KR960009005A - 처리장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 처리장치는, 피처리체를 재치하는 절연체 및 이것의 내부에 내장되어 피처리체를 가열하는 저항 발열체를 갖춘 히터와, 처리실 밖으로부터 이 안에 연장되어 나온 급전선 및 이 급전선과 저항 발열체를 접속하는 단자를 갖춘 급전기구, 급전선 내 처리실 내에 연장되어 나온 부분 및 단자를 에워싸는 금속관을 구비하고 있다. 또한, 처리실 내의 배기가스를 배기관을 매개로 흡수기에 의해 가열하는 제1히터 및, 배기관의 각 장소에서 독립하여 배기간 내를 흐르는 배기가스를 가열하는 제2히터를 구비한다.

Description

처리장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 제1실시예에 따른 처리장치의 전체 구성을 나타낸 종단측면도.
제8도는 본 발명의 제2실시예에 따른 처리장치를 나타낸 단면도.

Claims (19)

  1. 처리실 내에 배치된 피처리체를 처리가스에 의해 처리하는 처리장치 있어서, 피처리체를 재치하는 절연체 및 이것의 내부에 내장되어 피처리체를 가열하는 저항 발열체를 갖춘 가열수단과, 처리실 밖으로부터 이 안에 연장되어 나온 급전선 및 이 급전선과 저항 발열체를 접속하는 단자를 갖춘 급전 수단, 상기 급전선 중 처리실내에 연장되어 나온 부분 및, 단자를 에워싸는 금속관을 구비하여 구성된 것을 특징으로 하는 처리장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 금속관은 절연체에 접합된 링체를 갖추고, 이 링체는 절연체의 열팽창율에 근사되는 것을 특징으로 하는 처리장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 금속관은 그 중간에 있어서 급전선 내 처리실내에 연장되어 나온 부분 및 단자를 에워싼 플렉시블 튜브를 갖춘 것을 특징으로 하는 처리장치.
  4. 제1항에 있어서, 금속관 내에 불활성 가스를 공급하는 가스 공급수단을 더 구비하여 구성된 것을 특징으로 하는 처리장치.
  5. 제1항에 있어서, 금속관틀 에워싸는 보호관 및, 이 보호관 내에 불활성 가스를 공급하는 가스 공급수단을 더 구비하여 구성된 것을 특징으로 하는 처리장치.
  6. 제5항에 있어서, 보호관 내에 공급된 불활성 가스를 처리실 내에 배출하는 배출수단을 더 구비하여 구성된 것을 특징으로 하는 처리장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 보호관은 처리실의 저면에 지지된 기단 및 절연체에 접촉된 선단을 갖추고, 상기 배출수단은 보호관 내에 공급된 불활성 가스의 압력이 소정치 이상의 경우에는 불활성 가스를 처리실 내에 배출하는 것을 허용하는 수단을 갖춘 것을 특징으로 하는 처리장치.
  8. 처리실 내에 기재된 피처리체를 처리 가스에 의해 처리하는 처리장치에 있어서, 피처리체를 재치하는 절연테 및 이것의 내부에 내장되어 피처리체를 가열하는 저항 발열체를 갖춘 가열수단과, 처리실 밖으로부터 이 안에 연장되어 나온 급전선 및 이 급전선과 저항 발열체를 접속하는 단자를 갖춘 급전선 수단, 상기 급전선중 처리실 내에 연장되어 나온 부분 및 단자를 에워싸는 보호관 및, 이 보호관 내에 불활성 가스를 공급하는 가스 공급수단을 구비하여 구성된 것을 특징으로 하는 처리장치.
  9. 제8항에 있어서, 보호관 내에 공급된 불활성 가스를 처리실 내에 배출하는 배출수단을 더 구비하여 구성된 것을 특징으로 하는 처리장치.
  10. 처리실 내에 재치된 피처리체를 처리가스에 의해 처리함과 더불어 처리실 내의 배기가스를 배기관을 매개로 흡인기에 의해 배출하는 처리장치에 있어서, 처리실의 내벽에 배치되고, 처리실 내의 가스를 가열하는 제1가열수단과, 배기관의 각 장소에서 독립하여 배기관 내를 흐르는 배기가스를 가열하는 제2가열수단을 더구비하여 구성된 것을 특징으로 하는 처리장치.
  11. 제10항에 있어서, 제2가열수단은 배기관의 길이 방향에 따라 각 장소에 배치된 복수의 히터를 갖춘 것을 특징으로 하는 처리장치.
  12. 제ll항에 있어서, 복수의 히터는 배기관의 각 장소에 말려져 병렬로 접속된 복수의 저항 발열체를 갖춘 것을 특징으로 하는 처리장치.
  13. 제10항에 있어서, 제2가열수단은 배기관 내의 배기가스의 온도가 상류측으로부터 하류측을 따라 저하되는 온도기울기를 규정하는 것을 특징으로 하는 처리장치.
  14. 제10항에 있어서, 제2가열수단은 배기관 내의 배기가스를 이 배기가스의 온도가 증기압 곡선보다 기체영역 측의 온도로 되도록 가열하는 것을 특징으로 하는 처리장치.
  15. 제10항에 있어서, 배기관 내의 각 장소에서의 배기가스의 온도를 검출하는 온드 검출수단과 배기관내의 각 장소에서의 배기가스의 압력을 검출하는 압력 검출수단 및, 이들 온도 및 압력 검출수단으로부터의 신호에 기초하여 제2가열수단을 제어하는 제어수단을 더 구비하여 구성된 것을 특징으로 하는 처리장치.
  16. 제15항에 있어서, 제어수단은 배기관 내의 각 장소의 배기가스의 온도가 승화온도 이상으로 되도록 제2가열수단을 제어하는 것을 특징으로 하는 처리장치.
  17. 제15항에 있어서, 제어수단은 배기관 내의 각 장소의 배가가스의 온도가 증기압 곡선의 기체영역 측의 온도로 되도록 제2가열수단을 제어 하는 것을 특징으로 하는 처리장치.
  18. 제15항에 있어서, 제어수단은 배기가스의 종류에 따라 배기관 내의 배기가스의 온도를 설정하기 위하여 히트프로그램을 기억하고 있으머, 이 히트프로그램은 미리 프로세스 조건 및 증기압 곡선에 기초하여 정하는 것을 특징으로 하는 처리장치.
  19. 제15항에 있어서, 제어수단은 배기가스 및 반응 생성물의 원소를 항상 분석하고, 그 때의 압력을 검출하고, 분석된 원소의 증기압 곡선에 기초하여 배기가스 및 반응 생성물의 온도가 기체영역으로 되도록 제2가열수단을 제어하는 것을 특징으로 하는 처리장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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