JP4540254B2 - 走査型近接場光学顕微鏡 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、走査型近接場光学顕微鏡に関し、特に、低コストで、小型で、セッティングがしやすく、高S/N比の走査型近接場光学顕微鏡に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
走査型近接場光学顕微鏡(以降、SNOM:Scanning Near−Field Optical Microscopeと表記)は、光の波長より小さい径の開口を先端部に持つプローブ、若しくは、光の波長より小さい曲率を持つ先鋭化された無開口の先端部を持つプローブを、試料近傍にて試料と相対的に走査させて試料の微小領域の光学情報を測定する装置である。
【0003】
この走査型近接場光学顕微鏡は、回折限界により分解能が制約される光学顕微鏡に比べ、上記の開口径若しくは先端部曲率半径(〜数十nm)程度の分解能まで得られるため、今後が期待されているものである。
【0004】
SNOMはプローブの種類によって分けることができるが、大きく分けると、上述したように開口を持つ開口型と無開口の散乱型とに分けられる。その違いは、次の通りである。まず、開口型は、開口を通して光を試料に照射したり試料からの光を開口を通して検出して試料の光学情報を得るようになっている。一方、散乱型は、外部からの入射光により試料表面に生ずる局所電場を先鋭化したプローブ先端にて散乱させ、その散乱光を検出することによって試料の光学情報を得るようになっている。
【0005】
これらの中、散乱型SNOMは先端径を開口型の開口径に比べて小さくできるため、より高分解能型のSNOMとして期待されている。その動作を、図10を参照にして説明すると、以下のようになる。
【0006】
図10は、プローブ、カンチレバーが光学的に不透明な散乱型のSNOMを示す図である。このタイプのSNOMは、例えば、B.Knoll and F.Keilmann,Science 399(1999)p.134等に記載されている。
【0007】
プローブ2先端と試料1表面が十分近い一定距離の間隔を保つようにするため、原子間力顕微鏡(以降、AFM:Atomic Force Microscope)の原理を用いるのが一般的である。これは、プローブ2先端が試料1に近づくと、プローブ2先端と試料1との間に働く原子間力によって、プローブ2保持部材であるカンチレバー3が撓むことを利用し、常に一定の撓み量となるようにカンチレバー3〜試料1間をプローブ用のアクチュエーター4か試料台に取り付けたアクチュエーター26を駆動することで垂直方向に動かして実現する(DCモード)。
【0008】
カンチレバー3の撓みの測定は、例えば光てこの原理を用いた検出器25で行う。この他、プローブ用アクチュエーター4でプローブ2を上下若しくは試料1面と略平行方向に振動させておき、プローブ2先端の振幅が試料1表面との距離で変化することを使って、これが一定になるようにすることで間隔制御を行うこともできる(ACモード)。
【0009】
プローブ2は中心軸が試料1に略垂直になるように当て、カンチレバー3がそれに略垂直に設置されるときに、試料1面での滑りもなく、最も効率良く力がカンチレバー3の撓みに変換されるので、高い感度で距離制御ができる。しかし、カンチレバー3が試料1面に略平行に設置されると、試料1の凹凸によっては、カンチレバー3自身に試料1が接触することがあり得るので、約10°傾けるのが普通である。
【0010】
以上のような方法でプローブ2先端を試料1に近接させた状態で走査を行うが、走査にはコントローラー6により試料台に取り付けたアクチュエーター26を作動させて試料3表面に略平行方向にラスタ走査を行う。
【0011】
プローブ2先端への光の照射は、光源16からの光を照射光学系23によってプローブ2先端付近に照射することで行う。光源16は、レーザー、キセノンランプ等にエクスパンダー、コリメーター等を適宜組み合わせて平行光を出射する。
【0012】
光の照射により起きるプローブ2先端近傍からの散乱光を、集光レンズ97、結像レンズ8を用いて集光させる。集光位置にピンホール14を置くことによって、プローブ2先端近傍以外からの光をカットし、周囲からの光ノイズを減らしている。ピンホール14を通過した光は、光電子増倍管15で電気信号に変換され、コンピューター17で処理された後、測定結果としてモニター18に表示される。
【0013】
ピンホール14に加え、カンチレバー3先端を加振させて距離制御を行う場合は、この振動によるプローブ2先端での光のモジュレーション(変調)を利用して光信号同期成分のみをロックイン検出器で検出することによりS/N比の向上も行われる。
【0014】
以上の方法により、試料1に材質の異なる物質が混ざっていたりした場合には、散乱光量等に変動が生ずるので、プローブ2先端径のオーダーにてその存在を表示することができる。
【0015】
試料1上部に、対物レンズ7を配置し、結像レンズ98を経て撮像素子99により試料1上部を撮像し、その像を光学顕微鏡用モニター100に表示して、試料1を通常の光学顕微観察できるようにすれば、SNOM観察のためのプローブ2の位置決めが容易となる。このような通常の光学顕微観察手段による観察系を持ち、適当な形状のプローブ2を使用することで、この対物レンズ7で検出系の集光レンズを兼ねるようにした散乱型SNOMが特開平9−54099号で開示されている。
【0016】
【発明が解決しようとする課題】
上述の散乱型走査型近接場光学顕微鏡は、不透明なプローブが使われることが多く、プローブ保持部もしばしば不透明である。このような不透明なプローブを利用するときには、別体の入射系で斜め方向から光を入射させていた。そのため、装置が大型になったり、また、照明光の調整が煩雑であったりするという問題があった。
【0017】
本発明はこのような状況に鑑みてなされたものであり、その目的は、低コスト化、小型化を図ると共に、セッティングのしやすい走査型近接場光学顕微鏡を提供することである。さらに、このような構成での高S/N比化のための手段を提供することである。
【0018】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成する本発明の走査型近接場光学顕微鏡は、照射光の中心波長より小さい先端径の鋭い先端を有する探針と、その探針を支える探針保持部材と、その探針先端を試料の略垂直上方から試料近傍に接近させる手段と、光源を含みその探針先端付近に光を照射する手段と、検出器を含みその探針先端付近からの光を検出する手段とを持つ光測定装置において、
試料の略垂直上方からの光学顕微観察手段を持ち、この光学顕微観察手段は試料に略垂直に配置された対物レンズを含み、
探針は、対物レンズの焦点位置付近で、探針の先端から中心波長以下の先端部を起点とする直線の少なくとも1本は探針及び探針保持部材に遮られることなく対物レンズの有効径の少なくとも一部を横切ることができるように配置され、
この対物レンズは探針先端に光を照射する手段の一部を兼ねることを特徴とするものである。
【0019】
本発明のもう1つの走査型近接場光学顕微鏡は、照射光の中心波長より小さい先端径の鋭い先端を有する探針と、その探針を支える探針保持部材と、その探針先端を試料の略垂直上方から試料近傍に接近させる手段と、光源を含みその探針先端付近に光を照射する手段と、検出器を含みその探針先端付近からの光を検出する手段とを持つ光測定装置において、
試料の略垂直上方からの光学顕微観察手段を持ち、この光学顕微観察手段は試料に略垂直に配置された対物レンズを含み、
探針は、対物レンズの焦点位置付近で、探針の先端から中心波長以下の先端部を起点とする直線の少なくとも1本は探針及び探針保持部材に遮られることなく対物レンズの有効径の少なくとも一部を横切ることができるように配置され、
この対物レンズは探針先端に光を照射する手段の一部を兼ね、
探針を利用した光変調手段を持ち、
光検出手段は変調に同期した成分を検出する手段を含むことを特徴とするものである。
【0020】
これらにおいて、光を照射する手段は、散乱除去手段を含むことが望ましい。
【0021】
その場合に、その散乱除去手段は光源と対物レンズの間に配置され、光軸を含む遮光手段であることが望ましい。
【0022】
また、照射光束断面に位相分布を与える手段を持つものであってもよい。
【0023】
その場合に、少なくとも光軸に対称な2点に2分の1の波長の位相差を与えるものとすることができる。
【0024】
以上において、入射光は単色光で、入射光と異なる波長の光で検出するようにしてもよい。
【0025】
その入射光と異なる波長の光は、例えばラマン散乱光又はルミネセンス光である。
【0026】
また、以上において、対物レンズは検出手段の一部も兼ねるようにすることもできる。
【0027】
また、検出手段は試料反射光除去手段を含むものとすることもできる。
【0028】
その場合に、試料反射光除去手段は対物レンズと検出器の間に配置され、試料面での反射光を遮光する遮光手段とすることができる。
【0029】
その場合、検出光断面に位相分布を与える手段を持つようにすることもできる。
【0030】
そして、少なくとも光軸に対称な検出光断面の2点に2分の1の波長の位相差を与えるものとすることができる。
【0031】
以上において、試料とプローブを相対的に走査する走査手段と、プローブを試料近傍に維持するフィードバック手段と、各点での結果を記憶する記憶手段と、その結果を表示する表示手段を持つように構成することができる。
【0032】
【発明実施の形態】
以下に、本発明の走査型近接場光学顕微鏡の特徴を説明した後、その実施例を図面を参照にして説明する。なお、各図面に関する説明において、同一の符号で用いられるものは同様の機能を持つ要素であることを表す。
【0033】
(第1実施例)
図1に第1実施例について示す。本実施例でも、試料1に対するプローブ2、プローブ保持部材として使われるカンチレバー3の位置関係は従来技術で述べた構成と同様である。ただし、本実施例では、従来技術における観察光学系を照明光学系としても使用している点に特徴がある。
【0034】
本実施例においては、従来技術における観察光学系、すなわち、対物レンズ7と、対物レンズ7で平行にされた試料1からの光束を撮像素子99上に結像する結像レンズ98と、撮像素子99で撮像された試料1の像を表示する光学顕微鏡用モニター100とからなる観察光学系を照明光学系としても使用するため、対物レンズ7と結像レンズ98の間にハーフミラー92が配置されている。これにより、光源装置16からの光が対物レンズ7に導かれる。光源装置16の光源としては、レーザーやキセノンランプが用いられる。また、光源装置16には、エクスパンダーやコリメーター等の光学系が設けられている。そして、その光源から射出した光束が対物レンズ7の瞳を満たすように、この光学系によって光束径の拡大・縮小が行われている。
【0035】
上記のような構成をとることにより、従来技術で観察光学系とは別に設けていた照明光学系23(図10)が不要になる。そのため、装置全体がコンパクトに構成されたSNOMを実現することができる。また、照明光学系が不要になったことで、試料1の周囲に空き空間が増える。そのため、検出光学系(集光レンズ97、結像レンズ8、ピンホール14、光電子増倍管15を配置する際の自由度が増える。この結果、例えば、最も検出感度が高い位置に検出光学系を配置することもできる。
【0036】
本実施例では、対物レンズ7を介して照明が行われるので、プローブ2の先端への照明は略垂直方向から行われる。ここで、プローブ2の先端に照明光を到達させるために、本実施例では、大きな開口数を有する対物レンズ7を用いている。また、プローブ2は、プローブ2の先端部から基底部(すなわち、カンチレバー3と接している部分)を結ぶ線を対物レンズ7側に延長したとき、この延長した線が対物レンズ7の有効径の少なくとも一部を横切るような形状を少なくとも備えている。言い換えると、プローブ2は、上記の延長した線と対物レンズ7の光軸Oで決まる開口数が、対物レンズ7の開口数よりも小さくなるような形状を備えている必要がある。
【0037】
例えば、図2(a)に下から見た斜視図、同(b)に側面図を示すプローブA1は従来のプローブで、形状は三角錐である。このプローブA1の先端部A2から基底部A3を結ぶ線の中、例えば稜線L1は対物レンズの光軸Oと平行であるので、先端部A2から基底部A3を結んだ線、すなわち稜線L1の延長線は対物レンズ7の有効径内に到達する。したがって、対物レンズ7を射出した照明光の中、矢印(図2(b))で示す開口数の大きい照明光がプローブA1の面A4、A5に到達する。この結果、従来と同様に散乱光を利用した検出ができる。
【0038】
また、図3に示すように、プローブB1の形状が円錐の場合、プローブB1の先端部B2から基底部B3を結ぶ線L2は円錐の母線になる。したがって、この母線L2と対物レンズ7の光軸Oとのなす角度をθ1、対物レンズ7の最大開口数で決まる角度をθ2としたときに、プローブB1の形状をθ1<θ2となるような円錐形にすれば、矢印で示す開口数の大きい照明光がプローブB1の円錐面に到達する。よって、このような形状のプローブB1でも、従来と同様に散乱光を利用した検出ができる。
【0039】
図1に戻って、照明光の照射により起きるプローブ2先端近傍からの散乱光を、集光レンズ97と結像レンズ8を用いて集光させる。集光位置にピンホール14を置くことによって、プローブ2先端近傍以外からの信号をカットし、周囲からの光ノイズを減らしている。ピンホール14を通過した光は、光電子増倍管15で電気信号に変換され、カンチレバー3先端の振動と同期した光信号成分のみをロックイン検出器93で検出し、コンピューター17で処理された後、測定結果としてモニター18に表示される。同期信号検出を行っているため、しない場合に比べてS/N比良く画像を得ることができる。
【0040】
以上の方法によりプローブ2先端での散乱光だけを取得することができ、試料1に材質の異なる物質が混ざっていたりした場合には、この散乱光量等に変動が生ずるので、プローブ2先端径のオーダーにてその存在を表示することができる。
【0041】
また、光電子増倍管15を分光器で置き換え、スキャンを行いながら各点に対応して散乱光のラマンスペクトル又はルミネッセンススペクトル、又は、それらの中の1波長のデータを蓄積、表示することで、ラマンSNOM、又は、ルミネッセンスSNOM画像が得られる。この場合、カンチレバー3等からの不要な散乱は波長が異なるため、ラマン、ルミネッセンスのデータに影響を与えないので、同期検出はなくてもS/N比の高い画像が得られる。また、ラマン信号が弱くてラマンSNOM像をとるのに時間がかかりすぎる場合は、例えばAFM画像又は光学顕微鏡像だけをとって関心のある領域又は点を選択し、アクチュエーター26でその領域を走査すれば、高分解能画像が得られ、また、その点に移動してラマン信号をとれば、微少領域でのラマン信号が得られる、
(第2実施例)
図4に第2実施例について示す。本実施例も、第1実施例と同じように、観察光学系と照明光学を一体で構成している。ただし、本実施例は、光源装置16とハーフミラー92の間に、遮光手段106を配置している点に特徴がある。遮光手段106は、図5に示すように、遮光部101と開口部102で構成されている。遮光手段106が光路中に配置されたときに、照明光学系の光軸と交わる位置104から偏心した位置に開口部102が設けられている。しかも、開口部102の位置は、遮光手段106に照射される照明光束の範囲103よりも内側になっている。
【0042】
このような遮光手段106を照明光学系中に配置すると、光源装置16から射出した照明光の中、開口部102を通過した照明光のみが対物レンズ7に入射する。このとき、開口部102は照明光学系の光軸から偏心した位置に設けられているので、開口部102を通過した照明光束は対物レンズ7の光軸Oから離れた位置に入射することになる。そのため、対物レンズ7から射出された照明光は、開口数の大きな範囲の光束、すなわち、対物レンズ7の光軸Oに対して大きく傾いた光束となるから、プローブ2の先端部を照射することができる。しかも、開口部102を通過した照明光以外の照明光は、遮光部101で遮光されるので、第1実施例のようにカンチレバー3を照明することがない。このように、本実施例の構成だと、カンチレバー3における照明光の散乱が生じないため、よりS/N比の高い検出が可能になる。
【0043】
本実施例では、プローブ2の先端部のみを照明するために遮光手段106を用いたが、光源装置16で遮光手段106と同じような作用を実現することができる。例えば、光源装置16に設けられているコリメータで対物レンズ7の有効径より小さい光束を生成し、光源の位置を調整可能なステージにより光源位置を移動させて、対物レンズ7の光軸Oに対して偏心した位置に上記光束が入射するようにしてもよい。
【0044】
そして、この照明光の照射により起きるプローブ2先端近傍からの散乱光を、集光レンズ97を用いて集光させる。集光位置にピンホール14を置くことによって、プローブ2先端近傍以外からの信号をカットし、周囲からの光ノイズを減らしている。ピンホール14を通過した光は、光電子増倍管15で電気信号に変換され、カンチレバー3先端の振動と同期した光信号成分のみをロックイン検出器93で検出し、コンピューター17で処理された後、測定結果としてモニター18に表示される。同期信号検出を行っているため、しない場合に比べてS/N比良く画像を得ることができる。
【0045】
以上の方法によりプローブ2先端での散乱だけを取得することができ、試料1に材質の異なる物質が混ざっていたりした場合には、この散乱光量等に変動が生ずるので、プローブ2先端径のオーダーにてその存在を表示することができる。
【0046】
また、遮光手段106として、図6のような構成の遮光手段を用いることもできる。図6の遮光手段は、開口部102が2つあり、これらが軸104に対して対称に配置されている。そして、一方の開口部には通過する光の位相をλ/2遅らせる(あるいは進める)1/2波長板105が配置されている(λは波長)。このような構成にすると、開口部102を通過した各々の照明光は、図7に示すように、対物レンズ7の光軸Oから偏心した位置に入射する。ここで、図の矢印の方向の違いは、偏光方向は同じであるが、位相が異なることを示している。対物レンズ7から射出した各々の照明光は、開口数の大きな範囲の光束であるため、両方共プローブ2の先端部に到達する。プローブ2の先端部では両方の照明光が合成されるが、このとき、光軸に沿う方向に偏光した光が生じる。この方向に偏光した光は、試料1との相互作用が最も強い光と考えられるため、よりS/N比の高い検出が可能になる。プローブ2先端の形状によっては、他の偏光が適当であることも考えられるが、開口間の位相差を適宜変えることにより任意の偏光を発生させることができる。また、光源はレーザーであればすでに偏光しているが、光源により適宜偏光回転手段、偏光子のような偏光制限手段を併用してもよい。
【0047】
(第3実施例)
図8に第3実施例について示す。試料1に対するプローブ2、プローブ保持部材として使われるカンチレバー3の位置関係は従来技術で述べた構成と同様である。プローブ2先端と試料1表面が十分近い一定距離の間隔を保つようにし、走査する方法は、従来技術と同様である。本実施例では、ACモードによる距離制御を利用する。
【0048】
プローブ2先端への光の照射は、光源装置16からの光を対物レンズ7と結像レンズ98の間に配置されたハーフミラー92を介して対物レンズ7に導き、プローブ2先端付近に照射することで行う。光源装置16は、レーザー、キセノンランプ等にエクスパンダー、コリメーター等を適宜組み合わせて平行光を出射する。
【0049】
光の照射により起きるプローブ2先端近傍からの散乱光を再び対物レンズ7で受け、ハーフミラー92を透過させ、対物レンズ7と結像レンズ98の間に配置された別のハーフミラー91で反射させ、結像レンズ8により集光させる。この構成により、さらにコンパクトな構成の散乱型SNOMが実現される。
【0050】
結像レンズ8の集光位置にピンホール14を配置することによって、プローブ2先端近傍以外をカットし、周囲からの光ノイズを減らしている。ピンホール14を通過した光は、光電子増倍管15で電気信号に変換され、カンチレバー3先端の振動と同期した光信号成分のみをロックイン検出器93で検出し、コンピューター17で処理された後、測定結果としてモニター18に表示される。同期信号検出を行っているため、しない場合に比べてS/N比良く画像を得ることができる。
【0051】
照明光の入射径路上には、略垂直に置かれたプローブ2背面とその付近のカンチレバー3先端を避けるため、光軸Oから離れた部分のみ開けて残り部分は遮光した遮光手段106が置かれていて、カンチレバー3先端やプローブ2の先端以外での光の散乱を避けるようにしている。この構成によりさらにS/N比向上の効果がある。
【0052】
また、検出光の光路上には、入射光の試料面での反射光を避ける遮光手段107が置かれていて、反射光によるノイズを避けている。これによりさらにS/N比向上の効果がある。
【0053】
以上の構成により、プローブ2先端での散乱だけを取得することができ、試料1に材質の異なる物質が混ざっていたりした場合には、この散乱光量等に変動が生ずるので、プローブ2先端径のオーダーにてその存在を表示することができる。
【0054】
また、遮光板106として図6のような形状のものを使い、開口部102を通った光束がカンチレバー3等に当たらないように適宜遮光板106を回転させ、ま、検出側にも同様な遮光手段107を用い、入射側遮光板106からの光束の試料面での反射光が遮光されるように適宜回転させると、プローブ2先端付近で図7で示したような光が発生し、検出側開口部には図9のような互いに逆向きの偏光が戻り、この偏光成分だけを選択的に検出することができる。なぜなら、この偏光の一方は1/2波長板105で偏光の向きが逆転するので、光電子増倍管15上でお互いに強め合い、一方、プローブ2先端で同じ面内に偏光した成分があれば、これは逆に1/2波長板105で打ち消し合う関係になるからである。理想的な形状のプローブでは、この向きの偏光が試料1とより強く相互作用し、強いコントラストを発生させると考えられているので(B.Knoll andF.Keilmann,Optics Communications 182(2000)p.321)、本方法はS/N比向上の効果がある。プローブ2先端の形状によっては、他の偏光が適当であることも考えられるが、開口間の位相差を適宜変えることにより任意の偏光を発生させることができる。また、光源はレーザーであればすでに偏光しているが、光源により適宜偏光回転手段、偏光子のような偏光制限手段を併用してもよい。S/N比向上のために必要に応じて検出側に偏光制限手段を入れてもよい。
【0055】
以上の本発明の走査型近接場光学顕微鏡は例えば次のように構成することができる。
【0056】
〔1〕 照射光の中心波長より小さい先端径の鋭い先端を有する探針と、その探針を支える探針保持部材と、その探針先端を試料の略垂直上方から試料近傍に接近させる手段と、光源を含みその探針先端付近に光を照射する手段と、検出器を含みその探針先端付近からの光を検出する手段とを持つ光測定装置において、
試料の略垂直上方からの光学顕微観察手段を持ち、この光学顕微観察手段は試料に略垂直に配置された対物レンズを含み、
探針は、対物レンズの焦点位置付近で、探針の先端から中心波長以下の先端部を起点とする直線の少なくとも1本は探針及び探針保持部材に遮られることなく対物レンズの有効径の少なくとも一部を横切ることができるように配置され、
この対物レンズは探針先端に光を照射する手段の一部を兼ねることを特徴とする走査型近接場光学顕微鏡。
【0057】
〔2〕 照射光の中心波長より小さい先端径の鋭い先端を有する探針と、その探針を支える探針保持部材と、その探針先端を試料の略垂直上方から試料近傍に接近させる手段と、光源を含みその探針先端付近に光を照射する手段と、検出器を含みその探針先端付近からの光を検出する手段とを持つ光測定装置において、
試料の略垂直上方からの光学顕微観察手段を持ち、この光学顕微観察手段は試料に略垂直に配置された対物レンズを含み、
探針は、対物レンズの焦点位置付近で、探針の先端から中心波長以下の先端部を起点とする直線の少なくとも1本は探針及び探針保持部材に遮られることなく対物レンズの有効径の少なくとも一部を横切ることができるように配置され、
この対物レンズは探針先端に光を照射する手段の一部を兼ね、
探針を利用した光変調手段を持ち、
光検出手段は変調に同期した成分を検出する手段を含むことを特徴とする走査型近接場光学顕微鏡。
【0058】
〔3〕 前記光を照射する手段は、散乱除去手段を含むことを特徴とする上記1又は2記載の走査型近接場光学顕微鏡。
【0059】
〔4〕 前記散乱除去手段は前記光源と前記対物レンズの間に配置され、光軸を含む遮光手段であることを特徴とする上記3記載の走査型近接場光学顕微鏡。
【0060】
〔5〕 照射光束断面に位相分布を与える手段を持つことを特徴とする上記3記載の走査型近接場光学顕微鏡。
【0061】
〔6〕 少なくとも光軸に対称な2点に2分の1の波長の位相差を与えることを特徴とする上記5記載の走査型近接場光学顕微鏡。
【0062】
〔7〕 入射光は単色光で、入射光と異なる波長の光で検出することを特徴とする上記1から6の何れか1項記載の走査型近接場光学顕微鏡。
【0063】
〔8〕 前記入射光と異なる波長の光はラマン散乱光又はルミネセンス光であることを特徴とする上記7記載の走査型近接場光学顕微鏡。
【0064】
〔9〕 前記対物レンズは検出手段の一部も兼ねることを特徴とする上記1から8の何れか1項記載の走査型近接場光学顕微鏡。
【0065】
〔10〕 前記検出手段は試料反射光除去手段を含むことを特徴とする上記1から9の何れか1項記載の走査型近接場光学顕微鏡。
【0066】
〔11〕 前記試料反射光除去手段は前記対物レンズと前記検出器の間に配置され、前記試料面での反射光を遮光する遮光手段であることを特徴とする上記10記載の走査型近接場光学顕微鏡。
【0067】
〔12〕 検出光断面に位相分布を与える手段を持つことを特徴とする上記11記載の走査型近接場光学顕微鏡。
【0068】
〔13〕 少なくとも光軸に対称な検出光断面の2点に2分の1の波長の位相差を与えることを特徴とする上記12記載の走査型近接場光学顕微鏡。
【0069】
〔14〕 前記試料と前記プローブを相対的に走査する走査手段と、前記プローブを前記試料近傍に維持するフィードバック手段と、各点での結果を記憶する記憶手段と、その結果を表示する表示手段を持つことを特徴とする上記1から13の何れか1項記載の走査型近接場光学顕微鏡。
【0070】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によると、位置決め用に設置された光学顕微鏡部の一部を構成する対物レンズを入射系の一部として利用することで、入射系と光学顕微鏡部を一体化し、低コスト化、小型化を図ると共に、セッティングのしやすい走査型近接場光学顕微鏡を提供することができ、さらに、高S/N比な走査型近接場光学顕微鏡を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例の走査型近接場光学顕微鏡の構成を示す図である。
【図2】三角錐形状のプローブにおいて本発明の原理により散乱光が検出できることを説明するための図である。
【図3】円錐形状のプローブにおいて本発明の原理により散乱光が検出できることを説明するための図である。
【図4】本発明の第2実施例の走査型近接場光学顕微鏡の構成を示す図である。
【図5】本発明で用いる遮光手段の1つの形状を示す図である。
【図6】本発明で用いる別の遮光手段の形状を示す図である。
【図7】図6の遮光手段を用いた場合の照明光の偏光の様子を示す図である。
【図8】本発明の第3実施例の走査型近接場光学顕微鏡の構成を示す図である。
【図9】図6の遮光手段を用いた場合の照明光と検出光の偏光の様子を示す図である。
【図10】従来の走査型近接場光学顕微鏡の構成を示す図である。
【符号の説明】
1…試料
2…プローブ
3…カンチレバー
4…アクチュエーター(プローブ用)
6…コントローラー
7…対物レンズ
8…結像レンズ(検出系)
14…ピンホール
15…光電子増倍管
16…光源(光源装置)
17…コンピューター
18…モニター
23…照射光学系
25…検出器
26…アクチュエーター(試料台用)
91…ハーフミラー(検出側)
92…ハーフミラー(照射側)
93…ロックイン検出器
97…集光レンズ(検出系)
98…結像レンズ
99…撮像素子
100…光学顕微鏡用モニター
101…遮光部
102…開口部
103…照明光束の範囲
104…光軸と交わる位置(軸)
105…1/2波長板
106…遮光手段(遮光板:照射側)
107…遮光手段(遮光板:検出側)
O…対物レンズの光軸
A1…プローブ
A2…プローブの先端部
A3…プローブの基底部
A4、A5…プローブの面
B1…プローブ
B2…プローブの先端部
B3…プローブの基底部
L1…稜線
L2…円錐の母線
Claims (5)
- 照射光の中心波長より小さい先端径の鋭い先端を有する探針と、その探針を支える探針保持部材と、その探針先端を試料の略垂直上方から試料近傍に接近させる手段と、光源を含みその探針先端付近に光を照射する手段と、検出器を含みその探針先端付近からの光を検出する手段とを持つ光測定装置において、
試料の略垂直上方からの光学顕微観察手段を持ち、この光学顕微観察手段は試料に略垂直に配置された対物レンズを含み、
探針は、対物レンズの焦点位置付近で、探針の先端から中心波長以下の先端部を起点とする直線の少なくとも1本は探針及び探針保持部材に遮られることなく対物レンズの有効径の少なくとも一部を横切ることができるように配置され、
この対物レンズは探針先端に光を照射する手段の一部を兼ね、
前記光を照射する手段は、散乱除去手段を含み、照射光束断面に位相分布を与える手段を持つことを特徴とする走査型近接場光学顕微鏡。 - 前記照射光束断面に位相分布を与える手段は少なくとも光軸に対称な2点に2分の1の波長の位相差を与えることを特徴とする請求項1記載の走査型近接場光学顕微鏡。
- 照射光の中心波長より小さい先端径の鋭い先端を有する探針と、その探針を支える探針保持部材と、その探針先端を試料の略垂直上方から試料近傍に接近させる手段と、光源を含みその探針先端付近に光を照射する手段と、検出器を含みその探針先端付近からの光を検出する手段とを持つ光測定装置において、
試料の略垂直上方からの光学顕微観察手段を持ち、この光学顕微観察手段は試料に略垂直に配置された対物レンズを含み、
探針は、対物レンズの焦点位置付近で、探針の先端から中心波長以下の先端部を起点とする直線の少なくとも1本は探針及び探針保持部材に遮られることなく対物レンズの有効径の少なくとも一部を横切ることができるように配置され、
この対物レンズは探針先端に光を照射する手段の一部を兼ね、
前記検出手段は試料反射光除去手段を含み、
前記試料反射光除去手段は前記対物レンズと前記検出器の間に配置され、前記試料面での反射光を遮光する遮光手段であり、
検出光断面に位相分布を与える手段を持つことを特徴とする走査型近接場光学顕微鏡。 - 前記検出光断面に位相分布を与える手段は少なくとも光軸に対称な検出光断面の2点に2分の1の波長の位相差を与えることを特徴とする請求項3記載の走査型近接場光学顕微鏡。
- 前記試料とプローブを相対的に走査する走査手段と、前記プローブを前記試料近傍に維持するフィードバック手段と、各点での結果を記憶する記憶手段と、その結果を表示する表示手段を持つことを特徴とする請求項1から4の何れか1項記載の走査型近接場光学顕微鏡。
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