JPH0545346U - メインバルブ - Google Patents

メインバルブ

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Publication number
JPH0545346U
JPH0545346U JP9387391U JP9387391U JPH0545346U JP H0545346 U JPH0545346 U JP H0545346U JP 9387391 U JP9387391 U JP 9387391U JP 9387391 U JP9387391 U JP 9387391U JP H0545346 U JPH0545346 U JP H0545346U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sealing surface
stage
surface portion
main valve
ring
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP9387391U
Other languages
English (en)
Inventor
真一 小沢
義昭 萩原
Original Assignee
関西日本電気株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 関西日本電気株式会社 filed Critical 関西日本電気株式会社
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 真空装置の排気部等のメインバルブにおい
て、シール面部にゴミやガス成分生成物等の異物が付着
した場合でも、シール性を確保できるようにする。 【構成】 エアシリンダ２に連結された１段目のシール
面部１の内周側部にスプリング６を介して連結された２
段目のシール面部４を設けるとともに、それぞれのシー
ル面部１，４に対応して１段目のＯリング３と、２段目
のＯリング５とを設けることにより、２箇所にてシール
可能となる。 【効果】 ２箇所のシール面部を持つため、片側のシー
ル面部への異物の付着が起き、シール機能が損なわれて
も、他方のシール面部にて補うことができる。

Description

【考案の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
この考案は、半導体製造装置等に用いる真空装置の排気部に好適するメインバ ルブに関し、特にそのシール面部の構造の改良に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、真空装置の排気部のメインバルブは、図２に示すように、１箇所で閉止 する構造となっていた。すなわち、図２において、１はシール面部であり、その シール面部１をエアシリンダ２により押し下げ、Ｏリング３に押し付けることで ガスの流れを閉止するものである。
【０００３】
【考案が解決しようとする課題】
ところで、従来のメインバルブはシール面部１が１箇所であるので、シール面 部１あるいはＯリング３の部分にゴミやガス成分の生成物等の異物が付着すると 、閉止した場合でも完全な閉止ができず、微量にガスが流れ出してしまうという 欠点があった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
この考案のメインバルブは、エアシリンダに連結された１段目のシール面部の 内周側にスプリングを介してもう１つの２段目のシール面部を設け、１段目と２ 段目のシール面部が１段目および２段目のＯリングと係合するようにして、２重 のシール面部を持った構造としたことを特徴とする。
【０００５】
【作用】
上記の構造によると、２箇所のシール面部を持つため、片側のシール面部に異 物の付着が起きてシール機能が損なわれた場合、他方のシール面部にて補うこと ができる。
【０００６】
【実施例】
以下、この考案について図面を参照して説明する。
【０００７】 図１はこの考案の一実施例であるメインバルブの断面図である。図において、 １はエアシリンダ２の軸に連結した１段目のシール面部であり、ガスの閉止時に はエア圧により１段目のＯリング３に押しあてられる。そして、４は１段目のシ ール面部１とスプリング６により連結された２段目のシール面部であり、ガスの 閉止時には１段目シール面部１と同様にエアシリンダ２により押し下げられ、２ 段目のＯリング５に押しあてられる。すなわち、１段目のシール面部１に対する ２段目のシール面部４のスプリング６による自由状態での突出寸法ａは、１段目 のＯリング３と２段目のＯリング５との間隔寸法ｂよりも大きく（ａ＞ｂ）設定 されている。このため、エアシリンダ２の下降により、まず２段目のシール面部 ４が２段目のＯリング５に接触し、さらにエアシリンダ２の下降によってスプリ ング６がその弾性力に抗して圧縮されて２段目のシール面部４が２段目のＯリン グ５に強く押圧され、さらにエアシリンダ２の下降によって１段目のシール面部 １が１段目のＯリング３に強く押圧される。
【０００８】 これにより、２重のシールが可能となり、シール面部への異物付着に対する閉 止の信頼性が向上する。
【０００９】 なお、スプリング６は金属製のみならず、セラミック製でもよいし、例えばジ ャバラ状の筒体内にエア等を封入して、実質的に金属スプリングと同様の機能を 営むものであればよい。
【００１０】
【考案の効果】
以上に説明したように、この考案は真空装置の排気部等のメインバルブのシー ル面部を２箇所にしたことにより、シール面部への異物付着に対する閉止の信頼 性を向上させることができる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】 この考案の一実施例であるメインバルブの断
面図
【図２】 従来のメインバルブの断面図
【符号の説明】
１ １段目のシール面部 ２ エアシリンダ ３ １段目のＯリング ４ ２段目のシール面部 ５ ２段目のＯリング ６ スプリング

Claims (2)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項１】液体の流れを閉止するためのシール面部を
    ２箇所設けたことを特徴とするメインバルブ。
  2. 【請求項２】エアシリンダに連結された１段目のシール
    面部の円周側にスプリングを介して配設された２段目の
    シール面部を有し、１段目と２段目のシール面部が１段
    目および２段目のＯリングと係合するように構成したこ
    とを特徴とする請求項１記載のメインバルブ。
JP9387391U 1991-11-15 1991-11-15 メインバルブ Pending JPH0545346U (ja)

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JPH0545346U true JPH0545346U (ja) 1993-06-18

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JP9387391U Pending JPH0545346U (ja) 1991-11-15 1991-11-15 メインバルブ

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011094796A (ja) * 2009-10-27 2011-05-12 Benteler Automobiltechnik Gmbh スチームトラップ
JP2016180495A (ja) * 2015-03-25 2016-10-13 Ckd株式会社 真空弁
JP2022105359A (ja) * 2021-01-04 2022-07-14 株式会社ミヤワキ バルブとこれを用いた減圧弁

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