KR960009700B1

KR960009700B1 - 단결정체를 추출하기 위한 장치

Info

Publication number: KR960009700B1
Application number: KR1019880011865A
Authority: KR
Inventors: 드렉셀 디에텔; 제리초 카알
Original assignee: 레이볼드 앗크티엔게젤샤프트; 베.-데. 밧텐슈라그, 에. 투테
Priority date: 1987-10-03
Filing date: 1988-09-14
Publication date: 1996-07-23
Also published as: DK209788A; JPH0196087A; FI884510A0; EP0310739A3; FI88313C; EP0310739B1; JP2635688B2; DE3733487C2; DE3877486D1; KR890006529A; DE3733487A1; DK209788D0; FI88313B; EP0310739A2; FI884510A

Abstract

요약 없음

Description

단결정체를 추출하기 위한 장치

제1도는 본 발명의 단결정체를 추출하기 위한 장치의 종단면도.

제2도 및 제3도는 본 발명의 바닥가열기에 대한 A-A선 단면도 및 평면도.

제4도는 본 발명의 용해물 도가니와 방열부를 옆에서 둘러싸고 있는 광선보호관에 대한 종단면도.

제5도와 제6도는 제1도와 일치하는 실린더 가열부에 대한 B-B선 종단면도 및 평면도.

제7도 내지 제9도는 교체될 수 있는 고리모양의 편편한 가열체에 대한 서로 상이한 도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

3 : 관저4 : 증기관

4' : 뚜껑부분5 : 지지관

7 : 원형통8 : 흑연펠트연판

9, 9a : 전기공급부10 : 바닥가열기

11, 11a : 전기공급부12, 12a : 처크조오

13 : 방열부14, 28 : 도가니

15 : 광선보호관16, 18 : 단열부

17, 17a : 덮개판23 : 공급판

24 : 주입관26 : 수직기둥

28 : 장입물29 : 보충링

30 : 돌출부31, 32 : 가열기 밑받침

33, 34 : 가열벨로우즈35 : 개구부

36, 36' : 길게 절재된 홈38 : 가열판

37, 37' : 길게 절재된 홈39 : 외벽

40, 40a : 가열기 토대41, 41a : 들어내기 홈

42, 42a : 쐐기43, 43' : 장방향 공간

49 : 통풍요소52 : 진공실

53 : 중심공부54 : 바닥면

55 : 도가니 테두리56 : 가열체 가장자리

57, 57a : 가장자리 홈58 : 개구부

59 : 가열체60 : 평면부

61, 62 : 가열기 밑받침63, 63' : 긴 홈

64, 64' : 긴홈65, 66 : 들어내기 홈

67 : 접합관68 : 접안렌즈

본 발명은 도가니가 설치되어 있는 진공실과, 용해물의 방열부와, 용해물 위에 있는 통풍요소와, 단결정체가 통풍요소를 통하여 용해물 표면에서 상부로 흡인할 수 있고 열전지의 열복사에 의하여 가열할 수 있으며, 중심 공부가 형성되어 있는 덮개판이 설치되어 있는 진공실 하부에 있는 도가니 속에 들어 있는 용해물에서 단결정체를 인출하기 위한 장치에 관한 것이다.

진공 조건하에 있는 단결정체를 용해물에서 추출할때에는 근본적으로, 도가니 가장자리의 온도가 가능한 한 낮게 유지되고, 용해물 속에서 형성되는 흐름이 없어야 한다는 것이다.

단결정체를 추출할때 불리한 작용을 막기 위하여, 이미 단결정체의 추출에 사용되는 잘 알려진 장치(US-PS 3,359,077)에는, 온도의 변화를 줄이기 위한 용해물 덮개가 용해물의 표면에 설치되었다. 그 밖에 잘알려진 바와 같이(EU-O 170 856), 용해물을 담기 위한 도가니 두개가 설치되고, 원통형의 씌우개가 구비되어 있으며, 재충전 장치의 주입관이 배치됨으로써, 도가니의 안쪽 씌우개의 모퉁이와 씌우개 사이에 남아 있는 테두리 부분은 나중에 용해물로 채워질 수 있다.

종래 잘 알려진 이 장치에는 그 밖에 두개의 난방장치가 설치되어 있으며, 이 가운데 한쪽은 편편하고 원판 모양의 형태로 도가니의 아래쪽에 받쳐져 있고, 다른쪽은 도가니를 에워싸고 있는 오목한 원추형의 물체로 되어 있다.

끝으로 또다른 잘 알려진 장치(US 3,511,610)은, 처음 결정체의 단부와 용해물 사이의 과도한 온도차를 줄이는데 도움을 주며, 그 대문에 처음 결정체가 들어 있는 부분에는 가열 장치가 설치되고, 여기서 나온 열은 처음 결정체가 들어 있는 부분에 의하여 처음 결정체로 전달될 수 있다. 결정 멈춤쇠를 위한 통풍요소에 부착된 판이 여기에 도움이 된다.

본 발명의 기초가 되어 있는 과제는, 지속적으로 운반되는 용해물의 용해물 개선하는 것, 추출과정에 있어서 용해물을 끌어올리는데 불안정한 점을 최대한 없애는 것, 그리고, 뒤에 쌓이는 용해물을 용해하기 위하여 에너지가 통과할때 생기는 도가니 벽의 온도상승을 막는 것이다.

발명의 취지에 따라 이 과제는, 도가니의 바닥면과 평행면에 설치된 약간 둥글고 편편한 바닥가열기와, 도가니를 적어도 부분적으로 둘러싸고 있으며 바닥가열기 면에 수직으로 배치된 원추형의 실린더 방열부에 의해서 성취되며, 이 실린더 방열부의 상단부는 바닥가열기와 평행인 약간 편편한 가열기 위로 지나가고, 이 가열기는 도가니의 테두리와 둥근 덮개판의 아래쪽 측면 사이에 있는 평면에 배치된다.

실린더 방열부 중에서 플랜지의 역할을 하여 용해물을 위에서부터 적어도 부분적으로 덮고 있는 부분은, 도가니 전체를 가열하지 않고도, 나중에 쌓이는 용해물을 직접 가열할 수 있게 한다.

둥글고 편편한 부분이 있는 원통형의 방열부 대신에, 원판모양의 편편한 가열체가 설치될 수 있으며, 이것의 둥글고 편편한 부분은 도가니의 테두리와 둥근 고리 모양이 덮개판의 아래쪽 측면 사이의 평면 상에 배치되고, 이때 고리모양의 편편한 부분에는 하향 수직으로 연설되어 있는 하나 또는 여러개의 가열기 밑받침이 있으며, 이 가열기 밑받침은 처크조오에 설치되어 있는 들어내기 홈헤 맞물림하고 있고, 이때 가열기 밑받침은 들어내기 홈에 끼워져 있거나 쐐기나 나사 못으로 조여진다.

첫번째(도가니에 가열하고 따뜻하게 가온하는) 바닥가열기 및 두번째(쌓이는 용해물에 직접 작용하는) 실린더 방열부(13)의 전력공급은 목적에 맞도록 분리되어 행하여지는 바, 그 이유는 실린더 방열부의 가열작용은 시간단위에 공급되는 용해물의 양에 직접 좌우되기 때문이다. 그 중에서도 특히, 판상의 바닥가열기는 도가니 받침 수직 기둥에 평행으로 배치된 막대형태인 두개 이상의 전기공급부에 의하여 지지되며, 이때 전기공급부의 한쪽은 증기관의 받침판을 절연된 상태에서 뚫고 나가 있으며, 다른쪽은 바닥가열기의 가열기 밑받침에 부착되어 있다. 전기공급부에 견고하게 연결된 바닥가열기의 밑받침은, 반원 모양의 두부분상에 연결되며, 이때 가운데 개구부를 막고 있는 이 부분은 휘어져서 굽은 가열코일로 만들어진다. 본 장치의 장점은, 원통형으로 만들어진 실린더 방열부의 환형의 편편한 부분에, 길게 절개된 홈이 많이 개설되어 있으며, 이 홈들은 원통형의 외벽 내측까지 절개되어 있다는 것이다.

양자 택일적으로 또는 추가적으로, 원통형의 실린더 방열부의 외벽에는, 이 외벽에 분리하여 배치된 많은 홈이 개설되어 있으며, 이 홈들은 방열부의 아래쪽 가장자리로부터, 내측을 향하여 급경사를 이루며 뻗어 있는 고리모양의 편편한 부분까지 개설되어 있다.

본 발명의 목적에 알맞도록 실린더 방열부의 외벽에는 하향으로 연설되어 있는 가열기 토대가 형성되어 있으며, 이것은 내측으로 급경사를 형성하고 연설되어 있으면서 전기공급부에 의하여 지지되는 처크조오에 요설되어 있는 들어내기 홈에 맞물림 되어 있다.

이때 방열부의 가열기 토대는 쐐기에 의하여 약간 직사각형의 들어내기 홈에 조여지거나 나사못 또는 일반 못으로 조여진다. 쌓인 용해물이 지속적으로 공급될 수 있도록 하기 위하여, 원통형의 방열부의 평평한 가열판에 가장자리 홈 또는 들어내기 홈이 요설되어 있으며, 이것을 통하여 공급관의 주입관은 증기관의 외측에 설치되어 있는 충전 장치를 통과한다.

그중에서도 특히 도가니와 바닥가열기 및 방열부는 원통형의 광선보호관에 의하여 적어도 부분적으로 둘러싸이고, 이 보호관의 장방형 공간이 개설되어 있는 아래쪽 하연부는 보호관에 의하여 증기관의 지지관이 지지되는 용해물 원형통 위에 걸쳐진다.

이때 용해물 원형통은 도가니의 바닥면의 평면과 평행으로 되어 있는 평면에 설치되며, 도가니 받침 수직기 등이 뚫고 나오는 통로가 되는 가운데 개구부가 형성된다. 열의 손실을 최대한 줄이면서 가열을 균등하게 분배하기 위하여, 도가니의 갈려진 틈 옆에서 용해물을 받아내기 위한 원형통, 보호관 및 도가니 위에 배치되고 보호관에 의하여 받쳐지는 덮개판은 특히 흑연펠트로 만들어진 절연체 연판으로 덮여진다.

용해물이 흔들리지 않게 하기 위하여, 용해물의 통과용 중심공부가 형성된, 도가니속에 집중적으로 설치된 오목한 원통형 씌우개는 용해물과 반응하지 않는 재료로 만들어져 있으며, 이때 충전액이 담긴 주입관은 보충링의 바깥면과 도가니의 모퉁이와 경계진 곳으로 끼어들어간다.

본 장치에 있어서, 용해물과 반응하지 않는 재료로 만들어진 연판 또는 씌우개가 도가니의 내측벽에 설치됨으로써, 그리고 도가니 상부에 배치된 방열부의 고리 모양의 편편한 부분이 커버됨으로써 용해물의 불순물이 제거된다.

본 장치는 근본적으로 다음과 같은 부속으로 구성된다. 즉 장치는 이중벽으로 된 증기관의 관저(3) 위에 얹혀 있고 또한 내부에 진공실(52)이 형성되어 있는 이중벽으로 구성된 증기관(4)과, 증기관(4) 내부에 설치되어 있고 증기관의 관저(3) 위에 얹혀 있는 한편, 그 바깥 둘레가 보온재(6)로 들러 쌓아져 있는 지지관(5)과, 지지관(5)에 의하여 지지되며 내부에 흑연펠트연판(8)이 적층되어 있고, 개구부(58)가 있는 원통형의 용해물 원형통(7)과, 이 원형통(7) 위에 고정되어 있는 바닥가열기(10)용으로서 증기관의 관저(3)에 착설되어 있는 두개의 전기공급부(9)(9a)와, 가열체 가장자리(56) 하부에서 들어내기 홈(41)(41a)에 삽입되어 있는 정면 방열기 또는 실린더 방열부(13)가 끼워져 있는 처크조오(12)(12a)를 나사로 나사 붙임하며, 증기관의 관저(3)에 고정되어 있는 다른 두개의 전기공급부(11)(11a)와, 도가니 테두리(55) 있는 바닥면(54)이 설치된 용해용 도가니(14)와, 측면에 단열부(16)가 설치되어 있고, 원형통(7) 상에 지지되어 있는 광선보호관(15)과, 상부에 단열부(18)가 설치되어 있고 광선보호관(15)에 의하여 지지되어 있는 덮개판(17)과, 보호유리판(21)(22)이 개착되어 있는 입구벽(19)(20)과, 지금(地金)을 장입하기 위한 공급관(23)과, 덮개판(17)(17a)을 통과하여 외측으로 돌출되어 있는 주입관(24)과, 그리고 도가니 받침 수직기둥(26)을 지지하기 위한 것으로 회전할 수 있고 상하로 움직일 수 있는 도가니 굴대(25)로 구성되어 있다.

두개의 전기공급부(9)(9a)에 의하여 지지되는 바닥가열기(10)는 제2도와 제3도에 도시되어 있고, 서로 대향하도록 놓여 있는 측면의 두개의 가열기 밑받침(31)(32)과, 그때마다 굽은 모양으로 형성된 두개의 가열벨로우즈(33)(34)로 구성된다.

가열벨로우즈(33)(34)는 바닥가열기(10)의 중앙에 한개의 개구부(35)가 형성되어 있고, 이 개구부(35)를 통하여 도가니 받침 수직기둥(25)이 외측으로 연결된다. 도가니 받침 수직기둥(26)은 그 상단부가 도가니(14)에 견고하게 연결되어 있으며, 그 위로 도가니(14)가 상하로 움직일 뿐만 아니라, 회전할 수도 있다.

제5도와 제6도에 상세히 도시되어 있는 씌우개 방열부(13)는, 급경사를 이루며 길게 절개된 홈(36)(36'…), (37)(37'…)이 개설되어 있는 고리 모양으로 둥글고 편편한 가열판(38)과, 중공된 원통형의 외벽(39)으로 형성된다.

중공된 원통형 외벽(39)은 서로 대향하도록 설치되어 있는 부분에, 하향으로 연설되어 있는 가열기 토대(40)(40a)가 연설되어 있으며, 이들은 전류공급부(11)(11a)에 의하여 지지되어 있는 두개의 처크조오(12)(12a)속으로 박혀져 있다.

처크조오(12)(12a)에 요설되어 있는 두개의 들어내기 홈(41)(41a)속으로 실린더 방열부(13)가 안전하게 들어가도록 하기 위하여, 추가로 쐐기(42)(42a)가 사다리꼴의 들어내기 홈(41)(41a)에 삽입되어 있다. 가장자리 홈(57)(57a)은 주입관(24)이 잘 삽입되게 한다.

제4도에 도시된 광선 보호관(15)에는 네개의 사각형의 장방형 공간(43)(43'…)이 개시되어 있으며, 이들은 광선보호관(15)의 크기에 균일하게 분할되어, 가장자리 하부에 개설되어 있다.

이 장방형 공간(43)(43'…)을 통하여, 한쪽에는 처크조오(12)(12a)가 나와 있고, 다른쪽에는 바닥가열기(10)의 가열기 밑받침(31)(32)이 나와 있다.

나아가서, 광선보호관(15)에는 경사진 구멍(45)이 천공되어 있으며, 이 경사진 구멍(45)은 덮개판(17)(17a)의 보호유리판(21) 및 증기관(4)의 벽에 부착된 접합관(47)의 보호유리(46)에 의하여 외부로 통한다.

광선보호관(15)의 벽주변에 천공되어 있는 다른 구멍(48)(48'…)(48''…)들은 가스가 증기관(4)의 내부공간의 상부 절단면으로부터 하부 절단면 속으로 아무런 방해를 받음이 없이 통과할 수 있게 된다.

그밖에, 증기관(4)의 뚜껑 부분(4')에는, 통풍요소(49)가 통과하는 구멍(48)이 설치되어 있다. 또, 한가지 언급할 수 있는 것은, 증기관(4)의 뚜껑부분(4')에는 그밖에 접안렌즈(51)가 설치되어 있는 보다 넓은 덮개(50)가 있다는 점이다.

두개의 전기공급부(9)(9a)에는 다양하게 공간이 형성되어 있는 바닥가열기(10)가 흑연너트(27)(27a)에 나사로 고정되어 있다. 바닥가열기(10)의 과제는 도가니 내지는 용해물을 하부 정면으로부터 가열하는 것이다.

추가로 설치되어 있는 두개의 전기공급부(11)(11a)에는, 깊은 남비의 가열기 역할을 하는 씌우개 방열부(13)가 처크조오(12)(12a) 위에 고정되어 있다. 윗쪽의 정면에 있는 가열기는 지속적으로 공급되는 축적용해물의 용해를 개선한다. 실린더 방열부(13)는 규소를 용해하는 경우에, SiC로 커버된다. 이것은 흑연 조각이 용해물 속으로 떨어져서, 탄소오염이 생기는 것을 방지하기 위한 것이다. 또한, 흑연과 SiO의 반응(2C+SiO→SiC+Co)도 지지된다.

도면에 점선으로 표시한 선은, 아르곤 가스의 흐름(69)을 나타낸다. 이것은 구멍(48) 위를 지나서 중심공부(53)을 통과하며, 용해물 위를 지나, 또는 도가니(14) 주위를 돌아, 구멍(48)(48'…)을 통하여 아래쪽 가열기 장치의 중앙에는, 용해물과 반응하지 아니하는 재료로 만들어진 도가니(28)가 내주면에 끼워져 있는 흑연 도가니(14)가 설치되어 있다. 추출이 진행되는 동안 용해물이 쌓일때 안전한 추출을 보증하기 위하여, 역시 용해물과 반응하지 아니하는 재료로 만들어진 보충링(29)이 도가니(28) 내부에 설치된다.

보충링(29)이 하단부에는 돌출부(30)가 형성되어 있고, 이것을 통하여 용해된 용해물이 용해 도가니(14) 내주면에 끼워진 도가니(28)의 중앙으로 흐를수 있다.

바닥가열기(10)와 씌우개 방열부(13)의 둘레에는 열의 전달을 막는 흑연펠트연판(8)과 단열부(16)(18)가 설치되어 있다. 이것은, 원형통(7), 추가 흑연펠트연판(8), 실린더로 형성되고 광선보호관(15)을 위로 밀고 있는 측면 단열부(16), 그리고, 윗쪽 정면의 단열부(18)로 구성되어 있다. 윗쪽의 덮개판(17)(17a)은 단열부(18)와 함께 증기관(4)이 내주면에서 유지된다.

제7도 내지 제9도에는, 제2의 가열체로서 교대로 사용할 수 있는 가열체(59)가 도시되어 있다.

이 가열체(59)는 근본적을 벨로우즈형의 긴 홈(63)(64)이 형성되어 있는 원반형의 평면부(60)로 구성되어 있고, 이 평면부(60)에는 두개의 가열기 밑받침(61)(62)과 두개의 들어내기 홈(65, 66)이 직각으로 연설되어 있다. 가열체(59)의 온도는 개별적으로 조절할 수 있으며, 이 때문에 도가니(14)(28)속에 들어있는 도가니의 온도는, 용기관(4)의 뚜껑부분(4')에 설치하고 있고 접안렌즈(68)가 있는 접합관(67) 상에서 측정될 수 있다.

도가니(14)(28)속에 들어있는 미용해물이 주입관(24) 위로 운반되는 경우에는, 다음에 채워지는 용해물은 오직 두번째 가열체(제4-6도, 내지 제7도-제9도) 위에서만 즉각 신속하게 용해될 수 있다.

다음에 채워지는 용해물은 용해물의 최소한의 동요에 의하여 운반될 수 있고, 더우기 이때 도가니(14)(28) 자체는 보다 강한 열을 받지 않아도 된다.

Claims

도가니(14)(28)가 설치되어 있는 진공실(52)과, 용해물의 바닥가열기(10) 및 실린더 방열부(13)와 용해물 위에 설치되어 있는 통풍요소(49)와, 단결정체가 통풍요소(49)를 통하여 용해물 표면에서 윗쪽으로 흡입될 수 있고 열전지의 복사열에 의하여 가열될 수 있고, 중심공부(53)가 개설된 있는 덮개판(17)(17a) 단열부(18)가 설치되어 있는 진공실(52)의 아래쪽에 있는 도가니(14)(28)속에 들어있는 용해물에서 단결정체를 끌어올리기 위한 것으로서, 도가니(14)(28)의 바닥면(54)과 평행으로 놓여진 평면의 넓게 설치된 원형의 편평한 바닥가열기(10)와, 기본적으로 원통형이면서 적어도 부분적으로는 도가니(14)(28)를 에워싸면서 바닥가열기(10)의 수평면에서 수직으로 설치된 실린더 방열부(13)가 있으며, 이것의 상단면은 바닥가열기(10)에 평행으로 놓여진 편평한 가열판(38) 위에 설치되고, 이 편평한 가열판(38)은 도가니(14)(28)의 상단부인 도가니 테두리(55)와 덮개판(17)(17a) 및 단열부(18)의 아래쪽 사이의 평면에 설치됨을 특징으로 하는 단결정체를 추출하기 위한 장치.
도가니(14)(28)가 설치되어 있는 진공실(52)과, 용해물의 바닥가열기(10) 및 실린더 방열부(13)와, 단결정체가 통풍요소(49)에 의하여 용해물의 표면으로부터 상부로 흡입할 수 있는 통로가 되어 중심공부(53)가 형성되어 있는 덮개판(17)(17a) 및 단열부(18)가 설치되어 있는 진공실 아래쪽에 설치된 도가니(14)(28)속에 들어 있는 용해물에서 단결정체를 흡인하기 위한 것으로서, 도가니(14)(28)의 바닥면(54)과 평행으로 놓여진 평면에 넓게 형성된 약간 둥글고 편평한 바닥가열기(10)와, 근본적으로 원형이고 편평한 가열체(59)가 형성되어 있으며, 이것은 도가니(14)(28)의 상단인 도가니 테두리(55)와 고리모양의 덮개판(17)(17a) 및 단열부(18)의 아래쪽 사이에 있는 평면에 설치되고, 이때 가열체(59)에는 처크조오(12)(12a)에 요설되어 있는 들어내기 홈(41)(41a)속에 삽입되어 아래쪽에 수직으로 연설되어 있는 복수의 가열기 밑받침(61)(62)이 형성되어 있으며, 가열기 밑받침(61)(62)은 들어내기 홈(41)(41a)속에서 조여지고, 쐐기(42)(42a)로 조여지거나 나사못으로 조여짐을 특징으로 하는 단결정체를 추출하기 위한 장치.
제1항에 있어서, 둥글고 편평한 바닥가열기(10)가 도가니 받침 수직기둥(26)에 평행으로 설치되어 있는 기중 모양의 복수의 전기공급부(9)(9a)상에 고정되고, 여기서 전기공급부(9)(9a)는 증기관(4)과 뚜껑부분(4')의 증기관의 관저(3)에 부착되며, 절연체위를 지나 바깥으로 통하게 됨을 특징으로 하는 단결정체를 추출하기 위한 장치.
제1항에 있어서, 전기공급부(9)(9a)와 견고하게 연결된 바닥가열기(10)의 가열기 밑받침(31)(32)이 반원형의 두 부분에 열결되어 있고, 이때 중앙의 개구부(35)를 막고있는 부분은, 휘어지고 굽어있는 가열 밸로우즈(33)(34)로 이루어짐을 특징으로 하는 단결정체를 추출하기 위한 장치.
제2항에 있어서, 원통형으로 형성된 실린더 방열부(13)의 둥글고 편평한 부분에는 중공된 원통형 외벽(39) 내측으로 길게 개설되어 있는 길게 절개된 홈(37)(37'…)이 형성됨을 특징으로 하는 단결정체를 추출하기 위한 장치.
제5항에 있어서, 원통형으로 형성된 실린더 방열부(13)의 중공된 원통형 외벽(39)에는 길게 절개된 홈(36)(36'…)이 절개되어 있으며, 이 홈(36)(36'…)들은 실린더 가열부(13)의 가열체 가장자리(56)로부터 안쪽으로 급경사를 이루며 설치되어 있는 둥글고 편평한 방열부(13)의 편평한 가열판(38) 내측으로 배치됨을 특징으로 하는 단결정체를 추출하기 위한 장치.
제6항에 있어서, 중공된 원통형 외벽(39) 또는 두번째 방열부로서 실린더 가열부(13) 및 가열체(59)의 둥글고 편평한 부분에는 하향으로 연설되어 들러내기홈(41)(41a)속에 맞물림되어 있는 가열기 토대(40)(40a) 및 가열 밑받침(61)(62)이 연설되어 있으며, 이 들어내기 홈(41)(41a)은 안쪽으로 향하여 급경사를 형성하여서 전기공급부(11)(11a)에 의하여 지지되어 있는 처크조오(12)(12a)에 끼워붙여져 있고, 여기서 실린더 방열부(13)의 가열기 토대(40)(40a)는 쐐기(42)(42a)에 의하여 약간 직사각형을 형성하고 있는 들어내기 홈(41)(41a)속에서 조여져 있어가 나사못이나 일반못으로 조여짐을 특징으로 하는 단결정체를 추출하기 위한 장치.
제7항에 있어서, 실린더 방열부(13) 및 가열체(59)의 둥글고 편평한 가열판(38) 및 평면부(60)에는 가장자리홈(57)(57a)이나 들어내기 홈(65)(66)이 요설되어 있고, 이것을 통하여 공급관(23)의 주입관(24)은 증기관(4) 및 뚜껑부분(4')의 외부에 설치된 층전장치에 연결됨을 특징으로 하는 단결정체를 추출하기 위한 장치.
제7항에 있어서, 도가니(14)(28)와 바닥가열기(10) 내지 실린더 방열부(13) 및 가열체(59)는 원통형의 광선보호관(15)에 의하여 적어도 부분적으로 둘러싸여 있고, 이 광선보호관(15)은 장방형 공간(43, 43'…)이 개설되어 있는 테두리를 나타내는 것과 함께 받침부분 또는 지지관(5)에 의하여 증기관의 관저(3)에 설치되어 있는 용해물 원통형(7)을 받침으로 삼고 있으며, 여기서 용해물 원통형(7)은 도가니(14)(28)의 바닥면(54)의 평면과 평행으로 놓여있는 평면내에 설치되며, 중앙에 개구부(58)가 개설되어 있고, 이 개구부(58)를 통하여 도가니 받침 수직기둥(26)이 밖으로 연결되어 있음을 특징으로 하는 단결정체를 추출하기 위한 장치.
제9항에 있어서, 원통형(7)과 광선보호관(15) 및 도가니(14)(28)의 상부에 설치되고 광선보호관(15)에 의하여 지지되고 있는 덮개판(17)(17a)은 특히 흑연펠트로 만들어진 흑연펠트연판(8) 및 단열부(16)(18)로 덮여져 있음을 특징으로 하는 단결정체를 추출하기 위한 장치.
제9항에 있어서, 도가니(14)(28)속에 집중적으로 삽입되어 있고, 용해물의 통과를 위한 오목한 중심공부(53)나 돌출부(30)가 구비되어 있는 보충링(29)이 용해물과 반응되지 아니하는 재료로 만들어짐을 특징으로 하는 단결정체를 추출하기 위한 장치.
제9항에 있어서, 도가니(14)의 내주벽에 용해물과 반응하지 않은 재료로 만들어진 씌우개 또는 장입물(28)이 설치되어 있고, 한편으로는 장입물(28)의 환형 바깥벽과, 다른 한편으로는 도가니의 테두리(55)와 경계해 있는 도가니(14)(28)속에 주입관(24)이 끼워져 있음을 특징으로 하는 단결정체를 추출하기 위한 장치.
제9항에 있어서, 적어도 도가니(14)(28)의 상부에 설치되어 있는 실린더 방열부(13) 및 가열체(59)의 둥글고 편평한 가열판(38) 및 평면부(60)는 마모되거나 그을음이 없는 재료에 의하여 커버되어 있다는 것과, 실린더 방열부(13) 및 가열체(59)의 성분이 용해물 속으로 떨어지지 않음을 특징으로 하는 단결정체를 추출하기 위한 장치.
제2항에 있어서, 가열체(59)의 둥글고 편평한 평면부(60)에 곡선으로 개설되어 있는 긴 홈(63)(63'…)(64)(64'…)이 많이 있고, 평면부(60)의 가장자리로부터 아래쪽 수직으로 연설되어 있는 가열기 밑받침(61)(62)이 설치되어 있음을 특징으로 하는 단결정체를 추출하기 위한 장치.