KR860002151A - 인터라인형 전하 전송 촬상 소자 및 촬상장치 - Google Patents

인터라인형 전하 전송 촬상 소자 및 촬상장치 Download PDF

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Abstract

내용 없음

Description

인터라인형 전하 전송 촬상 소자 및 촬상장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3A도는 본 발명의 일 실시예의 촬상소자의 전체구조를 나타내는 도.
제3B도는 본 실시예에 있어서의 한개의 화소의 부분을 나타낸 평면도.
제3C도는 제3B도의 X-X'선 단면도.
제3D도는 제3B도의 y-y'선 단면도.
제3E도는 본 실시예에 있어서의 전송 게이트의 전위를 나타낸 도.
제3F는 본 실시예에 있어서의 전송게이트 및 수직 CCD를 구동하는 펄스 파형을 나타낸도.
제3G도는 본 실시예에 있어서의 수평 CCD의 구조 및 그 내부의 포텐셜 웰(potentiol well)을 나타낸도. 제3H도는 본 실시예에 있어서의 이 CCD를 구동하는 펄스의 파형도.
제4A도, 제4B도 및 제4C도는 제3A도의 실시예와도, 또 서로 다른 본 발명 실시예의 촬상소자에 있어서의 한개의 화소의 부분을 각각 나타낸 평면도.
제5A도 및 제5B도는 본 발명의 또 다른 실시예에 있어서의 한개의 화소를 나타내며,
제5A도는 그 평면도,
제5B도는 그 y-y'단면도.
제5C도 및 제5D도는 본 발명의 또 다른 실시예에 있어서의 한개의 화소의 부분을 나타내며,
제5C도는 그 평면도,
제5D도는 그 y-y'단면도.
제5E도 및 제5F도는 본 발명의 또 다른 실시예에 있어서의 한개의 화소의 부분을 나타내며,
제5E도는 그 평면도,
제5F도는 그 y-y'단면도.
제5G도 및 제5H도는 본 발명의 또 다른 실시예에 있어서의 한개의 화소의 부분을 나타내며,
제5G도는 그 평면도.
제5H도는 그 y-y'단면도.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
1:포토 다이오드, 13:산화막, 20:시프트 레지스터, 14:공핍층, 21:전극, 22:전극, 23:전극, 30:수평 CCD, 31,32:33:전극, 34:불순물층, 70:전송 게이트, 40:출력단자, 131,132:시프트 레지스터, 160:스위치 게이트, 170:펄스 발생기, 230:촬상영역, 240:축적영역.

Claims (17)

  1. 수평 및 수직 방향으로 규칙적으로 배열된 복수개의 광전변환 소자와, 전하를 수직 방향으로 전송하기 위한 복수개의 수직전하 전송 소자와, 광전 변환 소자의 각각에 있어서, 입사광에 응답하여 발생되는 신호 전하를 수직전하 전송 소자의 소정의 전극 밑의 채널에 전송하는 복수개의 전송 게이트와, 수직 전하 전송 소자의 각각으로부터 출력되는 신호전하를 수평방향으로 전송하는 수평 전하 전송수단등으로 이루어진 고체 촬상소자로서 상기 수직 전하 전송 소자의 각각은 3상구동되는 3개의 전극의 조의 복수조로서 이루어지며, 이 3개의 전극중 2개에 제각기 구동펄스를 공급하는 배선은 수평방향으로 가게 배치되고, 나머지 전극에 구동펄스를 공급하는 배선은 수직방향으로 가도록 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 고체 촬상소자.
  2. 제1항에 있어서, 상기 수직전하 전송소자는 이에 입사되는 빛을 차단하는 수단을 갖춘 것을 특징으로 하는 고체 촬상 소자.
  3. 제2항에 있어서, 상기 빛을 차단하는 수단은 차광 효과가 있는 금속으로 형성된 곳에, 상기 수직방향으로 가도록 배치된 배선 및 이 배선에 접속된 전극 자체인 것을 특징으로 하는 고체 촬상소자.
  4. 제2항에 있어서, 상기 빛을 차단하는 수단은 상기 수직방향으로 가도록 배치된 배선 및 이 배선에 접속된 전극위에 설치된 차광효과가 있는 실리싸이트 층인 것을 특징으로 하는 고체 촬상 소자.
  5. 제2항에 있어서, 상기 빛을 차단하는 수단은, 상기 수직 방향으로 가도록 배치된 배선 및 이 배선에 접속된 전극이며 다결정 실리콘으로 형성된 것 외에 설치된 차광 효과가 있는 금속층인 것을 특징으로 하는 고체 촬상 소자.
  6. 제1항에 있어서, 상기 전송 게이트를 형성하는 전극이, 상기 3개의 전극중에 1개 또는 2개에 의하여 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 고체 촬상 소자.
  7. 제1항에 있어서, 상기 수직 전하 전송 소자와 상기 수평 전하 전송 수단과의 사이에 신호 전하를 일시적으로 축적하는 수단이, 또 다시 설치된 것을 특징으로 하는 고체 촬상소자.
  8. 제7항에 있어서, 상기 축적 수단은 수평 방향의 1행 또는 2행에 존재하는 광전 변환 소자의 신호 전하를 축적하는 축적 용량을 갖춘 것을 특징으로 하는 고체 촬상소자.
  9. 제7항에 있어서, 상기 축적 수단은 모든 행의 광전 변환 소자의 신호 전하를 축적하는 축적 용량을 갖춘 것을 특징으로 하는 고체촬상 소자.
  10. 제1항에 있어서, 스메어 전하를 전송하는 복수개의 전하 전송 소자가 또다시 갖추어진 것을 특징으로 하는 고체 촬상 소자.
  11. 수평 및 수직 방향으로 규칙적으로 배열된 복수개의 광전 변환소자와 전하를 수직 방향으로 전송하기 위한 수직 복수개의 전하 전송 소자와 광전 변환 소자의 각각에 있어서 입사광에 응답하여 발생되는 신호 전하를, 수직 전하 전송 소자의 소정의 전극의 밑의 채널에 전송하는 복수개의 전송게이트와 수직전하 전송 소자의 각각으로부터 출력되는 신호 전하를 수평 바향으로 전송하는 수평 전하 전송수단을 갖춘 고체 촬상 소자와, 이들 수직 전하 전송단자, 전송게이트 및 수평 전하 전송수단을 각각 구동시키는 펄스를 발생하는 펄스발생수단으로서 이루어진 촬상 장치로서, 상기 수직 전하 전송소자의 각각은 3상 구동되는 3개의 전극조의 복수조로서 이루어지며, 이 3개의 전극중의 2개에 각각 구동펄스를 공급하는 배선은 수평 방향으로 가도록 배치되고, 나머지의 전극에 구동펄스를 공급하는 배선은 수직 방향으로 가도록 배치되고, 상기 펄스 발생 수단은 홀수 및 짝수필드에 있어서 2행의 조합이 다른 서로 인접한 2행에 존재하는 광전 변환 소자의 신호전하가 수평 귀선기간에서 상기 수직 전하 전송 소자로부터 상기 수평 전송수단에 전송되고 또한 이들 2행의 신호전하는 이 수평귀선기간에 이어지는 화산 신호기간에서 이 수평 전송수단에 의하여 그 출력단에 전송되도록 이들 수직 전하전송 소자 및 수평 전하 전송 수단을 각각 구동하는 펄스를 발생하는 것을 특징으로 하는 촬상장치.
  12. 제11항에 있어서, 연속된 2개의 필드의 한쪽수직 귀선기간에 있어서, 상기 수평전하전송 수단에 가장 가까운 행에 존재하는 광전 변환소자의 신호 전하가 수직 전하 전송소자로부터 수평 전하 전송수단에 전송되고, 또한 이들 신호전하는 수평 전하 전송수단에 의해 그 출력단으로부터 쓸려나가게 되는 것을 특징으로 하는 촬상장치.
  13. 제11항에 있어서, 연속되는 2개의 필드의 한쪽 수직 귀선기간에 있어서, 상기 수평 전하 전송수단으로 부터 가장 먼행에 존재하는 광전변환 소자의 신호 전하가 수직전하 전송소자에 의하여 수평 전하전송수단으로 부터 멀어져가는 방향으로 전송되는 또한 광전변환 소자의 배열영역 밖으로 쓸려나가는 것을 특징으로 하는 촬상장치.
  14. 제11항에 있어서, 상기 수평 전하 전송 수단은 상기 2행의 신호 전하를 별개로 전송하는 1개의 전하 전송 소자를 포함한 것을 특징으로 하는 촬상 장치.
  15. 제11항에 있어서, 상기 수평 전하 전송수단은 2개의 전하전송 소자를 포함하고 이 2개의 전하 전송소자중의 하나에 의하여 상기 2행중의 1행의 신호 전하가 전송되고 나머지의 하나에 의해 나머지 1행의 신호 전하가 전송되는 것을 특징으로 하는 고체 촬상 장치.
  16. 제1항에 있어서, 상기 3개의 전극 및 이들에 대한 상기 배선은 서로 절연된 3개의 도체층에 의하여 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 고체 촬상소자.
  17. 제11항에 있어서, 상기 3개의 전극 및 이들에 대한 상기 배선은 서로 절연된 3개의 도체층에의 하여 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 촬영장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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