KR960039124A - 기판위에 막을 형성하기 위한 방법 및 장치 - Google Patents

기판위에 막을 형성하기 위한 방법 및 장치 Download PDF

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Abstract

상부 개구를 가진 컵이 개방공간에 설치되어 있고, 대기압 센서가 컵의 외부에 설치되어 있다. CPU는 대기압 센서에 의해 측정되는 대기압치를 기초로하여 기판의 표면위에 형성된 도포막의 두께변동을 보상하는 제어치를 계산한다. 공조기는 제어치에 따라 제어되고, 공조기에 의해서 컵 주위로 공급되는 청정한 공기의 온도 및 습도가 조절되고, 도포막의 두께 변동은 힘든 작업을 하지 않고서도 방지할 수 있다.

Description

기판위에 막을 형성하기 위한 방법 및 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 제1실시예로서 회전타입의 도포장치의 구조를 나타내느 모식도.

Claims (18)

  1. 기판위에 막을 형성하기 위해 상기 기판위로 도포액을 공급하기 위한 장치에 있어서, (a) 수평평면으로 상기 기판을 회전시키기 위한 회전수단과, (b) 상기 기판위에 상부개구를 가지며 상기 기판을 둘러싸는 컵 수단과, (c) 상기 기판위로 상기 도포액을 공급하기 위한 공급수단과, (d) 상기 기판위에 상기 막의 형성조건을 제어하기 위한 제어수단과, (e) 상기 컵의 외부에 설치되어 대기압을 감지하기 위한 센서수단과, (f) 상기 대기압의 변화에 기인한 상기 막의 두께 변화를 보상하기 위해 요구되는 상기 조건들의 적어도 하나에 대한 제어치를 결정하기 위한 결정수단과, (g) 상기 대기압과 상기 변화에 기인한 상기 막의 상기 두께변화가 보상되도록 상기 제어치를 나타내는 제어신호를 발생시키고, 상기 제어수단에 상기 제어신호를 공급하기 위한 신호발생수단을 포함하는 기판위에 막을 형성하기 위한 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 결정수단은, 상기 막의 두께와 상기 대기압의 각각의 값과의 관계를 나타내는 상관관계 데이타를 저장하기 위한 메모리수단과, 상기 상관관계 데이타를 통해 상기 대기압을 두께치를 전환하기 위한 전환수단(converter means)과, 상기 제어수단을 결정하기 위해 상기 두께치와 기준 두께치와의 차이를 계산하기 위한 계산수단을 가진 것을 특징으로 하는 기판위에 막을 형성하기 위한 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 계산수단은, 상기 상관관계 데이타를 통해 기준대기압치를 상기 기준 두께치로 전환하기 위한 수단을 가진 것을 특징으로 하는 기판위에 막을 형성하기 위한 장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 계산수단은, 상기 기준대기압치를 입력하기 위한 입력수단을 가진 것을 특징으로 하는 기판위에 막을 형성하기 위한 장치.
  5. 제2항에 있어서, 상기 계산수단은, 상기 기준두께치를 입력하기 위한 수단을 가진 것을 특징으로 하는 기판위에 막을 형성하기 위한 장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 제어수단은, 공기의 온도 및/또는 습도를 제어하고 상기 컵수단의 상기 상부개구를 통해 상기 기판으로 상기 공기를 공급하기 위한 공조기수단을 가지며, 상기 막의 상기 두께변화를 보상하기 위해 상기 공기의 상기 온도 및/또는 상기 습도를 변화시키기 위한 상기 공조수단에 제어신호가 공급되는 것을 특징으로 하는 기판위에 막을 형성하기 위한 장치.
  7. 제1항에 있어서, 상기 제어수단은 상기 회전수단에 이송되기 전에 상기 기판의 온도를 제어하기 위한 기판온도제어수단을 가지며, 상기 막의 상기 두께변화를 보상하기 위해 상기 기판의 상기 온도를 변화시키는 상기 기판온도 제어수단에 상기 제어신호가 공급되는 것을 특징으로 하는 기판위에 막을 형성하기 위한 장치.
  8. 제1항에 있어서, 상기 제어수단은, 상기 도포액의 온도를 제어하기 위한 도포액 온도수단을 가지며, 상기막의 상기 두께변화를 보상하기 위해 상기 도포액의 상기 온도를 변화시키는 상기 도포액 온도제어수단에 상기 제어신호가 공급되는 것을 특징으로 하는 기판위에 막을 형성하기 위한 장치.
  9. 제1항에 있어서, 상기 제어수단은, 상기 기판에 공금된 상기 도포액의 양을 제어하기 위한 도포액 양제어수단을 가지며, 상기 막의 상기 두께변화를 보상하기 위해 상기 도포액의 상기 양을 변화시키는 상기 도포액양 제어수단에 상기 제어신호가 공급되는 것을 특징으로 하는 기판위에 막을 형성하기 위한 장치.
  10. 제1항에 있어서, 상기 제어수단은, 상기 기판에 공급된 상기공기의 배기압을 제어하기 위한 배기압 제어수단을 가지며, 상기 막의 상기 두께변화를 보상하기 위해 상기 배기압을 변화시키는 상기 배기압 제어수단에 상기 제어신호가 공급되는 것을 특징으로 하는 기판위에 막을 형성하기 위한 장치.
  11. 제1항에 있어서, 상기 제어수단은 상기 기판의 회전속도를 제어하는 상기 회전수단을 구동하기 위한 속도제어수단을 가지며, 상기 막의 상기 두께변화를 보상하기 위해 상기 회전속도를 변화시키는 상기 속도제어수단에 상기 제어신호가 공급되는 것을 특징으로 하는 기판위에 막을 형성하기 위한 장치.
  12. 제1항에 있어서, 상기 제어수단은, 공기의 온도 및/또는 습도를 제어하고, 상기 공기를 상기 컵수단의 상부개구를 통하여 상기 공기를 상기 기판을 공급하기 위한 공조기 수단과, 상기 회전수단에 전달되기 전에 상기 기판의 온도를 제어하기 위한 기판온도제어수단과, 상기 도포액의 온도를 제어하기 위한 도포액 온도제어수단과, 상기 기판에 공급된 상기 도포액의 양을 제어하기 위한 도포액량 제어수단과, 상기 컵으로부터 상기 공기 배기압을 제어하기 위한 배기압 제어수단과, 상기 기판의 회전속도를 제어하는 상기 회전수단을 구동하기 위한 속도제어수단으로 구성되는 제어요소의 적어도 둘 이상을 가지며, 상기 막의 두께변화를 보상하기 위해 상기 제어요소의 적어도 둘 이상에 상기 제어신호가 공급되는 것을 특징으로 하는 기판위에 막을 형성하기 위한 장치.
  13. 기판위에 막을 형성하기 위해 상기 기판위에 도포액을 공급하는 방법에 있어서, (a) 상부에 개구를 가지며 상기 기판이 지지되는 컵을 제공하는 단계와, (b) 상기 기판위에 상기 막을 형성하는 조건을 제어하기 위한 제어수단을 제공하는 단계와, (c) 상기 컵의 외부에 규정된 소정의 위치에서 대기압을 검지하는 단계와, (d) 상기 대기압의 변화에 기인한 상기 막의 두께변화를 보상하기 위해 요구되는 조건중의 적어도 하나 이상에 대한 제어치를 결정하는 단계와, (e) 상기 제어치를 나타내는 제어신호를 발생시키고, 상기 조건의 적어도 하나 이상을 변화시키기 위해 상기 제어수단에 상기 제어신호를 공급하는 단계와, (f) 상기 컵내부에 규정된 수평평면에 상기 기판을 회전시키는 단계와, (g) 상기 기판위에 상기 막을 형성하기 위해 상기 기판위로 상기 도포액을 공급하는 단계를 포함하는 기판위에 막을 형성하기 위한 방법.
  14. 제13항에 있어서, 상기 (d) 단계는, (d-1) 상기 막의 상기 두께와 상기 대기압의 각각의 값 사이의 관계를 나타내는 상관 관계 데이타를 준비하는 단계와, (d-2) 상기 상관관계 데이타를 통하여 상기 대기압을 상기 두께치로 전환하는 단계와, (d-3) 상기 제어치를 결정하기 위해 상기 두께와 기준 두께치와의 차이를 계산하는 단계를 가지는 것을 특징으로 하는 기판위에 막을 형성하기 위한 방법.
  15. 제14항에 있어서, 상기 (d-3) 단계, 상기 상관관계 데이타를 통하여 기준 대기압치를 상기 기준두께치로 전환하는 단계를 가진 것을 특징으로 하는 기판위에 막을 형성하기 위한 방법.
  16. 제15항에 있어서, (d-3) 단계는, 수동작을 통하여 상기 기준 대기압치를 입력하는 단계를 가진 것을 특징으로 하는 기판위에 막을 형성하기 위한 방법.
  17. 제14항에 있어서, 상기 (d-3) 단계, 상기 기준두께치를 입력하는 단계를 가진 것을 특징으로 하는 기판위에 막을 형성하기 위한 방법.
  18. 제13항에 있어서, 상기 (e) 단계는, (e-1) 상기 제어신호에 대응하는 공기의 온도 및/또는 습도를 제어하고 상기 공기를 상기 컵의 상부개구를 통하여 상기 기판으로 공급하는 단계와, (e-2) 상기 회전수단에 전달되기 전에 상기 제어신호에 대응하는 상기 기판의 온도를 제어하는 단계와, (e-3) 상기 제어신호에 대응하는 상기 도포액의 온도를 제어하는 단계와, (e-4) 상기 제어신호에 대응하는 상기 도포액의 양을 제어하는 단계와, (e-5) 상기 제어신호에 대응하는 상기 공기의 배기압을 제어하는 단계와, (e-6) 상기 제어신호에 대응하는 상기 기판의 회전속도를 제어하는 단계중 적어도 하나 이상의 단계를 가지며, 상기 단계에 의해 상기 막의 상기 두께변화가 보상되는 것을 특징으로 하는 기판위에 막을 형성하기 위한 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개되는 것임.
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