KR940015630A - 액티브 매트릭스형 액정 디스플레이 패널 및 제조방법 - Google Patents

액티브 매트릭스형 액정 디스플레이 패널 및 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 서로 마주보고 있는 제1 및 제2절연 기판을 포함하는 액티브 매트릭스형 액정 디스플레이 패널을 포함한다. 제1절연 기판은 제2절연 기판과 마주 보고 있는 제1절연 기판 면 상에 형성된 제1버스 라인, 제1버스 라인과 교차하는 제2버스 라인, 제1버스 라인을 제2버스 라인과 단락시키고, 단락 회로 라인의 단부 상에 제1 및 상기 제2 라인과 교차하는 단락 회로, 및 단락 회로라인을 제1 및 제2 버스 라인에 전기적으로 접속시키고, 단락 회로 라인과 상기 제1버스 라인의 교차부 및 단락 회로 라인과 제2버스 라인의 교차부에 각각 형성된 다수의 소자를 포함한다. 각각의 소자는 제1버스라인의 단부들 중 대응 부분의 일부 또는 제2버스 라인의 단부들 중 대응 부분의 일부, 단락 회로 라인의 대응 부분 및 단락 회로 라인과 제1버 라인스의 단부들 중 대응 부분 또는 제2버스 라인의 단부들 중 상기 대응 부분 사이에 형성된 절연 박막을 포함한다.

Description

액티브 매트릭스형 액정 디스플레이 패널 및 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 액티브 매트릭스형 액정 디스플레이 패널을 도시하는 개략도, 제2도는 제1도의 액티브 매트릭스형 액정 디스플레이 패널 내에 제공된 MIM 소자를 도시하는 단면도.

Claims (17)

  1. 서로 마주 보고 있는 제1 및 제2절연 기판을 포함하는 액티브 매트릭스형 액정 디스플레이 패널에 있어서, 상기 제1절연 기판이, 상기 제2절연 기판과 마주 보고 있는 상기 제1절연 기판 면 상에 형성된 제1버스 라인, 상기 제1버스 라인과 교차하는 제2버스 라인, 상기 제1버스라인을 상기 제2버스 라인과 단락시키고, 상기 단락 회로 라인의 단부 상에 상기 제1라인과 상기 제2라인을 각각 교차하는 단락 회로, 및 상기 단락 회로 라인을 상기 제1 및 제2 버스 라인에 전기적으로 접속시키고, 상기 단락 회로 라인과 상기 제1버스 라인의 상기 교차부 및 상기 단락 회로 라인과 상기 제2버스 라인의 교차부에 각각 형성된 다수의 소자를 포함하고, 상기 각각의 소자가 상기 제1버스 라인의 상기 단부들 중 대응 부분의 일부 또는 상기 제2버스 라인의 상기 단부들 중 대응 부분의 일부, 상기 단락 회로라인의 대응 부분 및 상기 단락 회로 라인과 상기 제1버스 라인의 상기 단부들 중 상기 대응 부분 또는 상기 제2버스 라인의 상기 단부들 중 상기 대응 부분 사이에 형성된 절연 박막을 포함하는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 액정 디스플레이 패널.
  2. 제1항에 있어서, 상기 절연 박막이 상기 제1버스 라인의 상기 단부들 중 상기 대응 부분 또는 상기 제2버스 라인의 상기 단부들 중 상기 대응 부분을 양극 산화시킴으로써 형성된 산화막인 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 액정 디스플레이 패널.
  3. 제2항에 있어서, 상기 제2버스 라인의 상기 단부가 상기 제1버스 라인의 재료와 동일한 재료로 제조되고, 상기 제2버스 라인의 상기 단부 부분이외의 나머지 부분이 상기 단락 회로 라인의 재료와 동일한 재료로 제조되는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 액정 디스플레이 패널.
  4. 제3항에 있어서, 상기 제1버스 라인 및 상기 제2버스 라인의 상기 단부 부분이 Ta 또는 Al로 제조되는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 액정 디스플레이 패널.
  5. 제2항에 있어서, 상기 제2버스 라인의 상기 단부이외의 나머지 부분 및 상기 단락 회로 라인이 Ti 또는 Cr로 제조되는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 액정 디스플레이 패널.
  6. 제1항에 있어서, 상기 단락 회로 라인이 상기 제1 버스 라인과 평행한 제1부분 및 상기 제2버스 라인과 평행한 제2부분을 갖고 있고, 상기 절연 박막이 상기 제1버스 라인의 상기 단부들 중 상기 대응 부분의 표면 또는 상기 단락 회로 라인의 제1부분의 표면을 양극 산화시킴으로써 형성된 산화막인 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 액정 디스플레이 패널.
  7. 제6항에 있어서, 상기 단락 회로 라인의 상기 제1부분이 상기 제1버스 라인의 재료와 동일한 재료로 제조되고, 상기 단락 회로 라인의 상기 제2부분이 상기 제2버스 라인의 재료와 동일한 재료로 제조되며, 상기 단락 회로 라인의 제2부분 및 상기 제2버스 라인이 상기 단락 회로 라인의 제1부분 및 상기 제1버스 라인 상에 제공되는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 액정 디스플레이 패널.
  8. 제7항에 있어서, 상기 제1버스 라인 및 상기 단락 회로 라인의 상기 제1부분이 Ta 또는 Al로 제조되는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 액정 디스플레이 패널.
  9. 제7항에 있어서, 상기 제2버스 라인 및 상기 단락 회로 라인의 상기 제2부분이 Ti 또는 Cr로 제조되는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 액정 디스플레이 패널.
  10. 서로 마주 보고 있는 제1 및 제2 절연 기판을 포함하는 액티브 매트릭스형 액정 디스플레이 패널을 제조하고, 상기 제1절연 기판을 제조하는 공정을 포함하는 방법에 있어서, 상기 제1절연 기판을 제조하는 공정이 , 상기 제2절연 기판과 마주 보고 있는 상기 제1절연 기판 면 상에 제1버스 라인을 형성하는 단계, 상기 제1버스 라인과 교차하고, 상기 제1버스 라인과 전기적으로 절연되는 상기 제2버스 라인을 형성하는 단계, 및 상기 제1버스 라인을 제2버스 라인과 단락시키는 단락 회로 라인을 형성하고, 상기 단락 회로 라인의 단부 내에 상기 제1버스 라인 및 제2버스 라인과 교차되는 단락 회로 라인을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 단락 회로 라인을 형성하는 상기 단계가 상기 제1버스 라인의 상기 단부 및 상기 제2버스 라인의 상기 단부 상에 절연 박막을 형성하고 상기 절연 박막을 덮도록 상기 단락 회로 라인을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 각각의 소자가 상기 제1버스 라인의 상기 단부들 중 대응 부분의 일부 또는 상기 제2버스 라인의 상기 단부들 중 대응 부분의 일부를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  11. 제10항에 있어서, 상기 소자 형성 단계가 상기 절연 박막을 형성하기 위해 상기 제1버스 라인의 상기 단부면 또는 상기 제2버스 라인의 상기 단부면을 양극 산화시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  12. 제11항에 있어서, 상기 제2버스 라인을 형성하는 단계가 상기 제1버스 라인의 재료와 동일한 재료로 상기 제2버스 라인을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  13. 제11항에 있어서, 상기 제1버스 라인 및 상기 제2버스 라인의 상기 단부가 Ta 또는 Al로 제조되는 것을 특징으로 하는 방법.
  14. 제12항에 있어서, 상기 단락 회로 라인이 상기 제2버스 라인의 상기 단부이외의 나머지 부분이 재료와 동일 한 재료로 제조되는 것을 특징으로 하는 방법.
  15. 제14항에 있어서, 상기 단락 회로 라인 및 상기 제2버스 라인의 사이 단부 이외의 상기 제2버스 라인의 나머지 부분이 Ti 또는 Cr로 제조되는 것을 특징으로 하는 방법.
  16. 서로 마주 보고 있는 제1 및 제2 절연 기판을 포함하는 액티브 매트릭스형 액정 디스플레이 패널을 제조하고, 상기 제1절연 기판을 제조하는 공정을 포함하는 방법에 있어서, 상기 제1절연 기판을 제조하는 공정이 상기 제2절연 기판과 마주 보는 상기 제1절연 기판 면 상에 제1버스 라인 및 제1단락 회로 라인을 포함하는 제1평행 라인을 형성하는 단계, 상기 제1라인의 표면을 양극 산화시킴으로써 절연 박막을 상기 제1라인상에 형성하는 단계, 및 상기 절연 박막 및 상기 제1라인과 교차하는 상기 제2라인 상의 제2버스 라인 및 제2단락 회로 라인을 포함하는 제2평행 라인을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  17. 액티브 매트릭스형 디스플레이 패널을 제조하기 위한 방법에 있어서, 주사 라인 및 신호 라인으로 이루어진 다수의 라인을 형성하고, 상기 주사 라인 및 상기 신호 라인들 중 다수의 다른 라인의 각각 단부에 형성하는 단계, 상기 주사 라인 및 상기 신호 라인으로 이루어진 다수의 라인의 각각 및 상기 주사 라인 및 상기 신호 라인의 다른 라인의 상기 단부의 각각의 최소한 단부에 절연막을 형성하는 단계, 및 상기 각 부분 상의 상기 절연막 상에 단락 회로 라인을 형성하고, 상기 주사라인 및 상기 신호 라인으로 이루어진 다수의 다른 라인의 각각의 다른 부분을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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