DE19740612B4 - Anordnung von Bildsensorelementen - Google Patents

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Abstract

Anordnung von aneinander grenzenden identischen Bildsensorelementen in CMOS-Technologie zur zeilen- und spaltenweisen Aufnahme von Bildern,
wobei die Bildsensorelemente aus
– einer lichtempfindlichen Fläche (201, 202) und
– einem Schaltungsteil (200) mit einem Verdrahtungsteil (400) zum Verbinden der einzelnen Schaltungsteile (200) miteinander und nach außen
bestehen und wobei Schaltungsteil (200) mit Verdrahtungsteil (400) einen Teil und die lichtempfindliche Fläche den verbleibenden Teil der Fläche der Bildsensorelemente belegen,
wobei sich die lichtempfindlichen Flächen (201, 202) in einer Dimension über das gesamte Bildsensorelement erstrecken und derart angeordnet sind, dass sich ein schachbrettartiges Muster aus den lichtempfindlichen Flächen (201, 202) und den Schaltungsteilen (200, 400) ergibt.

Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine verbesserte Anordnung von Bildsensorelementen in CMOS-Technologie.
  • Zur Aufnahme von Stand- oder Bewegtbildern in der Videotechnik haben sich in den letzten Jahren im wesentlichen zwei Techniken etabliert, die Photodiodenarrays und die CCD-Sensoren. Zur Zeit sind über 90% aller verwendeten Sensoren in CCD-Technik realisiert.
  • Das Photodiodenarray ist die ältere Technik, hat aber in seiner ursprünglichen Form einige technologisch bedingte Nachteile, die zu geringerer Empfindlichkeit, höherem Rauschen, niedrigerer Geschwindigkeit etc. führten, weshalb es von den CCD-Sensoren weitgehend verdrängt worden ist.
  • CCD-Sensoren haben hingegen den Nachteil, daß sie aufgrund der zusätzlichen Komplexität des Herstellungsverfahrens und der erhöhten Herstellungskosten nicht leicht mit CMOS-Schaltkreisen integriert werden können. Auch sind CCD-Sensoren Vorrichtungen mit einer hohen Kapazität, so daß eine on-chip CMOS-Ansteuerelektronik für Anordnungen mit großer Fläche eine sehr hohe Leistung verbrauchen würde (2 bis 3 W). Darüber hinaus sind für CCD-Sensoren viele verschiedene Spannungsniveaus notwendig, um eine hohe Effizienz der Ladungsübertragung sicherzustellen.
  • Dagegen haben die Fortschritte in der Siliziumtechnologie es ermöglicht, bei einem Photodiodenarray jedem Bildaufnahmeelement eine eigene aktive Verarbeitungseinheit (z.B. Verstärker etc.) hinzuzufügen und so die bestehenden Nachteile der Photodiodenarrays zu beseitigen und insbesondere sogar neue Möglichkeiten der Bildaufnahme zu schaffen. Diese Technik ist unter dem Begriff „APS" („Active Pixel Sensor") bekannt. Die APS-Technik wird derzeit als für die Zukunft technologisch sehr bedeutsam angesehen.
  • Verbesserungen der bekannten Systeme sind gemacht worden, um die Bildschärfe und die Auflösung zu erhöhen, damit ein scharfes, gut aufgelöstes und kontrastreiches Bild bei einer vorgegebenen Anzahl von Bildelementen dargestellt werden kann. In diesem Zusammenhang ist beispielsweise festgestellt worden, daß eine hexagonale Anordnung sechseckiger Elemente, wie sie auch in der Retina von Mensch und Tier vorhanden ist, sehr vorteilhaft ist. Mit einer solchen Anordnung ist aber das Problem verbunden, daß eine numerische Bildverarbeitung deutlich erschwert ist, da die einzelnen Bildsensorelemente nicht in einer Anordnung von Spalten und Reihen angeordnet sind.
  • In Hinblick auf eine Optimierung der Anordnung von Bildsensorelementen haben die bekannten CCD-Sensoren jedoch den Nachteil, daß die CCD-Technik hinsichtlich der Formgebung und Anordnung der Bildpunkte wenig Freiheitsgrade bietet. In der Praxis sind nur rechteckige Formen von Bildsensorelementen, die zu einer regulären kartesischen Matrix zusammengefügt werden, von Bedeutung.
  • In der US-Patentschrift Nr. 3 971 065 wird ein Bildsensor beschrieben, bei dem drei verschiedene Typen von Bildsensorelementen, die jeweils aus CCD-Sensoren bestehen, dergestalt angeordnet sind, daß gleiche Typen von Bildsensorelementen jeweils in der Form von Gittern angeordnet sind. Genauer gesagt stellen die verschiedenen Typen von Bildsensorelementen jeweils eine erste Farbe, beispielsweise grün, eine zweite Farbe, beispielsweise rot, sowie die allgemeine Helligkeit dar. Die Bildsensorelemente für die allgemeine Helligkeit sind dabei in der Form eines Schachbrettmusters angeordnet, während die Bildsensorelemente für die erste Farbe die Zwischenräume in einer ersten Schachbrettmusterreihe, die Bildsensorelemente für die zweite Farbe die Zwischenräume in der zweiten Schachbrettmusterreihe und so weiter auffüllen. Dadurch sollen einerseits die hohe Komplexität der optischen Konstruktion und andererseits die mit den herkömmlichen Verfahren verbundenen Probleme der Bild-Lagegenauigkeit bei hintereinander angeordneten Filtern für verschiedene Farben vermieden werden.
  • Im Vergleich zu den CCD-Sensoren ist bei APS-CMOS-Sensoren dagegen prinzipiell fast jede beliebige Form mit beliebiger Gesamtanordnung realisierbar.
  • Bei einem bekannten AP-Sensor, wie er beispielsweise aus „CMOS Active Pixel Image Sensors for Highly Integrated Imaging Systems", Sunetra K. Mendis et al., IEEE Journal of Solid-State Circuits, Vol. 32, No. 2, February 1997, oder „Smar Image Sensors for Optical Microsystems", Peter Seitz et al., Laser und Optoelektronik 28(6)/1996, bekannt ist, besteht ein einzelnes Sensorelement im wesentlichen aus drei Komponenten, die wie in 4a gezeigt angeordnet sind:
    • 1. aus einer lichtempfindlichen Fläche 101 in Form einer Photodiode oder eines Phototransistors;
    • 2. aus einem Schaltungsteil 100, der beispielsweise mehrere CMOS-Transistoren umfaßt und im allgemeinen für den Lichtnachweis nicht verwendbar ist, zum Erzeugen eines dem einfallenden Licht entsprechenden Signals und Verarbeiten des Signals;
    • 3. aus einem Verdrahtungteil 102, der die einzelnen Sensorbildelemente zu einem Gesamtsensor verbindet.
  • Die Anordnung der Komponenten der einzelnen Sensorelemente erfolgt nach schaltungs- und layouttechnischer Notwendigkeit und ist für eine spätere Weiterverarbeitung der Bildinformation nicht unbedingt optimal. Die Sensorelemente werden dann gemäß 4b zu einer Matrix oder zu anderen Strukturen angeordnet.
  • Bei der Optimierung der bekannten Bildsensorelemente und Bildsensoren findet sich der Fachmann im Spannungsfeld der folgenden gegenläufigen Tendenzen wieder.
    • 1. Einerseits lassen sich Bildschärfe und Auflösung erhöhen, indem man die Anzahl der Bildsensoren erhöht und das Verhältnis lichtempfindliche Fläche zu Bildsensoroberfläche vergrößert.
    • 2. Andererseits hängen Kosten und Schnelligkeit des sich ergebenden Bildsensors von der Anzahl der Sensorelemente ab. D. h. je mehr Sensorelemente, desto langsamer und teurer wird der sich ergebende Bildsensor.
  • In der DE 33 45 147 A1 wird ein Festkörper-Bildaufnahmewandler beschrieben, der einen SIT („static induction transistor") verwendet. Dieser Festkörper-Bildaufnahmewandler besteht aus einer Vielzahl von Festkörper-Bildaufnahmeelementen, die in einer Matrix angeordnet sind. Ein Großteil der Oberfläche des Festkörper-Bildaufnahmewandlers ist dabei allerdings mit Schaltungs- und Verdrahtungsteilen belegt. Diese Oberflächenbereiche stehen daher nicht für den Lichtnachweis zur Verfügung.
  • Die US 4 242 700 befasst sich mit dem spaltenweisen Auslesen von Daten aus den Bildsensorelementen eines CCD-Bildsensors, wobei mehrere Bildsensorelemente gleichzeitig ausgelesen werden können. Bei Bildsensoren in CCD-Technologie handelt es sich gegenüber Bildsensorelementen in CMOS-Technologie jedoch um eine vollkommen andere Technologie. CCD-Bildsensoren weisen andere elektronische Eigenschaften auf und bedingen andere Herstellungsverfahren und -kosten. Insbesondere besteht bei CCD-Bildsensoren nicht das vorliegende Problem der Belegung eines Teils der Oberfläche mit Schaltungs- und Verdrahtungselementen.
  • In der EP 0788167 A2 wird der Aufbau eines Sensors beschrieben, der qualitativ hochwertige Kondensatoren für die Datenauslesung beinhalten und gleichzeitig über einen einfachen Aufbau verfügen soll. Auf die Anordnung der verschiedenen Bildsensorelemente wird nur am Rande eingegangen. Die Bildsensorelemente sind auch hier nicht in CMOS-Technologie realisiert. Die Druckschrift zeigt auch eine Anordnung von versetzt zueinander angeordneten Bildsensorelementen, bei der die Elemente allerdings entweder nur in Spalten-Richtung oder nur in Zeilen-Richtung ausgelesen werden.
  • Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die bekannte Anordnung von Bildsensorelementen in CMOS-Technologie dahingehend zu verbessern, dass die Kosten des sich aus den Bildsensorelementen ergebenden Bildsensors verringert werden, seine Schnelligkeit erhöht wird und dass gleichzeitig die Bildschärfe und Auflösung des Bildsensors nicht beeinträchtigt werden.
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung wir die Aufgabe durch die Merkmale von Patentanspruch 1 gelöst. Gemäß der vorliegenden Erfindung wird darüber hinaus auch noch ein Bildsensor nach Anspruch 7 sowie dessen Verwendung nach Anspruch 8 bereitgestellt.
  • Die vorliegende Erfindung beruht im Wesentlichen auf der Erkenntnis, dass die Leistungsfähigkeit eines Bildsensors dadurch erhöht werden kann, dass sich die lichtempfindlichen Flächen in einer Dimension über das gesamte Bildsensorelement erstrecken und derart angeordnet sind, dass sich ein schachbrettartiges Muster aus den lichtempfindlichen Flächen und den Schaltungsteilen ergibt. Die Bildinformation der zwischen den lichtempfindlichen Flächen liegenden Bereiche der jeweiligen Bildsensorelemente kann dann durch bekannte Interpolationsverfahren, wie sie beispielsweise aus dem Beitrag von Kris S. Balch „Replacing 16 mm Film Calmeras with High Definition Digital Cameras" in „Ultrahigh- and High-Speed Photography, Videography, and Photonics '94", Proceedings of SPIE – The International Society for Optcial Engineering, 27–28 July 1994, Vol. 2273, bekannt sind, gewonnen werden.
  • Somit wird die Tatsache, daß bei einem bekannten CMOS-Sensor in APS-Technik nur ein Teil der Sensorfläche für den Lichtnachweis zur Verfügung steht, gemäß der vorliegenden Erfindung gezielt ausgenutzt, indem lichtempfindliche und nichtlichtempfindliche Teile so angeordnet werden, daß mit Hilfe von Interpolationsverfahren ein Bild rekonstruiert werden kann, das qualitativ hochwertiger als ein Bild mit gleicher Anzahl von Bildsensorelementen aber anderer Form und Anordnung der Bildsensorelemente ist. Gemäß der vorliegenden Erfindung können für die Interpolation bekannte Interpolationsverfahren verwendet werden.
  • Das Interpolationsverfahren kann direkt in die Hardware implementiert werden, so daß das Interpolationsverfahren nicht zeitkritisch ist, d.h. zu einer Verzögerung des Bildaufnahmeverfahrens führt. Darüber hinaus kann das Interpolationsverfahren zeitlich nach hinten verschoben werden, so daß es nicht während der Bildaufnahme sondern erst während der Bildverarbeitung abläuft.
  • Die Recheneinheit zur Interpolation der gewonnenen Daten kann auch in dem Schaltungsteil von jedem einzelnen Bildsensorelement enthalten sein.
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung werden die folgenden Vorteile erzielt:
    • 1. Die technologische Randbedingung, daß nicht die ganze Bildsensorelementoberfläche für die lichtempfindlichen Elemente bzw. Flächen zur Verfügung stehen (Füllfaktor << 100%, da die Schaltung in jedem Bildsensorelement Platz benötigt), wird gezielt ausgenutzt. Es werden Strukturen realisiert, welche die Anwendung einfacher, sehr wirkungsvoller Interpolationsverfahren ermöglichen. Die Effektivität dieser Interpolationsverfahren beruht darauf, daß nicht die vollständige Sensorfläche bzw. Bildsensorelementfläche mit lichtempfindlichen Elementen belegt ist, sondern lichtempfindliche und lichtunempfindliche Regionen entsprechend angeordnet sind.
    • 2. Einfachste Umrechnung der gewonnenen Bildpunkte in ein Bildformat in Form einer regulären kartesischen Matrix zur Weiterverwendung in der Bildverarbeitung. Die „blinden Felder" der Schachbrettstruktur können leicht durch Interpolation gewonnen werden, und man erhält somit ein Bild mit quadratischen Bildpunkten.
    • 3. Da für ein qualitativ gleichwertiges Bild durch die erfindungsgemäße Vorrichtung effektiv weniger Bildpunkte im Bildsensor erforderlich sind, können schnellere und kostengünstigere Kameras realisiert werden.
  • Die vorliegende Erfindung wird nun unter Bezugnahme auf die begleitenden Zeichnungen detaillierter beschrieben.
  • 1 zeigt eine beispielhafte Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Bildsensorelements.
  • 2 zeigt eine beispielhafte Anordnung von erfindungsgemäßen Bildsensorelementen, wie sie beispielsweise in 1 gezeigt sind.
  • 3 zeigt einen erfindungsgemäßen Bildsensor mit der in 2 gezeigten Anordnung von Bildsensorelementen.
  • 4a zeigt ein herkömmliches Bildsensorelement, und 4b zeigt einen herkömmlichen Bildsensor.
  • 5 zeigt eine beispielhafte Anordnung der Schwerpunkte der lichtempfindlichen Flächen der einzelnen Bildsensorelemente.
  • Ein wie in 1a gezeigtes Bildsensorelement gemäß der vorliegenden Erfindung ist rechteckig ausgebildet und weist eine vorbestimmte Länge und eine vorbestimmte Breite auf. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform beträgt das Verhältnis zwischen Länge und Breite 2 zu 1, aber es sind auch andere geeignet ausgewählte Verhältnisse denkbar. Ein Teil (201) des Bildsensorelements ist dabei für das lichtempfindliche Element, beispielsweise eine Photodiode oder einen Phototransistor vorgesehen, während ein weiterer Teil (200) für den lichtunempfindlichen Schaltungsteil vorgesehen ist.
  • Wie in 1b gezeigt, wird gemäß der vorliegenden Erfindung vorzugsweise die lichtempfindliche quadratische Fläche an den Ecken beschnitten, um Platz für die Verdrahtung zu schaffen. Dadurch entsteht eine achteckige Form der Photodiode bzw. des Phototransistors 202. Somit ist, wie in 1b gezeigt, das lichtempfindliche Element so angeordnet, daß die lichtempfindliche Fläche einen Abschnitt des Bildsensorelements im wesentlichen auf seiner ganzen Breite bedeckt. Dabei kann jedoch gemäß der vorliegenden Erfindung die lichtempfindliche Fläche jede beliebige Form aufweisen, beispielsweise eine sechseckige, viereckige oder Kreisform oder aber auch eine beliebige unregelmäßige Form. Für die vorliegende Erfindung ist lediglich wichtig, daß sie einen Abschnitt des Bildsensorelements im wesentlichen auf seiner ganzen Breite bedeckt. Dabei heißt „im wesentlichen auf seiner ganzen Breite" vollständig bis auf kleinere Bereiche, die zum Bereitstellen von Verdrahtungsteilen ausgespart worden sind.
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung werden die bekannten oder erfindungsgemäßen Bildsensorelemente so angeordnet, dass die Schwerpunkte der lichtempfindlichen Flächen der einzelnen Bildsensorelemente in Form von zwei oder mehr zueinander versetzt angeordneten quadratischen Gittern angeordnet sind, wobei die Gitterlinien jeweils parallel zu den Zeilen bzw. Spalten des aufzunehmenden Bildes sind. Das heißt, je nachdem, in welcher Orientierung man den Bildsensor betrachtet, stellen die einzelnen Gitterlinien entweder die Reihen oder die Spalten des aufzunehmenden Bildes dar.
  • Dabei sind die Schwerpunkte der lichtempfindlichen Flächen der einzelnen Bildsensorelemente in einer Gitterlinie vorzugsweise derart angeordnet, dass sie auf die Hälfte des Abstands zwischen zwei Schwerpunkten von lichtempfindlichen Flächen der einzelnen Bildsensorelementen der vorangehenden Gittelinie fallen, wie in 5 gezeigt. Die Anordnung der Bildsensorelemente gemäß der vorliegenden Erfindung ergibt eine Art Schachbrettmuster, wie dies in 2 beispielhaft gezeigt ist.
  • Die Verdrahtung der Bildsensorelemente erfolgt dabei gemäß 3. Die Größe der abgeschnittenen Ecken wird dabei gerade so groß gewählt, wie es für die Verdrahtung (400) erforderlich ist.
  • Bei Betrieb des Bildsensors wird in den lichtempfindlichen Flächen der einzelnen Bildsensorelementen durch das einfallende Licht ein Photostrom erzeugt, der räumlich über die Größe des Bildsensorelements und zeitlich über die Belichtungszeit in einer nicht gezeigten Verarbeitungseinrichtung aufintegriert wird, so daß sich ein der jeweiligen Graustufe ergebendes Bildsignal ergibt. Die Bildsignale der lichtunempfindlichen Teile der Bildsensorelemente werden in der nicht gezeigten Recheneinheit durch bekannte Interpolationsverfahren gewonnen. Durch diese Technik läßt sich bei einer festliegenden Anzahl von Bildsensorelementen die Auflösung erhöhen, d.h. wenn die lichtempfindliche Fläche jeweils die Hälfte des Bildsensorelements einnimmt, verdoppeln, beziehungsweise bei einer festgelegten Auflösung die Anzahl an Bildsensorelementen verringern, d.h. wenn die lichtempfindliche Fläche jeweils die Hälfte des Bildsensorelements einnimmt, halbieren, wodurch die Kosten verringert und die Schnelligkeit des Bildsensors erhöht wird.
  • Das erfindungsgemäße Bildsensorelement kann auch ein Längen-Breiten-Verhältnis von 3:1 oder mehr aufweisen, wobei die lichtempfindliche Fläche auf einem Drittel oder weniger des Bildsensorelements angeordnet ist. Ebenso ist denkbar, daß das erfindungsgemäße Bildsensorelement ein Längen-Breiten-Verhältnis von 4:1 aufweist, wobei die lichtempfindliche Fläche die Hälfte des Bildsensorelements ausfüllt und mittig auf dem Bildsensorelement angeordnet ist.
  • Der erfindungsgemäße Bildsensor kann aufgrund seiner erhöhten Schnelligkeit vorteilhafterweise in Hochgeschwindigkeitskameras, beispielsweise für Hochgeschwindigkeitsvideoaufnahmen, verwendet werden. Beispielsweise kann für eine Kamera mit 1000 Bildern/Sekunde ein Bildsensor mit 5122 herkömmlichen Sensorelementen verwendet werden. Gemäß der vorliegenden Erfindung liefert ein Bildsensor mit 256 × 512 erfindungsgemäßen Sensorelementen 5122 Bildpunkte bei vergleichbarer Bildqualität in einer Kamera mit 2000 Bildern/Sekunde.

Claims (8)

  1. Anordnung von aneinander grenzenden identischen Bildsensorelementen in CMOS-Technologie zur zeilen- und spaltenweisen Aufnahme von Bildern, wobei die Bildsensorelemente aus – einer lichtempfindlichen Fläche (201, 202) und – einem Schaltungsteil (200) mit einem Verdrahtungsteil (400) zum Verbinden der einzelnen Schaltungsteile (200) miteinander und nach außen bestehen und wobei Schaltungsteil (200) mit Verdrahtungsteil (400) einen Teil und die lichtempfindliche Fläche den verbleibenden Teil der Fläche der Bildsensorelemente belegen, wobei sich die lichtempfindlichen Flächen (201, 202) in einer Dimension über das gesamte Bildsensorelement erstrecken und derart angeordnet sind, dass sich ein schachbrettartiges Muster aus den lichtempfindlichen Flächen (201, 202) und den Schaltungsteilen (200, 400) ergibt.
  2. Anordnung nach Anspruch 1, wobei die Bildsensorelemente rechteckig ausgebildet sind mit einer Länge und einer Breite.
  3. Anordnung nach Anspruch 2, wobei das Längen-Breiten-Verhältnis 2:1 beträgt.
  4. Anordnung nach Anspruch 2 oder 3, wobei die lichtempfindliche Fläche (202) in Form eines Achtecks ausgebildet ist.
  5. Anordnung nach einem der Ansprüche 2 bis 4, wobei die lichtempfindliche Fläche (201, 202) auf einer Hälfte des Bildsensorelements angeordnet ist.
  6. Anordnung nach einem der Ansprüche 2 bis 5, wobei die lichtempfindliche Fläche (201, 202) eine Photodiode, ein Phototransistor oder ein Photowiderstand ist.
  7. Bildsensor mit einer Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, Verdrahtungselementen zur Verbindung der Verdrahtungsteile der einzelnen Bildsensorelemente nach außen und einer mit den Verdrahtungselementen verbundenen Recheneinheit zur Interpolation der gewonnenen Daten.
  8. Verwendung des Bildsensors nach Anspruch 7 in einer Hochgeschwindigkeitskamera.
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