KR890006528A - 용해물을 지속적으로 운반하기 위한 장치 - Google Patents

용해물을 지속적으로 운반하기 위한 장치 Download PDF

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KR890006528A
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Abstract

내용 없음

Description

용해물을 지속적으로 운반하기 위한 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 지속적으로 작동하며 나중에 채워질 수 있는 본 발명의 충전장치에 대한 종 단면도.
제2도는 본 발명의 제1도에 의하여 아래 저수탱크를 통한 부분 측면과 함께 충전장치의 평면도.
제3도는 본 발명의 충전장치에 대한 측면도 및 안내관과 안내기둥에 대한 종 단면도.

Claims (13)

  1. 폐쇄할 수 있는 위 아래 저수탱크(3)(12)가 설치되어 있는 진공증기관과, 분리 밸브 또는 수문밸브(10)와, 용해물 도가니로 흘러 들어와 위 저수탱크(3)와 연결된 유출관(18)속에 들어 있는 용해물에서 단결정체를 추출할때 지속적으로 운반하기 위한 것으로서, 위 저수탱크(3)에 위 저수탱크(3)의 형태에 알맞고 내주면에 부착하여 잇는 벽판자(4)와, 원추형 벽 판자 절단부(4')와 여기에 연결된 원통형 유출구(4'")가 형성되어 있고, 이때 유출구(4'")는 수문밸브(10)위를 지나 아래 저수탱크(12)의 연결용 접한관(11)속으로까지 이동할 수 있으며, 아래 저수탱크(12)는 진공증기관의 벽을 통하여 밖으로 통과 하는 유출관(18) 내지 엘보우(26)의 위를 지나 용해물 도가니의 상부로 흘러들어 가는 것을 특징으로 하는 용해물을 지속적으로 운반하기 위한 장치.
  2. 제1항에 있어서, 벽판자(4)의 원추형 벽판자 절단부(4')를 둘러싸고 있는 위 저수탱크(3)의 절단부(3')는 주름잡힌 포장(5)위에서 수문밸브(10)의 입구쪽 부분(10')과 강한 압력에 의하여 연결되어 있고, 이때 연결용 접합관(11) 상부에 있는 수문밸브(10)의 출구쪽 부분(10")은 일정한 압력을 유지하면서 아래 저수 탱크(12)의 상부에 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 용해물을 지속적으로 운반하기위한 장치.
  3. 제1항과 제2항에 있어서, 위 저수탱크(3)는 지지아암(35)위에서 수압실린더(28), 안내관(29)(30), 안개기둥(31), 유도관(32)(33), 수직기둥(34), 지지아암(35)(36)의 관절부와 연결되어 있고, 이 관절부 위쪽에서 두개의 위 아래 저수탱크(3)(12)간으 간격 (A)을 변경할 수 있음을 특징으로 하는 용해물을 지속적으로 운반하기 위한 장치.
  4. 제1항 내지 제3항에 있어서, 아래쪽에 있는 저수탱크(12)의 수문밸브(10)를 연결시키는 연결용 접합관(11)에 관형 유출누두(16)가 내측에 설치되어 있고, 이 하단부는 아래 저수탱크(12)의 내측까지 연설되어 있으며, 또한 누두부분(16')으로 나타나 있는 것을 특징으로 하는 용해물을 지속적으로 운반하기 위한 장치.
  5. 제1항 내지 제4항에 있어서, 아래 저수탱크(12) 내부에 설치되어 있는 진동장치(15)에 이 진동장치(15)에 의하여 움직이는 저수용기(17)가 설치되어 있으며, 관형 유출누두(16)의 원추형 누두부분(16') 또는 유출누두를 에워싸고 있는 연결용 접합관(11)의 누두부분(16')은 위에서부터 저수용기(17) 내측으로 유입되고, 이때 저수용기(17)에는 유출관(18)과 일치 하는 통구(19) 또는 유출구가 형성되어 있음을 특징으로 하는 용해물을 지속적으로 운반하기 위한 장치.
  6. 전항 중 하나 또는 여러 항에 있어서, 보호관(49)은 유출관(18)을 적어도 부분적으로 에워싸고 있으며, 보호관(49)의 일단은 아래 저수탱크(12)와 견고하게 연결되어 있고 타단은 주름잡힌 포장(25)의 외향플랜지(23)와 견고하게 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 용해물을 지속적으로 운반하기 위한 장치.
  7. 제6항에 있어서, 보호관(49)에는 여러개의 구멍 또는 공백(50)이 형성되어 있으며, 유출관(18)은 투명한 재료, 예컨대 석영으로 만들어지는 것을 특징으로 하는, 용해물을 지속적으로 운반하기 위한 장치.
  8. 제6항과 제7항에 있어서, 주름잡힌 포장(25)은 유출관(18)의 공백부 단부를 에워싸고 있으며, 이때 주름잡힌 포장(25)의 도가니쪽 단부에는 외향플랜지(24)가 형성되어 있으며, 이것은 용해물 도가니 내부까지 한쪽 단부가 뻗어 있는 통구(19)와 연결될 수 있는 것을 특징으로 하는 용해물을 지속적으로 운반하기 위한 장치.
  9. 제6항 내지 제8항에 있어서, 주름잡힌 포장(25)의 두개의 외향플랜지(23)(24)는 코일 스프링(21)(22)위에서 서로 연결되어 있고, 조임보울트(51)(52)로 서로 마주보며 조여있고, 이때 유출관(18)의 도가니쪽 단부는 도가니쪽 외향플랜지(24)에 의하여 강한 압력하에 에워싸져 있음을 특징으로 하는 용해물을 지속적으로 운반하기 위한 장치.
  10. 전항 중 하나 또는 여러 항에 있어서, 수문밸브(10)와 아래 저수탱크(12) 사이에 있는 연결용 접합관(11)에는 정반대로 마주보고 놓여 있는 구경(53)(54)이 설치되고 있고, 이때 투명격자(13)의 센서가 구경(53)(54)의 기준선 안쪽에 배치된 다는 것을 특징으로 하는 용해물을 지속적으로 운반하기 위한 장치.
  11. 전항중 하나 또는 여러 항에 있어서, 벽판자(4)의 깔대기형 유출구(4")를 막기 위하여 원추형 마개(27)가 위 저수탱크(3)속에 이동할 수 있도록 배치되고, 마개의 상단부는 이 저수탱크의 벽 상부에 회전할 수 있게 설치되어 있는 굴대(39)와 함께 작동 하는 철사줄(40)에 연결되어 있으며, 이때 굴대(39)의 회전으로 인하여 철사줄(40)의 공백 부분의 길이가 짧아지고 이 때문에 마개(27)가 매달리게 되는 것을 특징으로 하는 용해물을 지속적으로 운반하기 위한 장치.
  12. 전항중 하나 또는 여러 항에 있어서, 상부의 전면에 저수용기(17)가 설치되어 있는 진동장치(15)가 아래쪽에 수용될 수 있는 아래덮개(14)의 안쪽에 부착되어 있고, 이때 아래덮개(14)는 접합관(44)과 핸들 수레바퀴(45), 폐쇄봉(46), 지지아암(47) 및 안내축받이(48)들의 수직으로 움직일 수 있는 폐쇄봉(46)과 함께 지지아암(47)위로 작동 하는 것을 특징으로 하는 용해물을 지속적으로 운반하기 위한 장치.
  13. 전항 중 하나 또는 여러 항에 있어서, 원통형 유출구(4'")와 함께 작동 하는 폐쇄장치(55)(55')가 수문밸브(10)에 설치되어 있고, 이 폐쇄장치(55)(55')는 깔대기형 유출구(4″)와 원추형마개(27)가 열릴때, 유출누두(16)속에서 올라가는 먼지 때문에 수문밸브(10)가 가온되는 것을 방지 하는 것을 특징으로 하는 용해물을 지속적으로 운반하기 위한 장치.
    ※ 참고사항 : 최초 출원 내용에 의하여 공개 하는 것임.
KR1019880011866A 1987-10-31 1988-09-14 용해물을 지속적으로 운반하기 위한 장치 KR890006528A (ko)

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Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4968380A (en) * 1989-05-24 1990-11-06 Mobil Solar Energy Corporation System for continuously replenishing melt
JP2525246B2 (ja) * 1989-07-05 1996-08-14 東芝セラミックス株式会社 粒状シリコン原料供給装置
AU632886B2 (en) * 1990-01-25 1993-01-14 Ebara Corporation Melt replenishment system for dendritic web growth
US5016683A (en) * 1990-03-27 1991-05-21 General Signal Corporation Apparatus for controllably feeding a particulate material
JP2754104B2 (ja) * 1991-10-15 1998-05-20 信越半導体株式会社 半導体単結晶引上用粒状原料供給装置
DE4218123C2 (de) * 1992-06-02 1996-05-02 Leybold Ag Vorrichtung für die kontinuierliche Zuführung von Chargengut für einen Schmelztiegel und deren Verwendung
DE4301072B4 (de) * 1993-01-16 2006-08-24 Crystal Growing Systems Gmbh Verfahren zum Ziehen von Einkristallen aus einer Schmelze
US5762491A (en) * 1995-10-31 1998-06-09 Memc Electronic Materials, Inc. Solid material delivery system for a furnace
DE19813453A1 (de) * 1998-03-26 1999-09-30 Leybold Systems Gmbh Kristall-Ziehanlage
DE19813452A1 (de) * 1998-03-26 1999-09-30 Leybold Systems Gmbh Kristall-Ziehanlage
US6089285A (en) * 1998-04-29 2000-07-18 Memc Electronics Materials, Inc. Method and system for supplying semiconductor source material
KR20070091590A (ko) * 2007-08-13 2007-09-11 이영섭 터보 냉각방식의 led 램프 가로등 .
CN104264229B (zh) * 2014-10-09 2016-08-24 河北晶龙阳光设备有限公司 一种单晶炉在线掺杂装置

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US990555A (en) * 1910-10-10 1911-04-25 Halbert K Hitchcock Charging glass-pots.
US1589011A (en) * 1923-08-04 1926-06-15 Lyman B Langworthy Art of sheet piling
US1713543A (en) * 1926-04-15 1929-05-21 Adolph W Machlet Furnace for melting metals
GB845505A (en) * 1955-07-22 1960-08-24 Rogor Strange Waddington Device for filling containers with liquids
US3139479A (en) * 1961-11-07 1964-06-30 Paramount Optical Mfg Corp Spectacle frame
SE335745B (ko) * 1968-02-06 1971-06-07 R Vogel
DE1946900B2 (de) * 1969-09-17 1975-01-09 Demag Ag, 4100 Duisburg Glchtverschluß für im Hochdruckverfahren betreibbare Schachtöfen, insbesondere für Druck-Hochöfen
US3573337A (en) * 1969-10-08 1971-04-06 Sueddeutsche Kalkstickstoff Feeding arrangement for an electric furnace having a tubular electrode
US3960503A (en) * 1974-12-27 1976-06-01 Corning Glass Works Particulate material feeder for high temperature vacuum system
US3998686A (en) * 1975-03-10 1976-12-21 Corning Glass Works Sapphire growth from the melt using porous alumina raw batch material
US4071151A (en) * 1976-11-24 1978-01-31 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Vibratory high pressure coal feeder having a helical ramp
DE2821481C2 (de) * 1978-05-17 1985-12-05 Wacker-Chemitronic Gesellschaft für Elektronik-Grundstoffe mbH, 8263 Burghausen Vorrichtung zum Ziehen von hochreinen Halbleiterstäben aus der Schmelze
US4212317A (en) * 1978-08-02 1980-07-15 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Vacuum interlock
US4410494A (en) * 1981-04-13 1983-10-18 Siltec Corporation Apparatus for controlling flow of molten material between crystal growth furnaces and a replenishment crucible
US4547258A (en) * 1982-12-22 1985-10-15 Texas Instruments Incorporated Deposition of silicon at temperatures above its melting point
US4668478A (en) * 1984-07-02 1987-05-26 General Signal Corporation Vertically positioned transfer system for controlling and initiating the flow of metered amounts of solid materials
CA1261715A (en) * 1984-07-06 1989-09-26 General Signal Corporation Apparatus and process for growing monocrystals of semiconductor materials from shallow crucibles by czochralski technique
US4661324A (en) * 1985-02-15 1987-04-28 Mobil Solar Energy Corporation Apparatus for replenishing a melt
EP0221051A1 (en) * 1985-04-16 1987-05-13 Energy Materials Corporation Method and apparatus for growing single crystal bodies

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Publication number Publication date
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DE3864492D1 (de) 1991-10-02
US4904143A (en) 1990-02-27
FI884962A0 (fi) 1988-10-27
DK209888D0 (da) 1988-04-18
DK209888A (da) 1989-05-01
EP0314858B1 (de) 1991-08-28
EP0314858A1 (de) 1989-05-10
FI92412B (fi) 1994-07-29
FI92412C (fi) 1994-11-10
JP2642452B2 (ja) 1997-08-20

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