KR960006088A - 정전방전(esd) 보호 트랜지스터 - Google Patents
정전방전(esd) 보호 트랜지스터 Download PDFInfo
- Publication number
- KR960006088A KR960006088A KR1019940016772A KR19940016772A KR960006088A KR 960006088 A KR960006088 A KR 960006088A KR 1019940016772 A KR1019940016772 A KR 1019940016772A KR 19940016772 A KR19940016772 A KR 19940016772A KR 960006088 A KR960006088 A KR 960006088A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- esd
- electrostatic discharge
- circuit
- nmos
- protection
- Prior art date
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
- H01L27/0203—Particular design considerations for integrated circuits
- H01L27/0248—Particular design considerations for integrated circuits for electrical or thermal protection, e.g. electrostatic discharge [ESD] protection
- H01L27/0251—Particular design considerations for integrated circuits for electrical or thermal protection, e.g. electrostatic discharge [ESD] protection for MOS devices
- H01L27/0266—Particular design considerations for integrated circuits for electrical or thermal protection, e.g. electrostatic discharge [ESD] protection for MOS devices using field effect transistors as protective elements
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Metal-Oxide And Bipolar Metal-Oxide Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
Abstract
본 발명은 회로에 고전압 또는 과전류가 가해졌을 경우 절류 또는 전압을 중도에서 소모시켜 회로를 보호하는 역할을 하는 정전방전(Electrostatic Discharge:이하 ESD라 약칭함) 보호회로의 구조를 보강시키는 NMOS를 사용한 전전방전 호호 트랜지스터에 관한 것으로, 반도체기판(21)에 게이트산화막(22), 게이트전극(23), 소스/드레인(24)을 갖는 NMOS를 사용한 정전방전(ESD) 보호 트랜지스터에 있어서, 드레인접합(24)아래부분의 웰(211)을 기 형성된 웰농도보다 높게 형성하느 것을 특징으로 한다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 따른 NMOS트랜지스터의 구조도.
제3A도 및 제3B도는 본 발명에 따른 일실시에의 트랜지스터 제조 공정 단면도.
Claims (1)
- 반도체기판(21)에 게이트산화막(22), 게이트전극(23), 소스/드레인(24)을 갖는 NMOS를 사용한 정전방전(ESD) 보호 트랜지스터에 있어서, 드레인접합(24) 아래부분의 웰(211)을 기 형성된 웨농도보다 높게 형성하는 것을 특징으로 하는 정전방전(ESD) 보호 트랜지스터.※참고사항:최초출원 내용에 의하여 공개되는 것임.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019940016772A KR960006088A (ko) | 1994-07-12 | 1994-07-12 | 정전방전(esd) 보호 트랜지스터 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019940016772A KR960006088A (ko) | 1994-07-12 | 1994-07-12 | 정전방전(esd) 보호 트랜지스터 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR960006088A true KR960006088A (ko) | 1996-02-23 |
Family
ID=66689143
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019940016772A KR960006088A (ko) | 1994-07-12 | 1994-07-12 | 정전방전(esd) 보호 트랜지스터 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR960006088A (ko) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100324325B1 (ko) * | 1999-08-30 | 2002-02-16 | 김영환 | 정전방전방지용 모스 트랜지스터 제조방법 |
KR100557642B1 (ko) * | 1998-10-29 | 2006-05-16 | 주식회사 하이닉스반도체 | 반도체 메모리 장치의 정전기 보호회로 |
KR100596765B1 (ko) * | 1999-06-28 | 2006-07-04 | 주식회사 하이닉스반도체 | 정전방전 보호용 모스 트랜지스터의 제조 방법 |
-
1994
- 1994-07-12 KR KR1019940016772A patent/KR960006088A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100557642B1 (ko) * | 1998-10-29 | 2006-05-16 | 주식회사 하이닉스반도체 | 반도체 메모리 장치의 정전기 보호회로 |
KR100596765B1 (ko) * | 1999-06-28 | 2006-07-04 | 주식회사 하이닉스반도체 | 정전방전 보호용 모스 트랜지스터의 제조 방법 |
KR100324325B1 (ko) * | 1999-08-30 | 2002-02-16 | 김영환 | 정전방전방지용 모스 트랜지스터 제조방법 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Takato et al. | High performance CMOS surrounding gate transistor (SGT) for ultra high density LSIs | |
KR960032767A (ko) | 정전기 방전 보호 구조를 가진 반도체 장치 및 형성 방법 | |
TW335513B (en) | Semiconductor component for high voltage | |
TW368686B (en) | Semiconductor device | |
KR960036128A (ko) | 실리콘 탄화물 금속 산화물 반도체 전계효과 트랜지스터 | |
KR950012705A (ko) | 정전방전 보호회로의 트랜지스터 및 그 제조방법 | |
US5744840A (en) | Electrostatic protection devices for protecting semiconductor integrated circuitry | |
KR910007159A (ko) | Mos형 반도체장치 | |
KR960006088A (ko) | 정전방전(esd) 보호 트랜지스터 | |
KR970072377A (ko) | 보호 회로 | |
JP3033548B2 (ja) | 半導体装置、静電保護素子及び絶縁破壊防止方法 | |
JPH06151744A (ja) | 半導体入出力保護装置 | |
KR930022601A (ko) | 반도체 장치의 제조방법 | |
JPH0379874B2 (ko) | ||
JPH0478022B2 (ko) | ||
JPH0763075B2 (ja) | 半導体集積回路装置 | |
KR910010742A (ko) | 반도체 집적회로장치 | |
JPH098317A (ja) | 薄膜トランジスタ | |
JPH0468576A (ja) | 半導体装置 | |
KR970072384A (ko) | 정전기 보호 회로 및 소자 | |
KR950021247A (ko) | 반도체 소자의 게이트 전극 형성방법 | |
KR930022369A (ko) | 워드선 구동회로 | |
JP2002176347A (ja) | 過電流制限型半導体素子 | |
JPH0870049A (ja) | 入力保護回路 | |
KR910019211A (ko) | 반도체 디바이스 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E601 | Decision to refuse application |