KR19990021288A - 반도체소자 제조용 레티클 - Google Patents

Abstract

본 발명은 레티클을 스테퍼(stepper)에 장착할 때 방향을 정확하게 확인할 수 있는 반도체소자 제조용 레티클(reticle)에 관한 것이다.

본 발명은, 반도체소자 제조공정중 노광공정에서 웨이퍼상에 패턴형성을 위하여 쓰이는 반도체소자 제조용 레티클에 있어서, 레티클을 스테퍼에 장착할 때 장착방향을 정확하게 확인할 수 있는 방향식별마크를 레티클상에 형성하여 이루어진다. 따라서, 레티클을 스테퍼에 장착할 때 장착방향을 한눈에 확인할 수 있어 잘못된 방향으로 장착되어 생기는 공정사고를 미연에 방지할 수 있는 효과가 있다.

Description

반도체소자 제조용 레티클

본 발명은 반도체소자 제조용 레티클(reticle)에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 레티클을 스테퍼(stepper)에 장착할 때 방향을 정확하게 확인할 수 있는 레티클에 관한 것이다.

반도체소자의 제조공정은 실리콘 웨이퍼위에 확산, 사진, 식각 및 이온주입등 일련의 공정을 거쳐 소자로 완성된다.

상기 공정중 사진공정은 상기 웨이퍼상에 포토레지스트(photoresist)를 도포시킨 후, 상기 포토레지스트를 선택적으로 제거하기 위하여 노광공정 및 현상공정을 수행하여 상기 웨이퍼상에 패턴을 형성시킨다. 상기 노광공정은 상기 포토레지스트가 도포된 웨이퍼상에 레티클을 통과하도록 빛을 조사시켜 상기 포토레지스트의 성질을 변형시키는 공정으로써, 상기 노광공정은 웨이퍼상에 일정한 칩을 연속적으로 형성시키는 공정으로 스테퍼(stepper)를 주로 이용한다.

상기 레티클은 석영판위에 크롬(Cr)을 도금하여 원하는 패턴을 형성시킨 것으로서, 레티클에는 상기 패턴 이외에 얼라인마크 및 레티클인식번호가 형성되어 있고 패턴보호와 오염방지를 위하여 레티클 상, 하로 페리클(pellicle)을 붙혀 놓았다.

도 1은 종래의 기술에 따른 반도체소자 제조용 레티클을 보여주는 평면도이다.

도 1에서 보여주는 바와 같이, 석영판(10), 페리클(12), 얼라인마크(14), 패턴(16) 및 레티클식별번호(18)로 이루어진 레티클을 레티클 박스에 넣어 스테퍼에 장착한다. 스테퍼 장착시 레티클의 방향은 레티클식별번호의 위치, 방향을 보고 정확한 방향으로 장착되는지를 판별한다. 그러나 레티클에 표시되어 있는 레티클식별번호는 너무 작아 자세히 보지 않으면 쉽게 확인할 수 없어, 잘못된 방향으로 또는 뒤집어서 장착되었을 시 레티클 얼라인 시 스테퍼에 에러를 발생시켜 사고를 일으키는 문제점이 있다.

본 발명의 목적은, 상기 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서 레티클을 스테퍼(stepper)에 장착할 때 방향을 정확하게 확인할 수 있는 반도체소자 제조용 레티클을 제공하는 데 있다.

본 발명의 구체적인 목적은 스테퍼에 장착할 때 방향을 정확하게 확인할 수 있는 식별마크를 레티클에 형성시켜 잘못된 방향으로 장착되었을 때 레티클 얼라인 시 스테퍼에 에러를 발생시켜 사고를 일으키는 문제점을 미연에 방지하는 데 있다.

도 1은 종래의 기술에 따른 반도체소자 제조용 레티클을 보여주는 평면도이다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체소자 제조용 레티클의 방향식별마크를 보여주는 평면도이다.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른된 반도체소자 제조용 레티클을 보여주는 평면도이다.

도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

30 : 석영판 32 : 페리클

34 : 얼라인 마크 36 : 패턴

38 : 레티클 식별번호 40 : 방향식별마크

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체소자 제조용 레티클은,반도체소자 제조공정중 노광공정에서 웨이퍼상에 패턴형성을 위하여 쓰이는 반도체소자 제조용 레티클에 있어서, 스테퍼에 장착할 때 레티클의 장착 방향을 정확하게 확인할 수 있는 방향식별마크를 레티클상에 형성하여 만든다.

상기 방향식별마크의 모양은 화살표 형상이 바람직하며, 상기 방향식별마크는 패턴형성에 상관없는 레티클의 가장자리부근에 형성함이 바람직하다.

이하, 본 발명의 구체적인 일 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체소자 제조용 레티클의 방향식별마크를 보여주는 평면도이다.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른된 반도체소자 제조용 레티클을 보여주는 평면도이다.

도 3에서 보여주는 바와 같이 본 발명의 방향식별마크가 표시된 반도체소자 제조용 레티클은 다음과 같이 구성되어있다. 패턴이 실제로 형성되는 석영판(30), 패턴보호와 오염방지를 위하여 레티클 상, 하에 붙혀놓은 페리클(32), 스테퍼에 장착되어 프리얼라인(pre-align) 시 사용하는 얼라인마크(34), 반도체소자의 패턴(36), 단위 공정의 레티클을 확인시켜주는 레티클식별번호(38) 및 본 발명의 방향식별마크(40)로 이루어져 있다. 상기의 레티클은 스테퍼용 레티클 전용박스에 넣어 스테퍼에 장착한다. 레티클의 방향은 레티클 보관박스에서 스테퍼용 레티클 전용박스로 옮겨 놓을 때 정확하게 확인한다. 그리고 각 단위공정 진행전 다시 한번 레티클을 스테퍼에서 탈착시켜 확인한다. 그러므로 레티클에 형성되어 있는 도 2의 방향식별마크(20)를 한 눈에 확인함으로서 스테퍼에 레티클을 실수없이 정확한 방향으로 장착한다. 상기 방향식별마크(20)의 모양은 변형도 가능하다. 또한, 상기 방향식별마크(20)의 형성위치는 레티클의 가장자리 어떠한 위치도 가능하다.

따라서, 본 발명에 의하면 상술한 바와 같이 노광공정시 레티클을 스테퍼에 장착할 때 방향을 한눈에 확인할 수 있어 잘못된 방향으로 장착되어 생기는 공정사고를 미연에 방지할 수 있는 효과가 있다.

이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.

Claims (3)

1. 반도체소자 제조공정중 노광공정에서 웨이퍼상에 패턴형성을 위하여 쓰이는 반도체소자 제조용 레티클에 있어서,

   스테퍼에 장착할 때 레티클의 장착방향을 정확하게 확인할 수 있는 방향식별마크가 레티클상에 형성되어있는 것을 특징으로 하는 반도체소자 제조용 레티클.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 방향식별마크의 모양은 화살표 형상임을 특징으로 하는 상기 반도체소자 제조용 레티클.
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 방향식별마크는 패턴형성에 상관없는 레티클의 가장자리부근에 형성함을 특징으로 하는 상기 반도체소자 제조용 레티클.