JPH05240370A - アクチュエータ - Google Patents
アクチュエータInfo
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- JPH05240370A JPH05240370A JP3904892A JP3904892A JPH05240370A JP H05240370 A JPH05240370 A JP H05240370A JP 3904892 A JP3904892 A JP 3904892A JP 3904892 A JP3904892 A JP 3904892A JP H05240370 A JPH05240370 A JP H05240370A
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Landscapes
- Fluid-Driven Valves (AREA)
- Actuator (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】熱負荷に対するシール性に優れたアクチュエー
タを提供する。 【構成】高温に曝される弁Ｂを空気圧に関連して制御す
るアクチュエータＡの全構成部分１〜１４を金属材料か
ら形成することを特徴とする。 【作用】シール部を含む全構成部分が金属材料から形成
されているから耐熱性に優れ、高温雰囲気に長時間曝さ
れてもシール性の劣化を生じない。
タを提供する。 【構成】高温に曝される弁Ｂを空気圧に関連して制御す
るアクチュエータＡの全構成部分１〜１４を金属材料か
ら形成することを特徴とする。 【作用】シール部を含む全構成部分が金属材料から形成
されているから耐熱性に優れ、高温雰囲気に長時間曝さ
れてもシール性の劣化を生じない。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば半導体産業用ガ
ス供給系、特に高沸点の有機金属ガスを取扱うガス供給
系に使用される弁等を、空気圧に関連して制御するアク
チュエータに関する。
ス供給系、特に高沸点の有機金属ガスを取扱うガス供給
系に使用される弁等を、空気圧に関連して制御するアク
チュエータに関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体産業用ガス供給系においては、Ａ
l(Ｃ2 Ｈ5 ) 3 やＧa(Ｃ2 Ｈ5 ) 3 などのような高沸点
（前者は１８６．６℃、後者は１４２．６℃）の有機金
属をガス化して使用する場合がある。このような高温雰
囲気（約２００℃）に曝される従来の弁においては、図
５に例示（遮断弁の場合）するように、弁本体ａを構成
する弁ケースｂ、弁座ｃおよびダイヤフラムｄ等が全て
金属材料から形成されている。しかしながら、弁本体ａ
に直結される空気圧式アクチュエータｅにおいては、構
成部分の大半が金属材料から形成されてはいるが、シー
ル用Ｏリングは、摺動部におけるものｆ1 〜ｆ3 も固定
的連結部におけるものｆ4 も全て弗素系ゴムから形成さ
れている。
l(Ｃ2 Ｈ5 ) 3 やＧa(Ｃ2 Ｈ5 ) 3 などのような高沸点
（前者は１８６．６℃、後者は１４２．６℃）の有機金
属をガス化して使用する場合がある。このような高温雰
囲気（約２００℃）に曝される従来の弁においては、図
５に例示（遮断弁の場合）するように、弁本体ａを構成
する弁ケースｂ、弁座ｃおよびダイヤフラムｄ等が全て
金属材料から形成されている。しかしながら、弁本体ａ
に直結される空気圧式アクチュエータｅにおいては、構
成部分の大半が金属材料から形成されてはいるが、シー
ル用Ｏリングは、摺動部におけるものｆ1 〜ｆ3 も固定
的連結部におけるものｆ4 も全て弗素系ゴムから形成さ
れている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記弗素系ゴムは高温
用とされているが、２００℃程度の雰囲気に曝されてい
ると時間の経過とともに圧縮永久歪が顕著になり、弾性
反発力が漸減するためシール部における漏洩量が漸増す
る。
用とされているが、２００℃程度の雰囲気に曝されてい
ると時間の経過とともに圧縮永久歪が顕著になり、弾性
反発力が漸減するためシール部における漏洩量が漸増す
る。
【０００４】また、上記ガス供給系においては配管内の
水分を除去するため２５０℃程度のベーキング処理を施
すことがあるが、一旦このような高温処理を施した後で
は、２００℃程度に戻してもシール部における漏洩のた
めアクチュエータとしての正常な作動を遂行し得なくな
ってしまう。
水分を除去するため２５０℃程度のベーキング処理を施
すことがあるが、一旦このような高温処理を施した後で
は、２００℃程度に戻してもシール部における漏洩のた
めアクチュエータとしての正常な作動を遂行し得なくな
ってしまう。
【０００５】すなわち、上述のような従来のアクチュエ
ータにおいては、シール部に弗素系ゴム等の樹脂を用い
ているため熱負荷に対する制限が不可避であり、しかも
熱サイクルによって寿命が極端に短縮されるなどの難点
がある。本発明は上述のような問題点を解決するために
なされたもので、熱負荷に対するシール性に優れたアク
チュエータを提供することを目的とする。
ータにおいては、シール部に弗素系ゴム等の樹脂を用い
ているため熱負荷に対する制限が不可避であり、しかも
熱サイクルによって寿命が極端に短縮されるなどの難点
がある。本発明は上述のような問題点を解決するために
なされたもので、熱負荷に対するシール性に優れたアク
チュエータを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、内部および外
部の少なくともいずれか一方が高温に曝される弁を空気
圧に関連して制御するアクチュエータにおいて、全構成
部分を金属材料から形成するを特徴とするものである。
部の少なくともいずれか一方が高温に曝される弁を空気
圧に関連して制御するアクチュエータにおいて、全構成
部分を金属材料から形成するを特徴とするものである。
【０００７】
【作用】上記構成において、シール部を含む全構成部分
が金属材料から形成されているから耐熱性に優れ、高温
雰囲気に長時間曝されてもシール性の劣化を生じない。
が金属材料から形成されているから耐熱性に優れ、高温
雰囲気に長時間曝されてもシール性の劣化を生じない。
【０００８】
【実施例】以下、本発明につき図１に示す一実施例を参
照しながら説明する。なお、以下においては便宜上アク
チュエータおよび弁部が上下方向に位置する場合につい
て説明するが、本発明はこれに限定されるものではな
く、例えば装備場所や配管などの状態に応じてそれぞれ
の姿勢や相対的位置などを適宜に設定可能である。
照しながら説明する。なお、以下においては便宜上アク
チュエータおよび弁部が上下方向に位置する場合につい
て説明するが、本発明はこれに限定されるものではな
く、例えば装備場所や配管などの状態に応じてそれぞれ
の姿勢や相対的位置などを適宜に設定可能である。
【０００９】図１において、アクチュエータＡの上側ハ
ウジング１、下側ハウジング２および筒状連結部材３
は、この順で流体密に連結されている。上下両ハウジン
グ１および２の間にはダイヤフラム４の周縁部が流体密
に支持されている。ダイヤフラム４には、これの中心部
を流体密に貫通するステム５が連結されている。ステム
５の上端部と、上側ハウジング１に開設された給気口６
の周縁部とには、上側ベローズ７の各端部がそれぞれ流
体密に連結されている。ステム５には、上記給気口６
と、下側ハウジング２に形成された空気室８とを相互に
連通する連通孔９が開設されている。
ウジング１、下側ハウジング２および筒状連結部材３
は、この順で流体密に連結されている。上下両ハウジン
グ１および２の間にはダイヤフラム４の周縁部が流体密
に支持されている。ダイヤフラム４には、これの中心部
を流体密に貫通するステム５が連結されている。ステム
５の上端部と、上側ハウジング１に開設された給気口６
の周縁部とには、上側ベローズ７の各端部がそれぞれ流
体密に連結されている。ステム５には、上記給気口６
と、下側ハウジング２に形成された空気室８とを相互に
連通する連通孔９が開設されている。
【００１０】上記上側ハウジング１の下面およびダイヤ
フラム４の上面にはばね座１０および１１がそれぞれ設
けられている。ばね座１０および１１の間にはステム５
を下方に弾圧するばね部材１２が張設されており、かつ
相互に対向してステム５の軸方向変位量を制限するスト
ッパ部１３が形設されている。また、上記筒状連結部材
３に内装された下側ベローズ１４は、上端部がステム５
に、下端部が連結部材３に、それぞれ流体密に連結され
ている。
フラム４の上面にはばね座１０および１１がそれぞれ設
けられている。ばね座１０および１１の間にはステム５
を下方に弾圧するばね部材１２が張設されており、かつ
相互に対向してステム５の軸方向変位量を制限するスト
ッパ部１３が形設されている。また、上記筒状連結部材
３に内装された下側ベローズ１４は、上端部がステム５
に、下端部が連結部材３に、それぞれ流体密に連結され
ている。
【００１１】そして、上記構成部分１〜１４は全て金属
材料から形成されている。また、固定的連結部は溶接ま
たは適宜金属材料から形成された耐熱パッキン等によ
り、相対的変位を必要とする連結部はベローズを介し
て、それぞれ流体密に構成されている。
材料から形成されている。また、固定的連結部は溶接ま
たは適宜金属材料から形成された耐熱パッキン等によ
り、相対的変位を必要とする連結部はベローズを介し
て、それぞれ流体密に構成されている。
【００１２】一方、弁Ｂの本体１５には流入路１６、流
出路１７および、上記連結部材３の下端部が内挿される
筒状部１８が形設されている。本体１５は、一端が上記
連結部材３に係止されるとともに他端が筒状部１８と螺
合するナット１９により上記アクチュエータＡと相互に
連結されている。また、筒状部１８の内底部には流入路
１６および流出路１７の各内端部が開口しており、流入
路１６の開口周縁部には弁座２０が形設されている。筒
状部１８には、中央部が弁座２０と接離自在に対向する
ダイヤフラム２１が内装されている。ダイヤフラム２１
は、自由状態において上側凸面の皿状に形成され、周縁
部が押圧部材２２により筒状部１８の内底部に押圧され
ている。押圧部材２２の貫通孔下部にはボタン２３がダ
イヤフラム２１と当接した状態で昇降可能に嵌装されて
おり、上部には上記ステム５の下端部が遊挿されてい
る。ボタン２３により相対的変位自在に支持されたボー
ル２４は、ダイヤフラム２１の復元力によりステム５の
下端部に圧接されている。そして、この弁部においても
全ての構成部分が金属材料から形成されている。次に上
記実施例の作用を説明する。
出路１７および、上記連結部材３の下端部が内挿される
筒状部１８が形設されている。本体１５は、一端が上記
連結部材３に係止されるとともに他端が筒状部１８と螺
合するナット１９により上記アクチュエータＡと相互に
連結されている。また、筒状部１８の内底部には流入路
１６および流出路１７の各内端部が開口しており、流入
路１６の開口周縁部には弁座２０が形設されている。筒
状部１８には、中央部が弁座２０と接離自在に対向する
ダイヤフラム２１が内装されている。ダイヤフラム２１
は、自由状態において上側凸面の皿状に形成され、周縁
部が押圧部材２２により筒状部１８の内底部に押圧され
ている。押圧部材２２の貫通孔下部にはボタン２３がダ
イヤフラム２１と当接した状態で昇降可能に嵌装されて
おり、上部には上記ステム５の下端部が遊挿されてい
る。ボタン２３により相対的変位自在に支持されたボー
ル２４は、ダイヤフラム２１の復元力によりステム５の
下端部に圧接されている。そして、この弁部においても
全ての構成部分が金属材料から形成されている。次に上
記実施例の作用を説明する。
【００１３】上記給気口６から上側ベローズ７および連
通孔９を介して空気室８に供給される操作用空気の圧力
が上昇すると、ダイヤフラム４およびばね座１１を介し
てばね部材１２が圧縮され、ダイヤフラム４の変位に伴
ってステム５が上昇される。この際上側ベローズ７は圧
縮され、下側ベローズ１４は伸長されることになる。一
方、上記弁部においては、アクチュエータのばね部材１
２によりステム５、ボール２４およびボタン２３を介し
て付与されている下向きの押圧力が、ステム５の上昇に
伴って軽減されるためダイヤフラム２１が自己復元力に
よって弁座２０から離間し、流入路１６と流出路１７と
が相互に連通されることにより弁Ｂが開状態になる。
通孔９を介して空気室８に供給される操作用空気の圧力
が上昇すると、ダイヤフラム４およびばね座１１を介し
てばね部材１２が圧縮され、ダイヤフラム４の変位に伴
ってステム５が上昇される。この際上側ベローズ７は圧
縮され、下側ベローズ１４は伸長されることになる。一
方、上記弁部においては、アクチュエータのばね部材１
２によりステム５、ボール２４およびボタン２３を介し
て付与されている下向きの押圧力が、ステム５の上昇に
伴って軽減されるためダイヤフラム２１が自己復元力に
よって弁座２０から離間し、流入路１６と流出路１７と
が相互に連通されることにより弁Ｂが開状態になる。
【００１４】また、空気室８における空気圧が低下する
と、ばね部材１２の復元力によりダイヤフラム４、した
がってステム５が下降され、ボール２４およびボタン２
３を介してダイヤフラム２１が弁座２０に圧接されるこ
とにより弁Ｂが図示の閉状態になる。
と、ばね部材１２の復元力によりダイヤフラム４、した
がってステム５が下降され、ボール２４およびボタン２
３を介してダイヤフラム２１が弁座２０に圧接されるこ
とにより弁Ｂが図示の閉状態になる。
【００１５】上述のように、上記アクチュエータＡは全
ての構成部分が金属材料から形成されているので、弗素
系ゴムから形成されたシール部材を有する従来例に比べ
高温下における寿命が飛躍的に向上される。また、上記
従来例では温度限界が２００℃程度であるためガス化さ
れた高沸点有機金属のガス圧が不足気味であったが、上
記アクチュエータＡではより高温に耐え得るので、たと
えば２５０℃程度に加温することにより充分な圧送力を
確保できる。さらに、アクチュエータＡを含むガスシス
テム全体を恒温槽内に収容することができるから、シス
テムの温度制御をより簡素化することが可能になる。
ての構成部分が金属材料から形成されているので、弗素
系ゴムから形成されたシール部材を有する従来例に比べ
高温下における寿命が飛躍的に向上される。また、上記
従来例では温度限界が２００℃程度であるためガス化さ
れた高沸点有機金属のガス圧が不足気味であったが、上
記アクチュエータＡではより高温に耐え得るので、たと
えば２５０℃程度に加温することにより充分な圧送力を
確保できる。さらに、アクチュエータＡを含むガスシス
テム全体を恒温槽内に収容することができるから、シス
テムの温度制御をより簡素化することが可能になる。
【００１６】なお、本発明は上記実施例のみに限定され
るものではなく、例えば図２に示すように上側ベローズ
７をばね部材１２の外囲部に設けるとともに上記ダイヤ
フラム４を省略し、かつステム５の上端部が給気口６を
有して上側ハウジング１を摺動自在に貫通するようにし
てもよい。或いは、図３に例示するように上側ベローズ
７を省略するとともにステム５の上端部を上側ハウジン
グ１に摺動自在に設け、かつ上記ナット１９を連結部材
３と一体に設けるようにしてもよい。さらに、図４に例
示するように上記給気口６を下側ハウジング２に設け、
かつ上側ベローズ７を省略するようにしてもよい。その
他本発明の要旨とするところの範囲内で種々の変更ない
し応用が可能である。
るものではなく、例えば図２に示すように上側ベローズ
７をばね部材１２の外囲部に設けるとともに上記ダイヤ
フラム４を省略し、かつステム５の上端部が給気口６を
有して上側ハウジング１を摺動自在に貫通するようにし
てもよい。或いは、図３に例示するように上側ベローズ
７を省略するとともにステム５の上端部を上側ハウジン
グ１に摺動自在に設け、かつ上記ナット１９を連結部材
３と一体に設けるようにしてもよい。さらに、図４に例
示するように上記給気口６を下側ハウジング２に設け、
かつ上側ベローズ７を省略するようにしてもよい。その
他本発明の要旨とするところの範囲内で種々の変更ない
し応用が可能である。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、熱
負荷に対するシール性に優れたアクチュエータを提供す
ることができる。
負荷に対するシール性に優れたアクチュエータを提供す
ることができる。
【図１】本発明の一実施例を示す断面図。
【図２】同実施例の変形例を示す断面図。
【図３】同実施例の他の変形例を示す断面図。
【図４】同実施例のさらに他の変形例を示す断面図。
【図５】従来例を示す断面図。
Ａ…アクチュエータ、Ｂ…弁、１…上側ハウジング、２
…下側ハウジング、３…連結部材、４…ダイヤフラム、
５…ステム、６…給気口、７…上側ベローズ、８…空気
室、９…連通孔、１０，１１…ばね座、１２…ばね部
材、１３…ストッパ部、１４…下側ベローズ。
…下側ハウジング、３…連結部材、４…ダイヤフラム、
５…ステム、６…給気口、７…上側ベローズ、８…空気
室、９…連通孔、１０，１１…ばね座、１２…ばね部
材、１３…ストッパ部、１４…下側ベローズ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大川 宏 宮城県仙台市青葉区堤町一丁目12番１号 株式会社本山製作所内
Claims (1)
- 【請求項１】内部および外部の少なくともいずれか一方
が高温に曝される弁を空気圧に関連して制御するアクチ
ュエータにおいて、全構成部分を金属材料から形成する
ことを特徴とするアクチュエータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3904892A JPH05240370A (ja) | 1992-02-26 | 1992-02-26 | アクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3904892A JPH05240370A (ja) | 1992-02-26 | 1992-02-26 | アクチュエータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05240370A true JPH05240370A (ja) | 1993-09-17 |
Family
ID=12542248
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3904892A Pending JPH05240370A (ja) | 1992-02-26 | 1992-02-26 | アクチュエータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05240370A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006025466A1 (ja) * | 2004-08-31 | 2006-03-09 | Asahi Organic Chemicals Industry Co., Ltd. | 調節弁 |
| US7650903B2 (en) | 2004-08-31 | 2010-01-26 | Asahi Organic Chemicals Industry Co., Ltd. | Fluid controller |
| CN102313025A (zh) * | 2011-09-14 | 2012-01-11 | 刘工勤 | 液控启闭阀 |
| KR20140118756A (ko) * | 2013-03-27 | 2014-10-08 | 가부시키가이샤 호리바 에스텍 | 유체 제어 밸브 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63231510A (ja) * | 1987-03-20 | 1988-09-27 | Jgc Corp | 全自動圧力制御システム |
-
1992
- 1992-02-26 JP JP3904892A patent/JPH05240370A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63231510A (ja) * | 1987-03-20 | 1988-09-27 | Jgc Corp | 全自動圧力制御システム |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006025466A1 (ja) * | 2004-08-31 | 2006-03-09 | Asahi Organic Chemicals Industry Co., Ltd. | 調節弁 |
| US7650903B2 (en) | 2004-08-31 | 2010-01-26 | Asahi Organic Chemicals Industry Co., Ltd. | Fluid controller |
| US7878479B2 (en) | 2004-08-31 | 2011-02-01 | Asahi Organic Chemicals Industry Co., Ltd. | Adjustment valve |
| CN102313025A (zh) * | 2011-09-14 | 2012-01-11 | 刘工勤 | 液控启闭阀 |
| KR20140118756A (ko) * | 2013-03-27 | 2014-10-08 | 가부시키가이샤 호리바 에스텍 | 유체 제어 밸브 |
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