KR950009985A - 광학조사장치 - Google Patents

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Abstract

광학조사장치는 광반사 및 접속부재에 의하여 수은 아크램프로부터의 광을 반사 및 집속하고 그리고 광을 반사 및 편향시키며, 그 다음에 반사 및 편향된 광은 조준렌즈 또는 입력렌즈, 밴드패스필터 및 플라이 아이렌즈를 통하여 중계 렌즈시스템으로 전달된다. 필터에 의하여 불순물이 제거된 가스는 광학부재 주위에 흘러서 광학부재의 서리를 발생시키는 물질을 포함한 공기로부터 광학부재를 격리시키며 이에 의하여 광학부재의 서리가 억제된다. 반대로, 또는 추가로, 이산화항의 흡수 대역의 광에 대한 광반사 및 접속부재 및/또는 미러의 반사율은 작게 만들어져 광학부재에 서리가 끼는 것을 방지한다.

Description

광학조사장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제6도는 본 발명의 광학 조명장치의 제1실시예를 표시하는 부분단면도를 포함하는 구성도.

Claims (27)

  1. 방전램프; 상기 방전램프로부터 광을 반사 및 집속하기 위한 부재; 상기 광반사 및 집속부재에 의해 반사 및 집속된 광으로부터 사전설정된 대역내의 파장을 가진 광을 선택하기 위한 파장선택부재; 상기 방전램프에서 상기 파장선택부재까지의 광경로내에 위치한 일부 또는 모든 광학부재 주위를 흐르는 가스로부터 유기 규소화합물, 암모니아 및 황산이온중 적어도 하나를 제거하기 위한 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학조사장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 반전램프로부터 상기 파잔선택부재까지의 광경로의 대부분을 감싸기 위한 부재; 상기 감싸는 부재의 외부가스의 압력보다 높은 압력을 가진 가스를 상기 감싸는 부재로 통과시키는 가스공급장치를 더 포함하며; 상기 제거부재는 상기 싸는 부재내에 공급된 가스로부터 유기규소화합물, 암모니아 및 황산이온 중 적어도 하나는 제거하는 것을 특징으로 하는 광학조사장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 제거부재는 이온교환섬유 및 활성카본 또는 제올라이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학조사장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 이온교환섬유는 산성양이온 교환섬유 및 염기성 음이온 교환섬유를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학조사장치.
  5. 제1항에 있어서, 이산화항에 대한 흡수대녁 내의 파장을 가진 광에 대한 상기 광반사 및 집속부재의 반사율은 작게 유지되는 것을 특징으로 하는 광학조사장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 광반사 및 집속부재의 반사면의 온도를 황산 암모늄의 분해노도로 유지하기 위한 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광학조사장치.
  7. 제5항에 있어서, 상기 광반사 및 집속부재의 반사면의 온도를 황산 암모늄의 분해온도로 유지하기 위한 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광학조사장치.
  8. 제5항에 있어서, 4개의 파장대역 105㎚-180㎚, 180-240㎚, 260-340㎚, 및 340-390㎚중 적어도 하나를 가진 광에 대한 상기 광반사 및 집속부재의 반사율은 작게 유지되는 것을 특징으로 하는 광학조사장치.
  9. 제5항에 있어서, 260-340㎚의 파장대역을 가진 광에 대한 상기 광반사 및 집속부재의 반사율은 0.5 이하로 설정되는 것을 특징으로 하는 광학조사 장치.
  10. 제1항에 있어서, 광전송부재는 상기 광반사 및 집속부재와 조사될 물체사이의 광조사경로내에 위치하고, 4개의 파장대역 105㎚-180㎚, 180-240㎚, 260-340㎚, 및 340-390㎚중 적어도 하나를 가진 광에 대한 상기 광전송부재의 투과율은 작게 유지되는 것을 특징으로 하는 광학조사장치.
  11. 방전램프; 상기 방전램프로부터의 광을 반사 및 집속하기 위한 부재; 상기 광방전 및 집속부재에 의하여 반사 및 집속된 광으로부터 사전설정된 대역내의 파장을 가진 광을 선택하기 위한 파장선택부재; 불순물을 가진 가스로부터 상기 광학부재를 격리시키기 위하여 상기 방전 램프로부터 상기 파장선택부재까지의 광학경로에 위치한 광학부재중 적어도 하나에 가스를 송풍하여, 제거부재에 의하여 유기규소화합물, 암모니아, 및 황산이온 중 적어도 하나가 제거되도록 하는 가수를 송풍하기 위한 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학조사장치.
  12. 제11항에 있어서, 상기 송풍부재는 상기 광학부재에 인접하여 상기 광학부재에 대하여 개방되어 있는 많은 분사포트를 가지고 있는 것을 특징으로 하는 광학조사장치.
  13. 제11항에 있어서, 상기 송풍부재는 상기 광학부재를 위해 홀더내에 제공되며 상기 홀더내부원주에 대하여 개방되어 있고 상기 홀더의 원주방향으로 배열되어 있는 많은 분사포트를 가지는 것을 특징으로 하는 광학조사장치.
  14. 제11항에 있어서, 상기 제거부재는 이온교환섬유 및 활성카본 또는 제올라이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학조사장치.
  15. 제14항에 있어서, 상기 이온교환섬유는 산성양이온 교환섬유 및 염기성 음이온 교환섬유를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학조사장치.
  16. 제11항에 있어서, 이산화항에 대한 흡수대역내의 파장을 가진 광에 대한 상기 광반사 및 집속부재의 반사율은 작게 유지되는 것을 특징으로 하는 광학조사장치.
  17. 제11항에 있어서, 상기 광반사 및 집속부재의 반사면의 온도를 황산암모늄의 분해온도로 유지하기 위한 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광학조사장치.
  18. 방전램프; 상기 방전램프로부터의 광을 반사 및 집속하여 조사될 물체로 보내기 위한 광반사 및 집속부재를 포함하며, 이산화황에 대한 흡수대역내의 파장을 가진 광에 대한 상기 광반사 및 집속부재의 반사율은 작게 유지되는 것을 특징으로 하는 광학조사장치.
  19. 제18항에 있어서, 4개의 파장대역 105㎚-180㎚, 180-240㎚, 260-340㎚, 및 340-390㎚중 적어도 하나를 가진 광에 대한 상기 광반사 및 집속부재의 반사율은 작게 유지되는 것을 특징으로 하는 광학조사장치.
  20. 제18항에 있어서, 260-340㎚의 파장대역을 가진 광에 대한 상기 광반사 및 집속부재의 반사율은 0.5이하로 설정되는 것을 특징으로 하는 광학조사장치.
  21. 제18항에 있어서, 광전송부재는 상기 광반사 및 집속부재와 조사될 물체사이의 광조사경로내에 위치하고, 4개의 파장대역 105㎚-180㎚, 180-240㎚, 260-340㎚, 및 340-390㎚중 적어도 하나를 가진 광에 대한 상기 광전송부재의 투과율은 작게 유지되는 것을 특징으로 하는 광학조사장치.
  22. 제18항에 있어서, 상기 광반사 및 집속부재로부터 상기 물체로 광을 반사 및 집속하기 위한 반사부재는 상기 광반사 및 집속부재로부터 아래쪽에 위치하며,260-340㎚의 파장대역을 가진 광에 대한 상기 반사부재의 반사율은 0.2이하로 설정되는 것을 특징으로 하는 광학조사장치.
  23. 제18항에 있어서, 상기 광반사 및 집속부재의 반사면의 온도를 황산암모늄의 분해온도로 유지하기 위한 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광학조사장치.
  24. 방전램프; 상기 방전램프로부터의 광을 반사 및 집속하고 이를 조사될 물체로 보내기 위한 부재; 4개의 파장대역 105㎚-180㎚, 180-240㎚, 260-340㎚, 및 340-390㎚중 적어도 하나를 가진 광에 대하여 그 반사율이 작게 유지되고, 상기 광반사 및 집속 부내와 조사될 물체사이의 광학경로에 위치한 광전송부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학조사장치.
  25. 제24항에 있어서, 상기 광반사 및 집속부재의 반사면의 온도를 황산 암모늄의 분해온도로 유지하기 위한 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광학조사장치.
  26. 개의 파장대역 105㎚-180㎚, 180-240㎚, 260-340㎚, 및 340-390㎚중 적어도 일부를 가진 광을 발생시키는 광소스; 상기 광소스로부터의 광내의 상기 4개의 파장대역 내에 포함된 어느 파장을 가진 광에 대하여 투과율 및 반사율을 작게 유지하는 광학부재를 포함하여, 상기 광소스로부터 조사될 물체까지 광을 전달하기 위한 광학시스템을 포함하는 것을 특징으로 하는 광학조사장치.
  27. 제26항에 있어서, 상기 광학부재를 상기 광소스로부터의 광을 반사 및 집속하기 위한 타원형인 것을 특징으로 하는 광학조사장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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