KR960035817A - 반도체 소자의 콘택홀 형성방법 - Google Patents
반도체 소자의 콘택홀 형성방법 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 높은 단차를 이루는 고집적 소자에서도 양호한 스텝커버리지 특성을 나타내는 반도체 소자의 콘택홀 형성방법에 관한 것으로, 반도체기판에 게이트전극층, 절연층을 포함하는 하지층 형성후 평탄화층을 형성하되, 원하는 평탄화층의 두께보다 두껍게 형성하는 제1단계; 콘택 마스크를 사용한 리소그래피 공정을 통해 상기 평탄화층을 식각하되, 콘택홀 하부에 소정정도 잔류하도록 하는 제2단계; 콘택홀 하부의 식각률을 증대시키기 위해 불순물을 이온주입하는 제3단계; 블랭킷 에치백 식각으로 상기 평탄화층중 원하는 두께보다 더 형성된 두께 및 콘택홀 하부에 잔류하는 평탄화층을 제거하는 제4단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명의 일실시예에 따른 콘택홀 형성후 금속배선 형성과정을 나타내는 단면도.
제3도는 본 발명의 다른 실시예에 따른 콘택홀 형성과정을 나타내는 단면도.
Claims (5)
- 반도체 소자의 콘택홀 형성방법에 있어서, 반도체기판에 게이트전극층, 절연층을 포함하는 하지층형성후 평찬화층을 형성하되, 원하는 평탄화층의 두께보다 두껍게 형성하는 제1단계; 콘택 마스크를 사용한 리소그래피 공정을 통해 상기 평탄화층을 식각하되, 콘택홀하부에 소정정도 잔류하도록 하는 제2단계; 콘택홀 하부의 식각률을 증대시키기 위해 불순물을 이온주입하는 제3단계; 블랭킷 에치백 식각으로 상기 평탄화층 중 두께보다 더 형성된 두께 및 콘택홀 하부에 잔류하는 평탄화층을 제거하는 제4단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 콘택홀 형성방법.
- 제1항에 있어서, 상기 평탄화층은 불순물을 함유한 절연층인 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 콘택홀 형성방법.
- 제2항에 있어서, 상기 불순물을 함유한 절연층은 BPSG층인 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 콘택홀 형성방법.
- 제3항에 있어서, 상기 제1단계의 BPSG층은 예정된 두께의 1.5배 두께로 과다 증착한 후 플로우시킴으로써 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 콘택홀 형성방법.
- 반도체 소자의 콘택홀 형성방법에 있어서, 반도체기판에 게이트전극층, 절연층을 포함하는 하지층 형성후 평탄화층을 형성하는 제1단계; 질화층, 액상절연층을 형성하는 제2단계; 콘택 마스크를 사용한 리소그래피 공정을 통해 상기 액상절연층, 질화층, 평탄화층을 식각하되, 콘택홀 하부에 평탄화층이 소정정도 잔류하도록 하는 제3단계; 상기 질화층을 식각정지층으로 이용한 블랭킷 에치백 식각으로 상기 액상절연층 및 콘택홀 하부에 잔류하는 평탄화층을 제거하는 제4단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 콘택홀 형성방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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