KR960015666A - 평면 마그네트론 스퍼터링 장치 - Google Patents
평면 마그네트론 스퍼터링 장치 Download PDFInfo
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Abstract
개선된 목표물 이용 및 냉각 용량을 가진 평면 마그네트론 스퍼터링장치가 제공된다. 이 장치는 음극 몸체의 주요 구조로서 자석 요크를 포함한다. 이 자석 요크는 자석 분로 및 물리적 강도를 제공하는 저 탄소강으로 제조된다. 목표물은, 목표물의 측면 표면이 뒷받침판의 측면 표면파 실질적으로 접해있도록 금속 뒷받침판에 부착된다. 목표물의 하부 표면상에 밀폐된-루우프 자기장을 생성하기 위해 적합한 자석이 적용된다. 자석은 내부 연장된 자석 주위에 위치된 환상 구조를 가지는 외부 자석을 포함한다. 외부 자석은 뒷받침판의 출력을 따라 위치되고, 작은 자석은 보다 큰 활성 목표물 면적을 생성하기 위해 사용된다. 자석 요크는 또한 목표물의 측면표면을 따라 위치된 연장 구조물을 포함한다. 이들 연장부는 목표물의 모서리에서 자기장을 분리시킨다. 평면 마그네트론은 개선된 목표물 이용을 나타내고, 보다 균일한 필름을 부착시킨다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 평면 마그네트론의 복합 단면도이다,
제2도는 라인 2-2를 따라 취해진 제1도의 평면 마그네트론의 명면도이다,
제3도는 지지체의 나비에 따른 위치에 대한 스퍼터링된 티타늄 필름의 두께 변화%를 설명하는 그래프이다,
제4도는 평면 마그네트론에 적용된 힘 및 수냉각재의 온도 사이의 상관관계를 설명하는 그래프이다.
Claims (11)
- 상부 목표물 둘레를 가진 상부 목표물 표면, 스퍼터링될 물질의 평면 하부 목표물 표면, 및 측면 표면을 가지는 목표물; 하부 목표물 표면상에 밀폐된 루우프 자기장을 생성하기 위한 상부 목표물 표면에 인접하게 및 그 위에 위치된 자석 장치; 및 상기 자석 표면의 일부와 열 전달되는 하나 이상의 제1냉각재 채널을 한정하는 외부 돌출부 및 내부 돌출부를 가지는 자석 요크로서, 이때, 외부 돌출부는 자기장을 분리시키기 의해 목표물의 측면 표면에 인접하게 위치된 연장 장치로 구성되는 평면 마그네트론 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 자석 장치가 내부 자석 및 외부 자석으로 구성되고, 외부 자석이 상부 목표물 둘레의 일부에 인접하게 및 그에 따라 위치되며, 내부 돌출부가 상기 내부 자석에 부착되고, 외부 돌출부가 상기 외부 자석에 부착되는 평면 마그네트론.
- 제1 또는 2항에 있어서, 목표물의 측면 표면에 인접하게 위치된 측면 바아 구조들을 또한 포함하고, 상기 연장 장치 및 상기 측면 바아 구조물은 그 사이내에 암흑부를 한정하는 평면 마그네트론.
- 제3항에 있어서, 측면 바아 구조물 하나 이상의 제2냉각제채널을 한정하는 평면 마그네트론.
- 제2,3 또는 4항 중 어느 한 항에 있어서, 외부 자석이 환상 공간을 한정하는 환상 구조물로 구성되고, 내부 자석이 상기 환상 공간내에 중앙에 위치된 연장된 내부 자석으로 구성되는 평면 마그네트론.
- 제1-5항 중 어느 한 항에 있어서, 상부 목표물 표면이 거리 W와 같은 나비 및 길이를 가지는 직사각형으로 모양지워지고, 목표물의 횡단면을 따라 거리 W1와 같은 나비를 가지는 연장된 내부 자석이 목표물의 길이를 따라 목표물의 모서리와 평행하고, 외부 자석이 목표물의 횡단면을 따라 거리 W1와 같은 일괄 나비를 가지고, W1및 W2이 W의 약 18% 이하인 평면 마그네트론.
- 제1-6항 중 어느 한 항에 있어서, 목표물의 반대 측면상에 위치된 한쌍의 연장된 양극 구조물을 또한 포함하고, 각 양극이 목표물로 부터 균일하게 떨어져있는 평면 마그네트론.
- 제7항에 있어서, 각각의 연장된 양극 구조물은 상기 평면 하부 목표를 표면과 공면인 평면양극 표면을 한정하는 평면 마그네트론.
- 제1-8항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 자석 장치는 NdFeB 자석으로 구성되는 평면 마그네트론.
- 제1-9항 중 어느 한 방에 있어서, 목표물이, 스퍼터링될 물질에 부착된 하부 뒷받침판 표면, 및 상부 목표물 표면을 한정하는 상부 뒷받침판 표면을 가지는 뒷받침판을 포함하는 평면 마그네트론.
- 제10항에 있어서, 뒷받침판이 구리로 제조되는 평면 마그네트론.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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