FI88313B - Anordning foer dragning av enkristaller - Google Patents
Anordning foer dragning av enkristaller Download PDFInfo
- Publication number
- FI88313B FI88313B FI884510A FI884510A FI88313B FI 88313 B FI88313 B FI 88313B FI 884510 A FI884510 A FI 884510A FI 884510 A FI884510 A FI 884510A FI 88313 B FI88313 B FI 88313B
- Authority
- FI
- Finland
- Prior art keywords
- crucible
- melt
- heating
- heating body
- annular
- Prior art date
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B15/00—Drawing glass upwardly from the melt
- C03B15/14—Drawing tubes, cylinders, or rods from the melt
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B15/00—Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method
- C30B15/10—Crucibles or containers for supporting the melt
- C30B15/12—Double crucible methods
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B15/00—Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method
- C30B15/14—Heating of the melt or the crystallised materials
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
1 883,3
Laite yksittäiskiteiden vetämiseksi
Keksinnön kohteena on laite yksittäiskiteiden vetämiseksi upokkaassa olevasta sulasta tyhjössä tyhjökam-5 miolla, johon upokas on järjestetty, sulan kuumentamisel la, sulan yläpuolella olevalla veto-osalla ja aukolla varustetulla kannella sulan yläpuolella, jonka läpi yksit-täiskide voidaan vetää veto-osan avulla sulanpinnasta ylöspäin ja joka on kuumennettavissa kuumennuslaitteen 10 lämpösäteilyllä.
Vedettäessä yksittäiskiteitä tyhjöolosuhteissa sulasta on lämpötilanvaihtelut upokkaan reunassa pidettävä olennaisesti niin pieninä kuin mahdollista ja vältettävä sulassa muodostuvia virtauksia.
15 Yksittäiskiteiden vetämisessä haitallisten vaiku tusten vastustamiseksi asetettiin jo tunnetussa laitteessa yksittäiskiteiden vetämiseksi (US-PS 3 359 077) sulan päälle kansi lämpögradienttien laskemiseksi sulan pinnassa .
20 Edelleen on tunnettua (EP-0 170 856) varustaa su lalle tarkoitettu upokas kaksinkertaisella seinämällä ja sylinterimäisellä sisäkkeellä ja järjestää jälkipanostus-laitteen täyttösuppilo siten, että jälkipanostusaine voidaan asettaa upokkaan sisemmän seinämän reunan ja panok-. . 25 sesta jäävän reunaosan väliin. Tämä aikaisemmin tunnettu laite on sitäpaitsi jo varustettu kahdella kuumennuslait-teella, joista toinen on litteä, pyöreän levyn muotoinen ja sijaitsee upokkaan alapuolella ja toinen on muodostettu ontoksi, sylinterimäiseksi, upokasta ympäröiväksi kappa-30 leeksi.
Lopuksi on vielä yksi laite tunnettu (US 3 511610), joka toimii liiallisen lämpötilaeron laskemiseksi ymppäys-kiteen pään ja sulan välissä, minkä lisäksi ymppäyskidettä kannattava osa on varustettu kuumennuslaitteella, josta 35 lämpö voidaan johtaa ymppäyskiteeseen kannattimen avulla.
2 883,3 Tässä toimii apuna veto-osassa oleva levy kiteenpidikettä varten.
Esillä olevan keksinnön tehtävänä onkin nyt parantaa jatkuvasti johdetun panosaineen sulattamista, välttää 5 mahdollinen jatkuva häiriö kylvyssä panostettaessa veto-vaiheen aikana ja estää upokkaan seinän lämpötilannousuja energialäpäisyn johdosta jälkipanostusaineen sulattamisek-si.
Keksinnönmukaisesti ratkaistaan tämä tehtävä upok-10 kaan pohjapintaan nähden yhdensuuntaisella pinnalla kulkevalla, suunnillleen renkaan muotoisella, litteällä ensimmäisellä kuumennuskappaleella ja olennaisesti sylinteri-mäisellä, upokasta ainakin osittain ympäröivällä, ensimmäisen kuumennuskappaleen pintaan nähden pystysuoraan jär-15 jestetyllä toisella kuumennuskappaleella, jonka yläpää ylittää suunnilleen levymäisen ensimmäisen kuumennuskappaleen suhteen yhdensuuntaisen kuumennuskappaleen, joka on järjestetty upokkaan yläreunan ja renkaanmuotoisen kannen väliseen tasoon.
20 Toisen kuumennuskappaleen laippaosaksi muodostettu ja sulaa ainakin osittain ylhäältäpäin peittävä osa tekee mahdolliseksi jälkipanostetun sula-aineen välittömän kuumennuksen ilman, että upokas tulee kuumennetuksi.
Sylinterimäisen, rengasmaisella, litteällä osalla 25 varustetun toisen kuumennuskappaleen sijasta voidaan käyttää myös olennaisesti pyöreää levymäistä, litteää toista kuumennuskappaletta, jonka renkaanmuotoinen, litteä osa on järjestetty upokkaan yläreunan ja rengasmaisen kannen alapuolen väliselle tasolle, jolloin renkaanmuotoisessa, 30 litteässä osassa on yksi tai useampia pystysuorassa alaspäin ulottuvia lämmittäjän jalkoja, jotka tulevat syvennyksiin, jotka sijaitsevat pihdeissä, jolloin lämmittimen jalat on lukittu, kiilattu tai ruuvattu syvennyksiin.
Sekä ensimmäisen (upokasta kuumentavan tai sen läm- 3 883,3 pötilaa säätävän) että myös toisen (suoraan panostusainee-seen vaikuttavan) kuumennuskappaleen sähkönsyöttö tapahtuu tarkoituksenmukaisesti erillisenä, koska toisen kuumennus-kappaleen sähkönsyöttö tapahtuu tarkoituksenmukaisesti 5 erillisenä, koska toisen kuumennuskappaleen kuumennusteho on suoraan riippuvainen aikayksikköön johdetusta jälkipa-nostusmäärästä.
Vähintään kaksi yhdensuuntaisesti upokkaan kanna-tuspultin kanssa järjestettyä, sauvanmuotoista sähkönjoh-10 dinta on ensi sijassa pitämässä levymäistä ensimmäistä kuumennuskappaletta, jolloin sähkönjohdin on johdettu toisaalta pohjalevyn läpi kattilaa varten eristettynä ja toisaalta kiinnitetty ensimmäisen kuumennuskappaleen lämmittäjän jalkoihin.
15 Ensimmäisen kuumennuskappaleen sähkön johtimien kanssa kiinteästi liitetyt lämmittäjän jalat on siinä yhdistetty olennaisesti puoliympyränmuotoisilla osilla, jolloin nämä keskisen aukon sulkevat osat on muodostettu mean-derin muotoisesti taivutetuista kuumennuskierukoista.
20 Sylinterimäisesti muodostetun toisen kuumennuskap paleen renkaanmuotoinen, litteä osa on edullisesti varustettu useammalla, sen kehälle jaettuna järjestetyllä raolla, jotka ulottuvat sylinterimäisen sivuseinän alueelle asti. Olennaisesti sylinterimäisesti muodostetun toisen 25 kuumennuskappaleen sivuseinä on vaihtoehtoisesti tai myös lisäksi varustettu usealla sivuseinän ympärykseen jaetusti järjestetyllä raolla, jotka ulottuvat alemmasta kuumennus-kappaleen reunasta säteettäisesti sisäänpäin ulottuvan rengasmaisen, litteän osan alueelle.
30 Tarkoituksenmukaisesti on toisen kuumennuskappaleen sivuseinässä alaspäin ulottuvat lämmittäjän jalat, jotka tarttuvat syvennyksiin, jotka sijaitsevat säteettäisesti sisäänpäin ulottuvissa, sähkönjohtimien pitämissä pihdeissä, jolloin toisen kuumennuskappaleen jalkaosat on asetet- 4 883,3 tu kiilojen avulla suunnilleen nelikulmaisiin syvennyksiin tai ruuvattu tai niitattu niihin.
Jotta taattaisiin panostusaineen jatkuva syöttö, on sylinterimäisen toisen kuumennuskappaleen rengasmaisessa, 5 litteässä osassa aukot tai syvennykset, joiden läpi panos-tuslaitteen syöttöputken täyttösuppilo kulkee, joka panos-tuslaite on kattilan ulkopuolella.
Upokas ja molemmat kuumennuskappaleet ovat edullisesti ainakin osittain olennaisesti sylinterimäisen suo-10 japutken ympäröimät, joka nojaa alemmalla, syvennyksin varustetulla reunallaan sula-aineenottoaltaaseen, jota puolestaan pitää kattilan pohjalevyn päällä putki, jolloin sula-aineenottoallas ulottuu tasolle, joka on yhdensuuntainen upokkaan pohjapinnan tason kanssa, ja altaassa on 15 keskellä reikä, jonka läpi on viety pystysuora upokkaankan-natinpultti.
Yhdenmukaisen lämmönjakautumisen takaamiseksi vä-häisimmin lämpöhäviöin on sekä allas sula-aineen ottamiseksi upokkaan rikkoutuessa että myös upokkaan yläpuolelle 20 järjestetty, suojaputken kannattama peitelevy vuorattu eristysainematoilla, erityisesti grafiittihuovalla.
Jotta vältettäisiin sulan liikehtiminen on järjestetty sulaupokkaaseen keskisesti asetettu ontto sylinteri-mäinen, aukoilla sulan läpiviemiseksi varustettu rengas, 25 joka on sulan kanssa reagoimatonta ainetta, jolloin panos-tusainetta varten oleva täyttösuppilo laskee alueelle, jota rajoittaa renkaan ulkopinta ja upokkaan reuna.
Sulan likaantuminen vältetään myös siten, että upokkaan sisäseinä on varustettu sulan kanssa reagoimat-30 tomasta aineesta olevalla kuorella tai sisuksella ja että ainakin toisen kuumennuskappaleen upokkaan yläpuolelle asetettu renkaanmuotoinen litteä osa on päällystetty.
Keksinnössä voidaan käyttää mitä erilaisimpia suoritusmahdollisuuksia; yhtä niistä on esitetty tarkemmin 5 383-3 oheisissa piirustuksissa ja niissä esittää: kuvio 1 laitteen osakuvaa yksittäiskiteen vetämiseksi pitkittäisleikkauksena kuviot 2 ja 3 kuvion 1 mukaista pohjalämmitintä 5 päältäpäin ja leikkauksena linjan A - A mukaisesti, kuvio 4 sulaupokasta ja lämmitystä sivulta ympäröivää säteilynsuojaputkea, kuviot 5 ja 6 päällyskuvaa kuvion 1 mukaisesta sylinterilämmittäjästä ja pitkittäisleikkausta linjojen 10 B - B mukaisesti, kuviot 7-9 vaihtoehtoisen renkaanmuotoisen, litteän kuumennuskappaleen eri kuvia.
Laite muodostuu olennaisesti laitteen telineen kak-soisseinämäisen kattilan pohjalevyn 3 päälle asetetusta, 15 samoin kaksoisseinämäisestä kattilasta 4, joka muodostaa tyhjökammion 52, kattilaan 4 järjestetystä, kattilan poh-jalevyyn 3 kiinnitetystä tukiputkesta 5 sitä ympäröivine lämmöneristyksineen 6, tukiputken 5 kannattamasta, rengasmaisesta altaasta 7, jossa on siihen kiinnitetyt grafiit-20 tihuopalevyt 8, kahdesta kattilan pohjalevyssä 3 olevasta sähkönsyötöstä 9, 9a altaan 7 yläpuolella olevaa pohjalämmitintä 10 varten, lisäksi kahdesta kattilan pohjalevyssä 3 olevasta sähkönjohtimesta 11, 11a, joilla pihdit 12, 12a on ruuvattu, jotka puolestaan kannattavat sylinterilämmi-25 tintä 13, sulatusupokkaasta 14, altaaseen 7 tuetusta sä-teilysuojaputkesta 15 sivuttaisine lämmöneristyksineen 16, säteilysuojaputken kannattamasta peitelevystä 17 varustettuna ylemmällä päätypuolisella lämpöeristyksellä 18 ja läpivienneistä 19, 20 suojalaseineen 21, 22, syöttöputkes-30 ta 23 panostusainetta varten, peitelevyn 17, 17a läpi johdetusta täyttösuppilosta ja kääntyvästä ja ylös- ja alaspäin liikkuvasta upokkaanakselista 25 upokkaan kannatuspul-tin 26 asentamiseksi.
Kummankin sähkönjohtimen 9, 9a kiinnittämä pohjan- 6 3 8 3', 3 lämmitin 10 on esitetty kuvioissa 2 ja 3 ja muodostuu kahdesta toisiaan vastapäätä olevasta sivuille järjestetystä lämmittimen jalasta 31, 32 ja kahdesta meanderin muotoisesti muotoillusta kuumennuskierukasta 33, 34. Kuumennuskie-5 rukat 33, 34 muodostavat yhdessä pohjalämmittimen 10 keskustassa aukon 35, jonka läpi upokkaan kannatinpultti 26 kulkee, joka on yläpäästään liitetty kiinteästi sulatus-upokkaaseen ja jolla sulatusupokas 14 voidaan siirtää sekä ylös- ja alaspäin, että myös kääntöliikkesssä. Kuviois-10 sa 5 ja 6 lähemmin esitetty lämmitin 13 on muodostettu rengasmaisesta, säteettäisesti kulkevilla raoilla 36, 36', ... tai 37, 37', ... varustetusta, litteästä osasta 38 ja ontosta sylinterimäisestä sivuseinästä 39. Ontto sylinte-rimäinen osa 39 on varustettu vastakkaisilla puolilla 15 olevilla alaspäin ulottuvilla lämmittimen jaloilla 40, 40a, jotka työntyvät syvennyksiin 41, 41a, jotka sijaitsevat sähkönsyöttöjen 11, 11a kiinnittämissä pihdeissä 12, 12a. Varman sähkönsiirron takaamiseksi lämmittäjästä 13 kumpaankin pihtien 12, 12a syvennykseen 41, 41a on puo-20 lisuunnikkaanmuotoisiin syvennyksiin 41, 41a asetettu li-säkiilat 42, 42a.
Kuviossa 4 esitetyssä säteilysuojaputkessa 15 on neljä nelikulmaista syvennystä 43, 43', ..., jotka on järjestetty säteilysuojaputken alareunaan 57 ja jettu yhden-25 mukaisesti sen ympärykselle. Näiden syvennysten 43, 43', . . . läpi on johdettu ensiksi pihdit 12, 12a ja toiseksi pohjalämmittimen 10 jalat 31, 32. Edelleen säteilysuojaput-ki 15 on varustetttu vinosti kulkevalla rei'ällä 45, joka on linjassa peitelevyn 17, 17a suojalasin 21 kanssa ja 30 kattilan 4 seinään kiinnitetyn tuen 47 suojalasin 46 kanssa. Lisärei'ät 48, 48', 48", ... säteilysuojaputken 15 sivuseinässä sallivat esteettömän kaasun läpimenon kattilan 4 sisätilan yläosasta alaosaan. Muutoin kattila 4 on sen kansiosan 4’ alueella varustettu kauluksella 48, josta ve- 7 88313 toelementin 49 läpivienti voi tapahtua. Vielä on mainittava, että kattilan kansiosassa 4' on sitäpaitsi lisätuki 50 varustettuna tarkastelulasilla 51.
Kahteen sähkönjohtimeen 9, 9a on ruuvattu grafiit-5 timuttereilla 27, 27a pohjalämmitin 10, johon on tehty meanderinmuotoisesti raot. Pohjalämmittimen 10 tehtävänä on kuumentaa upokas tai sula alhaaltapäin etupuolelta. Kahteen lisäsähköjohtimeen 11, 11a on kiinnitetty toinen kuumennuskappale 13, joka on muodostettu vaippalämmitti-10 meksi, pihdeillä 12, 12a. Ylempi etukuumennus parantaa jatkuvasti syötetyn panostusaineen sulattamista. Etulämmi-tin 13 voi olla päällystetty tai peitetty Sicrllä piisulan ollessa kyseessä, jotta vältettäisiin grafiittiosasten putoaminen sulaan ja hiili-epäpuhtauksien muodostuminen. Myös 15 SiO:n reaktio grafiitin kanssa (2C, SiO - Sic + CO) voidaan välttää. Katkoviivoilla piirretty viiva osoittaa argonkaa-suvirtaa, joka virtaa kauluksen 48 yli, keskeisen aukon 53 kautta, sulan yli tai upokkaan 14 ympäri, aukkojen 48, 48', ... läpi alaspäin ja vedetään lopuksi pois putkituel-20 la 70.
Lämmityslaitteen keskustassa sijaitsee grafiitti-upokas, johon sulan kanssa reagoimattomasta aineksesta muodostettu upokas 28 on asetettu. Jotta voitaisiin taata kyl-. . vyn liikkumattomuus panostettaessa vetovaiheen aikana, on 25 upokkaaseen 28 asetettu lisärengas 29, joka on myös muodostettu sulan kanssa reagoimattomasta aineksesta. Renkaan 29 alapäässä on katkoksia 30, joiden läpi sulatettu panos-aine voi virrata upokkaan panoksen 28 keskustaan. Kummankin lämmittimen 10, 13 ympärille on asetettu lämpöeristys 30 8, 16, 18, joka muodostuu altaalsta 7, lisäksi grafiitti- huopalevyistä 8, sivulla olevasta lämmöneristyksestä 16, joka on muodostettu sylinteriksi ja työnnetty säteilysuo-japutken 15 päälle, ja ylemmästä etupuolisesta lämpöeristeestä 18. Ylemmät levyt 17, 17a tukeutuvat - yhdessä läm- 8 883-3 pöeristeen 18 kanssa - kattilan 4 sisäpintaan.
Kuvioissa 7 - 9 on esitetty kuumennuskappale 59, jota voidaan käyttää vaihtoehtoisesti toisena kuumennuskap-paleena. Tämä kuumennuskappale 59 muodostuu olennaisesti 5 meanderinmuotoisesti raoilla varustetusta, rengasmaisesta, litteästä osasta 60, jossa on kaksi suorakulmaisesti tähän osaan järjestettyä lämmittimen jalkaa 61, 62. Kuumen-nuskappaleen 59 lämpötilaa voidaan säätää yksilöllisesti, jonka lisäksi tuilla 67 kattilan 4 kannessa voidaan mitata 10 sulan lämpötila upokkaassa 14, 28. Jos täyttösuppilosta 24 vielä johdetaan sulan sulamatonta ainesta upokkaassa 14, 28, vaikuttaa yksistään toinen kuumennuskappale (kuvio 4-6 tai kuviot 7-9) tämän jälkipanostusaineen heti tapahtuvan ja nopean sulamisen, millä voidaan saavuttaa 15 suhteellisesti pienin mahdollinen sulan liikehtiminen, nimittäin ilman että itse upokas 14, 28 kuumenee siinä kovinkaan voimakkaasti.
Claims (14)
1. Laite yksittäiskiteiden vetämiseksi upokkaassa (14, 28) olevasta sulasta tyhjössä tyhjökammiolla (52), 5 johon on järjestetty upokas (14, 28) varustettuna sulan lämmittimellä (10, 13), vetoelementillä (49) sulan yläpuolella ja aukolla (53) varustetulla kannella (17, 17a, 18) sulan yläpuolella, jonka läpi yksittäiskide on vedettävissä vetoelementin (49) avulla sulan yläpinnasta ylöspäin ja 10 joka on kuumennettavissa kuumennuselementin (10) lämpösäteilyllä, tunnettu upokkaan (14, 28) pohjapinnan (54) kanssa yhdensuuntaisessa tasossa ulottuvasta, suunnilleen renkaanmuotoisesta, litteästä ensimmäisestä kuu-mennuskappaleesta (10) ja olennaisesti sylinterimäises-15 tä, upokasta (14, 28) ainakin osittain ympäröivästä, ensimmäisen kuumennuskappaleen (10) tasoon nähden pystysuoraan järjestetystä toisesta kuumennuskappaleesta (13), jonka yläreuna kulkee suunnilleen levymäisenä, ensimmäisen kuumennuskappaleen (10) kanssa yhdensuuntaisena kuumennus-20 kappaleena (38), joka on järjestetty upokkaan (14, 28) yläreunan ja renkaanmuotoisen kannen (17, 17a, 18) alareunan väliselle tasolle.
2. Laite yksittäiskiteiden vetämiseksi upokkaassa (14, 28) olevasta sulasta tyhjössä tyhjökammiolla (52), 25 johon upokas (14, 28) on Järjestetty, varustettuna sulan lämmittimellä (10, 13) ja aukolla (53) varustetulla kannella (17, 17a, 18) sulan yläpuolella, jonka läpi yksittäiskide on vedettävissä vetoelementin (49) avulla sulan yläpinnasta ylöspäin, tunnettu upokkaan (14, 28) 30 pohjapinnan kanssa yhdensuuntaisessa tasossa ulottuvasta, suunnilleen renkaanmuotoisesta, litteästä ensimmäisestä kuumennuskappaleesta (10) ja olennaisesti renkaanmuotoisesta, litteästä toisesta kuumennuskappaleesta (59), joka on järjestetty upokkaan (14, 28) yläreunan ja rengasmaisen 35 kannen (17, 17a, 18) väliselle tasolle, jolloin toisessa 10 3 8 31 3 kuumennuskappaleessa (59) on yksi tai useampia pystysuoraan alaspäin ulottuvia lämmittäjän jalkoja (61, 62), jotka kiinnittyvät syvennyksiin (42, 41a), jotka sijaitsevat pihdeissä (12, 12a), jolloin lämmittäjän jalat on lukittu, 5 kiilattu tai ruuvattu syvennyksiin.
3. Patenttivaatimuksen 1 tai 2 mukainen laite, tunnettu siitä, että renkaanmuotoinen, litteä ensimmäinen kuumennuskappale (10) on kiinnitetty vähintään kahteen yhdensuuntaisesti upokkaan kannatinpulttiin (26) 10 nähden järjestettyyn, sauvamaiseen sähkönjohtimeen (9, 9a), jolloin sähkönjohtimet (9, 9a) on kiinnitetty kattilan (4, 4') pohjalevyyn (3) ja on johdettu eristimillä ulospäin.
4. Patenttivaatimusten 1-3 mukainen laite, 15 tunnettu siitä, että ensimmäisen kuumennu skappa-leen (10) sähköjohtimien (9, 9a) kanssa kiinteästi liitetyt lämmittimen jalat (31, 32) on liitetty kahdella olennaisesti puoliympyränmuotoisilla osilla, jolloin nämä on muodostettu meanderin muotoisesti taivutettujen kuumennus- 20 kierukoiden (33, 34) osista, jotka sulkevat sisäänsä keskisen aukon (35).
5. Patenttivaatimusten 1 tai 3 mukainen laite, tunnettu siitä, että sylinterimäisesti muodostetun toisen kuumennuskappaleen (13) rengasmainen, litteä 25 osa on varustettu useammalla sen ympärykselle jaetusti järjestetyllä raolla (37, 37', ...), jotka ulottuvat sy- linterimäisen sivuseinän (39) alueelle asti.
6. Patenttivaatimusten 1, 3 ja 5 mukainen laite, tunnettu siitä, että olennaisesti sylinterimäises- 30 ti muodostetun toisen kuumennuskappaleen (13) sivuseinä (39) on varustettu useammalla sivuseinän (39) ympärykselle jaetusti järjestetyllä raolla (36, 36', ...), jotka ulottuvat kuumennuskappaleen (56) alareunasta kuumennus-kappaleen (13) säteettäisesti sisäänpäin ulottuvan ren- 35 kaanmuotoisen, litteän osan (38) alueelle asti. 11 88 3; ί
7. Laite yhden tai useamman edellä olevan patenttivaatimuksen mukaisesti, tunnettu siitä, että toisen kuumennuskappaleen (13, 59) sivuseinässä (39) tai ren-kaanmuotoisessa, litteässä osassa (60) on alaspäin ulottu- 5 vat jalkaosat (40, 40a tai 61, 62), jotka kiinnittyvät syvennyksiin (41, 41a), jotka sijaitsevat säteettäisesti sisäänpäin ulottuvissa, sähkönjohtimien (11, 11a) kiinnit-tämissä pihdeissä (12, 12a), jolloin toisen kuumennuskappaleen (13) jalkaosat (40, 40a) on kiilattu suunnilleen 10 nelikulmaisiin syvennyksiin (41, 41a) kiilojen (42, 42a) avulla tai ruuvattu tai niitattu sinne.
8. Laite yhden tai useamman edellä olevan patentti vaatimuksen mukaisesti, tunnettu siitä, että toisen kuumennuskappaleen (13, 59) renkaanmuotoisessa, lit- 15 teässä osassa (38, 60) on aukot tai syvennykset (57, 57a tai 65, 66), joiden läpi panostuslaitteen syöttöputken (23) täyttösuppilo (24) tulee, joka panostuslaite sijaitsee kattilan (4, 4') ulkopuolella.
9. Laite yhden tai usemman edellä olevan patentti- 20 vaatimuksen mukaisesti, tunnettu siitä, että upokas (14, 28) ja kummatkin kuumennuskappaleet (10 tai 13, 59) ovat ainakin osittain olennaisesti sylinterimäisen suojaputken (15) ympäröimät, joka nojaa alemmalla, syvennyksin (43, 43', ·..) varustetulla reunallaan (57) sula- 25 aineenottoaltaaseen (7), joka puolestaan pitää kattilan pohjalevyssä (3) jalustaosa tai putki (5), jolloin sula-aineenottoallas (7) ulottuu yhdensuuntaisena upokkaan (14, 28) pohjapinnan (54) tason kanssa olevalle tasolle ja siinä on keskinen reikä (58), jonka läpi pystysuora upokkaan - - 30 kannatinpultti (26) on johdettu.
9 883:3
10. Laite yhden tai useamman edellä olevan patenttivaatimuksen mukaisesti, tunnettu siitä, että sekä sula-aineenottoallas (7) että myös suojaputki (15) ja upokkaan (14, 28) yläpuolelle järjestetty suojaputken (15) 35 kannattama peitelevy (17, 17a) on päällystetty eristysai-nematoilla (8, 16, 18), edullisesti grafiittihuovalla. 12 8 8 31 3
11. Laite yhden tai useamman edellä olevan patenttivaatimuksen mukaisesti, tunnettu sulaupokkaaseen (14, 28) samankeskisestl asetetusta, ontosta sylinterimäi-sestä, sulan läpimenoa varten olevilla aukoilla tai syven- 5 nyksillä (30) varustetusta renkaasta (29), joka on sulan kanssa reagoimattomasta aineksesta.
12. Laite yhden tai useamman edellä olevan patenttivaatimuksen mukaisesti, tunnettu siitä, että upokkaan (14) sisäseinä on varustettu kuorella tai sisuk- 10 sella (28), joka on sulan kanssa reagoimattomasta aineksesta, ja täyttösuppilo (24) laskee upokkaan (24, 28) alueelle, joka on toisaalta sisuksen (28) säteettäisen ulkoseinän ja toisaalta upokkaan reunan (5) rajoittama.
13. Laite yhden tai useamman edellä olevan patent-15 tivaatimuksen mukaisesti, tunnettu siitä, että ainakin toisen kuumennuskappaleen (13, 59) upokkaan (14, 28) yläpuolelle järjestetty, renkaanmuotoinen, litteä osa (38, 60) on peitetty hankauksen kestävällä ja hilsettä muodostamattomalla aineksella, joka varmistaa sen, ettei 20 mitään kuumennuskappaleen aineosia pääse putoamaan sulaan.
14. Patenttivaatimuksen 2 mukainen laite, tunnettu siitä, että toisen kuumennuskappaleen (59) ren-kaanmuotoisessa, litteässä osassa (60) on useita säteet-täisesti ulottuvia rakoja (63, 63', ... tai 64, 64’, ...) 25 ja se on varustettu vähintään yhdellä litteän osan (60) reunasta pystysuoraan alaspäin ulottuvalla lämmittäjän jalalla (61, 62). 13 88 313
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE3733487 | 1987-10-03 | ||
DE3733487A DE3733487C2 (de) | 1987-10-03 | 1987-10-03 | Vorrichtung zum Ziehen von Einkristallen |
Publications (4)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
FI884510A0 FI884510A0 (fi) | 1988-09-30 |
FI884510A FI884510A (fi) | 1989-04-04 |
FI88313B true FI88313B (fi) | 1993-01-15 |
FI88313C FI88313C (fi) | 1993-04-26 |
Family
ID=6337565
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
FI884510A FI88313C (fi) | 1987-10-03 | 1988-09-30 | Anordning foer dragning av enkristaller |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP0310739B1 (fi) |
JP (1) | JP2635688B2 (fi) |
KR (1) | KR960009700B1 (fi) |
DE (2) | DE3733487C2 (fi) |
DK (1) | DK209788A (fi) |
FI (1) | FI88313C (fi) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0633218B2 (ja) * | 1987-12-08 | 1994-05-02 | 日本鋼管株式会社 | シリコン単結晶の製造装置 |
JP3774920B2 (ja) * | 1995-12-27 | 2006-05-17 | 信越半導体株式会社 | 単結晶引上装置のヒータ機構 |
DE19830785A1 (de) * | 1998-07-09 | 2000-01-13 | Wacker Siltronic Halbleitermat | Stütztiegel zur Stützung von Schmelztiegeln |
JP5131170B2 (ja) * | 2008-12-05 | 2013-01-30 | 信越半導体株式会社 | 単結晶製造用上部ヒーターおよび単結晶製造装置ならびに単結晶製造方法 |
US8944354B2 (en) | 2011-09-30 | 2015-02-03 | Starbucks Corporation | Apparatus, systems, and methods for grinding a material |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3359077A (en) * | 1964-05-25 | 1967-12-19 | Globe Union Inc | Method of growing a crystal |
GB1095587A (fi) * | 1965-09-24 | |||
US3511610A (en) * | 1966-10-14 | 1970-05-12 | Gen Motors Corp | Silicon crystal growing |
JPS6027683A (ja) * | 1983-07-21 | 1985-02-12 | Toshiba Corp | 単結晶製造装置用発熱抵抗体 |
JPS60103097A (ja) * | 1983-11-08 | 1985-06-07 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 単結晶引上装置 |
CA1261715A (en) * | 1984-07-06 | 1989-09-26 | General Signal Corporation | Apparatus and process for growing monocrystals of semiconductor materials from shallow crucibles by czochralski technique |
JPS6153187A (ja) * | 1984-08-24 | 1986-03-17 | Sony Corp | 単結晶成長装置 |
IN161924B (fi) * | 1984-10-29 | 1988-02-27 | Westinghouse Electric Corp | |
DE3506754A1 (de) * | 1985-02-26 | 1986-08-28 | Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln | Klemmverbindung in elektrisch beheizten vakuumanlagen |
-
1987
- 1987-10-03 DE DE3733487A patent/DE3733487C2/de not_active Expired - Fee Related
-
1988
- 1988-03-10 DE DE8888103768T patent/DE3877486D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1988-03-10 EP EP88103768A patent/EP0310739B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1988-04-18 DK DK209788A patent/DK209788A/da not_active Application Discontinuation
- 1988-06-14 JP JP63144912A patent/JP2635688B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1988-09-14 KR KR1019880011865A patent/KR960009700B1/ko active IP Right Grant
- 1988-09-30 FI FI884510A patent/FI88313C/fi not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE3733487C2 (de) | 1997-08-14 |
EP0310739A2 (de) | 1989-04-12 |
DE3877486D1 (de) | 1993-02-25 |
DK209788D0 (da) | 1988-04-18 |
FI884510A (fi) | 1989-04-04 |
JPH0196087A (ja) | 1989-04-14 |
DK209788A (da) | 1989-04-04 |
FI88313C (fi) | 1993-04-26 |
KR960009700B1 (ko) | 1996-07-23 |
EP0310739A3 (en) | 1990-06-27 |
FI884510A0 (fi) | 1988-09-30 |
JP2635688B2 (ja) | 1997-07-30 |
EP0310739B1 (de) | 1993-01-13 |
DE3733487A1 (de) | 1989-04-13 |
KR890006529A (ko) | 1989-06-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7179331B2 (en) | Crystal growing equipment | |
US4108236A (en) | Floating heat insulating baffle for directional solidification apparatus utilizing liquid coolant bath | |
ES2535725T3 (es) | Calentamiento y fusión de materiales mediante calentamiento por inducción eléctrica de susceptores | |
SK5872002A3 (en) | Method and apparatus for chemical vapor deposition of polysilicon | |
FI88313B (fi) | Anordning foer dragning av enkristaller | |
CA2517764C (en) | Silicon production apparatus | |
JP2004524256A (ja) | 結晶引き上げ器のための熱遮蔽アセンブリ | |
US5676869A (en) | Vertical heat treatment apparatus | |
US5180562A (en) | Apparatus for pulling monocrystals | |
JP2561072B2 (ja) | 単結晶の育成方法及びその装置 | |
AU724697B2 (en) | Method and apparatus for inductively heating a refractory shaped member | |
US3688007A (en) | Metal melting and holding furnace | |
US3860736A (en) | Crystal furnace | |
US6652649B1 (en) | Supplemental heating unit for crystal growth furnace | |
US5902509A (en) | Method and apparatus for inductively heating a refractory shaped member | |
GB2186209A (en) | A tubular reactor and process for supplying granular catalyst material and/or liquid into the tubes of the tubular reactor | |
US3520980A (en) | Crucible for heat treatment of conductive materials | |
JP2583503B2 (ja) | 熱処理装置 | |
KR20110087429A (ko) | 냉각 시스템 및 이를 포함하는 실리콘 단결정 잉곳 제조 장치 | |
SU821064A1 (ru) | Нагревательное устройство дл газостата | |
KR101193662B1 (ko) | 단열 부재 및 이를 포함하는 실리콘 단결정 잉곳 제조 장치 | |
US5363795A (en) | Czochralski crystal pulling process and an apparatus for carrying out the same | |
RU2794074C1 (ru) | Нагревательное устройство для высокотемпературных испытаний образцов на растяжение | |
WO2024033187A1 (en) | An electrically heated apparatus and a method of heating a fluid | |
JPH0735383Y2 (ja) | 薄膜気相成長装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
BB | Publication of examined application | ||
MM | Patent lapsed | ||
MM | Patent lapsed |
Owner name: LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT |