KR950034592A - 실리사이드막을 갖는 반도체 집적 회로 장치의 제조 방법 - Google Patents
실리사이드막을 갖는 반도체 집적 회로 장치의 제조 방법 Download PDFInfo
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Abstract
개제된 반도체 집적 회로 장치의 제조 방법은 금속막(108) 및 실리사이드막(109)을 형성하는 단계들을 포함한다. 금속막은(108)은 스피터링 공정에 의해 단결정 실리콘 확산층(106) 및 다결정 실리콘막(105)의 노출된 표면을 포함하는 표면 전역에 형성된다. 실리사이드막(109)는 실리콘이 금속막의 금속 조성물과 반응하도록 열처리에 의해 형성된다. 금속막(108) 중 비반응 부분은 에칭 제거된다. 따라서, 강자성 물질을 포함하는 균일한 두께의 막을 형성할 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3A-3E도는 본 발명에 따른 제조 방법의 제1실시예의 순차적 단계를 도시하는 부분단면도.
Claims (6)
- 단결정(single-crystal) 실리콘 확산층(106) 및 다결정 실리콘막(105) 중 하나의 노출된 표면을 갖는 반도체 기판 상에 선정된 금속 조성물을 갖는 금속막(108)을 스퍼터링에 의해 형성하는 제1단계; 및 실리콘이 상기 금속막의 금속 조성물과 반응하도록 열처리를 수행함으로써, 실리사이드막(109)를 형성하는 제2단계를 포함하며, 상기 제1단계에서의 상기 스퍼터링은 실리사이드막을 형성하기 위해, 강자성(ferromaagnetic) 물질에 반강자성(antiferromaagnetic) 물질 및 통상 자성 물질 중 적어도 한 종류의 물질을 첨가함으로써 구비된 타겟을 사용하여 수행되는 것을 특징으로 하는 반도체 집적 회로 장치의 제조 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 강자성 물질은 코발트(Co) 및 니켈(Ni) 중 하나이며, 상기 반강자성 물질은 몰리브덴(Mo) 및 텅스텐(W)이며, 상기 통상 자성 물질은 티타늄(Ti) 및 지르코늄(Zr), 헬프늄(Hf) 및 탄탈(Ta)인 것을 특징으로 하는 반도체 집적 회로 장치의 제조 방법.
- 실리콘 반도체 기판 상에 형성된 게이트 절연막(104) 상에 다결정 실리콘의 게이트 전극(105)를 형성하며, 마스크로 사용되는 게이트 전극(105)가 있는 반도체 기판의 표면 부분에 불순물을 도핑함으로써 저불순물 농도의 확산층(106a)을 형성하는 제1단계; 게이트 전극(105)의 측면 상에 절연체인 측벽(side-wall;107)을 형성하며, 마스크로 사용되는 게이트 전극(105) 및 측벽(107)이 있는 반도체 기판의 표면 부분에 불순물을 도핑함으로써 고 불순물 농도의 확산층(106b)을 형성하는 제2단계; 고 불순물 농도층(106b) 및 게이트 전극(105)의 노출된 표면을 포함하는 반도체 기판 표면 전역에 선정된 조성물을 갖는 금속막(108)을 스퍼터링에 의해 형성하는 제3단계; 및 실리콘이 상기 금속막의 상기 금속 조성물과 반응하도록 열처리를 수행함으로써, 실리사이드막9109)를 형성하는 제4단계를 포함하며, 상기 제1단계에서의 상기 스퍼터링은 실리사이드막을 형성하기 위해, 강자성 물질에 반강자성 물질 및 통상 자성 물질 중 적어도 한 종류의 물질을 첨가함으로써 구비된 타겟을 사용하여 수행되며, 상기 강자성 물질은 코발트(Co) 및 니켈(Ni) 중 하나이며, 상기 반강자성 물질은 몰리브덴(Mo) 및 텅스텐(W)이며, 상기 통상 자성 물질은 티타늄(Ti) 및 지르코늄(Zr), 헬프늄(Hf) 및 탄탈(Ta)인 것을 특징으로 하는 반도체 집적 회로 장치의 제조 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 스퍼터링은 마그네트론 스퍼터링 공정에 의해 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 집적 회로 장치의 제조 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 타겟은 강자성 물질에 90원자％의 상기 강자성 물질 및 상기 통상 자성 물질 중 하나를 첨가함으로써 구비되는 것을 특징으로 하는 반도체 집적 회로 장치의 제조 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 열처리는 램프 어닐링 공정에(lamp annealing process)의해 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 집적 회로 장치의 제조 방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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