KR970002000B1 - 유체제어기 - Google Patents

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KR970002000B1
KR970002000B1 KR1019920002322A KR920002322A KR970002000B1 KR 970002000 B1 KR970002000 B1 KR 970002000B1 KR 1019920002322 A KR1019920002322 A KR 1019920002322A KR 920002322 A KR920002322 A KR 920002322A KR 970002000 B1 KR970002000 B1 KR 970002000B1
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마사히코 니카자와
히사요시 마쯔모토
요미노리 시모무라
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키요하라 마사코
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Abstract

내용없음.

Description

유체제어기
제1도는 본 발명의 제1실시예에 관한 유체제어기의 종 단면도이다.
제2도는 본 발명의 제2실시예에 관한 유체제어기의 시이트부(A)를 표시하는 단면도이다.
제3도는 본 발명의 제3실시예에 관한 유체제어기의 시이트부(A)를 표시하는 단면도이다.
제4도는 본 발명의 제4실시예에 관한 유체제어기의 시이트부(A)를 표시하는 단면도이다.
제5도는 본 발명의 제5실시예에 관한 유체제어기의 시이트부(A)를 표시하는 단면도이다.
제6도는 본 발명의 제6실시예에 관한 유체제어기의 시이트부(A)를 표시하는 단면도이다.
제7도는 본 발명의 제7실시예에 관한 유체제어기의 시이트부(A)를 표시하는 단면도이다.
제8도는 본 발명의 제8실시예에 관한 유체제어기의 시이트부(A)를 표시하는 단면도이다.
제9도는 종래의 금속을 서로 조합하여 구성한 시이트부의 설명도이다.
제10도는 종래의 금속을 서로 조합하여 구성한 다른 형태의 시이트부의 설명도이다.
제11도는 종래외 금속을 서로조합하여 구성한 또다른 형태의 시이트부의 설명도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
A : 시이트부 1 : 밸브케이싱
2 : 덮개 3 : 덮개너트
4 : 스템 5 : 구동부
6 : 밸브체 7 : 밸브시이트
8 : 작동용 유체 9 : 금속박막으로 만들어진 커버체
10 : 탄성체 11 : 밸브체 기부
12 : 밸브시이트 기부
본 발명은, 주로 반도체제조설비나 진공설비, 의약품 및 식품제조설비등에서 이용되는 유체제어기의 시이트부의 개량에 관한 것으로, 내구성과 밀봉성이 우수하고, 또, 가스치환성과 청결성이 높은 유체제어기에 관한 것이다.
일반적으로, 유체제어기의 시이트부는 금속과 수지, 또는, 금속과 금속을 서로 조합하여, 구성하고 있다.
전자의 금속과 수지를 조합하여 구성한 시이트부는 밀봉성과 내구성이 비교적 우수하여, 이러한 시이트부를 사용하는 유체제어기는 반도체제조설비나 의약품 및 식품제조설비 등에서 광범위하게, 실용적으로 사용되고 있다.
그러나, 이러한 금속과 수지를 조합하여 구성한 시이트부를 사용하는 유체제어기에서도, 해결되지 않은 많은 문제점이 있다.
우선, 첫째문제는, 가스치환성의 문제이다.
일반적으로, 가스는 일단 좁은 간극 내로 침입하면, 이것을 배제시키는 것은 극히 곤란하게 된다.
그런데, 금속과 수지를 조합하여 구성한 시이트부에서는, 수지를 금속에 고정(예컨대, 스템의 선단에 수지를 고정)시킬때에, 금속과 수지 사이에 간극이 형성되는 것을 피할 수는 없다. 그 결과, 전기한 간극으로 침입한 가스의 배제가 곤란하게 되어, 가스의 치환성은 악화된다.
둘째문제는, 수지에서의 가스방출의 문제이다. 수지 내에는 각종의 가스성분이 흡착되어 있고, 이것이 진공도의 상승과 함께 차례로 방출되게 된다.
그 결과, 진공설비에 사용하는 경우에는, 시이트부에 부착된 수지로부터의 전기한 가스의 방출에 의해 진공도가 저하하거나, 진공화하는 시간이 길어지게 된다.
따라서, 전기한 것과 같은 문제를 해결하기 위해서, 수지의 체적이나 표면적을 감소시키는 방법, 수지의 재료를 계량하여 가스의 방출을 적게하는 방법 등이 제안되어 있지만, 아직 근본적인 해결에는 미치지 않고 있다.
한편, 후자인 금속과 금속을 조합하여 구성한 시이트부는, 전기한 것과 같은 금속과 금속의 조합에 의한 간극이나, 가스방출 등의 문제가 적어, 기본적으로는 가장 바람직한 시이트부의 구성이다. 그 때문에, 제9도 내지 제11도에 표시한 것과 같은 여러 형태의 시이트부의 구성이 다양하게 실용적으로 제공되어 있다.
그러나, 제9도에서와 같이, 이른바, 원추형의 시이트부(A)에서는 밸브체(B)가 밸브시이트(C)에 대해서 접동운동을 하므로 접동면에 깊은 상처를 남기거나, 또는 접동에 의하여 미립자의 분진이 발생하는 등의 문제가 있다.
또, 제10도에 표시된 평면형 시이트부(A)에서는 밸브체(B)와 밸브시이트(C) 사이의 밀봉성이 상대적으로 떨어지는 문제가 있다.
그리고, 제11도에 표시된 돌기형 시이트부(A)에서는, 밸브체(B)와 밸브시이트(C)의 맞닿는 부분이 파괴되거나 박리되기 쉬워, 내구성이 떨어지는 문제점이 있다.
또한, 금속과 금속을 조합하여 구성한 시이트부(A)에 있어서, 그 밀봉성을 높이기 위해서는, 시이트면의 가공정밀도의 향상, 연질금속의 사용, 밀봉부에서의 면압의 상승 등의 방법을 사용하면 좋으나, 시이트면의 가공비용이 상승되거나 미립자 분진의 발생, 밸브체(B)와 밸브시이트(C)의 접촉부에서의 파괴나 변형의 발생 등의 다양한 문제점이 있어서, 밀봉성과 내구성이 우수하고, 가스치환성과 청결성도 우수한 시이트부(A를 구비한 유체제어기의 개발이 강력하게 요구되어 왔다.
본 발명의 목적은, 종래의 제어밸브 등에 있어서의 전기한 바와 같은 문제, 즉, (가) 금속과 수지의 조합형 시이트부를 구비한 유체제어기에서는, 가스치환성이 나쁘며, 가스순도의 저하를 초래하기 쉽고, 또, 수지로부터 방출되는 가스에 의한 진공도의 저하 등을 초래하기 쉬운점, (나) 금속과 금속의 조립형 시이트부를 구비한 유체제어기에서는, 밀봉성과 내구성이 낮고, 미립자분진을 발생하기 쉬운점 등의 문제를 해결하고자 하는 것으로, 밀봉성과 내구성이 우수하고, 가스치환성과 청결성도 우수간 금속접촉형의 시이트부를 구비한 유체제어기를 제공하고자 하는 것이다.
본 발명의 청구범위의 범위 제1항에, 기재된 발명은 밸브체(6)와 밸브시이트(7)로 구성된 시이트부(A)를 구비한 유체제어기로써, 밸브시이트(7)와 맞닿는 밸브체(6)를, 밸브체 기부(11), 밸브체 기부(11)의 외표면을 덮고 있으며 전기한 밸브시이트(7)와 맞닿는 금속박막으로 만들어진 커버체(9), 전기한 밸브체 기부(11)와 커버체(9)의 사이에 끼워지는 탄성재료로 만들어진 탄성체(10)로 형성된 것을 발명의 기본구성으로 하는 것이다.
또, 본 발명의 청구의 범위 제6항에 기재된 발명은 밸브체(6)와 밸브시이트(7)로 구성된 시이트부(A)를 구비한 유체제어기로써, 밸브체(6)와 맞닿는 밸브시이트(7)를, 밸브시이트 기부(12), 밸브시이트 기부(12)의 외표면을 덮고 있으며, 전기한 밸브체(6)와 맞닿는 금속박막으로 만들어진 커버체(9), 전기한 밸브시이트 기부(12)와 커버체(9)의 사이에 끼워지는 탄성재료로 만들어진 탄성체(10) 등으로 형성된 것을 발명의 기본구성으로 하는 것이다.
청구의 범위 제1항에 기재된 유체제어기에서는, 유체의 통로를 차단한 때에는 밸브체(6)는 밸브시이트(7)쪽으로 이동되어 커버체(9)는 밸브시이트(7)와 맞닿게 된다.
그리고, 밸브체(6)에 압압력이 가해짐에 따라서, 커버체(9)는 탄력성이 있는 탄성체(10)를 개재하여 밸브시이트(7)쪽으로 눌려지면서, 밸브시이트(7)의 외표면의 형상에 따라 약간 변형된 상태에서 밸브시이트(7)와 맞닿게 되며, 이렇게 하여 유체의 통로는 차단된다.
또, 밸브체(6)에 가해지는 압압력이 해제되면, 그 모양이 약간 변형되어 있던 커버체(9)와, 탄성체(10)는 탄성체(10)의 탄성력에 의해 최초의 모양으로 복원되며, 동시에 유체통로는 개방상태로 된다.
그리고 청구의 범위 제6항에 기재되어 있는 유체제어기에서도 같은 방법에 의해 밸브체(6)가 밸브시이트(7)쪽으로 이동되면, 밸브시이트(7)에 형성되어 있는 커버체(9)와 탄성체(10)는 밸브체(6)의 외표면을 따라서 약간의 탄성변형을 하면서 유체통로를 차단한다.
다음에, 도면에 의거하여 본 발명의 실시예를 설명한다.
제1도는 본 발명의 제1실시예에 관한 유체제어기를 표시하는 것이며, 도면에서, (1)은 밸브케이싱, (2)는 덮개, (3)는 덮개너트, (4)는 스템, (5)는 구동부, (6)은 밸브체, (7)은 밸브시이트이다.
전기한 밸브케이싱(1)에는 유체입구(la), 유체출구(1b), 밸브실(1c), 유체통로(1d)가 각각 형성되어 있고, 또, 밸브실(1c)의 바닥에는 밸브시이트(7)가 형성되어 있다.
이 밸브케이싱(1)의 윗쪽에는 덮개(2)가 조립되며, 덮개너트(3)를 죄어주므로써, 덮개(2)는 밸브케이싱(1)에 고정되게 된다.
또, 전기한 덮개(2)의 안쪽에는 스템(4)이 접동자재한 상태로 끼워져 있으며, 그 하단부에는 밸브체(6)가 형성되어 있고, 그 상단부에는 구동부(5)의 피스톤(5a)이 고정되어 있다.
전기한 구동부(5)는 피스톤(5a)과 실린더(5b)로 형성되어 있으며, 유체송입구((5c)또는 (5d))로 작동용 유체(8)를 압송하므로써 스템(4)은 상하로 작동된다.
본 발명의 주요부인 시이트부(A)는 전기한 밸브체(6)와 밸브시이트(7)로 구성되어 있으며, 그 밸브체(6)는, 스템(4)의 하단부에 해당되는 밸브체기부(11), 금속박막으로 된 커버체(9), 밸브체기부(11)와 커버체(9)의 사이에 끼워지는 탄성체(10)등으로 형성되어 있다.
즉, 전기한 금속박막으로 만들어진 커버체(9)는 스템(4)의 하단부, 즉 원추형의 밸브체기부(11)가 삽입되는 원통형의 오목부(9a)와 오목부(9a)의 상단부에 형성되는 플렌지부(9b)가 단일체로 형성되어 있으며, 본 실시예에 있어서는 니켈 또는 니켈합금의 박막을 프레스가공이나 또는 전착성형(電着成形)의 방법으로 성형한 커버체(9)가 단일체로 성형되어 있다.
또, 이 금속박으로 된 커버체(9)는, 그 플랜지부(9b)의 테두리가 밸브케이싱(1)과 덮개(2) 사이에 끼워져 기밀을 유지하며, 오목부(9a)의 안에 스템(4)의 하단이 삽입된 상태로 밸브실(1c)내에 배치되어 있고, 덮개너트(3)는 죄어주므로써 전기한 커버체(9)를 개재하여 밸브실(1c)의 기밀성이 유지된다.
또한, 본 실시예에는 시이트부(A)와 다이어프램을 단일체로 한 구조의 커버체(9)하고, 있지만, 커버체(9)의 형태는 어떤 형태의 것이라도 좋다.
한편, 전기한 탄성체(10)는, 적당한 탄성과 유연성이 있는 재료, 예컨대, 고무, 합성수지, 코일 스프링 등의 재료로 형성되며, 본 실시예에서 볼소고무를 사용하여 미리 성형된 전기한 오목부(9a)의 밑부분에 끼워 넣을 수 있는 디스크형태의 탄성체(10)를 커버체(9)와 밸브체 기부(11)의 사이에 삽입하도록 하고 있다.
또한, 본 실시예에서는 전기한 바와 같이, 미리 성형가공한 탄성체(10)를 사용하고 있지만, 탄성이 있는 수지 등의 재료를 커버체(9)의 오목부(9a)의 내부로 직접 주입, 또는 충전시켜도 좋다.
또, 본 실시예에서는, 전기한 시이트부(A)를 피스톤 구동구조의 제어밸브에 적용하고 있지만, 이 시이트부(A)를 적용하는 유체제어기는 어떠한 구조, 예컨대, 릴리프빌브, 감압밸브 등에도 좋다.
제2도는 본 발명의 제2실시예에 관한 유체제어기의 시이트부(A)를 표시하는 것이다.
이 제2실시예에서는, 밸브체(6)가 스템(4)의 하단에 형성된 밸브체 기부(11), 밸브체 기부(11)를 덮고 있는 금속박막으로 된 접시형상의 커버체(9), 밸브체 기부(11)와 커버체(9)의 사이에 끼워져 있는 코일스프링으로 만들어진 링형상의 탄성체(10) 등으로 형성되어 있다.
또, 전기한 밸브체 기부(11)와 커버체(9)에는, 전기한 링형상의 탄성체(10)를 삽입하기 위한, 그 단면이 반원형인 가이드홈(9c),(11a)이 각각 형성되어 있다.
그리고, 전기한 접시형상 커버체(9)의 상단주변은 밸브체기부(11)의 외주면에 용접되어 있다.
제3도는, 본 발명에서 사용하는 시이트부(A)의 제3실시예를 표시하는 것이다.
본 실시예에서는, 코일스프링으로 된 링형상의 탄성체(10)가 평면형상의 밸브체 기부(11)와 가이드홈(9c)이 형성되어 있는 커버체(9)의 사이에 삽입되어 있다.
제4도는, 본 발명에서 사용하는 시이트부(A)의 제4실시예를 표시하는 것이다.
본 실시예에서는, 접촉부(9d)의 단면이 원형인 접시형상의 커버체(9)가 스템(4) 하단의 밸브체 기부(11)에 끼워지며, 그 상단의 주변이 스템(4)의 외주면에 용접되어 있다.
또, 탄성체(10)로서는 밸브체기부(11)와 커버체(9)의 사이에 고무 등이 충전되어 있다.
제5도는, 본 발명에서 사용하는 시이트부(A)의 제5실시예를 표시하는 것이다
본 실시예에서는, 중앙에 유체통로(11)가 형성되어 있는 밸브체 기부(11)의 하단부에, 그 단면이 U자 모양을 한 링형상의 커버체(9)가 끼워져 있고, 그 내외벽의 상단주변은 각각 밸브체 기부(11)의 외주면에 용접되어 있다.
제6도, 제7도 및 제8도는, 본 발명에서 사용하는 시이트부(A)의 제6실시예, 제7실시예 및 제8실시예를 표시하는 것으로, 밸브시이트(7)의 자리에 금속박막으로 된 커버체(9)와 탄성체(10)를 각각 형성하고 있다.
즉, 제6도의 제6실시예에 있어서는, 밸브실(1c)의 밑면의 일부를 구성하는 밸브시이트(7)의 밸브시이트기부(12), 유체통로(1d)의 가장자리를 따라서 밸브시이트 기부(12)의 위에 형성되어 있는 코일스프링으로 만든 링형상의 탄성체(10), 탄성체(10)를 덮고 있는 금속박막으로 만들어진 링형상의 커버체(9)등으로 구성되어 있고, 커버체(9)의 내외벽면의 단부는 각각 밸브시이트 기부(12)에 용접되어 있다.
또, 제7도의 제7실시예에서 있어서는, 밸브시이트 기부(12) 및 커버체(9)에는 링형상의 가이드홈(9c),(12c)이 각각 형성되어 있고, 양쪽 가이드홈(12a),(9c)내에는 코일스프링으로 만든 링형상의 탄성체(10)가 끼워져 있다.
그리고, 제8도의 제8실시예에 있어서는, 밸브시이트 기부(12)와 커버체(9)의 사이에는 탄성체(10)로써 고무 등의 충진제가 충진되어 있고, 또한, 밸브체 기부(11)쪽에는 단면현상이 대략 반원형인 접촉부(11b)가 형성되어 있다.
또한, 전기한 각 실시예에 있어서는, 금속박막으로 된 커버체(9)의 하단부 주변을 밸브체 기부(11) 또는 밸브시이트 기부(12)에 각각 용접하도록 하고 있지만, 용접 이외의 방법, 에컨대, 접착이나 압접, 코오킹 등의 방법으로 밀봉시켜서 커버체(9)를 고정시킬 수도 있다.
또, 밸브체 기부(11), 밸브시이트 기부(12), 커버체(9) 및 탄성체(10) 등의 형태는, 커버체(9)가 탄성체(10)에 의해 탄성적으로 밸브시이트 기부(12) 또는 밸브체 기부(11)와 접촉하면서 유체통로를 개폐시킬 수 있는 것이라면, 전기한 각 실시예에 표시한 이외의 어떠한 형태라도 좋다.
다음에, 본 발명에 의한 유체제어기의 작동을, 커버체(9)와 탄성체(10)를 밸브체(6)에 형성한 경우에 대해서 설명한다.
구동부(5)에 의해 스템(4)이 작동되어 밸브체(6)가 하강하면, 먼저, 금속박막으로 된 커버체(9)가 밸브시이트(7)와 맞닿게 된다.
다음에, 스템(4)이 약간 더 하강하면서 커버체(9)는 탄성체(10)를 개재하여 밸브시이트(7) 위에서 눌려지며, 커버체(9)의 외표면은 밸브시이트(7)의 외표면의 형상에 따라 약간 변형된 상태로 밸브시이트(7)위에 눌려진다.
이렇게 하여 유체통로는 밀폐된다.
이때, 커버체(9)는 금속박막으로 형성되어 있기 때문에, 밸브시이트(7)의 외표면과 무리없이 맞닿게 되어 우수한 밀착성을 얻을 수 있게 된다.
또, 커버체(9)는 탄성체(10)를 개재하여 밸브시이트(7)와 맞닿아 있기 때문에, 비교적 큰 면압이 가해진다 하더라도 밸브시이트(7)나 커버체(9)의 외표면에 타흔 등의 상처를 입히지 않으며, 마찰에 의한 미립자 분진의 발생도 전혀 없게 된다.
밸브체(6)를 상승시키면 면압이 작용되어 탄성적으로 약간 변형되었던 커버체(9)와 내부의 탄성체(10)는 각각 최초의 형상으로 복원된다.
밸브체(6)를 계속해서 상승시키므로써, 커버체(9)는 밸브시이트 기부(12)로 부터 떨어지면서, 유체통로가 개방된다.
본 발명에 있어서는, 유체제어기의 시이트부(A)를 형성하는 밸브체(6) 또는 밸브시이트(7)를, 밸브체 기부(11) 또는 밸브시이트 기부(12), 밸브체 기부(11), 또는 밸브체 기부(12)의 외표면을 덮고 있는 금속박막으로 된 커버체(9), 밸브체기부(11) 또는 밸브시이트 기부(12)와 커버체(9)의 사이에 끼워져 있는 탄성재료로 만들어진 탄성체(10)등으로 구성되어 있으므로, 다음과 같은 우수한 특성을 얻을 수 있게 된다.
(1) 커버체(9)가 금속박막으로 만들어져 있으므로, 접촉부와의 밀착성이 적다.
적당한 면압을 가하므로써 우수한 밀봉성을 얻을 수 있을 뿐만 아니라, 면압을 제거하여도 탄성체(10)의 탄성력에 의해 커버체(9)는 최초의 형태로 쉽게 복원되기 때문에, 밀봉성이 저하되는 일은 전혀 없다.
(2) 금속박막으로 된 커버체(9)는 탄성력을 가진 상태에서 밸브시이트면(또는 밸브체의 면)과 부드럽게 맞닿으므로 밸브시이트 등에 상처가 발생되지 않으며, 따라서, 시이티부의 내구성이 현저하게 향상됨은 물론, 마찰에 의한 미립자분진의 발생도 거의 없이, 청결성도 현저하게 향상된다.
(3) 고무등의 재료를 탄성체(10)로 사용하는 경우에도, 금속박막으로 된 커버체(9)에 의해 내부가스의 방출을 완전히 차단시킬 수 있으며, 진공장치에 적용시키는 경우에 있어서도, 가스의 방출에 의한 진공도의 저하는 전혀 발생되지 않는다.
(4) 밸브체 기부(11) 또는 밸브시이트 기부(12)는 금속박막으로 된 커버체(9)에 의해 완전히 덮혀 있으므로, 종전의 수지 금속을 조립하여 형성한 시이트부(A)에서와 같이 조립에 의한 틈새가 형성되는 일이 없으며, 이른바, 가스치환성이 현저하게 향상됨은 물론 유체의 종류와는 관계없이 탄성체의 재질을 선정할 수 있다.
(5) 금속박막은 표면처리나 성형가공이 비교적 쉽기 때문에, 정밀도가 높은 시이트부(A)를 싼값으로 형성할 수 있음은 물론, 고온에서 쉽게 견딜 수 있다.
(6) 커버체(9)의 형상이 비교적 간단하여 가공이 쉬우므로, 사용되는 금속박막의 재질에 제약을 받는 일은 거의 없고, 유체의 종류에 따라서 적당히 금속박막의 재질을 선정할 수 있다.
(7) 비교적 낮은 면압으로 우수한 밀봉성을 얻을 수 있으므로, 유체제어기의 구동계의 크기를 대폭 소형화할 수 있다.
본 발명은 상술한 바와 같이, 우수한 특성을 얻을 수 있게 된다.

Claims (9)

  1. 밸브체(6)와 밸브시이트(7)로 구성된 시이트부(A)를 구비하고 있으며, 스템(4)을 승강작동시키므로써, 밸브체(6)를 밸브시이트(7)에 대해 거의 수직으로 맞닿게 하거나, 또는, 밸브체(6)를 밸브시이트(7)로 부터 거의 수직으로 떨어지도록 한 유체제어기에 있어서, 밸브실(1c)의 저면에 형성한 밸브시이트(7)에 맞닿는 밸브체(6)를 상기한 스템(4)에 연결된 밸브체 기부(11)와, 밸브체 기부(11)의 외표면을 덮는 상기한 밸브시이트(7)에 맞닿는 금속박막제의 커버체(9)와, 상기한 밸브체 기부(11)와 커버체(9)의 사이에 개재되며 탄성재료로 만들어지는 탄성체(10)에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 유체제어기.
  2. 제1항에 있어서, 커버체(9)를 금속박막으로 만들어지는 접시형상체로 하며, 탄성체(10)를 고무로 만들어지는 디스크형상체로 하는 것을 특징으로 하는 유체제어기.
  3. 제1항에 있어서, 커버체(9)를 금속박막으로 만들어지며 플렌지가 부착되는 접시형상체로 하며, 탄성체(10)를 고무로 만들어지는 디스크형상체로 하는 것을 특징으로 하는 유체제어기.
  4. 제1항에 있어서, 커버체(9) 또는 커버체(9)와 밸브체 기부(11)에 탄성체(10)를 끼워넣기 위한 가이드홈(9c), 또는 가이드홈(9c)과 가이드홈(11a)을 형성하도록 하는 것을 특징으로 하는 유체제어기.
  5. 제1항에 있어서, 탄성체(10)를, 코일스프링으로 만들어지는 링형상체로 한 것을 특징으로 하는 유체제어기.
  6. 밸브체(6)와 밸브시이트(7)로 구성된 시이트부(A)를 구비하고 있으며, 스템(4)을 승강작동시키므로써, 밸브체(6)를 밸브시이트(7)에 대해 거의 수직으로 맞닿게 하거나, 또는 밸브체(6)를 밸브시이트(7)로부터 거의 수직으로 떨어지도록 한 유체제어기에 있어서, 상기한 밸브체(6)가 맞닿는 밸브실(1c)의 저면에 형성한 밸브시이트(7)를, 밸브실(1c)의 저면의 일부를 구성하는 밸브시이트 기부(12)와, 밸브시이트 기부(12)의 외표면을 덮는 상기한 밸브체(6)가 맞닿는 금속박막으로 만들어진 커버체(9)와, 상기한 밸브시이트 기부(12)와 커버체(9)외 사이에 끼워지며 탄성재료로 만들어지는 탄성체(10)에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 유체제어기.
  7. 제6항에 있어서, 커버체(9)를 니켈 또는 니켈합금의 박막으로 형성하며, 탄성체(10)를 불소고무로 만들어진 탄성체로 한 것을 특징으로 하는 유체제어기.
  8. 제6항에 있어서, 커버체(9) 또는 커버체(9)와 밸브시이트 기부(12)에 탄성체(10)를 끼워넣기 위한 가이드홈(9c) 또는 가이드홈(9c)과 가이드홈(12a)을 형성하도록 하는 것을 특징으로 하는 유체제어기.
  9. 제6항에 있어서, 탄성체(10)를 코일스프링으로 만들어지는 링형상체로 한 것을 특징으로 하는 유체제어기.
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