KR950006840B1 - 광기록매체와 광기록매체의 제법 - Google Patents

광기록매체와 광기록매체의 제법 Download PDF

Info

Publication number
KR950006840B1
KR950006840B1 KR1019910006821A KR910006821A KR950006840B1 KR 950006840 B1 KR950006840 B1 KR 950006840B1 KR 1019910006821 A KR1019910006821 A KR 1019910006821A KR 910006821 A KR910006821 A KR 910006821A KR 950006840 B1 KR950006840 B1 KR 950006840B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
recording medium
thin film
dielectric layer
optical recording
recording
Prior art date
Application number
KR1019910006821A
Other languages
English (en)
Other versions
KR910018998A (ko
Inventor
카즈미 요시오까
타께오 오오타
마사미 우찌다
카쯔미 카와하라
사게아끼 후루카와
Original Assignee
마쯔시다덴기산교 가부시기가이샤
다니이 아끼오
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP2113382A external-priority patent/JP2639174B2/ja
Priority claimed from JP2113380A external-priority patent/JP2553736B2/ja
Priority claimed from JP2113383A external-priority patent/JP2913759B2/ja
Priority claimed from JP2121481A external-priority patent/JPH0416383A/ja
Priority claimed from JP02160735A external-priority patent/JP3136153B2/ja
Priority claimed from JP02160736A external-priority patent/JP3078823B2/ja
Application filed by 마쯔시다덴기산교 가부시기가이샤, 다니이 아끼오 filed Critical 마쯔시다덴기산교 가부시기가이샤
Publication of KR910018998A publication Critical patent/KR910018998A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR950006840B1 publication Critical patent/KR950006840B1/ko

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
    • G11B7/26—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of record carriers
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
    • G11B7/241—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material
    • G11B7/242—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of recording layers
    • G11B7/243—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of recording layers comprising inorganic materials only, e.g. ablative layers
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
    • G11B7/241—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material
    • G11B7/242—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of recording layers
    • G11B7/243—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of recording layers comprising inorganic materials only, e.g. ablative layers
    • G11B2007/24302—Metals or metalloids
    • G11B2007/24312—Metals or metalloids group 14 elements (e.g. Si, Ge, Sn)
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
    • G11B7/241—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material
    • G11B7/242—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of recording layers
    • G11B7/243—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of recording layers comprising inorganic materials only, e.g. ablative layers
    • G11B2007/24302—Metals or metalloids
    • G11B2007/24314—Metals or metalloids group 15 elements (e.g. Sb, Bi)
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
    • G11B7/241—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material
    • G11B7/242—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of recording layers
    • G11B7/243—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of recording layers comprising inorganic materials only, e.g. ablative layers
    • G11B2007/24302—Metals or metalloids
    • G11B2007/24316—Metals or metalloids group 16 elements (i.e. chalcogenides, Se, Te)
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
    • G11B7/241—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material
    • G11B7/242—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of recording layers
    • G11B7/243—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of recording layers comprising inorganic materials only, e.g. ablative layers
    • G11B2007/24318—Non-metallic elements
    • G11B2007/24322—Nitrogen
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
    • G11B7/241—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material
    • G11B7/252—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of layers other than recording layers
    • G11B7/253—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of layers other than recording layers of substrates
    • G11B7/2531—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of layers other than recording layers of substrates comprising glass
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
    • G11B7/241—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material
    • G11B7/252—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of layers other than recording layers
    • G11B7/253—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of layers other than recording layers of substrates
    • G11B7/2533—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of layers other than recording layers of substrates comprising resins
    • G11B7/2534—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of layers other than recording layers of substrates comprising resins polycarbonates [PC]
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
    • G11B7/241—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material
    • G11B7/252—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of layers other than recording layers
    • G11B7/254—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of layers other than recording layers of protective topcoat layers
    • G11B7/2542—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of layers other than recording layers of protective topcoat layers consisting essentially of organic resins
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
    • G11B7/241—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material
    • G11B7/252—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of layers other than recording layers
    • G11B7/258—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of layers other than recording layers of reflective layers
    • G11B7/2585—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of layers other than recording layers of reflective layers based on aluminium
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S430/00—Radiation imagery chemistry: process, composition, or product thereof
    • Y10S430/146—Laser beam

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)
  • Thermal Transfer Or Thermal Recording In General (AREA)
  • Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)

Abstract

내용 없음.

Description

광기록매체와 광기록매체의 제법
제1도는 본 발명의 제1 및 제2실시예에 있어서 광정보기록매체의 구조를 표시한 단면도.
제2도는 본 발명의 제3실시예에 있어서의 광정보기록매체의 구조를 표시한 단면도.
제3도는 본 발명의 제4실시예의 광정보기록매체의 구조를 표시한 단면도.
제4도는 본 발명의 기록박막의 모재료(母材料)의 조성의 3각 다이어그램
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1,9,16 : 디스크기판 2,10,17 : 제1유전체층
3,11,18 : 기록박막 4,12,21 : 제2유전체층
5,13,22 : 반사층 6,14,23 : 보호판
7,15,24 : 접착제 19 : 질화물층
20 : 흡착면
본 발명은, 레이저광 등의 광조사에 의해 기록층을 승온시켜 기록층에 원자배열의 구조변화를 발생시켜서 정보를 기록ㆍ소거하는 대용량 메모리인 광정보기록매체에 관한 것이다.
광디스크메모리에 관해서는, Te와 TeO2를주성분으로 하는 TeOx(0＜x＜2.0) 박막을 사용한 추기형(追記型)의 디스크가 있다. 또 정보의 반복기록ㆍ소거가 가능한 소거디스크가 실용화되고 있다. 이 소거디스크는 레이저광에 의해 기록박막을 가열, 용융, 급랭함으로써 비정질화해서 정보를 기록하고, 또 이것을 가열하고 서냉함으로써 결정화해서 소거할 수 있는 것이나, 이 기록박막의 재료로서는 S. R. Ovshinsky.(에스. 알. 오브신스키)씨 등의 칼코겐재료 Ge15Te81Sb2S2등이 알려져 있다(J. Feinleib et al ; Appl. Phys. Lett. 18(1971)). 또 As2S3나 As2Se3혹은 Sb2Se3등 칼코겐원소와 주기율표 제V족 혹은 Ge 등의 제IV족 원소 등의 조합으로 이루어진 박막 등이 널리 알려져 있다.
이들 기록박막을 레어저광 가이드용의 홈을 형성한 기판에 형성하고, 광디스크로서 사용할 수 있다. 이들 디스크에 레이저광으로 정보를 기록하고, 그 정보를 소거하는 방법으로서는, 미리 기록박막을 결정화시켜 놓고, 이것에 약 ㎛로 조인 레이저광을 정보에 대응시켜서 강도변조를 실시하고, 예를 들면 원반형상의 기록디스크를 회전시켜서 조사한 경우, 이 피크파워레이저광조사부위는, 기록박막의 융점이상으로 승온하고, 또한 급냉해서 비정질화된 마크로서 정보의 기록을 행할 수 있다. 또 이 변조바이어스 파워레이저광조사부위는, 기록박막의 결정화 온도 이상으로 승온하고, 이미 기록신호 정보를 소거하는 작용이 있어 오버라이트할 수 있다. 이와 같이 기록박막은 레이저광에 의해서 융점이상으로 승온하고, 또 결정화 온도 이상으로 승온되는 것이다.
이 때문에 기록박막의 하부면 및 상부면에 내열성이 뛰어난 유전체층을 기판 및 접착층에 대한 보호층으로서 형성하고 있는 것이 일반적이다. 이들 유전체층의 열전도특성에 의해, 승온 및 급냉, 서냉의 특성이 변하는 것이기 때문에, 유전체층의 재질을 선택하는, 층구성을 선택함으로써 기록 및 소거의 특성을 결정할 수 있는 것이다.
기록박막을 가열승온하고, 용융급냉비정질화 및 가열승온결정화의 수단을 사용하는 정보기록 및 소거가능한 오버라이트기록매체에 있어서의 과제는, 기록ㆍ소거의 반복특성과 소거특성이다.
기록ㆍ소거의 반복특성에 대해서는, 기록ㆍ소거의 가열, 냉각의 다수회의 반복에 의한 디스크기판 혹은 보호층의 열적인 손상에 의한 노이즈의 증대, 또는 손상은 없어도, 기록ㆍ소거의 반복에 따른 가열, 냉각의 반복에 의한 보호층의 맥동에 의해서, 기록박막재료가 디스크회전방향의 안내홈을 따라서 이동하는 등, 반복특성의 열화가 발생하는 과제가 있었다(T. Ohta et al : SPIE Proc. 1078(1989) 27).
소거특성에 대해서는 Te를 함유한 비정질막은, 그 융점은 대표적인 것으로 400℃~900℃로 넓은 온도범위에 있다. 이들 기록박막에 레이저광을 조사하고, 승온ㆍ서냉함으로써 결정화를 행할 수 있다. 이 온도는 일반적으로 융점보다도 낮은 결정화 온도영역이다. 또 이 결정화한 막에 높은 파워레벨의 레이저광을 비추고, 그 융점 이상으로 가열하면 그 부분은 용융해서 급랭하고, 다시 비정질화해서 마크가 형성될 수 있다. 기록마크로서 비정질화를 선택하면, 이 마크는, 기록박막이 용융ㆍ급랭되어 형성되는 것이기 때문에, 냉각 속도가 빠를수록 비정질 상태가 균일한 것을 얻게 되고 신호진폭이 향상한다(T. Ohta et al : Proc. Int. Symp. on Optical Memory, (1989)123).
냉각속도가 느린 경우는 마크의 중심과 주변에서 비정질화의 정도에 차이가 발생한다. 다음에 결정화 소거시에는, 레이저광의 조사에 의해 이미 기록이 행하여지고 있는 비정질마크부를, 결정화 온도 이상으로 승온하고 결정화시켜서 이 마크를 소거한다. 이때, 마크가 균일하게 결정화할 때는 소거특성이 향상하나, 기록마크가 불균일한 경우는 결정화소거의 상태가 불균일하게 되어, 소거특성이 저하한다고 하는 과제가 있었다.
본 발명의 목적은 레이저기록ㆍ소거의 광정보기록매체에 있어서, 개서의 반복특성 및 레이저의 파워의존성을 향상한 매체 및 그 매체의 제조방법을 제공하는데 있다.
레이저광의 조사에 의해, 그 에너지를 흡수해서 승온하고, 용융하고, 급랭해서 비정질화하는 성질과, 비정질의 상태를 승온함으로써 결정화하는 성질을 가진 기록박막을 가진 광기록매체에 있어서, 상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 Ge-Te-Sb계의 칼코게나이트 등으로 이루어진 기록박막에, 질소 혹은 질화물을 함유시켜서 기록박막의 열특성을 향상하고, 레이저광에 의한 승온, 급랭의 반복열 스트레스에 대한 안정화를 실현한다.
기록, 소거의 반복특성 및 레이저광의 파워의존성에 관한 특성열화의 요인은, 일반적으로, 기록박막의 국소적인 물질이동에 의한 것이다.
따라서, 본 발명에서는, 이 기록박막의 물질이동에 대해서, 기록박막속 혹은 그 계면에 물질이동을 저지하는 기록막을 구성하는 물질의 질화물로 이루어진 요소를 함유시키는 것이다. 또, 이 기록박막을 사용하여, 투명기판의 한쪽면에 제1유전체층, 기록박막, 제2유전체층 및 반사층을 순차 형성하고, 제2유전층의 막두께를 제1유전체층의 막두께보다도 얇게 함으로써 금속층으로 이루어진 반사층과 기록박막을 가깝게 하게 되어, 기록박막이 급랭되는 것이기 때문에, 기록마크가 균일한 비정질 상태가 되어, 기록마크가 불균일한 경우에 생기는 결정화 소거시의 불균일한 상태의 발생을 방지할 수가 있어서, 소거특성을 향상시킬 수 있는 것이다.
상기 구성에 의해, 레이저광에 의한 박막의 용융이동이 이 저지요소에 의해 억제되고, 광정보기록매체로의 정보의 기록ㆍ소거의 개서 반복특성 및 레이저광의 파워의존성을 향상할 수 있다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부도면을 참조하면서 상세히 설명한다.
[제1실시예]
먼저, 본 발명의 제1실시예를 제1도에 의거해서 설명한다. 제1도에 있어서는, (1)은 디스크기판이며, 폴리카보네이트 등의 수지기판으로 이루어져 있다. 이 디스크기판(1)은 미리 레이저광 안내용의 홈을 형성한 수지기판 혹은 2P법으로 홈을 형성한 유리판, 유리판에 직접 홈을 형성한 기판이라도 좋다. 혹은, 레이저광 안내용의 피트열을 형성한 기판을 사용해도 좋다. (2)는 제1유전체층으로 ZnO-SiO2의 혼합막으로 이루어져 있고, 막두께는 약 160nm이다. (3)은 기록박막으로 Te-Ge-Sb에 질소를 함유시킨 박막이고, 막두께는 약 20nm이다. (4)는 제2유전체층으로 제1유전체층(2)과 같은 재료로 이루어져 있고, 막두께는 약 20nm이다. (5)는 Al 합금으로 이루어진 반사층이다. (6)은 보호판으로 접착제(7)에 의해서 디스크기판(1)에 접착되어 있다. (6)은 보호판으로 접착제(7)에 의해서 디스크기판(1)에 접착되어 있다. (6)은, 또 다른 디스크라도 좋고, 이 경우는 양면 디스크가 된다.
제1도의 구성에 있어서 기록ㆍ소거 및 재생용의 레이저광은 화살표(8)의 방향으로부터 입사하고, 정보에 따라서 강도변조를 실시하고, 또 반사광을 검출해서 행하는 것이다.
여기서 유전체층, 기록박막 및 반사층의 형성방법으로서는, 일반적으로는 진공증착 혹은 스퍼터법이 사용되나, 본 실시예에서는, 기록박막의 형성방법으로서 아르곤과 질소의 혼합가스에 의한 스퍼터법을 사용하고 있다. 이때, 질소의 분압이 특성 혹은 막질을 결정하는데 있어서 중요하나, 기록박막의 스퍼터시의 질소분압은 1.0×10-5~1.0×10-4Torr의 범위가 적당하였다. 그 이유는 질소분압을 1.0×10-5Torr 보다도 작게 하면 아르곤과 질소의 혼합가스에 의한 스퍼터법의 효과가 작아졌다. 즉 Te, Ge, Sb로 이루어진 기록박막에 질소를 함유시켜서 반복특성을 향상시키는 효과가 작아졌다. 반대로 질소분압을 1.0×10-4Torr 보다도 크게 하면, 기록박막의 굴절률 등, 광학적인 특성의 변화, 혹은 결정화속도, 비정질화속도 등, 기록소거에 관계된 기본적인 특성이 변화하기 때문에, 상기 비율의 범위가 적당하였다.
또 제1, 제2유전체층(2), (4)의 ZnO-SiO2혼합막은 SiO2의 비율을 20mol%로 하고 있으나, 이것으로 한정되는 것은 아니다. 그러나 SiO2의 비율을 5mol% 이하로 하면, ZnS에 SiO2를 혼합했을 때 얻어지는 효과, 즉 결정입자직경을 작게 한다고 하는 효과가 작아지고, 50mol% 이상으로 하면, SiO2막의 성질이 크게 되기 때문에, SiO2의 비율은 5~40mol%의 범위로 하는 것이 적당하였다.
또 제2유전체층(4)의 막두께를 약 20nm로 얇게 하고 있으나, 이에 의해 열확산층이 되는 반사층(5)과 기록박막(3)이 가까워지고, 기록ㆍ소거시의 기록박막(3)의 열이 급속히 반사층(5)에 전달되게 되어, 기록박막(3)을 급랭하는데 있어서 효과가 있는 것이다.
본 실시예의 디스크구성으로, 외경 130mm, 1800rpm, 회전, 선속도 8m/sec로 f1=3.43MHz의 신호, f2=1.25MHz의 신호의 오버라이트 특성을 측정하였다.
오버라이트는, 1개의 서클스폿으로 약 1㎛의 레이저광에 의해, 높은 파워레벨 16mW와 낮은 파워레벨 8mW 사이의 변조로, 높은 파워레벨로 비정질화 마크를 형성하고, 낮은 파워레벨로 비정질화 마크를 결정화해서 소거하는 동시 소거기록방법으로 행하였다. 이 결과, 기록신호의 C/N비로서는, 55dB 이상이 얻어지고, 소거특성으로서, 오버라이트소거율 30dB 이상이 얻어졌다. 오버라이트의 사이클특성에 대해서는, 특히 비트에러레이트의 특성을 측정한 결과, 1000000사이클 이상 열화를 볼 수 없었다.
[제2실시예]
기록박막이 칼코겐화합물로, Te, Ge, Sb중의 적어도 1개의 원소의 질화물을 함유시킨 것을 사용한다. 디스크구조는, 제1도에 표시한 바와 같이 기판, 제1유전체층, 기록박막, 제2유전체층 및 반사층의 4층 구조이다. 여기서는, 기록박막(3)은 Ge, Te, Sb의 적어도 1개의 원소의 질화물 또는 산화물을 함유하고 있고, 막두께는 약 20nm이다.
이 기록박막의 형성방법으로서는, 이 경우 스퍼터링법 혹은 전자빔증착법 등이 적용된다. 스퍼터타켓에 Ge, Te 혹은 Sb의 질화물을 미리 함유시킬 수 있다. 이 경우, Ar 가스만에 의한 스퍼터도 가능하다. 또, 증착원에 상기의 질화물을 함유시킬 수 있다.
본 실시예의 디스크구성으로, 외경 130mm, 1800rpm 회전, 선속도 8m/sec로 f1=3.43MHz의 신호, f2=1.25MHz의 신호의 오버라이트특성을 측정하였다.
오버라이트는, 1개의 서클스폿으로 약 1㎛의 레이저광에 의해, 높은 파워레벨 16mW와 낮은 파워레벨 8mW 사이의 변조로, 높은 파워레벨로 비정질화 마크를 형성하고, 낮은 파워레벨로 비정질화 마크를 결정화해서 소거하는 동시 소거기록방법으로 행하였다. 이 결과, 기록신호의 C/N비로서는, 55dB 이상이 얻어지고, 소거특성으로서, 오버라이트소거율 30dB 이상이 얻어졌다. 오버라이트의 사이클특성에 대해서는, 특히 비트에러레이트의 특성을 측정한 결과, 1000000사이클 이상 열화를 볼 수 없었다.
[제3실시예]
먼저, 본 발명의 제3일실시에를 제2도에 의거해서 설명한다. 제2도에 있어서는 (9)는 디스크기판이며, 폴리카보네이트 등의 수지기판으로 이루어져 있다. 이 디스크기판(9)은 미리 레이저광 안내용의 홈을 형성한 수지기판 혹은 2P법으로 홈을 형성한 유리판, 유리판에 직접 홈을 형성한 기판이라도 좋다. 혹은 레이저광 안내용의 피트열을 형성한 기판을 사용해도 좋다. (10)은 제1유전체층으로 ZnS-SiO2의 혼합막으로 이루어져 있다. (11)은 기록박막으로 Te, Ge, Sb 중의 적어도 1개의 원소의 질화물 또는 산화물의 매트릭스에, Ge-Te-Sb로 이루어진 성분이 분산한 것이다. 그 막두께는 20nm-120nm이다. (12)는 제2유전체층으로 제1유전체층(2)과 마찬가지 재료로 되어 있고, 막두게는 약 20nm이다. (13)은 Al 합금으로 이루어진 반사층이다. (14)는 보호판으로 접착제(15)에 의해서 디스크기판(9)에 접착되어 있다.
이 경우는, 상기 제1 및 제2실시예에 비해서 기록박막의 광흡수계수가 작고, 기록박막의 막두께는 크게 선택하는 것이 필요하다.
기록신호의 C/N비로서는, 55dB 이상이 얻어지고, 소거특성으로서, 오버라이트소거율 30dB 이상이 얻어졌다. 오버라이트의 사이클특성에 대해서는, 1000000사이클 이상 열화를 볼 수 없었다.
[제4실시예]
먼저, 본 발명의 제4실시예를 제3도에 의거해서 설명한다. 제3도에 있어서, (16)은 디스크기판으로 폴리카보네이트 등의 수지기판으로 이루어져 있다. 이 디스크기판(16)은 미리 레이저광 안내용의 홈을 형성한 수지기판 혹은 2P법으로 홈을 형성한 유리판, 유리판에 직접 홈을 형성한 기판이라도 좋다. 혹은 레이저광 안내용의 피트열을 형성한 기판을 사용해도 좋다. (17)은 제1유전체층으로 ZnO-SiO2의 혼합막으로 이루어져 있고, 막두께는 약 160nm이다. (18)은 기록박막으로 Ge-Te-Sb로 이루어진 성분으로 되어 있다. 본 발명에서는 기록박막(18)의 적어도 한쪽 계면에 Ge, Te, Sb의 적어도 1개의 성분의 질화물층(19) 혹은 질소의 흡착면(20)을 형성하는 것이다. (21)은 제2유전체층으로 제1유전체층(17)과 같은 재료로 이루어져 있고, 막두께는 약 20nm이다. (22)는 Al 합금으로 이루어진 반사층으로 막두께는 약 120nm이다. (23)은 보호판으로 접착제(24)에 의해서 디스크기판(16)에 부착되어 있다.
기록신호의 C/N비로서는, 55dB 이상이 얻어지고, 소거특성으로서, 오버라이트소거율이 30dB 이상이 얻어졌다. 오버라이트의 사이클 특성에 대해서는, 1000000사이클 이상 열화를 볼 수 없었다.
[제5실시예]
기록박막층으로, Ge, Te, Sb에 질소를 함유시킨 재료를 사용한다. 특히, 제4도에 표시한 GeTe-Sb2Te3-Sb의 3각 다이어그램의 조성에 대해서, 질소를 함유시키는 것이 유효하다. 이들 조성에서는, 기록ㆍ소거의 레이저광의 파워포인트를 선택함으로써, 1000000사이클 이상의 안정된 특성을 얻을 수 있다. 또, 이것에 질소를 함유시켜서, 혹은 Ge, Te, Sb의 적어도 1종의 원소의 질화물을 함유시킴으로써, 레이저광의 파워의 넓은 범위에 걸쳐서 1000000사이클 이상의 안정된 특성을 얻음과 동시에, 레이저광 기록감도의 향상을 도모할 수 있다. 특히 유효한 조성영역은, b=Sb/Sb2Te3으로 정의해서, 0＜b＜1.0의 조성영역이다.
b＜0에서는, Te 성분이 과잉으로 되고, 산화에 대해서 약해진다. 또, b＞1.0에서는, 소거율이 저하한다. 또, g=GeTe/Sb2Te3(몰비)로 정의해서, 0.5＜g＜3.0의 조성영역이 바람직하다. g가 0.5 이하에서는 내열 안정성이 저하한다. 또 g가 3.0 이상에서는, 열안정성은 양호하나 감도가 저하한다.
여기서 유전체층, 기록박막, 반사층의 형성방법으로서는, 일반적으로는 진공증착 혹은 스퍼터법이 사용되나, 본 실시예에서는 기록박막의 형성방법으로서 아르곤과 질소의 혼합가스에 의한 스퍼터법을 사용하고 있다. 이때, 질소의 분압이 특성 혹은 막질을 결정하는데 있어서 중요하나, 기록박막의 스퍼터시의 질소분압은 1.0×10-5~1.0×10-4Torr의 범위가 적당하였다. 그 이유는 질소분압을 1.0×10-5Torr 보다도 작게 하면, 아르곤과 질소의 혼합가스에 의한 스퍼터법의 효과가 작아졌다.즉 Te, Ge, Sb로 이루어진 기록박막에 질소를 함유시켜서 반복특성을 향상시키는 효과가 작아졌다. 반대로 질소분압을 1.0×10-4Torr 보다도 크게 하면, 기록박막의 굴절률 등, 광학적인 특성의 변화 혹은 결정화속도, 비정질화속도 등, 기록소거에 관계된 기본적인 특성이 변화하기 때문에 상기 비율의 범위가 적당하였다.
본 실시예의 기록박막층을 사용해서, 외경 130nm, 1800rpm 회전, 선속도 8m/sec로 f1=3.43MHz의 신호, f2=1.25MHz의 신호의 오버라이트 특성을 측정하였다. 오우버라이트는, 1개의 서클스폿으로약 1㎛의 레이저광에 의해, 높은 파워레벨 16mW와 낮은 파워레벨 8mW 사이의 변조로, 높은 파워레벨로 비정질화 마크를 형성하고, 낮은 파워레벨로 비정질화 마크를 결정화해서 소거하는 동시 소거기록방법으로 행하였다. 그 결과, 기록신호의 C/N비로서는, 55dB 이상이 얻어지고, 소거특성으로서, 오버라이트소거율 30dB 이상이 얻어졌다.
오버라이트의 사이클특성에 대해서는, 특히 비트에러레이트의 특성을 측정한 결과, 1000000사이클 이상 열화를 볼 수 없었다.

Claims (16)

  1. 투명기판의 한쪽면에 제1유전체층, 레이저광의 조사에 의해, 그 에너지를 흡수해서 승온하고, 용융하고, 급랭해서 비정질화하는 성질과, 비정질의 상태를 승온함으로써 결정화하는 성질을 가진 기록박막, 제2유전체층 및 반사층을 순차 형성한 광기록매체에 있어서, 상기 기록박막은 Ge, Te, Sb 및 질소를 함유하고, 상기 제2유전체층을 상기 제1유전체층보다도 얇게 한 것을 특징으로 하는 광기록매체.
  2. 투명기판의 한쪽면에 제1유전체층, 레이저광의 조사에 의해, 그 에너지를 흡수해서 승온하고, 용융하고, 급랭해서 비정질화하는 성질과, 비정질의 상태를 승온함으로써 결정화하는 성질을 가진 기록박막, 제2유전체층 및 반사층을 순차 형성한 광기록 매체에 있어서, 상기 기록박막은 Ge, Te, Sb 및 이들 원소의 적어도 1종의 질화물을 함유하고, 상기 제2유전체층을 상기 제1유전체층보다도 얇게 한 것을 특징으로 하는 광기록매체.
  3. 투명기판의 한쪽면에 제1유전체층, 레이저광의 조사에 의해, 그 에너지를 흡수해서 승온하고, 용융하고, 급랭해서 비정질화하는 성질과, 비정질의 상태를 승온함으로써 결정화하는 성질을 가진 기록박막, 제2유전체층 및 반사층을 순차 형성한 광기록매체에 있어서, 상기 기록박막으로서 Te, Ge, Sb 및 이들 원소중의 적어도 1종의 질화물과의 매트릭스 구성을 사용하고, 상기 제2유전체층을 상기 제1유전체층보다도 얇게 한 것을 특징으로 하는 광기록매체.
  4. 투명기판의 한쪽면에 제1유전체층, 레이저광의 조사에 의해, 그 에너지를 흡수해서 승온하고, 용융하고, 급랭해서 비정질화하는 성질과, 비정질의 상태를 승온함으로써 결정화하는 성질을 가진 기록박막, 제2유전체층 및 반사층을 순차 형성한 광기록매체에 있어서, 상기 기록박막으로서 GeTe와 Sb2Te3와 Sb의 혼합체에 질소를 함유시킨 재료를 사용하고, 상기 제2유전체층을 상기 제1유전체층보다도 얇게 한 것을 특징으로 하는 광기록매체.
  5. 제4항에 있어서, GeTe/Sb2Te3의 몰비를 g라 할 때 0.5＜g＜3.0인 것을 특징으로 하는 광기록매체.
  6. 제1항에 있어서, 상기 기록박막을 형성할 때의 질소분압을 1.0×10-5~1.0×10-4Torr의 범위로 한 것을 특징으로 하는 광기록매체.
  7. 투명기판의 한쪽면에 제1유전체층, 레이저광의 조사에 의해, 그 에너지를 흡수해서 승온하고, 용융하고, 급랭해서 비정질화하는 성질과, 비정질의 상태를 승온함으로써 결정화하는 성질을 가진 기록박막, 제2유전체층 및 반사층을 순차 형성하는 광기록매체의 제법에 있어서, 상기 기록박막은 칼코게나이드화합물에 Ge, Te, Sb 중의 적어도 1종의 질화물을 혼합한 타켓을 사용해서 스퍼터법으로 형성하고, 상기 제2유전체층을 상기 제1유전체층보다도 얇게 형성하는 것을 특징으로 하는 광기록매체의 제법.
  8. 제1항에 있어서, 상기 제2유전체층의 막두께를 30nm 이하로 한 것을 특징으로 하는 광기록매체.
  9. 제1항에 있어서, 상기 제1, 제2유전체층으로서, ZnS와 SiO2의 혼합막의 SiO2비가 5~40mol%인 재료를 사용한 것을 특징으로 하는 광기록매체.
  10. 제2항에 있어서, 상기 제2유전체층의 막두께를 30nm 이하로 한 것을 특징으로 하는 광기록매체.
  11. 제2항에 있어서, 상기 제1, 제2유전체층으로서, ZnS와 SiO2의 혼합막의 SiO2비가 5~40mol%인 재료를 사용한 것을 특징으로 하는 광기록매체.
  12. 제3항에 있어서, 상기 제2유전체층의 막두께를 30nm 이하로 한 것을 특징으로 하는 광기록매체.
  13. 제3항에 있어서, 상기 제1, 제2유전체층으로서, ZnS와 SiO2의 혼합막의 SiO2비가 5~40mol%인 재료를 사용한 것을 특징으로 하는 광기록매체.
  14. 제4항에 있어서, 상기 기록박막을 형성할 때의 기록박막을 형성할 때의 질소분압을 1.0×10-5~1.0×10-4Torr의 범위로 한 것을 특징으로 하는 광기록매체.
  15. 제4항에 있어서, 상기 제2유전체층의 막두께를 30nm 이하로 한 것을 특징으로 하는 광기록매체.
  16. 제4항에 있어서, 상기 제1, 제2유전체층으로서, ZnS와 SiO2의 혼합막의 SiO2비가 5~40mol%인 재료를 사용한 것을 특징으로 하는 광기록매체.
KR1019910006821A 1990-04-27 1991-04-27 광기록매체와 광기록매체의 제법 KR950006840B1 (ko)

Applications Claiming Priority (12)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2113382A JP2639174B2 (ja) 1990-04-27 1990-04-27 光記録媒体
JP2113380A JP2553736B2 (ja) 1990-04-27 1990-04-27 光記録媒体と光記録媒体の製造方法
JP2113383A JP2913759B2 (ja) 1990-04-27 1990-04-27 光記録媒体
JP2-113382 1990-04-27
JP2-113383 1990-04-27
JP2-113380 1990-04-27
JP2121481A JPH0416383A (ja) 1990-05-10 1990-05-10 光記録媒体及びその製造方法
JP2-121481 1990-05-10
JP2-160735 1990-06-19
JP02160735A JP3136153B2 (ja) 1990-06-19 1990-06-19 光記録媒体及びその製造方法
JP02160736A JP3078823B2 (ja) 1990-06-19 1990-06-19 光記録媒体及びその製造方法
JP2-160736 1990-06-19

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR910018998A KR910018998A (ko) 1991-11-30
KR950006840B1 true KR950006840B1 (ko) 1995-06-23

Family

ID=27552401

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019910006821A KR950006840B1 (ko) 1990-04-27 1991-04-27 광기록매체와 광기록매체의 제법

Country Status (2)

Country Link
US (3) US5194363A (ko)
KR (1) KR950006840B1 (ko)

Families Citing this family (52)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1991005342A1 (en) * 1989-09-28 1991-04-18 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Optical data recording medium and method of producing the same
US5346740A (en) * 1990-09-25 1994-09-13 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Optical information recording medium
JP3076412B2 (ja) * 1991-07-24 2000-08-14 松下電器産業株式会社 光学的情報記録媒体および光学的情報記録再生方法
JPH05151574A (ja) * 1991-11-29 1993-06-18 Nec Corp 光学的情報記録消去方式
JP3080739B2 (ja) * 1991-12-20 2000-08-28 日本電気株式会社 光学的情報記録媒体および光学的情報記録消去再生方法
US5610879A (en) * 1993-03-05 1997-03-11 Matsushita Electric Industrial Co. Ltd. Optical reproducing device, optical reproducing method using the same, and optical record medium used in the same
JPH06282876A (ja) * 1993-03-29 1994-10-07 Matsushita Electric Ind Co Ltd 光記録媒体
US5709978A (en) * 1993-06-18 1998-01-20 Hitachi, Ltd. Supperresolution readout thin film and information recording medium
US5712833A (en) * 1993-12-28 1998-01-27 Ogihara; Noriyuki Durable magneto-optical disk having a rare earth-transition amorphous magneto-optical layer
JP2990011B2 (ja) * 1994-03-29 1999-12-13 ティーディーケイ株式会社 光記録媒体
US5665520A (en) * 1994-06-13 1997-09-09 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Optical recording medium
US5581539A (en) * 1994-08-12 1996-12-03 Mitsubishi Chemical Corporation Optical recording medium
US5463578A (en) * 1994-09-22 1995-10-31 International Business Machines Corporation Magneto-optic memory allowing direct overwrite of data
JP2806274B2 (ja) * 1994-10-19 1998-09-30 日本電気株式会社 光学情報記録媒体
US6821707B2 (en) 1996-03-11 2004-11-23 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Optical information recording medium, producing method thereof and method of recording/erasing/reproducing information
JP3707797B2 (ja) * 1996-03-11 2005-10-19 松下電器産業株式会社 光学的情報記録媒体とその製造方法ならびに記録再生消去方法
CN1252885A (zh) * 1997-04-16 2000-05-10 旭化成工业株式会社 光学信息记录媒体的制造方法和用该方法制造的光学信息记录媒体
EP0874361A3 (en) * 1997-04-25 1999-04-07 Teijin Limited Phase change optical recording medium and process for manufacturing same
US6503690B1 (en) * 1997-08-12 2003-01-07 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Optical information recording medium, method for producing the same, and method for recording and reproducing optical information
JP3570169B2 (ja) * 1997-08-22 2004-09-29 松下電器産業株式会社 光学情報記録媒体
JPH11134720A (ja) 1997-08-28 1999-05-21 Matsushita Electric Ind Co Ltd 光学的情報記録媒体及びその記録再生方法
US6343062B1 (en) 1997-09-26 2002-01-29 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd Optical disk device and optical disk for recording and reproducing high-density signals
KR19990058971A (ko) * 1997-12-30 1999-07-26 구자홍 고밀도 상변화형 광디스크
SG92631A1 (en) * 1998-03-20 2002-11-19 Sony Corp Optical recording medium, and method of manufacturing same
EP0957477A3 (en) 1998-05-15 2003-11-05 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Optical information recording medium, recording and reproducing method therefor and optical information recording and reproduction apparatus
TW448443B (en) 1998-08-05 2001-08-01 Matsushita Electric Ind Co Ltd Optical information storage media and production method as well as the storage reproducing method and device
FR2785078B1 (fr) * 1998-10-09 2000-12-22 Commissariat Energie Atomique Support d'enregistrement optique et procede de realisation de ce support
US6511788B1 (en) * 1999-02-12 2003-01-28 Sony Corporation Multi-layered optical disc
CN1967688B (zh) 1999-03-15 2012-05-30 松下电器产业株式会社 信息记录媒体及其制造方法
TWI246681B (en) * 2000-12-15 2006-01-01 Koninkl Philips Electronics Nv Optical information medium and its use
US7241549B2 (en) * 2001-09-18 2007-07-10 Ricoh Company, Ltd. Information recording medium
CN1248201C (zh) * 2001-10-02 2006-03-29 松下电器产业株式会社 光学信息记录方法以及再生装置
US6933031B2 (en) * 2001-10-19 2005-08-23 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Optical information recording medium and its manufacturing method
JP2003217174A (ja) * 2002-01-21 2003-07-31 Pioneer Electronic Corp グルーブ間記録方式による光ディスク
US20030190551A1 (en) * 2002-04-05 2003-10-09 Tdk Corporation Optical recording medium and method for optically recording information in the same
US7479363B2 (en) * 2002-04-26 2009-01-20 Tdk Corporation Optical recording medium and method for optically recording data in the same
US7460463B2 (en) * 2002-05-10 2008-12-02 Panasonic Corporation Method of and apparatus for manufacturing multi-layer optical information recording medium
US20040038080A1 (en) * 2002-07-01 2004-02-26 Tdk Corporation Optical recording medium and method for recording data in the same
JP4092147B2 (ja) * 2002-07-04 2008-05-28 Ｔｄｋ株式会社 光記録媒体及び光記録方法
JP4282285B2 (ja) * 2002-08-12 2009-06-17 Ｔｄｋ株式会社 光記録媒体及び光記録方法
WO2004032131A1 (ja) * 2002-10-02 2004-04-15 Mitsubishi Chemical Corporation 光記録媒体
US20040076907A1 (en) * 2002-10-22 2004-04-22 Tdk Corporation Optical recording medium and method for manufacturing the same
US7781146B2 (en) * 2002-11-22 2010-08-24 Tdk Corporation Optical recording medium
US7932015B2 (en) * 2003-01-08 2011-04-26 Tdk Corporation Optical recording medium
JP2004220699A (ja) * 2003-01-15 2004-08-05 Tdk Corp 光記録媒体
US7115927B2 (en) * 2003-02-24 2006-10-03 Samsung Electronics Co., Ltd. Phase changeable memory devices
AU2003213323A1 (en) * 2003-03-12 2004-09-30 Fujitsu Limited Method for manufacturing optical recording medium and its manufacturing apparatus
JP4078237B2 (ja) * 2003-03-28 2008-04-23 Ｔｄｋ株式会社 光記録媒体、光記録方法及び光記録装置
JP4354733B2 (ja) * 2003-04-18 2009-10-28 Ｔｄｋ株式会社 光記録媒体
US20040228259A1 (en) * 2003-05-16 2004-11-18 Ken'ichi Nagata Optical information recording medium and method for producing the same
JP4327045B2 (ja) * 2004-08-23 2009-09-09 株式会社日立製作所 情報再生方法及び情報記録媒体
KR100782482B1 (ko) * 2006-05-19 2007-12-05 삼성전자주식회사 ＧｅＢｉＴｅ막을 상변화 물질막으로 채택하는 상변화 기억 셀, 이를 구비하는 상변화 기억소자, 이를 구비하는 전자 장치 및 그 제조방법

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57205193A (en) * 1981-06-12 1982-12-16 Fuji Photo Film Co Ltd Optical information recording medium
US4419750A (en) * 1981-07-13 1983-12-06 Eastman Kodak Company Constant track width optical disk recording
JPS5885937A (ja) * 1981-11-16 1983-05-23 Toshiba Corp 光学的情報記録再生方式
JPS58143679A (ja) * 1982-02-20 1983-08-26 Fujitsu General Ltd モニタテレビ受像機
JPS6034897A (ja) * 1983-08-08 1985-02-22 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 書替可能光記録媒体
DE3601265A1 (de) * 1985-01-18 1986-07-24 Kabushiki Kaisha Toshiba, Kawasaki, Kanagawa Optisches system fuer informationsaufzeichnung
EP0195532B1 (en) * 1985-02-22 1990-05-09 Asahi Kasei Kogyo Kabushiki Kaisha An information recording medium
US4949329A (en) * 1985-05-21 1990-08-14 Hoechst Celanese Corp. Method of effecting erasure of optical information media including varying duty cycle, laser power and focus offset
US4811329A (en) * 1986-06-06 1989-03-07 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Optical head with laser having particular source of driving current
JPS62291727A (ja) * 1986-06-11 1987-12-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd 情報記録方法
JPH07111782B2 (ja) * 1986-08-13 1995-11-29 ソニー株式会社 光デイスクの記録再生装置
US4939717A (en) * 1986-10-31 1990-07-03 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Method and apparatus for erasing and recording information using three power levels
JPH07111788B2 (ja) * 1987-01-23 1995-11-29 株式会社日立製作所 光情報記録媒体
JPS63205819A (ja) * 1987-02-20 1988-08-25 Pioneer Electronic Corp 光学式情報記録装置
JPS63244330A (ja) * 1987-03-30 1988-10-11 Nikon Corp 光デイスク装置
JP2702923B2 (ja) * 1987-04-24 1998-01-26 株式会社日立製作所 情報の記録方法及び情報記録装置
JP2696858B2 (ja) * 1987-10-28 1998-01-14 松下電器産業株式会社 光学情報記録再生消去部材
JP2680039B2 (ja) * 1988-06-08 1997-11-19 株式会社日立製作所 光情報記録再生方法及び記録再生装置
US5034255A (en) * 1988-10-28 1991-07-23 Mitsui Petrochemical Industries, Ltd. Optical recording medium and method of its production
JPH0766566A (ja) * 1993-08-25 1995-03-10 Fujitsu Ltd 筐体のカバー

Also Published As

Publication number Publication date
USRE36383E (en) 1999-11-09
US5230973A (en) 1993-07-27
KR910018998A (ko) 1991-11-30
US5194363A (en) 1993-03-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR950006840B1 (ko) 광기록매체와 광기록매체의 제법
KR19980064133A (ko) 광 기록 매체
US5395669A (en) Optical record medium
EA005347B1 (ru) Оптический носитель информации и его использование
JP2000229479A (ja) 光記録媒体
US6660451B1 (en) Optical information recording medium
KR100563882B1 (ko) 광디스크
US5811217A (en) Optical information recording medium and optical information recording/reproducing method
JPH06282876A (ja) 光記録媒体
US6901044B2 (en) Optical information medium and its use
JPH07105574A (ja) 光情報記録媒体
JP2553736B2 (ja) 光記録媒体と光記録媒体の製造方法
JP3078823B2 (ja) 光記録媒体及びその製造方法
JPH07109663B2 (ja) 光学情報記録再生消去部材とその製造方法
JP2538046B2 (ja) 光学情報記録再生消去部材
JPH03232133A (ja) 光記録媒体と光記録媒体用保護膜と保護膜の製法
JPH04119885A (ja) 光記録媒体と光記録媒体の製造方法
KR20050059098A (ko) 재기록가능형 광 데이터 저장매체 및 그 매체의 용도
JP2913759B2 (ja) 光記録媒体
JP2639174B2 (ja) 光記録媒体
JP2523907B2 (ja) 光学情報記録再生消去部材
JPH03263627A (ja) 光記録媒体と光記録媒体用保護膜と保護膜の製法
JPH04316887A (ja) 光記録媒体及びスパッタリングターゲット並びにそれらの製造方法
JPH03241539A (ja) 光学情報記録再生消去部材
JPH0416383A (ja) 光記録媒体及びその製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
G160 Decision to publish patent application
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20100610

Year of fee payment: 16

EXPY Expiration of term