KR200181369Y1 - 노광 장치 - Google Patents
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Abstract
본 고안은 레티클 마크가 노광기의 모든 기종별 마크를 가지며 제 1 노광기의 웨이퍼를 정렬하는 웨이퍼 마크를 포함하여 구성하므로 노광기의 다른기종간의 레티클 정렬이 가능하기 위한 노광 장치에 관한 것이다.
본 고안의 노광 장치는 웨이퍼의 노광 공정을 실시하기 위한 레티클로, 여백이 비노광 영역으로 된 투명기판, 상기 투명기판상에 노광기의 모든 기종별 마크를 가지며 형성되어 상기 레티클을 정렬하는 레티클 마크, 상기 투명기판상의 가운데에 형성되며 정렬 정도 측정용 장비용 마크의 안쪽박스를 형성하는 제 1 노광부, 상의 왜곡 정도를 확인하기 위한 위치의 상기 투명기판상에 형성되어 정열 정도 측정용 장비용 마크의 바깥쪽박스를 형성하는 다수 개의 제 2 노광부와, 상기 투명기판상에 3개 이상의 사각형 형태의 노광 영역으로 형성되며 제 1 노광기의 웨이퍼를 정렬하는 웨이퍼 마크를 포함하여 구성됨을 특징으로 한다.
Description
본 고안은 노광 장치에 관한 것으로, 특히 다른기종간의 레티클 정렬이 가능한 노광 장치에 관한 것이다.
종래 기술에 따른 노광 장치는 도 1에서와 같이, 웨이퍼(Wafer)의 노광 공정을 실시하기 위한 5∼7인치 레티클(Reticle)로 유리기판(11)상에 형성되며 상기 레티클을 정렬하는 레티클 마크(12), 상기 유리기판(11)상의 가운데에 형성되며 정열 정도 측정용 장비용 마크의 안쪽박스를 형성하는 제 1 노광부(13)와, 상의 왜곡 정도를 확인하기 위한 위치의 상기 유리기판(11)상에 형성되며 정열 정도 측정용 장비용 마크의 바깥쪽박스를 형성하는 4 개의 제 2 노광부(14)로 구성된다.
여기서, 도 1의 흰색 부위는 비노광 영역(15)이고 검은색 부위는 빛이 투과하여 패턴을 형성하는 노광 영역(16)이다.
그리고, 상기 각각의 제 1, 제 2 노광부(13, 14)는 정사각형 형태의 상기 비노광 영역(15)과 그 둘레에 형성된 상기 노광 영역(16)으로 구성된다.
상기와 같이 구성된 종래 기술에 따른 노광 장치의 동작 설명은 다음과 같다.
먼저, 상기 레티클 마크(12)에 의해 상기 레티클을 정렬한다.
그리고, 상기 각 제 2 노광부(14)가 노광될 수 있도록 상기 레티클의 노광 영역(16)을 결정하는 레티클 블라인더(도시하지 않음)를 조정하여 제 1 노광을 실시한다.
이어, 상기 제 1 노광부(13)가 노광될 수 있도록 상기 레티클 블라인더(도시하지 않음)를 조정하여 제 2 노광을 실시한다.
이때, 상기 제 1, 제 2 노광부(13, 14)가 중첩될 수 있도록 웨이퍼를 이동시켜 상기 제 2 노광부(14) 각각에 제 1 노광부(13)를 노광한다.
그리고, 웨이퍼의 현상 공정 실시로 상기 제 1, 제 2 노광부(13, 14)가 중첩되어 상기 웨이퍼에 형성되며 정렬 정도 측정 장비에서 상기 제 1, 제 2 노광부(13, 14)의 정렬 정도를 계측한다.
그러나 종래의 노광 장치는 웨이퍼 노광을 위한 노광기 제작시 한 기종의 레티클 정렬시 사용되는 레티클 마크를 가지며 레티클의 크기를 고려하여 노광기를 설계하기 때문에, 노광기의 타기종에서 상기 레티클은 사용 가능하나 상기 레티클 마크가 서로 다르고 그 위치의 차이로 인해 노광기의 다른기종간의 레티클 정렬을 하지 못하고 오차가 발생한다는 문제점이 있었다.
본 고안은 상기의 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로 레티클 마크가 노광기의 모든 기종별 마크를 가지며 제 1 노광기의 웨이퍼를 정렬하는 웨이퍼 마크를 포함하여 구성하므로 노광기의 다른기종간의 레티클 정렬이 가능한 노광 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
제1도는 종래 기술에 따른 노광 장치의 레티클을 나타낸 평면도.
제2도는 본 고안의 실시예에 따른 노광 장치의 레티클을 나타낸 평면도.
〈도면의 주요부분에 대한 부호의 설명〉
31 : 유리기판 32 : 레티클 마크
33 : 제 1 노광부 34 : 제 2 노광부
35 : 웨이퍼 마크 36 : 비노광 영역
37 : 노광 영역
본 고안의 노광 장치는 웨이퍼의 노광 공정을 실시하기 위한 레티클로, 여백이 비노광 영역으로 된 투명기판, 상기 투명기판상에 노광기의 모든 기종별 마크를 가지며 형성되어 상기 레티클을 정렬하는 레티클 마크, 상기 투명기판상의 가운데에 형성되며 정열 정도 측정용 장비용 마크의 안쪽박스를 형성하는 제 1 노광부, 상의 왜곡 정도를 확인하기 위한 위치의 상기 투명기판상에 형성되며 정열 정도 측정용 장비용 마크의 바깥쪽박스를 형성하는 다수 개의 제 2 노광부와, 상기 투명기판상에 3개 이상의 사각형 형태의 노광 영역으로 형성되며 제 1 노광기의 웨이퍼를 정렬하는 웨이퍼 마크를 포함하여 구성됨을 특징으로 한다.
상기와 같은 본 고안에 따른 노광 장치의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
본 고안의 실시예에 따른 노광 장치는 도 2에서와 같이, 웨이퍼의 현상 공정을 실시하기 위한 5∼7인치 레티클로 유리기판(31)상에 형성되며 상기 레티클을 정렬하는 레티클 마크(32), 상기 유리기판(31)상의 가운데에 형성되며 정열 정도 측정용 장비용 마크의 안쪽박스를 형성하는 제 1 노광부(33), 상의 왜곡 정도를 확인하기 위한 위치의 상기 유리기판(31)에 형성되며 정열 정도 측정용 장비용 마크의 바깥쪽박스를 형성하는 4 개의 제 2 노광부(34)와, 상기 노광렌즈(31)상에 3개의 사각형 형태의 노광 영역(37)으로 형성되며 제 1 노광기의 웨이퍼를 정렬하는 웨이퍼 마크(35)로 구성된다.
여기서, 도 2의 흰색 부위는 비노광 영역(36)이고 검은색 부위는 빛이 투과하여 패턴을 형성하는 노광 영역(37)이다.
그리고, 상기 각각의 제 1, 제 2 노광부(33, 34)는 정사각형 형태의 상기 비노광 영역(36)과 그 둘레에 형성된 상기 노광 영역(37)으로 구성된다.
또한, 상기 레티클 마크(37)는 노광기의 모든 기종별 마크를 가지고 있는데 그 중 예를 들어 '+' 표시는 A기종의 레티클 마크(32)이며 '△' 표시는 B기종의 레티클 마크(32)이다.
상기와 같이 구성된 본 고안의 실시예에 따른 노광 장치의 동작 설명은 다음과 같다.
상기 레티클의 가운데에 위치한 '+' 표시의 레티클 마크(32)를 포함한 A사 노광기에서 사용되는 상의 왜곡 정도 측정용 레티클을 상기 레티클의 가운데에 위치하지 않는 '△' 표시의 레티클 마크(32)를 포함한 B사 노광기에서 사용할 경우에 먼저, 상기 레티클 마크(32)의 B기종 레티클 마크(32)인 '△' 표시에 의해 상기 레티클을 정렬한다.
그리고, 상기 각 제 2 노광부(34)와 웨이퍼 마크(35)가 노광될 수 있도록 상기 레티클의 노광 영역(37)을 결정하는 레티클 블라인더(도시하지 않음)를 조정하여 제 1 노광을 실시한다.
이어, 상기 제 1 노광된 웨이퍼의 제 1 현상 공정 실시로 상기 제 2 노광부(34)와 웨이퍼 마크(35)의 표시를 상기 웨이퍼에 형성한다.
그리고, 상기 웨이퍼에 형성된 웨이퍼 마크(35)의 표시에 의해 웨이퍼를 정렬한 후, 상기 제 1 노광부(33)만 노광될 수 있도록 상기 레티클 블라인더를 조정하여 제 2 노광을 실시한다.
이때, B사 레티클 마크가 레티클의 가운데에 위치해 있지 않는 것을 고려하면서 상기 제 1, 제 2 노광부(33, 34)가 중첩될 수 있도록 상기 웨이퍼를 이동시켜 상기 제 2 노광부(34) 각각에 제 1 노광부(33)를 노광한다.
그리고, 웨이퍼의 제 2 현상 공정 실시로 상기 제 1, 제 2 노광부(33, 34)가 중첩되어 상기 웨이퍼에 형성되며 정렬 정도 측정 장비에서 상기 제 1, 제 2 노광부(33, 34)의 정렬 정도를 계측한다.
본 고안의 노광 장치는 웨이퍼 현상을 위한 노광기 제작시 레티클 마크가 노광기의 모든 기종별 마크를 가지며 제 1 노광기의 웨이퍼를 정렬하는 웨이퍼 마크를 포함하여 구성하므로, 노광기의 다른기종에서 상기 레티클의 사용 가능 및 상기 노광기의 다른기종간의 레티클 정렬이 가능하고 또한 동일기종의 제 1, 제 2 호기간 렌즈 형태정도 비교가 가능하며 한 기종의 제 1 호기와 다른 기종의 제 1 호기간의 렌즈 형태정도도 비교가 가능하다는 효과가 있다.
Claims (1)
- 웨이퍼의 노광 공정을 실시하기 위한 레티클로, 여백이 비노광 영역으로 된 투명기판; 상기 투명기판상에 노광기의 모든 기종별 마크를 가지며 형성되어 상기 레티클을 정렬하는 레티클 마크; 상기 투명기판상의 가운데에 형성되며 정열 정도 측정용 장비용 마크의 안쪽박스를 형성하는 제 1 노광부; 상의 왜곡 정도를 확인하기 위한 위치의 상기 투명기판상에 형성되며 정열 정도 측정용 장비용 마크의 바깥쪽박스를 형성하는 다수 개의 제 2 노광부; 상기 투명기판상에 3개 이상의 사각형 형태의 노광 영역으로 형성되며 제 1 노광기의 웨이퍼를 정렬하는 웨이퍼 마크를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 노광장치.
Priority Applications (1)
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| KR2019970042908U KR200181369Y1 (ko) | 1997-12-30 | 1997-12-30 | 노광 장치 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| KR2019970042908U KR200181369Y1 (ko) | 1997-12-30 | 1997-12-30 | 노광 장치 |
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