KR950004372A - 노광장치 및 이 장치를 이용한 디바이스의 제조방법 - Google Patents

노광장치 및 이 장치를 이용한 디바이스의 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명의 노광장치는, 묘화오차를 포함하는 마스크 패턴을 개재해서 기판의 노광영역을 노광하는 노광수단과, 상기 패턴의 묘화오차를 보정해서 해당 패턴을 상기 노광영역에 정확하게 중첩하는 보정수단을 구비하고 있다.

Description

노광장치 및 이 장치를 이용한 디바이스의 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 일실시예에 의한 장치를 도시한 개략도, 제2도는 제1도의 장치에 있어서의 주사노광의 태양을 도시한 설명도, 제3도는 반도체디바이스의 제조공정의 순서도, 제4도는 제3도의 웨이퍼프로세스를 도시한 도면.

Claims (17)

  1. 묘화오차를 포함하는 마스크의 패턴을 개재해서 기판의 노광영역을 노광하는 노광수단과, 상기 패턴의 묘화오차를 보정해서 해당 패턴을 상기 노광영역상에 정확하게 중첩하는 보정수단을 구비한 것을 특징으로 하는 노광장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 보정수단은 상기 마스크의 디바이스패턴의 복수개의 위치를 계측하는 계측수단을 포함하고, 상기 계측수단의 출력에 의거해서 묘화오차를 검출하는 것을 특징으로 하는 노광장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 보정수단은 마스크의 복수개의 마크의 위치를 계측하는 계측수단을 포함하고, 상기 계측수단의 출력에 의거해서 묘화오차를 검출하는 것을 특징으로 하는 노광장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 복수개의 마크는 기판과의 위치정합용의 위치맞춤마크로서도 기능하는 것을 특징으로 하는 노광장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 위치맞춤마크를 검출하기 위한 위치정합광학계를 또 구비한 것을 특징으로 하는 노광장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 계측수단과 상기 위치정합광학계는 일부가 공통인 것을 특징으로 하는 노광장치.
  7. 제1항에 있어서, 상기 노광장치는 마스크와 기판을 노광광에 대해서 주사시키기 위한 주사수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 노광장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 보정수단은 상기 주사수단을 제어하며 묘화오차를 보정하는 것임을 특징으로 하는 노광장치.
  9. 제8항에 있어서, 묘화오차가 직고도오차를 포함할 경우, 상기 보정수단은 상기 주사수단으로 하여금 마스크와 기판을 다른 방향으로 주사시키도록 제어하는 것을 특징으로 하는 노광장치.
  10. 제8항에 있어서, 상기 보정수단은 마스크의 디바이스패턴의 복수개의 부분의 위치를 계측하는 계측수단과, 상기 계측수단의 출력에 의거해서 묘화오차를 검출하는 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 노광장치.
  11. 제8항에 있어서, 상기 보정수단은 마스크의 복수개의 마크의 위치를 계측하는 계측수단과, 상기 계측수단의 출력에 의거해서 묘화오차를 검출하는 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 노광장치.
  12. 제11항에 있어서, 상기 복수개의 마크는 기판과의 위치정합용의 위치맞춤마크로서도 기능하는 것을 특징으로 하는 노광장치.
  13. 제12항에 있어서, 상기 위치맞춤마크를 검출하기 위한 위치정합광학계를 또 구비한 것을 특징으로 하는 노광장치.
  14. 제13항에 있어서, 상기 계측수단과 상기 위치정합광학계는 일부가 공통인 것을 특징으로 하는 노광장치.
  15. 묘화오차를 포함하는 디바이스 패턴을 이용하는 디바이스 제조방법에 있어서, 묘화요차를 검출하는 공정과, 상기 디바이스패턴의 묘화오차를 보정하면서 기판의 패턴영역을 노광하는 공정을 구비한 것을 특징으로 하는 디바이스 제조방법.
  16. 묘화오차를 포함하는 디바이스패턴을 이용하는 디바이스제조방법에 있어서, 디바이스패턴의 묘화오차를 검출하는 공정과, 상기 묘화오차를 보정하도록 마스크와 기판을 노광광으로 주사시키는 공정 구비한 것을 특징으로 하는 디바이스 제조방법.
  17. 제15항 또는 제16항에 기재된 방법을 이용해서 제조된 디바이스.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019940016789A 1993-07-14 1994-07-13 노광장치 및 이 장치를 이용한 디바이스의 제조방법 KR100222195B1 (ko)

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