KR950004339A - 애퍼추어그릴의 제조방법 - Google Patents

애퍼추어그릴의 제조방법 Download PDF

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KR950004339A
KR950004339A KR1019940017611A KR19940017611A KR950004339A KR 950004339 A KR950004339 A KR 950004339A KR 1019940017611 A KR1019940017611 A KR 1019940017611A KR 19940017611 A KR19940017611 A KR 19940017611A KR 950004339 A KR950004339 A KR 950004339A
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slit pattern
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film
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아키라 마키타
오사무 나카무라
다케시 이케가미
야스히코 이시이
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기타지마 요시토시
다이니뽄 인사쯔 가부시키가이샤
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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/02Manufacture of electrodes or electrode systems
    • H01J9/14Manufacture of electrodes or electrode systems of non-emitting electrodes
    • H01J9/142Manufacture of electrodes or electrode systems of non-emitting electrodes of shadow-masks for colour television tubes
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/0015Production of aperture devices, microporous systems or stamps

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Abstract

본 발명은, CRT표시기 소자의 애퍼추어그릴의 제조방법이 발표된 것이다. 애퍼추어그릴은 20㎛ 내지 100㎛의 작은 두께이다. 단독 넓은 슬릿패턴으로서 전면 슬릿 패턴 마스크와 2개의 인접하고 좁은 슬릿패턴으로서 후면 슬릿 패턴 마스크가전후 표면 수지층으로서 금속판에 공급된다. 반대편에 배치된 이들 2개의 마스크로, 그 슬릿패턴은 레지스트층에 인쇄되고 성장된다. 그후, 후면 레지스트층을 지나금속판의 후면위에 에칭이 수행되고, 후면의 구멍이 금속판에서 형성된다. 그리고, 가압과 애천트막이 후면의 구멍을 덮기 위해 후면 레지스트층에 붙여지고, 그 후, 그에 의해 전면 구멍을 형성하기위해 전면 레지스트층을 지나 금속판의 전면에서 수행된다. 전면 에칭 공정으로, 전면 구멍은 후면 구멍들속으로 흐르는에천트로 후면 구멍들과 연계가 일어나고, 전후 구멍들은 단독 관통 슬릿속에서 만들어진다. 그 후, 가압막이 제어된다. 그 방법은 치수의 정확한 슬릿을 쉽게 만들 수 있도록 한다.

Description

애퍼추어그릴의 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제9도는 내에천트막의 제거 후 단계를 나타낸 단면도, 제10도는 그 내부에 관통슬릿을 형성하고 있는 금속판의 단면도이다.

Claims (7)

  1. 20㎛ 내지 100㎛ 두께의 금속판을 제공하는 단계와, 금속판의 전후면에 각각 전후 감광성 레지스트층을 공급하는 단계, 전후 레지스트층들에 각각 전후 슬릿 패턴마스크를 공급하는 단계, 전후 레지스트층들에 각각 전후 슬릿 패턴마스트를 인쇄하는 단계, 전후 레지스트층들에 인쇄된 슬릿 패턴을 성장하는 단계, 후면 리세스를 제조하기 위해 후면레지스트층을 통해 적어도 금속판의 후면 표면을 하프에칭하는 단계, 금속판의 후면에 에칭된 리세스들이 덮여지도록 후면 레지스트층에 처리에 따라 감소되는 접착성을 갖는 내에천트막을 부착하는 단계, 전면 리세스를 제조하기 위해 전면레지스트층을 통해 금속판의 전면을 에칭하는 단계, 상기 전면의 에칭이 처리되는 것처럼 후면 리세스들과 연계하기 위해전면 리세스를 야기시키는 단계, 전면 리세스가 후면 리세스와 연계되도록 야기될 때 상기 내에천트막에 의해 후면 리세스를 지나 흐르는 것으로부터 후면 리세스에서의 에천트를 방지하는 동안 후면 리세스내로 흐르도록 전면 리세스상에서작용하는 에천트를 야기시키는 단계, 요구된 형상을 갖춘 관통슬릿을 제공하기 위해 전후 리세스 양쪽뿐만 아니라 전후리세스들 사이의 경계영역의 에칭을 더 수행하는 단계, 접착성을 줄이기 위해 상기 에천트막을 상기 처리에 맡김으로써,후면 레지스트층으로부터 그 막을 제거하는 단계 및, 금속판으로부터 전후 레지스트층을 제거하는 단계를 구비하여 이루어진 것을 특징으로 하는 애퍼추어그릴의 제조방법.
  2. 제1항에 있어서, 전면 슬릿 패턴마스크가 단일 슬릿 패턴과 후면 슬릿 패턴마스크가 적어도 2개의 인접하는 슬릿 패턴을 갖춘 것을 특징으로 하는 애퍼추어그릴의 제조방법.
  3. 제2항에 있어서, 상기 적어도 2개의 슬릿 패턴이 상기 단일 슬릿 패턴의 폭내에서 배치되는 것을 특징으로하는 애퍼추어그릴의 제조방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 처리가 열경화성 처리인 것을 특징으로 하는 애퍼추어그릴의 제조방법.
  5. 제1항에 있어서, 상기 처리는 열성형 처리인 것을 특징으로 하는 애퍼추어그릴의 제조방법.
  6. 제1항에 있어서, 상기 처리가 자외선 광 조사 공정인 것을 특징으로 하는 애퍼추어그릴의 제조방법.
  7. 제1항에 있어서, 상기 막이 베이스막과 이 베이스막에 공급된 접착성층으로 이루어진 것을 특징으로 하는애퍼추어그릴의 제조방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019940017611A 1993-07-21 1994-07-21 애퍼추어그릴의 제조방법 KR0127522B1 (ko)

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