KR940019889A - 고체레이저 결정박막 작성방법 및 고체레이저 결정박막 작성장치 - Google Patents

고체레이저 결정박막 작성방법 및 고체레이저 결정박막 작성장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은, 박막결정의 작성이라면 원자단위(order)로 재료 및 막두께를 제어할 수 있는 CVD법 등의 반도체 제조프로세스적 수법을 이용할 수 있다는 점에 착안하여, 종래의 기술과는 전혀 다른 반도체 제조프로세스적 수법을 이용함으로써, 고체레이저 결정박막을 작성한다.
이를 위해 본 발명은, 고진공중의 용기내에서 기판을 가열하고, 레이저모재를 형성하는 재료를 가스, 이온, 금속단체(單體) 또는 금속화합물로서 상기 기판표면에 공급하여 상기 기판표면에서 결정성장시키며, 활성이온종재료를 상기 레이저모재를 형성하는 재료의 공급과 동시에 상기 기판표면에 공급하여 활성이온종재료의 가수를 상기 레이저모재의 결정을 구성하는 금속이온의 가수와 동일하게 제어한다.

Description

고체레이저 결정박막 작성방법 및 고체레이저 결정박막 작성장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 1실시예에 따른 고체레이저 결정박막 작성장치를 나타낸 단면구성설명도,
제4도는 기판의 온도변화와 성장속도와의 관계를 나타낸 그래프,
제6도는 레이저모재로서 Al2O3를 형성하는 경우에 있어서의 레이저모재의 재료와 활성이온종의 재료 및 기판의 재료와의 가능한 조합의 일예를 나타낸 표.

Claims (11)

  1. 고진공중의 용기내에서 기판을 가열하고, 레이저모재를 형성하는 재료를 가스, 이온, 금속단체(單體) 또는 금속화합물로서 상기 기판표면에 공급하여 상기 기판표면에서 결정성장시키며, 활성이온종재료를 상기 레이저모재를 형성하는 재료의 공급과 동시에 상기 기판표면에 공급하여 활성이온종재료의 가수를 상기 레이저모재의 결정을 구성하는 금속이온의 가수와 동일하게 제어하는 것을 특징으로 하는 고체레이저 결정박막 작성방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 레이저 모재를 형성하는 재료는 금속재료와 산화제 또는 할로겐화제로 이루어지고, 상기 기판표면으로의 상기 금속재료와 상기 산화제 또는 할로겐화제의 공급을 교대로 혹은 동시에 행하는 것을 특징으로 하는 고체레이저 결정박막 작성방법.
  3. 제2항에 있어서, 상기 기판표면으로의 상기 활성이온종재료의 공급을 상기 금속재료의 공급과 동시에 행하는 것을 특징으로 하는 고체레이저 결정박막 작성방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 레이저 모재와 상기기판은 격자정수가 매칭되어 있는 것을 특징으로 하는 고체레이저 결정박막 작성방법.
  5. 제1항 내지 제4항중 어느 한 항에 있어서, 상기 레이저 모재를 형성하는 금속재료인 금속단체 또는 금속화합물 및 상기 활성이온종재료가 상온에서 고체인 경우에, 가열에 의한 증발 혹은 레이저, 전자빔 혹은 이온빔에 의한 증산(蒸散)을 행하여 상기 기판표면으로 공급하는 것을 특징으로 하는 고체레이저 결정박막 작성방법.
  6. 고체레이저 결정박막을 표면에 결정성장시키는 기판을 수용하는 내부가 고진공으로 된 용기와, 상기 기판을 가열하는 가열장치, 상기 용기내부에 수용된 상기 기판표면에 레이저 모재를 형성하는 재료를 가스, 이온, 금속단체 또는 금속화합물로서 공급하는 레이저 모재 공급장치 및, 상기 용기내부에 수용된 상기 기판표면에 활성이온종재료를 상기 레이저모재를 형성하는 재료의 공급과 동시에 공급하는 활성이온재료 공급장치를 갖춘 것을 특징으로 하는 고체레이저 결정박막 작성장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 레이저모재 공급장치가, 상기 레이저모재를 형성하는 금속재료를 공급하는 공급장치와, 산화제 또는 할로겐화제를 공급하는 공급장치를 갖춘 것을 특징으로 하는 고체레이저 결정박막 작성장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 활성이온종재료 공급장치가, 상기 레이저모재를 형성하는 금속재료를 공급하는 공급장치에 의한 상기 기판표면으로의 상기 금속재료의 공급과 동시에 상기 기판표면에 상기 활성이온종재료를 공급하는 것을 특징으로 하는 고체레이저 결정박막 작성장치.
  9. 제6항 내지 제8항중 어느 한 항에 있어서, 상온에서 고체의 상기 레이저모재를 형성하는 금속재료인 금속단체 또는 금속화합물 및 상기 활성이온종재료를 증발시키는 가열수단을 갖춘 것을 특징으로 하는 고체레이저 결정박막 작성장치.
  10. 제6항 내지 제8항중 어느 한 항에 있어서, 상온에서 고체의 상기 레이저모재를 형성하는 금속재료인 금속단체 또는 금속화합물 및 상기 활성이온종재료를 증발시키는 증산(蒸散) 수단을 갖춘 것을 특징으로 하는 고체레이저 결정박막 작성장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기 증산수단이 레이저, 전자빔 혹은 이온빔에 의한 증산을 행하는 수단인 것을 특징으로 하는 고체레이저 결정박막 작성장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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