KR960043190A - 반도체장치의 커패시터 제조방법 - Google Patents
반도체장치의 커패시터 제조방법 Download PDFInfo
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Abstract
HSG 실리콘층을 이용한 반도체 메모리장치의 커패시터 제조방법에 대해 기재되어 있다.
이는 반도체기판 상에 제1도전층을 형성하는 제1공정, 제1도전층 상에 제1의 반구 모양의 그레인(HSG)을 갖는 실리콘층을 형성하는 제2공정, 결과물 상에 절연층을 형성하는 제3공정, 절연층 및 제1도전층을 부분적으로 식각하여 스토리지전극 패턴을 형성하는 제4공정, 결과물 전면에 제2의 반구 모양의 그레인을 갖는 실리콘층을 형성하는 제5공정, 스토리지전극 패턴의 측벽에 스페이서를 형성하는 제6공정, 스토리지전극 패턴의 상부 및 스토리지전극 패턴들 사이에 형성된 반구모양의 그레인을 갖는 실리콘층을 거하는 제7공정 및 스페이서를 제거하는 제8공정을 포함하는 것을 특징으로 한다. 따라서, 하부전극 사이와 그 상부에 형성된 HSG층을 제거 하기 위한 식각공정시 하부전극의 측벽에 형성된 HSG가 손상되지 않도록 할 수 있으므로 커패시터의 용량을 신뢰성있게 증가시킬 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2A도 내지 제2E도는 본 발명의 일 실시예에 따른 HSG 실리콘층을 이용한 커패시터의 제조방법을 설명하기 위한 단면도들이다.
Claims (5)
- 반도체기판 상에 제1도전층을 형성하는 제1공정; 상기 제1도전층 상에 제1의 반구 모양의 그레인(HSG)을 갖는 실리콘층을 형성하는 제2공정; 결과물 상에 절연층을 형성하는 제3공정; 상기 절연층 및 제1도전층을 부분적으로 식각하여 스토리지전극 패턴을 형성하는 제4공정; 결과물 전면에 제2의 반구 모양의 그레인을 갖는 실리콘층을 형성하는 제5공정; 상기 스토리지전극 패턴의 측벽에 스페이서를 형성하는 제6공정; 상기 스토리지전극 패턴의 상부 및 스토리지전극 패턴들 사이에 형성된 반구 모양의 그레인을 갖는 실리콘층을 제거하는 제7공정; 및 상기 스페이서를 제거하는 제 8공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체장치의 커패시터 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 절연층은 산화막, 질화막 및 산화막/질화막의 이중막 주의 어느 한 물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체장치의 커패시터 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 제3공정 후에, 상기 절연층 사에 오염방지층을 형성하는 공정을 추가하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리장치의 커패시터 제조방법.
- 제3항에 있어서, 상기 오염방지층은 비정질실리콘 또는 다결정실리콘으로 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리장치의 커패시터 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 스페이서는 산화막, 질화막 및 산화막/질화막의 이중막 중의 어느 한 물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체장치의 커패시터 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950013689A KR0168343B1 (ko) | 1995-05-29 | 1995-05-29 | 반구형 그레인 실리콘을 갖는 커패시터의 스토리지 전극의 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950013689A KR0168343B1 (ko) | 1995-05-29 | 1995-05-29 | 반구형 그레인 실리콘을 갖는 커패시터의 스토리지 전극의 제조방법 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR960043190A true KR960043190A (ko) | 1996-12-23 |
| KR0168343B1 KR0168343B1 (ko) | 1998-12-15 |
Family
ID=19415752
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950013689A KR0168343B1 (ko) | 1995-05-29 | 1995-05-29 | 반구형 그레인 실리콘을 갖는 커패시터의 스토리지 전극의 제조방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR0168343B1 (ko) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101663281B1 (ko) | 2015-03-13 | 2016-10-07 | 김윤길 | 자동차 방향지시장치 |
-
1995
- 1995-05-29 KR KR1019950013689A patent/KR0168343B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR0168343B1 (ko) | 1998-12-15 |
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