KR940012495A - 쇼트 아크형 카드뮴 희가스 방전 램프 및 이것을 장착한 투영 노광 장치 - Google Patents

쇼트 아크형 카드뮴 희가스 방전 램프 및 이것을 장착한 투영 노광 장치 Download PDF

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유끼오 야스다
아끼야스 야마구찌
다쯔시 이가라시
야스오 오니시
겐조 가이
마사노리 스기하라
다까시 모리
아끼라 미야찌
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유모토 다이조
우시오 덴끼 가부시끼가이샤
오노 시게오
가부시끼가이샤 니콘
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Abstract

210내지 230㎜의 발광 스펙트럼의 전후의 불필요한 발광을 억제하고, 210내지 230㎜의 발광 스펙트럼의 고출력화를 달성할 수가 있는 쇼트 아크형 카드뮴 희가스 방전램프 및 광학 재료가 예화하는 일이 없이 소형화가 가능하며 미세한 패턴을 큰 초점심도의 기초 아래 투영 전사할 수 있는 고성능의 투영노광 장치를 제공하며, 발광관내에 크세논, 크리프톤, 아르곤, 네온에서 선택된 1종 또는 2종 이상의 희가스와 정상 점등시에 있어서 압력이 14내지 200kPa로 되는 금속 카드뮴을 봉입하고 정상 점등시의 방전 전류를 J(A), 정상 점등시의 카드뮴의 압력을 P(kPa)로 할 때에 J/P가 0.13내지 15의 범위에서 점등하고, 또한, 이 방전 램프를 투영 노광 장치에 장착한다.

Description

쇼트 아크형 카드뮴 희가스 방전 램프 및 이것을 장착한 투영 노광 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 쇼트 아크형 카드뮴 희가스 방전 램프의 설명을 위한 외관도.
제2도는 쇼트 아크형 카드뮴 희가스 방전램프의 점등에 적합하게 사용되는 점등 회로의 블록도.

Claims (2)

  1. 온도 제어되는 발광관내에 근접해서 자주 설치되는 한쌍의 전극을 구비하고, 상기 발광관내에는 크세논, 크리프톤, 아르곤, 네온에서 선택된 1종 또는 2종 이상의 희가스와 정상 점등시에 있어서 입력이 14내지 200kPa로 되는 금속 카드뮴이 봉입되어 형성되고, 정상 점등시의 방전 전류를 J(A), 정상 점등시의 카드뮴의 압력을 P(kPa)로 할 때, J/P가 0.13내지 15의 범위에서 점등되는 것을 특징으로 하는 쇼트 아크형 카드뮴 희가스 방전램프.
  2. 노광 광원에서 방사되는 빛을 집광해서 레티클을 균일하게 조명하는 조명 광학계와 이 레티클의 패턴을 웨이퍼상에 투영하는 투영 광학계를 갖춘 투영 노광 장치에 있어서, 온도 제어되는 발광관내에 근접해서 마주 설치되는 한쌍의 전극을 갖추고, 이 발광관내에서 크세논, 크리프톤, 아르곤, 네온으로부터 선택된 1종 또는 2종 이상의 희가스와 정상 점등시에 있어서 압력이 14내지 200kPa로 되는 금속 카드뮴이 봉입되어 형성되고, 정상 점등시의 방전 전류를 J(A), 정상 점등시의 카드뮴의 압력을 P(kPa)로 할 때, J/P가 0.13내지 15로 되는 범위에서 점등하는 쇼트 아크형 카드뮴 희가스 방전 램프를 노광 광원으로 하여 장착한 것을 특징으로 하는 투영 노광 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019930024707A 1992-11-20 1993-11-19 쇼트 아크형 카드뮴 희가스 방전 램프 및 이것을 장착한 투영 노광 장치 KR940012495A (ko)

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