KR960039420A - 3극 필드 에미터 제조방법 - Google Patents
3극 필드 에미터 제조방법 Download PDFInfo
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Abstract
3극 필드 에미터를 제작할때, 공정을 단순화 시키고, 소자제작 공정시간을 단축시키며, 에미터 팁의 손상을 방지하기 위해, 실리콘층 상부에 열산화막을 형성하지 않는 공정을 사용함으로써, 공정이 단순하고, 열처리에 의한 팁의 손상을 방지할 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2a도 내지 제2f도는 본 발명에 의한 3극 필드 에미터의 제조공정을 순차적으로 나타내기 위한 정단면도.
Claims (2)
- 기판 상부에 제1포토레지스트층을 코팅한후 제1마스크 패턴을 형성하는 단계와; 상기 마스크 패턴 하부의 기판을 식각하여 팁을 형성한후 상부의 마스크패턴을 제거하는 단계와; 상기 팁 상부에 제2포토레지스트층을 코팅하고, 상기 제1마스크 패턴과 동일한 마스크 패턴을 이용하여, 하부의 제2포토레지스트층을 제거하여 제2마스크 패턴을 형성하는 단계와; 전체구조 상부로 부터 절연층과 게이트 전극층을 증착시키는 단계와; 상기 팁 상부의 제2포토레지스트층과 그 상부의 절연층과 게이트 전극층을 제거하는 단계를 포함하는 3극 필드 에미터 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 기판은 실리콘 등의 반도체 재료, 금속 또는 실리사이드중의 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 3극 필드 에미터 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950008326A KR960039420A (ko) | 1995-04-11 | 1995-04-11 | 3극 필드 에미터 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950008326A KR960039420A (ko) | 1995-04-11 | 1995-04-11 | 3극 필드 에미터 제조방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR960039420A true KR960039420A (ko) | 1996-11-25 |
Family
ID=66553416
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950008326A KR960039420A (ko) | 1995-04-11 | 1995-04-11 | 3극 필드 에미터 제조방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR960039420A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100546581B1 (ko) * | 1999-06-14 | 2006-01-26 | 엘지전자 주식회사 | 전계방출소자의 제조방법 |
-
1995
- 1995-04-11 KR KR1019950008326A patent/KR960039420A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100546581B1 (ko) * | 1999-06-14 | 2006-01-26 | 엘지전자 주식회사 | 전계방출소자의 제조방법 |
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