JPH03232133A - 光記録媒体と光記録媒体用保護膜と保護膜の製法 - Google Patents
光記録媒体と光記録媒体用保護膜と保護膜の製法Info
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Abstract
め要約のデータは記録されません。
Description
記録再生及び消去できる光記録媒体および光記録媒体用
保護膜並びにその保護膜の製法に関するものであも 従来の技術 光デイスクメモリに関してζ↓ TeとTaO2を主成
分とするTaOx(0< x< 2.0)薄膜を用いた
追記型のディスクがある。また繰り返し記録・消去が可
能な消去ディスクが実用化されつつある。この消去ディ
スクはレーザ光により記録薄膜を加熱し 溶融獣 急冷
することにより、非晶質化して情報を記録し またこれ
らを加熱し徐冷することにより結晶化して消去すること
ができるものである力丈 この記録薄膜の材料さしては
S、 R,0vshinsky (ニス・アール・オプ
シンスキー)氏等のカルコゲン材料Ge+ s Tes
+ Sba S2等が知られてる。ま?Q、 As
2S3やAs2 Sesあるいは5baSea等カルコ
ゲン元素と周期律表第■族あるいはGe等の第1V族元
素等の組み合せからなる薄膜等が広く知られている。こ
れらの薄膜をレーザ光ガイド用の溝を設けた基板に形成
し光ディスクとし用いることができも これらのディス
クにレーザ光で情報を記録し その情報を消去する方法
としてはあらかじめ薄膜を結晶化させておき、これに約
1μmに絞ったレーザ光を情報に対応させて強度変調を
施し 例えば円盤状の記録ディスクを回転せしめて照射
した場合、このピークパワーレーザ光照射部位は 薄膜
の融点以上に昇温し かつ急冷し 非晶質化したマーク
として情報の記録がおこなえる。またこの変調バイアス
パワーレーザ光照射部位(上 薄膜の結晶化温度以上に
昇温し 既記緑信号情報を消去する働きがあリオーバラ
イトできも このように記録薄膜はレーザ光によって融
点以上に昇温し また結晶化温度以上に昇温されるもの
である。このため記録薄膜の下面および上面番へ 耐熱
性のすぐれた誘電体層を基板および接着層に対する保護
層として設けているのが一般的であム これらの保護層
の熱伝導特性により、昇温および急冷 徐冷の特性が変
わるものであるか収 保護層の材質を選ぶことによって
記録および消去の特性を決めろことができるものである
。
晶化の手段を用いる情報記録および消去可能なオーバラ
イド記録媒体における第一の課題は消去特性、第二の課
題は記録消去のサイクル特性であも 消去特性について
はTeを含む非晶質膜は その融点は代表的なもので4
00℃〜900℃と広い温度範囲にある。これらの薄膜
にレーザ光を照射し 昇温徐冷することにより結晶化が
行える。
。またこの結晶化した膜に高いパワーレベルのレーザ光
をあて、その融点以上に加熱するとその部分は溶融し急
冷し 再び非晶質化してマークが形成できも 記録マー
クとして非晶質化を選ぶと、このマーク(戴 記録薄膜
が溶融し急冷されて形成されるものであるか収 冷却速
度が速いほど非晶質状態の均一なものが得られ信号振幅
が向上する。冷却速度が遅い場合はマークの中心と周辺
で非晶質化の程度に差が発生ず4 次に結晶化消去に際
してC1レーザ光の照射により既に記録が行われている
非晶質マーク部を、結晶化温度以上に昇温し結晶化させ
てこのマークを消去すaこの時、マークが均一に結晶化
するときは消去特性が向上する力丈 記録マークが不均
一な場合は結晶化消去の状態が不均一となり、消去特性
が低下するという課題があった 記録消去のサイクル特
性については加九 冷却の多数回の繰り返しによるディ
スク基板あるいは保護層の熱的な損傷がある。ディスク
基板あるいは保護層が熱的な損傷を受けた場合、記録再
生、消去のサイクルにおいて、ノイズの増大を生じサイ
クル特性の劣化が発生するという課題があっな 本発明
の目的は記録消去特性に優れ サイクル特性の安定な光
ディスクを提供することであも 課題を解決するための手段 本発明は透明基板の一方の面に 第一の保護凰記録薄焦
第二の保護層 反射層を順次形成レレーザ光等の照射
により熱的に記録薄膜の光学的な状態を変化させて情報
を記録および消去する媒体において、第二 第二の保護
層としZnSと5i02の混合膜に窒素を含ませた誘電
体層を用いるものであム 作用 すなわち保護層としてZnSとSiO2の混合膜に窒素
を含ませた誘電体を用いることによって、誘電体がZn
SとSiO2の混合膜とZnやSi等の窒化物の混合体
となって、遊離したZn、 Si等の少な(\ すなわ
ち欠陥の少ない緻密な膜となって、機械的強度が向上し
多数回の記録・消去の繰り返しに対して効果が大きいも
のであも また保護層そのものの熱伝導率も大きくなり
、このことは記録薄膜の冷却速度を速くする効果があり
、第二の保護層の膜厚を薄くして、金属層からなる反射
層と記録薄膜を近づけることによる急冷効果とあいまっ
て、記録薄膜を加熱急冷して得られる記録マークが均一
な非晶質状態となって、記録マークが不均一な場合に生
じる結晶化消去時の不均一な状態の発生を防止すること
ができて、消去特性を向上させることが出来るものであ
も 実施例 以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。第
1図において、 1はディスク基板でポリカーボネイト
等の樹脂基板からなっていも このディスク基板1はあ
らかじめレーザ光案内用の溝を形成した樹脂基板あるい
は2P法で溝を形成したガラス板 ガラス板に直接溝を
形成した基板であってもよし−2は第一の保護層でZn
S−8iO2の混合膜に窒素を含ませた誘電対からなっ
ており、膜厚は約150noであ43は記録薄膜でTe
−Ge−8bからなる合金薄膜であり、膜厚は約30n
mであム 4は第二の保護層で第一の保護層2と同じ材
料からなっており、膜厚は約20nmであa 5はA1
からなる反射層で膜厚は約60nmであム 6は保護板
で接着材7によってディスク基板lに貼り合わせてい4
図の構成において記録・消去及び再生は矢印8の方向よ
り、情報に応じて強度変調を施したレーザ光を照射して
、また反射光を検出して行うものである。ここで第二
第二の保護層2.4であるZnS−3iOa混合膜は5
iChの比率を20mol%にしている。
膜であれば窒素を含ませることによって前述した効果を
得られるものであも しかしSiO2の比率を5mol
%以下にすると、ZnSにSiO2を混合した時に得ら
れる効果 すなわち結晶粒径を小さくするという効果が
小さ(なり、50mol%以上にすると、SiO2膜の
性質が大きくなるものであるか収5i02の比率は5〜
40mol%の範囲にするのが適当であつ九またZnS
−3iOa混合膜の形成方法としては −船釣には真空
蒸着あるいはスパッタ法が用いられている力(本実施例
ではアルゴンと窒素の混合ガスによるスパッタ法を用い
ている。この昧 窒素の分圧が膜質を決定する上で重要
になる力(スパッタ時の窒素分圧が1.5×10−’
〜1.5x 10−3TorrO間が適当であつ九 こ
の理由はり、5X 10−’Torrよりも窒素の分圧
を小さくするとアルゴンと窒素の混合ガスによるスパッ
タ法の効果が小さくなるものであった すなわちZnS
−3iOa混合膜と窒化物の混合膜特に窒化物が出来に
くくなるものであも 逆に1゜5x 1O−3Torr
よりも窒素の分圧を大きくすると、窒素分圧に応じてス
パッタ時の成膜効率が低下するといった課題が発生する
ため上記比率が適当であっ九 さらに第二の保護層4の
膜厚を約20nmと薄くしている力(これによって熱拡
散層となる反射層5と記録薄膜3が近くなり、記録・消
去時の記録薄膜3の熱が急速に反射層5に伝達されるこ
とになって、記録薄膜3を急冷する上で効果があるもの
であも 本実施例のディスク構成で、外径130na
1800rpm回転でfl−3,43MHzの信号f
2−1.0M1(2の信号のオーバライド特性を測定し
た オーバライドi、t、 1個のサークルスポット
で約1μmのレーザ光により、高いパワーレベル1ロm
W、 低いパワーレベル8mWの間の変調で、高いパ
ワーレベルで非晶質化マークを形成し 低いパワーレベ
ルで非晶質化マークを結晶化して消去する同時消録の方
法で行った この結果 記録信号のC/N比として4友
55dB以上が得られ 消去特性として、オーバライド
消去率30dB以上が得られた オーバライドのサイク
ル特性について(よ 特にピットエラーレイトの特性を
測定した結& 1ooooooサイクル以上劣化が見
られなかっな 発明の効果 以上 説明したように記録薄膜の両側の保護層としてZ
nS−3iOaの混合膜に窒素を含ませることによって
以下の効果を得られるものであム(1)誘電体がZnS
とSiO2の混合膜とSiN等の窒化物の混合体となっ
て、遊離したSi等の少なし\すなわち欠陥の少ない緻
密な膜となり、保護層の機械的強度が向上する。
上に向上すも (3)記録マークが均一化しオーバライド消去率が30
dB以上に向上する。
て、多サイクル時の熱衝撃を小さくできサイクル特性が
向止すも
一部省略断面図であム ト・・・ディスク基板 2・・・・第一の保護# 3・
・・・記録簿wL 4・・・・第二の保護服 5・・・
・反射胤
Claims (8)
- (1)透明基板の一方の面に、第一の保護膜、レーザ光
の照射により、そのエネルギーを吸収して昇温し、溶融
し、急冷し、非晶質化する性質と、非晶質の状態を昇温
することにより、結晶化する性質を有する記録薄膜、第
二の保護膜、反射層を順次形成した光記録媒体であって
、前記第一、第二の保護膜がZnSとSiO_2の混合
膜に窒素を含ませてなることを特徴とする光記録媒体。 - (2)第二の保護層を第一の保護層より薄くし、膜厚を
30nm以下にすることを特徴とする請求項1記載の光
記録媒体。 - (3)記録薄膜としてTe、Ge、Sbからなる材料を
用いることを特徴とする請求項1記載の光記録媒体。 - (4)ZnSとSiO_2の混合膜のSiO_2比が5
〜40mol%であることを特徴とする請求項1記載の
光記録媒体。 - (5)ZnSとSiO_2の混合膜に窒素を含ませてな
ることを特徴とする光記録媒体用保護膜。 - (6)ZnSとSiO_2の混合膜のSiO_2比が5
〜40mol%であることを特徴とする請求項5記載の
光記録媒体用保護膜。 - (7)ZnSとSiO_2の混合膜からなる保護層をア
ルゴンと窒素の混合ガスを用いたスパッタ法で形成する
ことを特徴とする光記録媒体用保護膜の製法。 - (8)保護層を形成する時の窒素分圧を1.5×10^
−^5〜1.5×10^−^3Torrの範囲にするこ
とを特徴とする請求項7記載の光記録媒体用保護膜の製
法。
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JP2027497A JPH07111786B2 (ja) | 1990-02-07 | 1990-02-07 | 光記録媒体と光記録媒体用保護膜と保護膜の製法 |
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JPH07111786B2 JPH07111786B2 (ja) | 1995-11-29 |
Family
ID=12222779
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JP2027497A Expired - Lifetime JPH07111786B2 (ja) | 1990-02-07 | 1990-02-07 | 光記録媒体と光記録媒体用保護膜と保護膜の製法 |
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US5395669A (en) * | 1991-11-26 | 1995-03-07 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Optical record medium |
US5914214A (en) * | 1996-12-06 | 1999-06-22 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method for manufacturing an optical information recording medium |
WO1999045538A1 (fr) * | 1998-03-02 | 1999-09-10 | Kao Corporation | Support d'enregistrement optique et film protecteur a cet effet |
US6114001A (en) * | 1997-06-06 | 2000-09-05 | Asahi Kasei Kogyo Kabushiki Kaisha | Optical information recording medium, and method for fabricating it |
-
1990
- 1990-02-07 JP JP2027497A patent/JPH07111786B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US6114001A (en) * | 1997-06-06 | 2000-09-05 | Asahi Kasei Kogyo Kabushiki Kaisha | Optical information recording medium, and method for fabricating it |
WO1999045538A1 (fr) * | 1998-03-02 | 1999-09-10 | Kao Corporation | Support d'enregistrement optique et film protecteur a cet effet |
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JPH07111786B2 (ja) | 1995-11-29 |
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