KR950001869A - 노광장치와 이것을 이용한 디바이스제조방법 - Google Patents

노광장치와 이것을 이용한 디바이스제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 양호한 전사정밀도를 얻을 수 있는 개량된 주사노광형 노광장치의 제공을 목적으로 하는 것으로서, 원판의 패턴의 일부를 기판상에 투영하고, 이 원판 및 기판을 동기주사시켜서, 원판의 패턴을 기판에 전사하는 노광장치에 있어서, 원판 및 웨이퍼를 각각 주사이동시키기 위한 원판용 스테이지 및 웨이퍼용 스테이지와, 상기 주사이동방향이외의 소정의 방향에 있어서의 상기 원판용 스테이지의 일탈을 계측하기 위한 계측계와, 상기 계측계에 의한 계측결과에 의거하여 상기 원판용 스테이지의 일탈의 영향을 경감시키기 위한 보정계를 구비한 것을 특징으로 한다.

Description

노광장치와 이것을 이용한 디바이스제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 실시예에 의한 노광장치의 개략도.

Claims (11)

  1. 원판의 패턴의 일부를 기판상에 투영하고, 이 원판 및 기판을 동기주사시켜서, 원판의 패턴을 기판에 전사하는 노광장치에 있어서, 한쪽이 원판을, 다른쪽이 기판을 주사이동시키기 위한 제1및 제2스테이지와, 상기 주사이동의 방향이외의 소정의 방향에 있어서의 상기 제1스테이지의 일탈을 계측하기 위한 계측수단과, 상기 계측수단에 의한 계측결과에 의거해서 상기 제1스테이지의 일탈의 영향을 경감시키기 위한 보정수단을 구비한 것을 특징으로 하는 노광장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 보정수단은 상기 계측수단에 의한 계측결과에 의거해서 상기 제2스테이지의 이동을 조정하는 것임을 특징으로 하는 노광장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 계측수단은 레이저간섭계을 구비한 것을 특징으로 하는 노광장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 소정의 방향은 주사이동의 방향에 대해서 수직인 방향인 것을 특징으로 하는 노광장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 소정의 방향은 원판 또는 기판에 대해서 수직인 축을 중심으로 하는 회전방향인 것을 특징으로 하는 노광장치.
  6. 제1항에 있어서, 원판의 패턴을 기판에 축소투영해서, 이들 축소된 패턴을 기판의 상이한 영역에 인쇄하는 수단을 또 구비한 것을 특징으로 하는 노광장치.
  7. 원판의 패턴의 일부를 기판상에 투영하고, 이 원판 및 기판을 동기주사시켜서, 원판의 패턴을 기판에 전사하는 노광장치에 있어서, 원판 및 기판중 한쪽을 주사이동시키기 위한 스테이지와, 상기 스테이지에 설치되어 상기 스테이지의 위치계측에 사용되는 기준부재와, 상기 기준부재와 협동해서 상기 스테이지의 주사이동방향을 검출하는 검출수단을 구비한 것을 특징으로 하는 노광장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 검출수단에 의한 검출결과에 의거해서 상기 주사이동방향을 보정하는 보정수단을 구비한 것을 특징으로 하는 노광장치.
  9. 제7항에 있어서, 상기 스테이지의 위치를 계측하기 위한 레이저간섭계를 또 구비하고, 상기 기준부재는 상기 레이저간섭계에 이용되는 기준반사격으로 구성된 것을 특징으로 하는 노광장치.
  10. 제7항에 있어서, 사이 검출수단은 상기 스테이지와는 독립된 위치에 설치된 오토콜리메니터를 구비한 것을 특징으로 하는 노광장치.
  11. 제7항에 있어서, 원판의 패턴을 기판상에 축소투영해서, 이들 축소된 패턴을 기판의 상이한 영역에 인쇄하는 수단을 또 구비한 것을 특징으로 하는 노광장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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