CN109828124B - 一种广配激光头的聚焦高度可调的多探针扫描探测装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种广配激光头的聚焦高度可调的多探针扫描探测装置，其包括：腔体上盖、激光头高度微调机构、石英玻璃、玻璃上压盖、用于连接电动转台的密封法兰、探针切换机构、用于发射激光并采集信号的激光头、用于放置样品的真空腔体、用于固定腔体上盖的压盖固定块、用于翻转腔体上盖的翻盖把手、用于连接腔体上盖翻转支架的连接块、样品载动台和样品载动支座。该装置解决了现有技术中的缺陷，能够有效调节激光头高度，适配多种不同聚焦高度和不同类型的激光头，同时能够优化光窗结构，扩大腔体内部空间，并且对探针切换机构进行改造，能够搭载多种具有不同扫描探测功能的探针。

Description

一种广配激光头的聚焦高度可调的多探针扫描探测装置

技术领域

本发明涉及精密仪器技术领域，具体而言，涉及一种广配激光头的聚焦高度可调的多探针扫描探测装置。

背景技术

环境可控型原子力显微镜，可通过简单的操作来选择高真空环境、空气环境、液体环境、湿度环境、特种气体环境以及变温环境等不同环境。在高真空环境下，不仅可以防止样品表面水膜的形成，提高样品扫描分辨率和表面物理性能测试测量的准确性；也可以通过提高其的扫描灵敏度，进而提升图像的分辨率。真空环境还可以避免某些样品的氧化，也为低温扫描提供了绝佳的环境，可以避免空气中水分子结晶带来的影响。

然而，如今商业化的环境可控型原子力显微镜主要是由单一探针的工作模式，并且激光头的适配高度都是无法调节的，且激光光源和光电探测器在出厂后及被完全固定，无法更换。所以针对自行改装的原子力显微镜，配件一旦加工出现误差，就有极大的可能性造成零件的无法使用，造成极大的浪费。

目前原子力显微镜的激光头与探针针尖的高度距离精度要求非常高，这就要求在自行设计的装置中，必须保证激光头与针尖之间距离的可操作性，能够针对制造造成的误差进行弥补，并且能根据相关实验所需的不同精度和不同性能的激光头进行适配。

如超低摩擦系数测量实验，为了满足不同的摩擦系数测量范围和精度要求，需要更换不同类型的激光头(激光头中有不同波长和不同聚焦高度的激光光源或不同精度的光电探测器)；同时，实验中不仅需要采用接触模式进行探测，还需要采用轻敲模式进行表面形貌扫描，为此，需要采用具有蓝光驱动技术的激光头(蓝光驱动技术是从激光头中发射两束不同类型的激光，一束用来测量探针弯曲和扭转，另一束高能量的蓝色激光束用来驱动探针振动，该技术能够得到比传统压电驱动方式更稳定的图像)，从而实现简便、高精度无损的表面形貌扫描。

如上所述，这些不同类型的激光头所包含的激光光源和光电探测器不一样，激光聚焦高度截然不同，所以设计一种能对相应激光头聚焦高度进行大范围调节的装置，进而能够适配多种不同类型的激光头，对进行高精度扫描探测研究具有非常重大的意义。

发明内容

本发明的目的在于提供一种广配激光头的聚焦高度可调的多探针扫描探测装置，其能够解决现有技术中的缺陷，能够有效调节激光头高度，适配多种不同聚焦高度和不同类型的激光头，实现多种实验条件；能够优化光窗结构扩大使用范围，扩大腔体内部空间；能够搭载多种具有不同扫描探测功能的探针，通过切换使用不同的探针，对样品表面试验区域实现原位形貌扫描、摩擦磨损测试等功能。

本发明的实施例是这样实现的：

一种广配激光头的聚焦高度可调的多探针扫描探测装置，其包括：腔体上盖、激光头高度微调机构、石英玻璃、玻璃上压盖、用于连接电动转台的密封法兰、探针切换机构、用于发射激光并采集信号的激光头、用于安置样品的真空腔体和用于固定腔体上盖的压盖固定块，腔体上盖包括连接在真空腔体的上盖板和位于上盖板顶部的凸台，激光头高度微调机构包括至少一个激光头定位块、高度调节块、调节件和锁紧件，激光头定位块通过锁紧件固定于高度调节块顶部且将激光头卡住，高度调节块和上盖板设置有位置相对的螺纹孔，调节件通过螺纹孔将高度调节块和上盖板连接并通过转动对应螺钉调节高度调节块的高度；压盖固定块连接在上盖板的边缘处，石英玻璃通过玻璃上压盖压在腔体上盖的顶部，密封法兰连接在腔体上盖，探针切换机构置于腔体上盖底部设置的凹槽内。

在本发明较佳的实施例中，上述锁紧件为锁紧螺钉，调节件为高度调节固定螺钉和机米螺丝，高度调节块设置有固定螺钉沉头孔和机米螺丝螺纹孔，上盖板设置有激光头高度微调机构螺纹孔和机米螺丝定位孔，高度调节固定螺钉通过固定螺钉沉头孔和激光头高度微调机构螺纹孔将高度调节块和上盖板连接，机米螺丝通过高度调节块的机米螺丝螺纹孔旋入并连接至上盖板的机米螺丝定位孔，通过旋转机米螺丝对高度调节块进行高度调节，并通过高度调节固定螺钉施加向下的力用于锁紧，激光头定位块和高度调节块分别设置有位置相对的锁紧螺钉孔，锁紧螺钉通过锁紧螺钉孔将激光头定位块和高度调节块固定。

在本发明较佳的实施例中，上述凸台设置有光窗结构，光窗结构包括矩形光窗、石英玻璃密封胶圈槽和第一O型密封圈，矩形光窗口开设在凸台中部，凸台的顶部向内凹设有围绕矩形光窗的呈环形的石英玻璃密封胶圈槽，石英玻璃将第一O型密封圈封在石英玻璃密封胶圈槽内。

在本发明较佳的实施例中，上述玻璃上压盖中部设置有呈台阶状的通槽，通槽的台阶状边缘将石英玻璃卡在玻璃上压盖的底部，玻璃上压盖设置有多个螺纹孔且与凸台设置的玻璃上压盖螺纹孔位置相对，螺钉通过螺纹孔将玻璃上压盖锁紧在凸台的顶部。

在本发明较佳的实施例中，上述上盖板的底部向内凹设有罩住样品的凹槽，凹槽在上盖板底部形成槽平台，槽平台向内凹设有安装探针切换机构的内槽位，矩形光窗与内槽位连通。

在本发明较佳的实施例中，上述密封法兰用于密封的结构还包括雷默接口、连接在雷默接口底端的雷默接口固定螺母、压电旋转台接头、控制信号接头和密封法兰连接片，密封法兰的顶部和底部分别设置有卡入第二O型密封圈的密封圈槽，密封法兰的底端将压电旋转台接头密封在上盖板并通过第二O型密封圈压紧，密封法兰的顶端与密封法兰连接片将雷默接口固定螺母密封并通过第二O型密封圈压紧，雷默接口连接在密封法兰连接片的顶部，控制信号接头连接在雷默接口。

在本发明较佳的实施例中，上述探针切换机构包括压电旋转定位台、探针载动块、探针托架、探针和弹簧压片，压电旋转定位台固定在内槽位，探针载动块连接在压电旋转定位台底部，探针托架安装在探针载动块四周，探针装于探针托架，探针通过安装在探针托架的弹簧压片压紧固定。

在本发明较佳的实施例中，上述上盖板的两端设置有安装压盖固定块的固定槽，压盖固定块通过固定槽将上盖板固定在真空腔体。

在本发明较佳的实施例中，上述广配激光头的聚焦高度可调的多探针扫描探测装置还包括便于将上盖板转动的翻盖把手和用于连接腔体上盖翻转支架的连接块，翻盖把手通过螺钉固定在凸台侧面，连接块通过螺钉连接在高度调节块。

在本发明较佳的实施例中，上述广配激光头的聚焦高度可调的多探针扫描探测装置还包括样品载动台和样品载动支座，样品载动台连接在样品载动支座顶部，样品放置在样品载动台且位于上盖板的矩形光窗下方。

本发明的有益效果是：

能够灵活的使用多种不同类型的激光头，不仅能够在传统的接触模式下进行实验，也能够通过适配具有蓝光驱动技术的激光头，实现轻敲模式下表面形貌扫描，该模式下探针无需接触样品，不会对样品表面造成破坏，极大的拓展了多探针技术的适用面，并且极大的节约了成本；能够优化光窗结构扩大使用范围，扩大腔体内部空间；能够搭载多种具有不同扫描探测功能的探针，能够在真空环境、低温环境或氛围环境等不同实验环境下，通过切换使用不同的探针，对样品表面实验区域实现原位形貌扫描、摩擦磨损测试等功能。同时，激光头高度微调机构的设计，能够解决激光头与针尖高度因为加工误差导致的高度不准确问题。在进行不同需求的实验时，激光头的高度调节也使设备能够更加灵活。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定。

图1为本发明广配激光头的聚焦高度可调的多探针扫描探测装置的整体示意图；

图2为本发明广配激光头的聚焦高度可调的多探针扫描探测装置的纵截面示意图；

图3为本发明腔体上盖的装载示意图；

图4为本发明激光头高度微调机构的装载示意图；

图5为本发明密封法兰的结构示意图；

图6为本发明腔体上盖的底部示意图；

图7为本发明探针切换机构的示意图；

图标：1-腔体上盖；1.1-凸台；1.2-矩形光窗；1.3-密封法兰通孔；1.4-密封法兰螺纹孔；1.5-机米螺丝定位孔；1.6-激光头高度微调机构螺纹孔；1.7-石英玻璃密封胶圈槽；1.8-玻璃上压盖螺纹孔；1.9-内槽位；2-激光头高度微调机构；2.1-激光头定位块；2.2-高度调节块；2.3-机米螺丝螺纹孔；2.4-固定螺钉沉头孔；2.5-机米螺丝；2.6-高度调节固定螺钉；3-第一O型密封圈；4-石英玻璃；5-玻璃上压盖；6-密封法兰；6.1-密封圈槽；6.2-雷默接口；6.3-雷默接口固定螺母；6.4-压电旋转台接头；6.5-控制信号接头；6.6-法兰密封连接片；7-第二O型密封圈；8-压电旋转定位台；9-探针载动块；10-探针托架；11-探针；12-弹簧压片；13-激光头；14-真空腔体；15-固定螺钉；16-压盖固定块；17-翻盖把手；18-连接块；19-样品载动台；20-样品载动支座；21-样品。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

第一实施例

请参照图1和图2，本实施例提供一种广配激光头的聚焦高度可调的多探针扫描探测装置，其包括：腔体上盖1、激光头高度微调机构2、石英玻璃4、玻璃上压盖5、用于连接电动转台的密封结构、探针切换机构、用于发射激光并采集信号的激光头13、用于安置样品21的真空腔体14、用于固定腔体上盖1的压盖固定块16、用于翻转腔体上盖1的翻盖把手17、用于连接腔体上盖1翻转支架的连接块18、样品载动台19和样品载动支座20，压盖固定块16连接在上盖板的边缘处，石英玻璃4通过玻璃上压盖5压在腔体上盖1的顶部，密封结构连接在腔体上盖1，探针切换机构置于腔体上盖1底部设置的凹槽内，翻盖把手17和连接块18连接在激光头高度微调机构2，使用时，样品21放置在样品载动台19且位于上盖板的矩形光窗1.2下方，样品载动台19连接在样品载动支座20顶部，真空腔体14将样品21罩住，腔体上盖1连接在真空腔体14顶部，玻璃上压盖5将石英玻璃4压在腔体上盖1，激光头高度微调机构2调节腔体上盖1的高度，密封结构连接电动转台的转接头，探针切换机构用于切换探针11以进行实验。

请参照图3，腔体上盖1包括连接在真空腔体14的上盖板和位于上盖板顶部的凸台1.1，凸台1.1形状为部分圆形，该凸台1.1形状一方面能满足在上盖板底部设置内槽位1.9的空间，另一方面为密封法兰6提供空间，凸台1.1设置有圆形的光窗结构，光窗结构包括矩形光窗1.2、圆形的石英玻璃4、密封胶圈槽和第一O型密封圈3，矩形光窗1.2口开设在凸台1.1中部，矩形光窗1.2将位于上盖板底部的内槽位1.9连通，矩形光窗1.2位于内槽位1.9的边缘位置，上盖板的底部向内凹设有罩住样品21的凹槽，凹槽在上盖板底部形成槽平台，槽平台向内凹设有安装探针切换机构的内槽位1.9，该设计在使用相同的电动转台情况下，能提高空间的利用率，以适应更小的上盖尺寸，并预留空间用于转台走线。

凸台1.1设置有玻璃上压盖螺纹孔1.8，凸台1.1的顶部用于连接石英玻璃4和玻璃上压盖5，凸台1.1的顶部向内凹设有围绕矩形光窗1.2的呈环形的石英玻璃密封胶圈槽1.7，石英玻璃4将第一O型密封圈3封在石英玻璃密封胶圈槽1.7内，具有良好的密封性能，密封后，螺钉通过玻璃上压盖5设置的螺纹孔和凸台1.1的上压盖螺纹孔，将石英玻璃4锁紧在凸台1.1顶部和玻璃上压盖5的底部，第一O型密封圈3和玻璃上压盖5紧密贴合，用于保证前提内部的高真空度和纯净的氛围，玻璃上压盖5中部设置有呈台阶状的通槽，通槽的台阶状边缘将石英玻璃4卡在玻璃上压盖5的底部，玻璃上压盖5设置有四个螺纹孔且与凸台1.1设置的玻璃上压盖螺纹孔1.8位置相对，螺钉通过螺纹孔将玻璃上压盖5锁紧在凸台1.1的顶部；腔体上盖1设置有密封法兰通孔1.3、密封法兰螺纹孔1.4、机米螺丝定位孔1.5和激光头高度微调机构螺纹孔1.6，高度调节块2.2设置有固定螺钉沉头孔2.4，密封法兰6的法兰孔对准密封法兰通孔1.3后，使用螺钉通过密封法兰螺纹孔1.4将密封法兰6固定在上盖板，机米螺丝定位孔1.5设置有两个，其中机米螺丝2.5通过机米螺丝定位孔1.5和机米螺丝螺纹孔2.3将高度调节块2.2和腔体上盖1定位，机米螺丝2.5通过旋转调节在机米螺丝定位孔1.5和机米螺丝螺纹孔2.3内距离而调节高度调节块2.2相对于腔体上盖1平台的高度，高度调节固定螺钉2.6通过激光头高度微调机构螺纹孔1.6和固定螺钉沉头孔2.4将高度调节块2.2固定至腔体上盖1，高度调节固定螺钉2.6通过调节其在激光头高度微调机构2螺纹孔1.6和固定螺钉沉头孔2.4来固定高度调节块2.2和腔体上盖1。

腔体上盖1设置有密封法兰通孔1.3，密封法兰6通过螺钉固定在上盖板顶部，其密封法兰6的法兰孔与密封法兰通孔1.3相通；腔体上盖1的上盖板的两对称的边缘处设置有向内凹设的安装压盖固定块16的槽，压盖固定块16上有螺钉孔，通过使用螺钉将其固定在腔体上盖1的上盖板上，压盖固定块16还设置有通孔，该腔体上盖1设置有与该通孔位置相对的孔，固定螺钉15将对称设置的两个压盖固定块16定位并固定，固定螺钉15通过该通孔将压盖固定块16和腔体上盖1固定至真空腔体14的顶部；适配多种激光头的激光聚焦高度可调的多探针扫描探测装置还包括便于将腔体上盖1转动的翻盖把手17和用于连接腔体上盖1翻转支架的连接块18，翻盖把手17通过螺钉固定在凸台1.1侧面，连接块18通过螺钉连接在高度调节块2.2。

请参照图4，激光头高度微调机构2包括两个激光头定位块2.1、高度调节块2.2、调节件和锁紧件，其中调节件为高度调节固定螺钉2.6，锁紧件为锁紧螺钉，激光头定位块2.1和高度调节块2.2分别设置有位置相对的用于连接锁紧螺钉的锁紧螺钉孔，激光头定位块2.1通过锁紧螺钉固定于高度调节块2.2顶部且将激光头13卡住，两个激光头定位块2.1分别位于激光头13的侧边缘位置，激光头定位块2.1设置有螺钉沉头孔，高度调节块2.2设置有对应的螺纹孔，通过螺钉将激光头定位块2.1固定在高度调节块2.2的顶部，腔体上盖1设置有高度微调机构螺纹孔1.6，高度调节固定螺钉2.6通过固定螺钉沉头孔2.4和高度微调机构螺纹孔1.6将高度调节块2.2和腔体上盖1固定，腔体上盖1上面设置有机米螺丝定位孔1.5，高度调节块2.2上面设有机米螺丝螺纹孔2.3，机米螺丝2.5旋入高度调节块2.2上的机米螺纹孔2.3并落入腔体上盖1上的机米螺丝定位孔1.5中，通过转动对应的机米螺丝2.5来调节高度调节块2.2的高度，高度调节固定螺钉2.6施加向下的力用于固定高度调节块2.2。

请参照图5，密封结构包括设置有密封圈槽6.1的密封法兰6、雷默接口6.2、雷默接口固定螺母6.3、压电旋转台接头6.4、控制信号接头6.5和密封法兰连接片6.6，其中，雷默接口6.2、雷默接口固定螺母6.3和控制信号接头6.5属于现有技术，密封法兰6结构用于安装压电旋转定位控制台的接头转换部分，雷默接口6.2用于旋转台的转接接口，在保证腔体内部真空的条件下，避免对内部空间的占用；密封法兰6的顶部和底部分别向内凹设有卡入第二O型密封圈7的密封圈槽6.1，压电旋转台接头6.4位于密封法兰6内，密封法兰6的底端将压电旋转台接头6.4密封在上盖板的顶部并通过第二O型密封圈7压紧，压紧后密封法兰6的底端与上盖板连接，雷默接口固定螺母6.3位于密封法兰6内，密封法兰6的顶端与密封法兰6连接片将雷默接口固定螺母6.3密封并通过第二O型密封圈7压紧，压紧后密封法兰6的顶端与密封法兰连接片6.6连接；用螺钉将密封法兰6和上盖板进行固定连接，上盖板设置有密封法兰通孔1.3和密封法兰螺纹孔1.4，密封法兰6的底部向内凹设有密封圈槽6.1，密封法兰6将第二O型密封圈7密封在密封圈槽6.1内，第二O型密封圈7将密封法兰6与凸台1.1之间的间隙密封，螺钉通过四个密封法兰螺纹孔1.4将法兰固定在上盖板顶部，同时密封法兰6对准密封法兰6孔；雷默接口6.2的底端设置在密封法兰6内，其顶端连接在密封法兰连接片6.6，雷默接口固定螺母6.3通过旋转的方式与雷默接口6.2设置的螺纹相互旋紧，雷默接口6.2用于连接控制信号接头6.5，控制信号接头6.5的底端连接至雷默接口6.2的顶端，雷默接口固定螺母6.3将雷默接口6.2固定在密封法兰连接片6.6底端，密封法兰连接片6.6设置有螺栓孔，密封法兰6的顶端设置有螺栓孔，螺栓通过该螺栓孔将密封法兰连接片6.6固定在密封法兰6的顶端；雷默接口6.2的顶端与控制信号接头6.5相匹配连接，压电旋转定位台8的压电旋转台接头6.4穿过密封法兰通孔1.3连接至雷默接口6.2的底端，从而形成完整的控制回路，密封结构的设置用于保证内部空间的真空度。

请参照图6和图7，探针切换机构包括压电旋转定位台8、探针载动块9、探针托架10、探针11和弹簧压片12，其中探针托架10、探针11和弹簧压片12为探针组件，在压电旋转定位台8上面安装有探针载动块9，在探针载动块9周围安装有探针组件，探针托架10上面安装有弹簧压片12，用于装夹探针11，压电旋转定位台8固定在内槽位1.9，探针载动块9连接在压电旋转定位台8底部，探针托架10安装在探针载动块9四周，探针11装于探针托架10，探针11通过安装在探针托架10的弹簧压片12压紧固定，探针组件偏离探针切换机构中的探针载动块9中心线，位于矩形光窗1.2的中心线上面，用于激光对焦，弹簧压片12通过螺钉固定在探针托架10上，通过弹簧压片12的形变来实现夹紧力，夹紧实验用的探针11，探针托架10通过侧面的定位孔用螺钉固定在探针载动块9表面。

高度调节的具体操作为：将激光头13放在高度调节块2.2，用两个激光定位块2.1对激光头13进行XY两个方向的定位，然后放置一个气泡水平仪在激光头13上面，将三个高度调节固定螺钉2.6拧松，然后调节三个对应的机米螺丝2.5，调节到对应的高度，并且调平完成，再将三个高度调节固定螺钉2.6上紧完成固定，完成高度调节。

本发明实例通过激光头高度微调机构对激光头的高度进行稳定地调节，能够结合相关实验与不同聚焦高度不同类型的激光头适配，极大的节约了成本；能够优化光窗结构，扩大腔体内部空间；能够搭载多种具有不同扫描探测功能的探针，能够在真空环境，低温环境或氛围环境等不同实验环境下，通过转换使用不同针尖，对样品表面试验区域实现原位形貌扫描，摩擦磨损测试等功能。

本说明书描述了本发明的实施例的示例，并不意味着这些实施例说明并描述了本发明的所有可能形式。本领域的普通技术人员将会意识到，这里所述的实施例是为了帮助读者理解本发明的原理，应被理解为本发明的保护范围并不局限于这样的特别陈述和实施例。本领域的普通技术人员可以根据本发明公开的这些技术启示做出各种不脱离本发明实质的其它各种具体变形和组合，这些变形和组合仍然在本发明的保护范围内。

Claims (8)

1.一种广配激光头的聚焦高度可调的多探针扫描探测装置，其特征在于，包括：腔体上盖、激光头高度微调机构、石英玻璃、玻璃上压盖、用于连接电动转台的密封法兰、探针切换机构、用于发射激光并采集信号的激光头、用于放置样品的真空腔体和用于固定腔体上盖的压盖固定块，所述腔体上盖包括连接在真空腔体的上盖板和位于上盖板顶部的凸台，所述激光头高度微调机构包括至少一个激光头定位块、高度调节块、调节件和锁紧件，所述激光头定位块通过锁紧件固定于高度调节块顶部且将激光头卡住，所述高度调节块和上盖板设置有位置相对的螺纹孔，调节件通过螺纹孔将高度调节块和上盖板连接并通过转动对应螺钉调节高度调节块的高度；所述压盖固定块连接在上盖板的边缘处，所述石英玻璃通过玻璃上压盖压在腔体上盖的顶部，密封法兰连接在腔体上盖，探针切换机构置于腔体上盖底部设置的凹槽内；

所述锁紧件为锁紧螺钉，所述调节件为高度调节固定螺钉和机米螺丝，所述高度调节块设置有固定螺钉沉头孔和机米螺丝螺纹孔，所述上盖板设置有激光头高度微调机构螺纹孔和机米螺丝定位孔，所述高度调节固定螺钉通过固定螺钉沉头孔和激光头高度微调机构螺纹孔将高度调节块和上盖板连接，所述机米螺丝通过高度调节块的机米螺丝螺纹孔并落入至上盖板的机米螺丝定位孔，通过旋转机米螺丝对高度调节块进行高度调节，并通过高度调节固定螺钉向下施加向下的力用于锁紧，所述激光头定位块和高度调节块分别设置有位置相对的锁紧螺钉孔，所述锁紧螺钉通过锁紧螺钉孔将激光头定位块和高度调节块固定；

所述凸台设置有光窗结构，所述光窗结构包括矩形光窗、石英玻璃密封胶圈槽和第一O型密封圈，所述矩形光窗口开设在凸台中部，所述凸台的顶部向内凹设有围绕矩形光窗的呈环形的石英玻璃密封胶圈槽，石英玻璃将第一O型密封圈封在石英玻璃密封胶圈槽内。

2.根据权利要求1所述的广配激光头的聚焦高度可调的多探针扫描探测装置，其特征在于，所述玻璃上压盖中部设置有呈台阶状的通槽，通槽的台阶状边缘将石英玻璃卡在玻璃上压盖的底部，所述玻璃上压盖设置有多个螺纹孔且与凸台设置的玻璃上压盖螺纹孔位置相对，螺钉通过螺纹孔将玻璃上压盖锁紧在凸台的顶部。

3.根据权利要求1所述的广配激光头的聚焦高度可调的多探针扫描探测装置，其特征在于，所述上盖板的底部向内凹设有罩住样品的凹槽，所述凹槽在上盖板底部形成槽平台，所述槽平台向内凹设有安装探针切换机构的内槽位，所述矩形光窗与内槽位连通。

4.根据权利要求1所述的广配激光头的聚焦高度可调的多探针扫描探测装置，其特征在于，与所述密封法兰用于密封的结构还包括雷默接口、连接在雷默接口底端的雷默接口固定螺母、压电旋转台接头、控制信号接头和密封法兰连接片，所述密封法兰的顶部和底部分别设置有卡入第二O型密封圈的密封圈槽，所述密封法兰的底端将压电旋转台接头密封在上盖板并通过第二O型密封圈压紧，所述密封法兰的顶端与密封法兰连接片将雷默接口固定螺母密封并通过第二O型密封圈压紧，所述雷默接口连接在密封法兰连接片的顶部，所述控制信号接头连接在雷默接口。

5.根据权利要求4所述的广配激光头的聚焦高度可调的多探针扫描探测装置，其特征在于，所述探针切换机构包括压电旋转定位台、探针载动块、探针托架、探针和弹簧压片，所述压电旋转定位台固定在内槽位，所述探针载动块连接在压电旋转定位台底部，所述探针托架安装在探针载动块四周，所述探针装于探针托架，所述探针通过安装在探针托架的弹簧压片压紧固定。

6.根据权利要求1所述的广配激光头的聚焦高度可调的多探针扫描探测装置，其特征在于，所述上盖板的两端设置有安装压盖固定块的固定槽，所述压盖固定块通过固定槽将上盖板固定在真空腔体。

7.根据权利要求1所述的广配激光头的聚焦高度可调的多探针扫描探测装置，其特征在于，广配激光头的聚焦高度可调的多探针扫描探测装置还包括便于将上盖板翻转的翻盖把手和用于连接腔体上盖翻转支架的连接块，所述翻盖把手通过螺钉固定在凸台侧面，所述连接块通过螺钉连接在高度调节块。

8.根据权利要求4所述的广配激光头的聚焦高度可调的多探针扫描探测装置，其特征在于，广配激光头的聚焦高度可调的多探针扫描探测装置还包括样品载动台和样品载动支座，所述样品载动台连接在样品载动支座顶部，样品放置在样品载动台且位于上盖板的矩形光窗下方。