DE69738529T2 - Aktiver pixelsensor mit einzelner pixelrücksetzung - Google Patents

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    • H01L27/144Devices controlled by radiation
    • H01L27/146Imager structures
    • H01L27/14643Photodiode arrays; MOS imagers
    • H01L27/14654Blooming suppression

Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft allgemein den Bereich der Halbleiterbildsensoren und insbesondere aktive Pixelsensoren (APS).
  • APS sind Halbleiterbildwandler, bei denen jedes Pixel ein Lichtsensormittel, Ladungs-Spannungs-Umwandlungsmittel, Rücksetzmittel und sämtliche oder einige Teile eines Verstärkers beinhaltet. Diese haben einige Vorteile gegenüber ladungsgekoppelten Bildwandlern (CCD), u. a. einheitlicher Betrieb mit 5 V Versorgungsspannung, X-Y-Adressierbarkeit und Signalverarbeitung auf dem Chip.
  • APS sind Halbleiterbildwandler, bei denen jedes Pixel ein Lichtsensormittel, Ladungs-Spannungs-Umwandlungsmittel, Rücksetzmittel und sämtliche oder einige Teile eines Verstärkers beinhaltet. Wegen des Konzepts, das zum Rücksetzen der Pixel dient, werden APS-Vorrichtungen bislang in einer Weise betrieben, bei der jede Zeile oder Reihe des Bildwandlers in einem anderen Zeitintervall als die übrigen Zeilen oder Reihen integriert, rückgestellt und ausgelesen wird. Wenn man den gesamten Bildwandler auslesen würde, würde jede Zeile die Szene zu einem anderen Zeitpunkt erfasst haben. Da die Lichtbedingungen möglicherweise oder tatsächlich vorübergehend schwanken, und da sich zudem Motive in der Szene möglicherweise bewegen, kann dieses Leseverfahren Zeilenartefakte in der resultierenden Darstellung des Bildwandlers erzeugen. Dies schränkt die Verwendbarkeit von APS-Vorrichtungen in Anwendungen ein, in denen hochwertige Bewegt- oder Stehbilder erforderlich sind.
  • Zudem macht es dieses Arbeitsverfahren (Rücksetzen und Auslesen jeweils einer Zeile) erforderlich, dass jede Spalte der Vorrichtung einen separaten Klemm- und einen Abtastverstärker aufweist. Es ist häufig die physische Größe dieses Verstärkers in dem verwendeten Herstellungsprozess dieser Vorrichtung, die die Pixelgröße des Sensors beschränkt. Um hoch auf lösende APS-Vorrichtungen mit kleinen Pixeln zu bauen, ist es notwendig, sub-μm-CMOS-Prozesse zu verwenden, um dieselbe Auflösung und Empfindlichkeit der APS-Vorrichtung im Vergleich zu einem standardmäßigen, ladungsgekoppelten Sensor (CCD) zu erzielen. Die kleinste Pixelgröße einer APS-Vorrichtung beträgt üblicherweise das 15-fache bis 20-fache der kleinsten Merkmalsgröße der verwendeten Prozesstechnologie, verglichen mit dem 5-fachen bis 10-fachen für eine CCD-Vorrichtung.
  • Aus der vorausgehenden Erörterung sollte deutlich werden, dass in der Technik Bedarf nach APS-Vorrichtungen zur Bereitstellung eines Rücksetzmechanismus besteht, der die Fähigkeit bietet, alle Pixel gleichzeitig zurückzusetzen, ebenso wie wahlweise jeweils ein Pixel zurückzusetzen. Zudem besteht in der Technik Bedarf nach einem Schaltungsentwurf, der simultane und gleiche Integrationszeiten jedes Pixels bereitstellt und die Verwendung eines einzigen Klemm- und Abtastverstärkers pro Vorrichtung anstatt pro Spalte ermöglicht.
  • Die vorliegende Erfindung betrifft allgemeinen den Bereich der Halbleiterfotosensoren und -bildwandler, insbesondere Bildwandler, die als aktive Pixelsensoren (APS) nach Anspruch 1 und 3 bezeichnet werden. Sie besteht aus einer neuen Pixelarchitektur und einem neuen Rücksetzverfahren, das die Fähigkeit verleiht, die gesamte Vorrichtung, jeweils eine Reihe oder beliebige einzelne Pixel separat zurückzusetzen.
  • 1 zeigt ein APS-Pixel nach dem Stand der Technik. Die Pixel sind in einem Array (X-Spalten und Y-Reihen) angeordnet, um einen Bildsensor zu bilden. Das einfallende Licht erzeugt in dem Fotodetektor Elektronen. Diese Elektronen werden auf die Floating Diffusion (gleitender Diffusor) übertragen, die mit dem Gate von SIG verbunden ist. Dieses Signal wird ausgelesen, indem die gewünschte Reihe ausgewählt wird (wobei das gewünschte Reihenauswahlsignal eingeschaltet wird, indem eine „Einschalt-Spannung" an das Gate des Reihenauswahltransistors angelegt wird), und indem dann jede Spalte separat ausgewählt wird. Der Signalpegel wird in einem Kondensator in einer Klemm- und Abtastschaltung unten an jeder Spalte gespeichert. Die Floating Diffusion wird dann zurückgesetzt, indem der Reset für diese Reihe eingeschaltet wird, indem die entsprechende Einschalt-Spannung an das Reset-Gate angelegt wird. Der Rücksetzpegel wird dann in einem separaten Kondensator in dem Klemm- und Abtastverstärker gespeichert und mit dem Signalpegel differenziert, wodurch jedes Pixel versetzt gelöscht wird. Dieser gesamte Vorgang wird für die verbleibenden Reihen wiederholt, wobei jede Reihe dieselbe Integrationszeit aufweist.
  • Die vorliegende Erfindung stellt einen Rücksetzmechanismus bereit, der die Fähigkeit aufweist, alle Pixel gleichzeitig oder jeweils ein Pixel zurückzusetzen. Dieser Mechanismus stellt zudem simultane und gleiche Integrationszeiten für jedes Pixel bereit. Zudem ermöglicht der erfindungsgemäße Rücksetzmechanismus die Verwendung eines einzelnen Klemm- und Abtastverstärkers pro Vorrichtung anstelle einer separaten Klemm- und Abtastvorrichtung für jede Spalte. 2A und 2B zeigen zwei physische Ausführungsbeispiele der neuen Pixelarchitekturen. Andere physische Ausführungsbeispiele sind möglich. Diese beiden werden zur Veranschaulichung herangezogen.
  • In der ersten Architektur (in 2A gezeigt) umfasst das Pixel einen zusätzlichen Reset-Transistor mit einem Spalten-Reset-Gate. Das originale Reset-Gate in 1 ist in der vorliegenden Erfindung ein Reihen-Reset-Gate, wie in 2A dargestellt. Im Vergleich mit dem Pixel nach dem Stand der Technik ist es ist mit einem zusätzlichen Reset-Transistor versehen. In dieser Architektur muss sowohl am Reihen-Reset-Gate als auch am Spalten-Reset-Gate eine Einschalt-Spannung anliegen, um das Pixel zurückzusetzen. Frame-Reset erfolgt durch simultanes Anlegen dieses Einschalt-Signals an jedes Reihen-Reset-Gate und Spalten-Reset-Gate. Pixelweises Rücksetzen erfolgt, indem das Spaltenauslesesignal als Spalten-Reset-Gate-Signal verwendet wird und indem das Reihen-Reset-Gate-Einschaltsignal angelegt wird, nachdem der Signalpegel des Pixels ausgelesen worden ist. Da das Reset-Signal für das Pixel unmittelbar nach Auslesen des Signalpegels zur Verfügung steht, ohne die übrigen Pixel in dieser Reihe zurückzusetzen, kann ein einzelner Klemm- und Abtastverstärker verwendet werden. Zudem wurde eine Frame-Integration durchgeführt.
  • 2B zeigt eine weitere Architektur, bei der das Reihen-Reset-Gate an den Drain des Reset-Transistors angelegt wird, und bei der das Spalten-Reset-Gate-Signal an das Gate des Reset-Transistors angelegt wird. Der Betrieb ist der gleiche wie der zuvor beschriebene, mit dem Unterschied, dass ein Transistor anstelle von zwei Transistoren verwendet wird, und dass weniger Fläche als bei der Architektur in 1A verbraucht wird. Wenn getrennte digitale und analoge VDD-Busse für das Pixel nach dem Stand der Technik verwendet werden, hat die Architektur aus 2B dieselbe Anzahl von Transistoren und Bussen wie das Pixel nach dem Stand der Technik, so dass keine Einbußen des Füllfaktors entstehen, um die pixelweise Rücksetzung zu erhalten.
  • Diese und weitere Aspekte, Aufgaben, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden unter Berücksichtigung der folgenden detaillierten Beschreibung der bevorzugten Ausführungsbeispiele und anhängenden Ansprüche sowie durch Bezug auf die anliegenden Zeichnungen besser verständlich und verdeutlicht.
  • Die vorliegende Erfindung weist folgende Vorteile auf: Es wird ein Rücksetzmittel bereitgestellt, das es ermöglicht, alle Pixel gleichzeitig sowie pixelweise zurückzusetzen. Dies ermöglicht simultane und gleiche Integrationszeiten für jedes Pixel und ermöglicht die Verwendung eines einzigen Klemm- und Abtastverstärkers pro Vorrichtung statt pro Spalte.
  • Die Erfindung wird im folgenden anhand in der Zeichnung dargestellter Ausführungsbeispiele näher erläutert.
  • Es zeigen:
  • 1 eine Darstellung eines aktiven Pixelsensors nach dem Stand der Technik;
  • 2A ein Diagramm eines aktiven Pixelsensors, welcher das erfindungsgemäße Rücksetzen einzelner Pixel verwendet; und
  • 2B ein alternatives Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung.
  • Zum besseren Verständnis wurden, soweit möglich, identische Bezugszeichen verwendet, um identische Elemente zu bezeichnen, die den verschiedenen Figuren gemeinsam sind.
  • Die vorliegende Erfindung betrifft den Bereich der Halbleiter-Fotosensoren und -Bildwandler, insbesondere Bildwandler, die als aktive Pixelsensoren (APS) bezeichnet werden. Sie besteht aus einer neuen Pixelarchitektur und einem neuen Rücksetzverfahren, das die Fähigkeit ver leiht, die gesamte Vorrichtung, jeweils eine Reihe oder beliebige einzelne Pixel separat zurückzusetzen.
  • 1 zeigt ein APS-Pixel 10 nach dem Stand der Technik. Das Pixel 10 umfasst einen Fotodetektor 11, bei dem es sich entweder um eine Fotodiode oder ein Foto-Gate handeln kann, ein Transfer-Gate 13, eine Floating Diffusion 15, einen Reset-Transistor 17 mit einem Reset-Gate 16, einen Reihen-Auswahl-Transistor 19 mit einem Reihen-Auswahl-Gate, und einen Signaltransistor 5. Pixel, wie die in 1 gezeigten, sind in einem Array (X-Spalten und Y-Reihen) angeordnet, um einen Bildsensor zu bilden. Der Betrieb der Vorrichtung erfolgt in einer Weise, in der einfallendes Licht Elektronen in dem Fotodetektor erzeugt. Diese Elektronen werden dann für die gewünschte Reihe auf die Floating Diffusion übertragen, indem das Transfer-Gate 13 für diese Reihe eingeschaltet wird. Dieses Signal wird ausgelesen, indem die gewünschte Reihe ausgewählt und der gewünschte Reihen-Auswahl-Transistor eingeschaltet wird, indem eine „Einschalt-Spannung" an das Gate für diesen Reihen-Auswahl-Transistor 19 angelegt wird. Jede Reihe für jede Spalte innerhalb der Matrix wird auf diese Weise separat ausgewählt. Alle übrigen Reihen werden „ausgeschaltet", indem das entsprechende Signal an das Gate für den jeweiligen Reihen-Auswahl-Transistor für diese Reihe angelegt wird. Wenn eine bestimmte Spalte ausgewählt wird (die Details dieser Operation sind nicht für die vorliegende Erfindung relevant), wird das auf dieser Leitung vorhandene Signal danach ermittelt, welche Reihe ausgewählt ist (d. h. die Reihe, in der der Reihen-Auswahl-Transistor eingeschaltet ist). Der Signalpegel wird in einem Kondensator in einer Klemm- und Abtastschaltung unten an jeder Spalte gespeichert. Nachdem der Signalpegel gespeichert worden ist, wird die Floating Diffusion 15 zurückgesetzt, indem die entsprechende Einschaltspannung am Reset-Gate 16 des entsprechenden Reset-Transistors 17 angelegt wird. Jedes Pixel in dieser Reihe ist nun zurückgesetzt. Der Rücksetzpegel wird dann in einem separaten Kondensator in dem Klemm- und Abtastverstärker gespeichert und mit dem Signalpegel differenziert, wodurch jedes Pixel versetzt gelöscht wird. Die gesamte Operation wird dann für die verbleibenden Reihen wiederholt. Jede Reihe hat die gleiche Integrationszeit (Zeit zwischen Rücksetzen und Übertragen), wird aber zu einem anderen Zeitpunkt als jede der übrigen Reihen integriert.
  • Die vorliegende Erfindung stellt einen Rücksetzmechanismus bereit, der die Fähigkeit aufweist, alle Pixel gleichzeitig oder jeweils ein Pixel zurückzusetzen. Die Fähigkeit, alle Pixel zu einer Zeit zurückzusetzen, ermöglicht simultane und gleiche Integrationszeiten für jedes Pixel und ermöglicht die Verwendung eines einzigen Klemm- und Abtastverstärkers pro Vorrichtung statt pro Spalte. 2A und 2B zeigen zwei physische Ausführungsbeispiele der neuen Pixelarchitekturen. Andere physische Ausführungsbeispiele sind möglich. Diese beiden werden zur Veranschaulichung herangezogen.
  • Es wird Bezug genommen auf 2A, in der eine erste Architektur eines aktiven Pixelsensors 20 gezeigt wird, wie von der vorliegenden Erfindung vorgesehen, der aus einem Fotodetektor 11, einem Transfer-Gate 13 und einer Floating Diffusion 15 besteht, wie in 1 gezeigt, und zudem einen zusätzlichen Reset-Transistor mit einem Spalten-Reset-Gate 28 umfasst. Der originale Reset-Transistor 17 aus der in 1 gezeigten Vorrichtung nach dem Stand der Technik wird in der vorliegenden Erfindung als Reihen-Reset-Transistor 27 verwendet, wie in 2A gezeigt, und weist ein Reihen-Reset-Gate 26 auf. Das gezeigte Ausführungsbeispiel hat einen einzelnen Reihen-Reset-Transistor 27 mit einem Reihen-Reset-Gate 26 und dem zugehörigen Reihen-Reset-Gate-Bus 25 für jede Reihe und ein Spalten-Reset-Gate 28 mit einem entsprechenden Bus für jede Spalte. Es ist daher ein zusätzlicher Reset-Transistor in dem Ausführungsbeispiel vorhanden, wie in 2A gezeigt, verglichen mit dem zuvor beschriebenen Pixel nach dem Stand der Technik.
  • Die in 2A gezeigte Architektur erfordert, dass sowohl an dem Reihen-Reset-Gate 26 als auch an dem Spalten-Reset-Gate 28 eine Einschalt-Spannung anliegt, um das Pixel zurückzusetzen. Frame-Reset erfolgt durch simultanes Anlegen dieses Einschalt-Spannungs-Signals an sowohl das Reihen-Reset-Gate 26 als auch an das Spalten-Reset-Gate 28. Jedes Pixel wird dann für eine vorbestimmte Zeitdauer integriert und die Signalelektroden werden zur Floating Diffusion übertragen und auf dieser gespeichert. Das Auslesen erfolgt durch Auswählen der gewünschten auszulesenden Reihe (d. h. Einschalten der entsprechenden Reihenauswahl 19) und dann Auswählen der auszulesenden Spalte. Das Spaltenauswahlsignal wird als Spalten-Reset-Gate-Einschaltsignal genutzt. Der Signalpegel wird in einem Kondensator in einer Klemm- und Abtastschaltung gespeichert, der unten an der Vorrichtung angeordnet ist. Die ausgelesene Spalte wird im Multiplexverfahren an den Eingang des Verstärkers angelegt.
  • Nachdem das Spaltensignal ausgelesen worden ist und das Spaltenauswahlsignal weiterhin vorhanden ist, wird das Reihen-Reset-Gate 26 eingeschaltet und das Pixel zurückgesetzt. Dieser Rücksetzpegel wird dann auf einem anderen Kondensator in dem Klemm- und Abtastverstärker gespeichert und mit dem Signalpegel differenziert. Die gleiche Folge läuft mit dem Rest der Spalten in dieser Reihe ab, da keines der anderen Pixel bislang zurückgesetzt worden ist. Dieses pixelweise Rücksetzen erfolgt, weil das Spalten-Reset-Gate-Signal das Spalten-Lesesignal ist, und durch anschließendes Anlegen des Reihen-Reset-Gate-Einschaltsignals nach Auslesen des Signalpegels des Pixels.
  • Da das Reset-Signal für dieses Pixel unmittelbar nach Auslesen des Signalpegels zur Verfügung steht, ohne die übrigen Pixel in dieser Reihe zurückzusetzen, kann ein einzelner Klemm- und Abtastverstärker verwendet werden. Zudem wurde eine Frame-Integration durchgeführt.
  • 2B zeigt eine zweite bevorzugte Architektur, wobei bei dem aktiven Pixelsensor (APS) 30 ein Reihen-Reset-Gate-Signal 36 an den Drain des Reset-Transistors 37 angelegt wird, und wobei das Spalten-Reset-Gate-Signal 38 an das Gate des Reset-Transistors 37 angelegt wird. Der Betrieb ist der gleiche wie der zuvor für 2B beschriebene, mit dem Unterschied, dass ein Transistor anstelle von zwei Transistoren verwendet wird, und dass weniger Fläche als bei der Architektur in 1 verbraucht wird. Wenn separate digitale und analoge VDD-Busse für das Pixel nach dem Stand der Technik verwendet werden, behält die Architektur aus 2B den Füllfaktor des Pixels nach dem Stand der Technik bei, während eine zusätzliche Fähigkeit bereitgestellt wird.

Claims (3)

  1. Aktiver Pixelbildsensor mit einer Vielzahl von Pixelorten (20), die in einer aus Reihen und Spalten bestehenden Matrix angeordnet sind, wobei jeder Pixelort einen Fotodetektor (11) und einen gleitenden Diffusor (15) aufweist, die mittels eines Übertragungs-Gates miteinander verbunden sind, und mit einer Reset-Schaltung, die einen Reihen-Reset-Transistor (26) mit einem Gate aufweist, das an eine Quelle eines Reihen-Reset-Signals angeschlossen ist, um den gleitenden Diffusor für jede Reihe zurückzustellen, mit: einem Spalten-Reset-Transistor (28), der in Reihe mit dem Reihen-Reset-Transistor (26) geschaltet ist, wobei eine Quelle eines Spalten-Reset-Signals mit einem Gate des Spalten-Reset-Transistors (28) verbunden ist.
  2. Aktiver Pixelbildsensor nach Anspruch 1, worin die Quelle des Spalten-Reset-Signals ein Spalten-Auswahlsignal für den Pixelort ist.
  3. Aktiver Pixelbildsensor mit einer Vielzahl von Pixelorten (20), die in einer aus Reihen und Spalten bestehenden Matrix angeordnet sind, wobei jeder Pixelort einen Fotodetektor (11) und einen gleitenden Diffusor (15) aufweist, die mittels eines Übertragungs-Gates miteinander verbunden sind, und mit einer Reset-Schaltung, die einen Reset-Transistor (37) aufweist, wobei eine Quelle eines Reihen-Signals mit dem Drain des Reset-Transistors (37) und eine Quelle eines Spalten-Reset-Signals mit dem Gate (38) des Reset-Transistors verbunden ist.
DE69738529T 1996-05-22 1997-05-15 Aktiver pixelsensor mit einzelner pixelrücksetzung Expired - Lifetime DE69738529T2 (de)

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