KR940026981A - 자기저항 소자의 제조방법 - Google Patents

자기저항 소자의 제조방법 Download PDF

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KR940026981A
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구부회
최재훈
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윤종용
삼성전기 주식회사
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01FMAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F1/00Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Hall/Mr Elements (AREA)
  • Magnetic Heads (AREA)

Abstract

본 발명은 자기저항 소자의 전극부를 위한 1개의 감광막 창을 이용하여 서로 다른 2층의 전기도금층을 형성함으로써 복잡한 사진공정의 회수를 줄여 제조공정을 단순화시키는 자기저항 소자의 제조 방법에 관한 것이다.
본 발명은 3번의 사진공정을 실시하여 자기저항 소자를 형성함에 따라 제조공정이 복잡하게 되는 문제점을 해결하기 위해 사진 공정의 회수를 줄여 제조공정을 단순화시키고자 하는데 그 목적이 있다.
본 발명은 자기저항 소자의 전극부를 위한 1개의 감광막창을 이용하여 서로 다른 2개의 전기도금층을 형성시키는 것을 특징으로 하여 사진 공정의 회수를 3회에서 2회로 줄여 제조공정을 단순화시키고 이에 따라 제조원가를 절감할 수 있다.

Description

자기저항 소자의 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도(A)∼(E)는 종래 기술에 따른 자기저항 소자의 제조 공정도, 제2도(A)∼(C)는 본 발명에 따른 자기저항 소자의 제조공정도이다.

Claims (1)

  1. 기판의 표면상에 형성된 자기저항 소자의 자성막을 자기저항 소자의 패턴으로 형성하는 단계와, 정해진 상기 자성막 패턴의 상부에 전극부를 위한 제1, 2 전기 도금층을 형성하는 단계를 포함하는 자기저항 소자의 제조방법.
    ※ 참고사항: 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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