JP3579932B2 - パネルヒータ - Google Patents
パネルヒータ Download PDFInfo
- Publication number
- JP3579932B2 JP3579932B2 JP25799594A JP25799594A JP3579932B2 JP 3579932 B2 JP3579932 B2 JP 3579932B2 JP 25799594 A JP25799594 A JP 25799594A JP 25799594 A JP25799594 A JP 25799594A JP 3579932 B2 JP3579932 B2 JP 3579932B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heater
- heater wire
- gas
- block body
- furnace
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Control Of Resistance Heating (AREA)
- Resistance Heating (AREA)
- Furnace Details (AREA)
Description
【産業上の利用分野】
本発明は、高温加熱炉において採用されているパネルヒータの改良に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来から、セラミック製品の焼成などのような高温熱処理を実施するに際しては高温加熱炉を使用するのが一般的となっており、この種の高温加熱炉における加熱源としては周知構造のパネルヒータ(モジュールヒータ)、すなわち、図示していないが、所定形状を有する断熱ブロック体の表面側に金属ヒータ、SiC(炭化ケイ素)ヒータやカンタルヒータなどのようなヒータ線を取り付けて構成されたパネルヒータを用いることが行われている。なお、高温焼成炉の炉内温度が1200℃程度以上となる場合のヒータ線としてはSiCや二ケイ化モリブデンを用いることが多く、また、1200℃程度以下の場合にはコストの面から金属ヒータが用いられている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、高温加熱炉において用いられる金属ヒータやSiCヒータなどは空気や窒素からなる炉内雰囲気中では劣化などの不都合を生じないものであるが、これらを鉛(Pb)やビスマス(Bi)などのような重金属を含有する炉内雰囲気中において用いた場合には重金属蒸気との反応によって著しい劣化が生じることになり、特に、金属ヒータを高温下で用いた場合にはヒータ寿命が大幅に短縮化されてしまうことになる。すなわち、一般的なセラミックであるPZTやPLZTなどの高温熱処理を行った際には鉛などの重金属が発生することになり、金属ヒータなどの著しい劣化や寿命の短縮化が生じることになっていた。
【0004】
本発明は、これらの不都合に鑑みて創案されたものであって、ヒータ線の劣化を防止して長寿命化を図ることができるパネルヒータの提供を目的としている。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明にかかる第1のパネルヒータは、このような目的を達成するため、表面側にヒータ線が配設された断熱ブロック体を備えており、この断熱ブロック体の内部には、ヒータ線を保護ガスで囲むことができる位置ごとに開口した多数のガス噴出孔と、これらのガス噴出孔を連通接続したうえで外部からの保護ガスが供給されるガス供給通路を設けていることを特徴としている。また、第2のパネルヒータは、表面側にヒータ線が配設された内側ブロック体と外側ブロック体とを互いに厚み方向に沿って接合してなる断熱ブロック体を備えており、
前記内側ブロック体の内部には厚み方向に沿って、前記ヒータ線を保護ガスで囲むことができる位置に多数のガス噴出孔を形成しているとともに、外側ブロック体の接合面上にはガス噴出孔を連通接続したうえで外部からの保護ガスが供給されるガス供給通路を形成していることを特徴とするものである。
【0006】
【作用】
上記構成によれば、断熱ブロック体の内部に設けられたガス供給通路に対して供給された保護ガスは断熱ブロック体のガス噴出孔からヒータ線に向かって噴出したうえでヒータ線の周囲を通過しながら炉内へと向かって流れていくことになる。すなわち、この際、ヒータ線の周囲には炉内へと向かう保護ガスの流れが生じており、ヒータ線は保護ガスによって囲まれていることになる。したがって、ヒータ線の周囲にまで炉内雰囲気が押し寄せて接触することはなくなり、例え、炉内雰囲気が重金属を含有するものであったとしてもヒータ線が重金属蒸気と反応を起こすことは起こり得ないこととなる。
【0007】
【実施例】
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
【0008】
図1は本発明の一実施例にかかるパネルヒータを示す分解斜視図、図2はその側断面図であり、図3は変形例にかかるパネルヒータを示す分解斜視図である。
【0009】
本実施例にかかるパネルヒータは高温加熱炉(図示していない)の炉内温度が1200℃程度以下の比較的低温である際に用いられるものであり、図1で示すように、金属ヒータであるところのヒータ線1が表面に形成された凹溝に埋め込んで配設された断熱ブロック体2を備えている。そして、この断熱ブロック体2はアルミナファイバー成形体などのような断熱材を用いたうえ、ともに所定厚みを有する平面視矩形状として作製された内側ブロック体3及び外側ブロック体4を互いの厚み方向に沿って一体に張り合わせ接合したものとなっている。また、この断熱ブロック体2の内部には、ヒータ線1と対向する所定位置ごとに開口した多数のガス噴出孔5と、これらのガス噴出孔5を相互に連通接続したうえで外部からの保護ガスGが供給されるガス供給通路6とが設けられている。
【0010】
すなわち、ここでのパネルヒータにおける内側ブロック体3、つまり炉内側に配置される内側ブロック体3の内部にはこれをその厚み方向に沿って貫通する細径のガス噴出孔5が多数形成される一方、炉外側に配置される外側ブロック体4の内表面である接合面上には内側ブロック体3における多数のガス噴出孔5同士を互いに連通接続する所定深さの凹溝がガス供給通路6として形成されている。そして、このガス供給通路6の一方側端部は閉塞され、かつ、その他方側端部は開放されたものとなっており、開放されたガス供給通路6の他方側端部には空気や窒素、アルゴンなどの保護ガスGを外部から供給するためのガス供給管7が挿入されている。
【0011】
そこで、本実施例にかかるパネルヒータを構成する断熱ブロック体2内のガス供給通路6にはガス供給管7を通じて外部からの保護ガスGが供給されていることになり、ガス供給通路6に供給された保護ガスGは断熱ブロック体2に形成されたガス噴出孔5のそれぞれからヒータ線1へと向かって噴出されたうえでヒータ線1の周囲を通過しながら炉内へと流れていくことになる。そして、この際、ヒータ線1の周囲には炉内へと向かって流れる空気などの保護ガスGが存在しており、ヒータ線1は保護ガスGによって囲まれていることになるから、このヒータ線1の周囲にまで炉内雰囲気が押し寄せてくることは起こらず、ヒータ線1と炉内雰囲気とが接触することはなくなる。したがって、炉内雰囲気が鉛やビスマスなどの重金属を含有していたとしても、炉内雰囲気と接触することのないヒータ線1が重金属蒸気との間で反応を起こすことはあり得ないこととなる。
【0012】
ところで、炉内温度が1000℃程度以下である際の被熱処理物であるセラミック製品などに対する熱伝達では、一般的に熱放射の寄与が弱いことになる。しかしながら、上記構造のパネルヒータを用いて高温加熱炉を構成した場合には、断熱ブロック体2から噴出してきた保護ガスGがヒータ線1によって直接的に加熱されたうえで炉内に供給されている結果、炉内での熱対流が促進されることになって炉内温度分布の均一化を図ることが可能になるという利点が得られる。
【0013】
さらにまた、本実施例のパネルヒータを構成するヒータ線1は断熱ブロック体2の凹溝内に埋め込まれるものとなっているが、このような構造に限定されることはなく、図3で示すように、ヒータ線1を断熱ブロック体2の表面上に離間した状態で配設することも可能である。すなわち、このような構造を有するパネルヒータは炉内温度が1200℃程度以上となる際に用いられるものであり、この際におけるヒータ線1としては、金属ヒータの他、SiCや二ケイ化モリブデンなどを用いて作製されたヒータが使用されることになる。そして、図3で示すパネルヒータの全体構造は図1及び図2で示したパネルヒータと基本的に異ならないので、互いに同一もしくは相当する部品、部分には同一符号を付している。なお、図3中の符号8はヒータ線1を固定支持するためのサポートピンであり、これらのサポートピン8は断熱ブロック体2の表面上に取り付けられたうえでヒータ線1を支持すべく設けられているのである。
【0014】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明にかかるパネルヒータによれば、表面側にヒータ線が配設された断熱ブロック体を通じて供給された保護ガスがヒータ線の周囲を通過しながら炉内へと向かって流れることになり、このヒータ線の周囲には保護ガスが存在していることになる。したがって、ヒータ線の周囲にまで炉内雰囲気が押し寄せてくることはなくなり、例え、炉内雰囲気が重金属を含有していたとしてもヒータ線が重金属蒸気と接触したうえで反応を起こすことは起こり得ないことになる。
【0015】
その結果、重金属蒸気との反応によってヒータ線が劣化したり、ヒータ線の寿命が短縮化されたりすることは起こらず、ヒータ線の劣化を防止しながら長寿命化を図ることができるという効果が得られる。また、本願構造の採用によって熱対流効果をも高めることが可能となり、炉内温度分布の均一化を図ることができるという付随的な効果も得られることになる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本実施例にかかるパネルヒータの構造を示す分解斜視図である。
【図2】その側断面図である。
【図3】変形例にかかるパネルヒータの構造を示す分解斜視図である。
【符号の説明】
1 ヒータ線
2 断熱ブロック体
3 内側ブロック体
4 外側ブロック体
5 ガス噴出孔
6 ガス供給通路
G 保護ガス
Claims (2)
- 表面側にヒータ線(1)が配設された断熱ブロック体(2)を備えており、
この断熱ブロック体(2)の内部には、前記ヒータ線(1)を保護ガス(G)で囲むことができる位置ごとに開口した多数のガス噴出孔(5)と、これらのガス噴出孔(5)を連通接続したうえで外部からの保護ガス(G)が供給されるガス供給通路(6)を設けていることを特徴とするパネルヒータ。 - 表面側にヒータ線(1)が配設された内側ブロック体(3)と外側ブロック体(4)とを互いに厚み方向に沿って接合してなる断熱ブロック体(2)を備えており、
前記内側ブロック体(3)の内部には厚み方向に沿って、前記ヒータ線(1)を保護ガス(G)で囲むことができる位置に多数のガス噴出孔(5)を形成しているとともに、前記外側ブロック体(4)の接合面上には前記ガス噴出孔(5)を連通接続したうえで外部からの保護ガス(G)が供給されるガス供給通路(6)を形成していることを特徴とするパネルヒータ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25799594A JP3579932B2 (ja) | 1994-10-24 | 1994-10-24 | パネルヒータ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25799594A JP3579932B2 (ja) | 1994-10-24 | 1994-10-24 | パネルヒータ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08124662A JPH08124662A (ja) | 1996-05-17 |
JP3579932B2 true JP3579932B2 (ja) | 2004-10-20 |
Family
ID=17314079
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP25799594A Expired - Fee Related JP3579932B2 (ja) | 1994-10-24 | 1994-10-24 | パネルヒータ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3579932B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4906359B2 (ja) * | 2006-01-26 | 2012-03-28 | イビデン株式会社 | 加熱炉 |
CN102177407A (zh) * | 2008-08-08 | 2011-09-07 | 芝浦机械电子株式会社 | 热处理装置及热处理方法 |
-
1994
- 1994-10-24 JP JP25799594A patent/JP3579932B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH08124662A (ja) | 1996-05-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
ES2230147T3 (es) | Calefaccion electrica para sistemas de canal caliente y procedimiento para la fabricacion de una calefaccion de este tipo. | |
US7027722B2 (en) | Electric heater for a semiconductor processing apparatus | |
HUP9900670A2 (hu) | Forrasztópáka | |
JPH05506299A (ja) | 高い強さの赤外線熱処理装置 | |
JPS60194237A (ja) | 電熱放射加熱部のための加熱装置 | |
JP3579932B2 (ja) | パネルヒータ | |
HUP0001901A2 (hu) | Léghevítő | |
WO2007105798A1 (ja) | 基板アニール装置用の遮熱板 | |
JP3307924B2 (ja) | 熱処理装置 | |
US4556202A (en) | Under-heater type furnace | |
US20120307864A1 (en) | Temperature-Control Device For Thermoanalytical Analyses | |
DE60034496D1 (de) | Kontakt-Temperatursensor mit thermischer Entkopplung zwischen Sensorkopf und Hitzeschild der elektrischen Zuleitungen | |
ES2311675T3 (es) | Elemento calefactor electrico. | |
CN107710866A (zh) | 加热器装置及使用它的被加热体的加热方法 | |
JP2988810B2 (ja) | 熱処理装置 | |
JPH0519950Y2 (ja) | ||
JP3020773B2 (ja) | 熱処理装置 | |
CA2238119A1 (en) | Heating element support for an electric heat treating furnace | |
KR0124765Y1 (ko) | 전기로용 히팅 엘리먼트 | |
KR102148176B1 (ko) | 온수용 가열기 및 제조방법 | |
GB2249244A (en) | A heating wire in matrix tunnel allows thermal expansion and contraction | |
JP3024884U (ja) | ラジアントチューブヒータ | |
JPH0348202Y2 (ja) | ||
JP4527822B2 (ja) | 熱反応装置 | |
JPH0317200Y2 (ja) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040120 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040323 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040519 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040629 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040712 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080730 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090730 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090730 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100730 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100730 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110730 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110730 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120730 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130730 Year of fee payment: 9 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |