KR890006527A - 단결정체를 추출하기 위한 장치 - Google Patents

단결정체를 추출하기 위한 장치 Download PDF

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KR890006527A
KR890006527A KR1019880010202A KR880010202A KR890006527A KR 890006527 A KR890006527 A KR 890006527A KR 1019880010202 A KR1019880010202 A KR 1019880010202A KR 880010202 A KR880010202 A KR 880010202A KR 890006527 A KR890006527 A KR 890006527A
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드렉셀 디에텔
제리초 카알
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베.-데.밧텐슈라그,에.투.테
레이볼드 앗크티엔게젤샤프트
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Abstract

내용 없음

Description

단결정체를 추출하기 위한 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 단결정체를 추출하기 위한 장치의 종 단면도.
제2도 및 제3도는 본 발명의 바닥 가열기에 대한 A-A선 단면도 및 평면도.

Claims (14)

  1. 도가니(14)(28)가 설치되어 있는 진공실(52)과, 용해물의 바닥 가열기(10) 및 실린더 방열부(13)와, 용해물 위에 설치되어 있는 통풍 요소(49)와, 단결정체가 통풍 요소(49)를 통하여 용해물 표면에서 위쪽으로 흡입될 수 있고, 열전지의 복사열에 의하여 가열될 수 있고, 중심공부(53)가 개설된 덮개판(17)(17a)및 단열부(18)가 설치되어 있는 진공실(52)의 아래쪽에 있는 도가니(14)(28) 속에 들어 있는 용해물에서 단결정체를 끌어 올리기 위한 것으로서, 도가니(14)(28)의 바닥면(54)고 평행으로 놓여진 평면의 넓게 설치된 원형의 편편한 바닥가열기(10)와, 근본적으로 원통형이면서 적어도 부분적으로는 도가니(14)(28)를 에워싸면서 바닥가열기(10)의 수평면에 수직으로 설치된 실린더 방열부(13)가 있으며, 이것의 상단면은 바닥가열기(10)에 평행으로 놓여진 평평한 가열판(38)위에 설치되고, 이 평평한 가열판(38)은 도가니(14)(28)의 상단부인 도가니 테두리(55)와 덮개판(17)(17a) 및 단열부(18)의 아래쪽 사이의 평면에 설치되어 있음을 특징으로 하는 단결정체를 추출하기 위한 장치.
  2. 도가니(14)(28)가 설치되어 있는 진공실(52)과, 용해물의 바닥 가열기(10) 및 실린더 방열부(13)와, 단결정체가 통풍 요소(49)에 의하여 용해물의 표면으로부터 상부로 흡인할 수 있는 통로가 되어 중심공부(53)가 형성되어 있는 덮개판(17)(17a) 및 단열부(18)가 설치되어 있는 전공실(52) 아래쪽에 설치된 도가니(14)(28)속에 들어있는 용해물에서 단결정체를 흡인하기 위한 것으로서, 도가니(14)(28)의 바닥면(54)과 평행으로 놓여진 평면엔 넓게 형성된 약간 둥글고 편편한 바닥가열기(10)와, 근본적으로 원형이고 편편한 가열체(59)가 형성되어 있으며, 이것은 도가니(14)(28)의 상단 도가니 테두리(55)와 고리 모양의 덮개판(17)(17a) 및 단열부(18)의 아래쪽 사이에 있는 평면에 설치되고, 이때 가열체(59)에는 처크조오 (12)(12a)에 요설되어 있는 들어내기홈(41)(41a)속에 삽입되어 아래쪽에 수직으로 연설되어 있는 복수의 가열기 밑받침(61)(62)이 형성되어 있으며, 가열기 밑받침(61)(62)은 들어내기홈(41)(41a)속에서 조여지고, 쐐기(42)(42a)로 조여지거나 나사못으로 조여지는 것을 특징으로 하는 단결정체를 추출하기 위한 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 둥글고 편편한 바닥가열기(10)가 도가니 받침 수직기둥(26)에 평행으로서 설치되어 있는 기둥 모양의 복수의 전기공급부(9)(9a) 상에 고정되고, 여기서 전기공급부(9)(9a)는 증기관(4)과 뚜껑부분(4')의 증기관의 관저(3)에 부착되며, 절연체 위를 지나 바깥으로 통하게 됨을 특징으로 하는 단결정체를 추출하기 위한 장치.
  4. 제1항 내지 제3항에 있어서, 전기공급부(9)(9a)와 견고하게 연결된 바닥가열기(10)의 가열기 밑받침(31)(32)에 반원형의 두 부분에 연결되어 있고, 이때 중앙의 개구부(35)를 막고 있는 부분은 휘어지고 굽어 있는 가열벨로우즈(33)(34)로 이루어지고 있는 것을 특징으로 하는 단결정체를 추출하기 위한 장치.
  5. 제1항과 제3항에 있어서, 원통형으로 형성된 실린더 방열부(13)의 둥글고 편편한 부분에는 중공된 원통형 외벽(39)내측으로 길게 개설되어 있는 길게 절개된 흠(37)(37'…)이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 단결정체를 추출하기 위한 수단.
  6. 제1항, 제3항과 제5항에 있어서, 원통형으로 형성된 실린더 방렬부(13)의 중공된 원통형 외벽(39)에는 길게 절개된 홈(36)(36'…)이 절개되어 있으며, 이 흠(36)(36'…)들은 실린더 가열부(13)의 가열체 가장자리(56)로부터 안쪽으로 급경사를 이루며 설치되어 있는 둥글고 편편한 방열부(13)의 평평한 가열판(38)내측으로 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 단결정체를 추출하기 위한 장치.
  7. 제1항 내지 제6항중 한개 또는 여러 항에 있어서, 중공된 원통형 외벽(39) 또는 두번째 방열부로서 실린더 가열부(13) 및 가열체(59)의 둥글고 편편한 부분에는 하향으로 연설되어 들어내기홈(41)(41a)속에 맞물림 되어 있는 가열기 토대(40)(40a) 및 가열기 밑받침(61)(62)이 연설되어 있으며, 이 들어내기홈(41) (41a)은 안쪽으로 향하여 급경사를 형성하여서 전기공급부(11)(11a)에 의하여 지지되어 있는 처크조오(12)(12a)에 끼워 붙임 되어 있고 여기서 실린더 방열부(13)의 가열기 토대(40)(40a)는 쐐기(42)(42a)에 의하여 약간 직사각형을 형성하고 있는 들어내기 홈(41)(41a) 속에서 조여져 있거나 나사 못이나 일반 못으로 조여진다는 것을 특징으로 하는 단결정체를 추출하기 위한 장치.
  8. 제1항 내지 제7항중 한개 또는 여러 항에 있어서, 실린더 방열부(13) 및 가열체(59)의 둥글고 편편한 평평한 가열판(38) 및 평면부(60)에는 가장자리 홈(57)(57a)이나 들어내기 홈(65)(66)이 요설되어 있고, 이것을 통하여 공급판(23)의 주입관(24)은 증기관(4) 및 뚜껑 부분(4')의 외부에 설치된 충전장치에 연결된다는 것을 특징으로 하는 단결정체를 추출하기 위한 장치.
  9. 제1항 내지 제8항중 한개 또는 여러 항에 있어서, 도가니(14)(28)와, 바닥 가열기(10) 내지 실린더 방열부(13) 및 가열체(59)은 원통형의 광신보호관(15)에 의하여 적어도 부분적으로 둘러싸 있고, 이 광신보호관(15)은 장방형 공간(43, 43' …)이 개설되어 있는 테두리를 나타내는 것과 함께, 받침부분 또는 지지관(5)에 이하여 증기관의 관저(3)에 설치되어 있는 용해물 원통형(7)을 받침으로 삼고 있으며, 여기서 용해물 원통형(7)은 도가니(14)(28)의 바닥면(54)의 평면과 평행으로 놓여 있는 평면 내에 설치되며, 중앙에 개구부(58)가 개설되어 있고, 이 개구부(58)를 통하여 도가니 받침 수직기둥(26)이 밖으로 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 단결정체를 추출하기 위한 장치.
  10. 전항들중 한개 또는 여러항에 있어서, 원통형(7)과 광신보호관(15) 및 도가니(14)(28)의 상부에 설치되고 광신보호관(15)에 의하여 지지되고 있는 덮개판(17) (17a)은 특히 흑연 펠트로 만들어진 흑연펠트 연판(8) 및 단열부(16)(18)로 덮어져 있는 것을 특징으로 하는 단결정체를 추출하기 위한 장치.
  11. 전항들 중 한개 또는 여러 항에 있어서, 도가니(14)(28)속에 집중적으로 삽입되어 있고, 용해물의 통과를 위한 오목한 중심공부(53)나 돌출부(30)가 구비되어 있는 보충링(29)이 용해물과 반응되지 아니하는 재료로 만들어지는 것을 특징으로 하는 단결정체를 추출하기 위한 장치.
  12. 전항들 중 한개 또는 여러 항에 있어서, 도가니(14)의 내주벽에 용해물과 반응하지 않은 재료로 만들어진 씌우개 또는 장입물(28)이 설치되어 있고, 한편으로는 장입물(28)의 환형 바깥벽과 다른 한편으로는 도가니의 테두리(55)와 경계해 있는 도가니(14)(28)속에 주입관(24)이 끼워져 있는 것을 특징으로 하는 단결정체를 추출하기 위한 장치.
  13. 전항들 중 한개 또는 여러 항에 있어서, 적어도 도가니(14)(28)의 상부에 설치되어 있는 실린더 방열부(13) 및 가열체(59)의 둥글고 편편한 가열판(38) 및 평면부(60)는 마모되거나 그을음이 없는 재료에 의하여 커버되어 있다는 것과, 실린더 방열부(13) 및 가열체(59)의 성분이 용해물 속으로 떨어지지 않는 것을 특징으로 하는 단결정체를 추출하는 장치.
  14. 제2항에 있어서, 가열체(59)의 둥글고 편편한 평면부(60)에 곡선으로 개설되어 있는 긴 홈(63)(63'…)(64)(64'…)이 많이 있고, 평면부(60)의 가장자리로부터 아래쪽 수직으로 연설되어 있는 가열기 밑받침(61)(62)이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 단결정체를 추출하기 위한 장치.
    ※참고사항: 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4968380A (en) * 1989-05-24 1990-11-06 Mobil Solar Energy Corporation System for continuously replenishing melt
JP2525246B2 (ja) * 1989-07-05 1996-08-14 東芝セラミックス株式会社 粒状シリコン原料供給装置
AU632886B2 (en) * 1990-01-25 1993-01-14 Ebara Corporation Melt replenishment system for dendritic web growth
US5016683A (en) * 1990-03-27 1991-05-21 General Signal Corporation Apparatus for controllably feeding a particulate material
JP2754104B2 (ja) * 1991-10-15 1998-05-20 信越半導体株式会社 半導体単結晶引上用粒状原料供給装置
DE4218123C2 (de) * 1992-06-02 1996-05-02 Leybold Ag Vorrichtung für die kontinuierliche Zuführung von Chargengut für einen Schmelztiegel und deren Verwendung
DE4301072B4 (de) * 1993-01-16 2006-08-24 Crystal Growing Systems Gmbh Verfahren zum Ziehen von Einkristallen aus einer Schmelze
US5762491A (en) * 1995-10-31 1998-06-09 Memc Electronic Materials, Inc. Solid material delivery system for a furnace
DE19813453A1 (de) * 1998-03-26 1999-09-30 Leybold Systems Gmbh Kristall-Ziehanlage
DE19813452A1 (de) * 1998-03-26 1999-09-30 Leybold Systems Gmbh Kristall-Ziehanlage
US6089285A (en) * 1998-04-29 2000-07-18 Memc Electronics Materials, Inc. Method and system for supplying semiconductor source material
KR20070091590A (ko) * 2007-08-13 2007-09-11 이영섭 터보 냉각방식의 led 램프 가로등 .
CN104264229B (zh) * 2014-10-09 2016-08-24 河北晶龙阳光设备有限公司 一种单晶炉在线掺杂装置

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US990555A (en) * 1910-10-10 1911-04-25 Halbert K Hitchcock Charging glass-pots.
US1589011A (en) * 1923-08-04 1926-06-15 Lyman B Langworthy Art of sheet piling
US1713543A (en) * 1926-04-15 1929-05-21 Adolph W Machlet Furnace for melting metals
GB845505A (en) * 1955-07-22 1960-08-24 Rogor Strange Waddington Device for filling containers with liquids
US3139479A (en) * 1961-11-07 1964-06-30 Paramount Optical Mfg Corp Spectacle frame
FR2001330A1 (ko) * 1968-02-06 1969-09-26 Vogel Rudolf
DE1946900B2 (de) * 1969-09-17 1975-01-09 Demag Ag, 4100 Duisburg Glchtverschluß für im Hochdruckverfahren betreibbare Schachtöfen, insbesondere für Druck-Hochöfen
US3573337A (en) * 1969-10-08 1971-04-06 Sueddeutsche Kalkstickstoff Feeding arrangement for an electric furnace having a tubular electrode
US3960503A (en) * 1974-12-27 1976-06-01 Corning Glass Works Particulate material feeder for high temperature vacuum system
US3998686A (en) * 1975-03-10 1976-12-21 Corning Glass Works Sapphire growth from the melt using porous alumina raw batch material
US4071151A (en) * 1976-11-24 1978-01-31 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Vibratory high pressure coal feeder having a helical ramp
DE2821481C2 (de) * 1978-05-17 1985-12-05 Wacker-Chemitronic Gesellschaft für Elektronik-Grundstoffe mbH, 8263 Burghausen Vorrichtung zum Ziehen von hochreinen Halbleiterstäben aus der Schmelze
US4212317A (en) * 1978-08-02 1980-07-15 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Vacuum interlock
US4410494A (en) * 1981-04-13 1983-10-18 Siltec Corporation Apparatus for controlling flow of molten material between crystal growth furnaces and a replenishment crucible
US4547258A (en) * 1982-12-22 1985-10-15 Texas Instruments Incorporated Deposition of silicon at temperatures above its melting point
US4668478A (en) * 1984-07-02 1987-05-26 General Signal Corporation Vertically positioned transfer system for controlling and initiating the flow of metered amounts of solid materials
CA1261715A (en) * 1984-07-06 1989-09-26 General Signal Corporation Apparatus and process for growing monocrystals of semiconductor materials from shallow crucibles by czochralski technique
US4661324A (en) * 1985-02-15 1987-04-28 Mobil Solar Energy Corporation Apparatus for replenishing a melt
WO1986006109A1 (en) * 1985-04-16 1986-10-23 Energy Materials Corporation Method and apparatus for growing single crystal bodies

Also Published As

Publication number Publication date
EP0314858B1 (de) 1991-08-28
EP0314858A1 (de) 1989-05-10
DK209888D0 (da) 1988-04-18
US4904143A (en) 1990-02-27
FI92412B (fi) 1994-07-29
KR890006528A (ko) 1989-06-14
FI884962A0 (fi) 1988-10-27
FI884962A (fi) 1989-05-01
DK209888A (da) 1989-05-01
JPH01153590A (ja) 1989-06-15
JP2642452B2 (ja) 1997-08-20
FI92412C (fi) 1994-11-10
DE3864492D1 (de) 1991-10-02
DE3737051A1 (de) 1989-05-11

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