KR940022116A - 주사 근시야 광학/원자력 현미경과, 주사 근시야 광학 원자력 현미경에 사용하기 위한 프로브 및 프로브의 제조방법 - Google Patents

주사 근시야 광학/원자력 현미경과, 주사 근시야 광학 원자력 현미경에 사용하기 위한 프로브 및 프로브의 제조방법 Download PDF

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Abstract

샘플의 투과도와 전도도에 무관하게 높은 분해능으로 샘플의 표면의 미세구성과 광학 특성을 측정할 수 있는 장치가 실현된다. 장치는 프로브와, 광으로 샘플을 조사하는 광원과, 샘플에 의해 반사된 광 또는 샘플을 투과한 광을 수용하기 위한 광전 변환장치 및 광학과, 프로브이 편향을 검출하는 레이져 방출 레이저광과, 레이저 광을 프로브의 배면에 지향하기 위한 집광 렌즈와, 반사광을 검출하기 위한 검출 시스템과, 샘플과 프로브를 서로 비례하여 이동하는 거친 동작 기구 및 미세 동작기구와, 샘플 및 프로브 사이의 간격을 제어하는 제어수단과, 전체장치를 제어하는 컴퓨터로 구성된다. 프로브는 정면 단부와 이어진 광 전파체와 정면 단부를 가지며, 정면 단부 및 광 전파체는 고리형상이다. 장치는 샘플 표면의 미세 구성과 광학 특성을 관측한다.

Description

주사 근시야 광학/원자력 현미경과, 주사 근시야 광학 원자력 현미경에 사용하기 위한 프로브 및 프로브의 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 1 도는 본 발명에 따른 뾰족한 프로브의 개략도,
제 2 도는 광반사면을 가진 본 발명에 따른 뾰족한 프로브의 개략도,
제 5 도는 프로브 지지체를 가진 본 발명에 따른 뾰족한 프로브의 개략도,
제 6 도는 광 반사면과 프로브 지지체를 가진 본 발명에 따른 뾰족한 프로브를 제조하기 위한 단계를 도시하는 도면.

Claims (13)

  1. 광전파 매체로 구성된 프로브에 있어서, 상기 프로브의 한 단부에는 광을 통과하는 홀이 형성되며 상기 홀은 고리 형상부를 형성하도록 광전파체와 접촉하는 뾰족한 정면 단부를 가지는 것을 특징으로 하는 프로브.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 프로브의 편향을 광학적으로 검출하는 광 반사 수단을 더 구비하며, 상기 반사 수단은 상기 프로브의 고리 형상부의 정면 단부에서 보았을 때 상기 프로브의 배면상에 형성되는 것을 특징으로 하는 프로브.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 광 반사수단은 상기 프로브상에 형성된 광 반사면인 것을 특징으로 하는 프로브.
  4. 제 2 항에 있어서, 상기 광 반사 수단은 상기 프로브상에 설치된 미세 광 반사체인 것을 특징으로 하는 프로브.
  5. 제 1 항에 있어서, 적어도 프로브의 일부분에 광 반사 수단을 가진 스프링 요소를 더 구비하며, 상기 스프링 요서는 지점들을 가지며, 상기 스프링 요소의 일부는 상기 프로브의 고리 형상부의 정면 단부에서 본 바와같이 프로브의 배면에 결합되며, 상기 프로브의 상기 지지점들은 상기 프로브의 정면 단부에서 상기 스프링 요소의 지지점들 보다 멀리 떨어져 있는 것을 특징으로 하는 프로브.
  6. 제 1 항에 있어서, 위치 정렬면을 가지며 정면 단부의 대향면에서 상기 프로브의고리 형상부상에 장착된 프로브 지지체를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 프로브.
  7. 제 1 항에 있어서, 상기 프로브는 광 반사막으로 코팅된 부분을 가지며, 상기 코팅된 부분은 상기 홀을 제외하며, 상기 홀 주위에 배치되며, 적어도 상기 고리 형상부까지 연장하는 것을 특징으로 하는 프로브.
  8. 주사 근시야 광학/원자력 현미경용 프로브의 제조 방법에 있어서, 정면단부를 가진 광 전파체를 프로브 지지체상에 설치하는 단계와, 상기 광 전파체를 정면 단부상을 뾰족하게 하는 단계와, 상기 광 전파체를 고리 형상으로 정형하는 단계와, 광 반사면을 상기 광 전파체상에 형성하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 주사 근시야 광학/원자력 현미경용 프로브의 제조방법.
  9. 제 8 항에 있어서, 광 반사면을 형성하는 상기 단계는 미세 광 반사기를 상기 프로브상에 설치하는 것으로 이루어지며, 상기 광 반사체의 정면 단부를 고리 형상으로 정형하기 위해 고전력의 레이저광을 조사하는 단계는 상기 광 반사기의 설치와 동시에 실행되는 것을 특징으로 하는 근시야 광학/원자력현미경용 프로브의 제조방법.
  10. 샘플 표면의 미세구성과 광학특성을 관측하기 위해 채용된 근시야 광학/원자력 주사 현미경에 있어서, 광을 통과하는 홀이 배치된 정면 단부를 가진 프로브와 프로브의 일부상의 광 반사수단과, 광으로 샘플을 조사하는 광원 및 광학과, 샘플에 의해서 반사된 샘플 또는 광을 통해 투과된 광을 수용하는 광전 변환장치 및 광학과, 상기 프로브의 편향을 검출하는 레이저 광을 발생하는 레이저 원과, 상기 레이저광을 상기 프로브의 상기 광 반사수단에 지향하기 위한 지향수단과, 상기 샘풀과 상기 프로브 사이의 상대 이동을 만들기 위한 이동수단과, 상기 샘플의 표면과 상기 프로브의 정면 단부 사이의 간격을 제어하는 제어수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 근시야 광학/원자력 주사현미경.
  11. 제10항에 있어서, 서로 비례하여 상기 프로브의 정면 단부와 상기 샘플을 수직 진동하기 위한 수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 근시야 광학/원자력 현미경.
  12. 제10항에 있어서, 광을 통과하는 홀이 배치된 단부를 가진 광 전파체로 이루어진 보조 프로브를 더 구비하며, 상기 보조프로브는 상기 프로브의 정면 단부에 근접 배치된 광통과 홀과 광 투과면을 구비하는 것을 특징으로 하는 근시야 광학/원자력 현미경.
  13. 제12항에 있어서, 상기 보조 프로브의 상기 광통과 홀은 블록면으로 형성되는 것을 특징으로 하는 근시야 광학/원자력 현미경.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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