KR950007142A - 복수의 배선으로 분리되어 있는 급전 배선을 구비한 고체 촬상 소자 - Google Patents

복수의 배선으로 분리되어 있는 급전 배선을 구비한 고체 촬상 소자 Download PDF

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Abstract

본원 발명의 고체 촬상 소자는 복수의 광선 변환부, 제1 및 제2 수직 전하 전송 전극(26a, 26b) 치 수직 전하 전송 영역(23)을 각각 구비하는 수직 전하 전송부, 각각 제1 내지 제4금속 배선(28a, 28b, 28c, 28d)로 각각 분할되어 있는 급전부를 구비한다. 상기 제1 내지 제3금속 배선(28a, 28b, 28c)은 도전막의 제1층에 형성되어 있다. 제4금속 배선(28d)은 도전막의 제2층에 형성되어 있다.
제1 및 제3금속 배선((28a, 28c)은 접촉홀(27)을 통해 제1수직 전하 전송 전극(26a)과 서로 다르게 접속되어 있다. 제2 및 제4금속 배선(28b, 28d)은 접촉홀(27)을 통해 제2수직 전하 전송 전극(26b)과 서로 다르게 접속되어 있다. 제1 내지 제4금속 배선(28a, 28b, 28c, 28d)에는 서로 상이 각각 다른 제1 내지 제4클럭 펄스 신호(ψ1, ψ2, ψ3, ψ4)가 인가된다. 제1 및 제3금속 배선(28a, 28c)만이 광전 변환부와 수직 전하 전송 영역간의 영역을 차광 한다.

Description

복수의 배선으로 분리되어 있는 급전 배선을 구비한 고체 촬상 소자
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 일반적인 고체 촬상 소자의 개략적인 평면도,
제6도는 제1도에 점선으로 둘러쌓인 부분에 대한 본 발명의 제1실시예에 따른 고체 촬상 소자의 일부를 나타내는 평면도,
제7A도 내지 제7D도는 제6도의 선A-A′, 선C-C′ 및 선D-D′를 따른 횡단면도,
제8(a)도 및 제(b)도는 신호 전하의 축적 및 신호 전하의 판독시에 제6도의 선B-B′의 단면에서의 전위를 나타내는 도면.

Claims (11)

  1. m개의 로우와 n개의 컬럼으로된 메트릭스(여기서 m 및 n은 각각 2보다 작지 않은 제1 및 제2의 양의 정수이다.)의 구성으로 배열되어 있고, 입사광에 따라 전하를 신호 전하로서 축적하기 위한 복수의 광전 변환부; 일측면에서 상기 광전 변환부의 n개의 컬럼에 인접되어 있고, 각각이 수직방향을 따라 연장되며, 수직 방향을 따라 판독전하를 전송전하로서 전송하기 위해 상기 광전 변환부로부터의 신호 전화를 판독전하로서 판독하고, 각각이 복수의 수직 전하 전송전극 및 이 전극 밑에 형성되는 수직 전하 전송 영역을 구비하는 n개의 수직 전하 전송부; 상기 n개의 수직 전하 전송부상에 각각 배치되며, 입사광으로부터 상기 수직 전하 전송부를 차단하기 위한 차광막으로서의 역할을 하고, 상기 n개의 수직 전하 전송부가 수직 방향을 따라 전송 전하로서 독출 전하를 전송하도록 상기 수직전하 전송 전극에 수직 전송 클럭을 공급하기 위한 n개의 전속 배선을 구비하는데, 상기 n개의 전송 배선은 상기 광전 변화부와 상기 수직 전하 전송 영역간의 영역을 차광하며; 상기 n개의 수직 전하 전송부 각각에 배치되며, 입사광으로부터 상기 수직 전하 전송부를 차폐하기 위한 차광막으로서의 역할을 하고, 상기 수직 전하 전송부가 상기 광전 변환부로부터 상기 수직 전하 전송 영역으로의 신호 전하를 독출 전하로서 판독하고, 그리고 상기 n개의 수직 전하 전송부가 수직 방향을 따라 상기 독출 전하를 전송 전하로서 전송할 수 있도록 상기 수직 전하 전송 전극에 독출 펄스 및 수직 전송 클럭을 공급하기 위한 n개의 판독/전송 배선을 구비하는 것을 특징으로 하는 고체 촬상 소자.
  2. 제1항에 있어서, 상기 n개의 전송 배선 및 상기 n개의 판독/전송 배선은 도전막의 제1 및 제2층으로 구성되고, 상기 전송 배선은 상기 도전막의 제1층에 형성되는 것을 특징으로 하는 고체 촬상 소자.
  3. 제2항에 있어서, 상기 n개의 판독/전송 배선은 도전막의 제2층에 형성되며, 수직 방향으로 상기 광전 변환부간의 영역으로 연장되는 것을 특징으로 하는 고체 촬상 소자.
  4. 제1항에 있어서, 상기 n개의 전송 배선은 수직 방향으로 상기 관전 변환부 간의 영역으로 연장되는 것을 특징으로 하는 고체 촬상 소자.
  5. 제1항에 있어서, 상기 n개의 전송 배선 및 상기 n개의 판독/전송 배선 중 적어도 하나는 고용용점 금속으로 형성되는 것을 특징으로 하는 고체 촬상 소자.
  6. 제1항에 있어서, 상기 n개의 전송 배선 및 상기 n개의 판독/전송 배선중 적어도 하나는 고용용점 금속의 실리사이드막으로 형성되는 것을 특징으로 하는 고체 촬상 소자.
  7. m개의 로우와 n개의 컬럼으로된 메크릭스(여기서 m 및 n은 각각 2보다 작지 않은 제1 및 제2의 양의 정수이다.)의 구성으로 배열되어 있고, 입사광에 따라 전하를 신호 전하로서 축적하기 위한 복수의 광전 변환부; 일측면에서 상기 광전 변환부의 n개의 컬럼에 인접하고, 각각이 상기 수직 방향을 따라 연장되며, 수직 방향을 따라 판독 전하를 전송전하로서 전송하기 위해 상기 광전 변환부로부터의 신호 전하를 판독전하로서 판독하고, 각각이 수직 방향을 따라 다른게 배열되는 제1 및 제2 수직 전하 전송 전극의 m개의 군과 이군밑에 형성된 수직 전하 전송영역을 구비하는 7개의 수직 전하 전송부를 구비하는데, 상기 제1수직 전하 전송전극은 수평 방향에서 각 광전 변환부로부터 이격되어 있고, 상기 제2수직 전하 전송 전극은 수평 방향에서 각 광전 변환부 근방으로 연장되며; 상기 n개의 수직 전하 전송부상에 각각 배치되며, 입사광으로부터 상기 수직 전하 전송부를 차폐하기 위한 차광막으로서의 역할을 하고, 각각이 도전막의 제1및 제2층으로 구성되어 제1 내지 제4금속 배선으로 분할되어 있는 n개의 급전부를 구비하는데, 상기 제1 내지 제3금속 배선은 상기 도전막의 제1층에서 상기 수직 전하 전송부 각각의 좌측, 중앙, 그리고 우측에 형성되고, 상기 제4금속 배선은 상기 도전막의 제2층에 형성되며, 상기 제1 및 제3금속 배선은 접촉홀을 통해 제1수직 전하 전송 전극에 다르게 접속되어 있고, 제2 및 제4금속 배선은 접촉홀을 통해 제2수직 전하 전송 전극에 다르게 접속되어 있으며, 제1 내지 제4금속 배선에는 상이 서로 다른 제1 내지 제4클럭 신호가 인가되고, 상기 제1 및 제3클럭 펄스 신호는 수직 전송 클럭만을 포함하고, 상기 제2 및 제4클럭 펄스 신호는 독출 펄스 및 수직 전송 클럭을 포함하며, 상기 제1 및 제3금속 배선만이 상기 광전 변화부와 상기 수직 전하 전송 역역간의 영역을 차광하고, 제2 및 제4금속 배선은 상기 수직 전하 전송부가 상기 광전 변환부로부터 상기 수직 전하 전송 영역으로서의 신호 전하를 판독전하로서 판돌할 수 있도록 상기 제2수직 전하 전송 전극에 돌출 신호를 공급하며, 상기 제1 내지 제4금속 배선은 상기 수직 전하전송부가 수직 방향을 따라 상기 독출 전하를 상기 전송전하로서 전송할 수 있도록 상기 제1 및 제2수직 전하 전송 전극에 수직 전송 클럽을 공급하도록 구성한 것을 특징으로 하는 고체 촬상 소자.
  8. 제7항에 있어서, 상기 제4금속 배선은 수직 방향으로 광전 변환부간의 수평 공간을 차광하기 위한 금속 배선을 접속함으로써 서로 접속되는 것을 특징으로 하는 고체 촬상 소자.
  9. 제7항에 있어서, 상기 제1 및 제3금속 배선은 수직 방향으로 상기 광전 변환부간의 수평 공간까지 연장되는 텅 부분을 구비함으로써 수평 공간의 차광 특성을 수행하는 것을 특징으로 하는 고체 촬상 소자.
  10. 제7항에 있어서, 상기 제1 내지 제4금속 배선중 적어도 하나는 고용융점 금속으로 형성되는 것을 특징으로 하는 고체 촬상 소자.
  11. 제7항에 있어서, 상기 제1 내지 제4금속 배선중 적어도 하나는 고용융점 금속의 실리사이드막으로 형성되는 것을 특징으로 하는 고체 촬상 소자.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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