替えながら複数回実行して複数層分のマスクパターンを露光する露光方法において、
前記基板上に位置認識用マークを形成する工程と、
前記複数の領域に露光した際のフォトマスクに対する前記ステージの位置を各領域毎に測定し、前記位置認識用マークに対して位置決めされた状態のフォトマスクを基準として、前記複数の領域に露光した際の前記ステージの相対位置を取得する工程と、
前記位置認識用マークを検出して前記フォトマスクを位置決めし、そのときのフォトマスクを基準として、前記取得した相対位置が再現されるように、フォトマスクに対する前記ステージの位置を測定しつつ前記ステージとフォトマスクとを相対移動させる工程と、
を備えることを特徴とする露光方法。 - 前記位置認識用マークは、前記複数の領域のうちいずれかの領域にフォトマスクを位置合わせするためのアライメントマークであることを特徴とする請求項1に記載の露光方法。
- 前記基板はカラーフィルタ基板であり、ブラックマトリクスのパターンを露光するのと同時に前記位置認識用マークのパターンを露光することを特徴とする請求項1又は2に記載の露光方法。
- 前記基板の位置認識用マークは前記基板の外周部に設けられ、前記ステージには前記基板の外周部を前記ステージ側から照明する照明手段が設けられていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の露光方法。
- 基板が載置されたステージと露光すべき層に対応するフォトマスクとを相対移動させて前記基板の複数の領域のそれぞれに一層分のマスクパターンを露光する露光装置において、
前記複数の領域に露光した際のフォトマスクに対する前記ステージの位置を各領域毎に測定し、基板上の所定の位置認識用マークに対して位置決めされた状態のフォトマスクを基準として、前記複数の領域に露光した際の前記ステージの相対位置を取得する手段と、
前記位置認識用マークを検出して前記フォトマスクを位置決めし、そのときのフォトマスクを基準として、前記取得した相対位置が再現されるように、フォトマスクに対する前記ステージの位置を測定しつつ前記ステージとフォトマスクとを相対移動させる手段と、
を備えることを特徴とする露光装置。 - 前記ステージの外周部には前記ステージに載置された基板を前記ステージ側から照明する照明手段が設けられていることを特徴とする請求項5に記載の露光装置。
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