KR950704188A - 금속 질화물 분말(metal nitride powders) - Google Patents

금속 질화물 분말(metal nitride powders)

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Abstract

Al, Ti 또는 Zr의 산화물 또는 수산화물을 포함하는 반응물 분말을 비반응성 대기중에서 반응 온도로 가열하므로써 금속 질화물 분말을 제조할 수 있다. 상기 가열된 반응물 분말을 질소 공급원 및 탄소 공급원을 포함하는 기상 반응 혼합물과 접촉 반응시킨다. 상기 기상 반응 혼합물중 질소 대 탄소의 몰비는 적어도 약15이다. 상기 반응물 분말의 일부가 금속 질화물 분말로 전환되기에 충분한 시간동안 상기 반응물 분말을 반응 온도에서 유지시킨다.

Description

금속 질화물 분말(METAL NITRIDE POWDERS)
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 분말을 제조하는데 사용된 장치의 개요도이다,
제2도는 1050℃에서 3시간동안 반응물들을 반응시켜 제조한 본 발명의 A1N 분말의 x-선 회절 패턴이다.

Claims (20)

  1. (a)알루미늄 산화물 또는 알루미늄 수산화물을 포함하는 반응물 분말을 비반응성 대기중에서 850℃ 내지 1299℃의 반응 온도로 가열하는 단계；(b)상기 가열된 분말을 질소 공급원 및 탄소 공급원을 포함하는 기상 반응 혼합물(이때, 기상 반응 혼합물은 적어도 약15의 질소 대 탄소 몰비를 갖는다)과 접촉 반응시키는 단계；및 (c)상기 반응물 분말의 일부가 AlN분말로 전환되기에 충분한 시간동안 상기 반응물 분말을 반응 온도에서 유지시키는 단계를 포함하는 AlN분말의 제조 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 질소 공급원이 NH3또는 N2H2를 포함하는 방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 탄소 공급원이 반응온도에서 기체인 탄화수소 또는 반응 온도에서 기체인 아민을 포함하는 방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 반응물 분말이 γ-Al2O3인 방법.
  5. 제1항에 있어서, 상기 반응물 분말이 졸 겔에 의해 유도된 Al2O3을 포함하는 방법.
  6. 제1항에 있어서, 상기 반응물 온도가 약 1000℃ 내지 약 1275℃이고, 상기 반응물 분말을 실질적으로 탄소가 없는 AlN으로 전환시키는 방법.
  7. 제1항에 있어서, 상기 기상 반응 혼합물중 질소 대 탄소 몰비가 약30내지 약40인 방법.
  8. 제1항에 있어서, 상기 반응물 분말을 상기 반응 온도에서 적어도 약3시간동안 유지시키는 방법.
  9. 제1항에 있어서, 상기 반응 온도가 약1000℃ 내지 약1100℃사이이고, 상기 질소 공급원이 NH3이고, 상기 탄소 공급원이 CH4이고, 상기 탄소 대 질소의 몰비가 약30내지 약40사이이고, 상기 반응물 분말을 상기 반응온도에서 적어도 약3시간동안 유지시키고, 상기 반응물 분말을 실질적으로 탄소가 없는 AlN 분말로 번환시키는 방법.
  10. 반응 온도가 약1000℃ 내지 약1299℃이고, AlN이 실질적으로 탄소가 없는 상태인, 제1항의 방법에 의해 제조된 AlN 분말.
  11. (a)티탄 산화물 또는 티탄 수산화물을 포함하는 반응물 분말을 비반응성 대기중에서 적어도 약750℃의 반응 온도로 가열하는 단계；(b)상기 가열된 반응물 분말을 질소 공급원 및 탄소 공급원을 포함하는 기상 반응 혼합물(이때, 기상 반응 혼합물은 적어도 약15의 질소 대 탄소 몰비를 갖는다)과 접촉 반응시키는 단계；및 (c)상기 반응물 일부가 TiN 분말로 전환되기에 충분한 시간동안 상기 반응물 분말을 반응 온도에서 유지시키는 단계를 포함하는 TiN 분말의 제조 방법.
  12. 제11항에 있어서, 상기 질소 공급원이 NH3또는 N2H2를 포함하는 방법.
  13. 제11항에 있어서, 상기 탄소 공급원이 반응온도에서 기체인 탄화수소 또는 반응 온도에서 기체인 아민을 포함하는 방법.
  14. 제11항에 있어서, 상기 반응 온도가 약800℃보다 높고, 상기 반응물 분말을 실질적으로 탄소가 없는 TiN으로 전환시키는 방법.
  15. TiN분말이 실질적으로 탄소가 없는 상태인, 제14항의 방법에 의해 제조된 TiN분말.
  16. (a)지르코늄 산화물 또는 지르코늄 수산화물을 포함하는 반응물 분말을 비반응성 대기중에서 적어도 약1050℃의 반응온도로 가열하는 단계；(b)상기 가열된 반응물 분말을 질소 공급원 및 탄소 공급원을 포함하는 기상 반응 혼합물(이때, 기상 반응 혼합물은 적도 약15의 질소 대 탄소 몰비를 갖는다)과 접촉 반응시키는 단계；및 (c)상기 반응물 분말의 일부가 ZrN분말로 전환되기에 충분한 시간동안 상기 반응물 분말을 반응온도에서 유지시키는 단계를 포함하는 ZrN 분말의 제조방법.
  17. 제16항에 있어서, 상기 질소 공급원이 NH3또는 N2H2를 포함하는 방법.
  18. 제16항에 있어서, 상기 탄소 공급원이 반응온도에서 기체인 탄화수소 또는 반응 온도에서 기체인 아민을 포함하는 방법.
  19. 제16항에 있어서, 상기 반응 온도가 약1100℃보다 높고, 상기 반응물 분말을 실질적으로 탄소가 없는 ZrN 분말로 전환시키는 방법.
  20. ZrN 분말이 실질적으로 탄소가 없는 상태인, 제19항의 방법에 의해 제조된 ZrN 분말.
    ※ 참고사항:최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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