KR940011120B1 - 유리미립자 퇴적체의 제조방법 - Google Patents

유리미립자 퇴적체의 제조방법 Download PDF

Info

Publication number
KR940011120B1
KR940011120B1 KR1019920009666A KR920009666A KR940011120B1 KR 940011120 B1 KR940011120 B1 KR 940011120B1 KR 1019920009666 A KR1019920009666 A KR 1019920009666A KR 920009666 A KR920009666 A KR 920009666A KR 940011120 B1 KR940011120 B1 KR 940011120B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
muffle
temperature
glass
condensation
deposition
Prior art date
Application number
KR1019920009666A
Other languages
English (en)
Other versions
KR930000398A (ko
Inventor
라쯔히꼬 사이또
토시오 단즈까
Original Assignee
스미도모덴기고오교오 가부시기가이샤
쿠라우찌 노리타카
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 스미도모덴기고오교오 가부시기가이샤, 쿠라우찌 노리타카 filed Critical 스미도모덴기고오교오 가부시기가이샤
Publication of KR930000398A publication Critical patent/KR930000398A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR940011120B1 publication Critical patent/KR940011120B1/ko

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B20/00—Processes specially adapted for the production of quartz or fused silica articles, not otherwise provided for
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/0144—Means for after-treatment or catching of worked reactant gases
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B19/00—Other methods of shaping glass
    • C03B19/14—Other methods of shaping glass by gas- or vapour- phase reaction processes
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/01406—Deposition reactors therefor
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P40/00—Technologies relating to the processing of minerals
    • Y02P40/50—Glass production, e.g. reusing waste heat during processing or shaping
    • Y02P40/57—Improving the yield, e-g- reduction of reject rates

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
  • Muffle Furnaces And Rotary Kilns (AREA)
  • Glass Melting And Manufacturing (AREA)

Abstract

내용 없음.

Description

유리미립자 퇴적체의 제조방법
제 1 도는 본 발명에 사용하는 2중구조머플의 일구체예를 설명하는 개략도.
제 2 도는 본 발명에 사용하는 냉각파이프를 장착한 머플의 일구체예를 설명한 개략도.
본 발명은 유리미립자퇴적체의 제조방법, 특히 광파이버용 모재의 제조방법에 관한 것이다.
연소버어너로부터 기체의 유리원료를 분출시켜, 화염속에서의 기상(氣相)반응에 의해 유리미립자를 형성하여, 출발재에 퇴적시키는 VAD법에 있어서는, 환경에 유해한 염화수소가스등이 반응생성물로서 발생한다. 이들 유해한 반응생성물을 효율좋게 포집처리하기 위하여, 또 반응계에의 외부로부터의 영향을 없애기 위하여, 일반적으로 VAD법에 있어서는, 폐쇄된 공간(머플)의 내부에서 반응을 진행시켜서, 유리미립자퇴적체를 작성하고 있다.
최근 VAD법에 있어서, 퇴적속도(1분간당의 유리미립자퇴적체의 합성속도 : g'분)를 높이는 연구가 이루어지고 있으며, 여러가지의 방법이 검토되고 있다. 그 하나로서, 퇴적효율을 향상시키기 위해서 유리미립자퇴적면의 온도를 낮추는 것을 목적으로 해서, 머플표면을 냉각하는 기술이 일본국 특개소 62-1717938 호 공보에 제안되어 있다.
퇴적효율을 향상시키기 위해서, 머플표면을 냉각하는 종래의 기술에 있어서는, 일본국 특개소 62-171938 호 공보의 실시예에 표시된 바와같이, 머플표면온도는 20℃ 정도까지 냉각되고 있었다.
그런데, 머플내에는 산수소화염이 형성되어 있기 때문에 노점(露點)이 외계보다 높다. 따라서, 20℃정도까지 냉각하였을 경우, 머플내에 결로가 생긴다. 머플내에서는 반응에 의해서 HCl가스도 생성되어 있고, 결로에 의해 발생한 물은 염산이 되고, 금속머플을 사용하고 있을 경우에는, 이 결로에 의해서 발생한 염산에 의해 부식되게 된다. 이에 의해 머플의 수명이 짧아지고, 또 부식된 금속이 유리모재안으로 침입하므로서, 공파이버용 모재를 제작하는 경우에는, 전송손실을 크게 하는 것으로 되어, 매우 문제가 크다.
본 발명은 이와 같은 종래의 결점을 해소하는 것을 과제로 하여 이루어진 것이다.
본 발명은 상기 문제점을 해결하는 수단으로서, 폐쇄된 머플속에 있어서, 기체의 유리원료가스를 연소버어너로부터 부출시켜서 화염속에서 가수분해시키므로서 유리미립자를 생성하고, 이 유리미립자를 회전하는 출발재의 선단부 또는 주위에 퇴적시켜 유리미립자퇴적체를 형성시키는 유리미립자 퇴적체의 제조방법에 있어서, 상기 머플최저온도를 50℃ 이상으로 하고, 또한 상기 머플표면평균온도를 50~150℃로 유지하는 것을 특징으로 하는 유리미립자퇴적체의 제조방법을 제공하는 것이다.
머플표면평균온도를 50~150℃로 유지하는 수단으로서는, 머플표면에 냉각용 파이프를 장착하고, 이 파이프내에 일정온도를 유지한 액체를 흐르게 하는 방법, 또는 머플을 2중구조로해서, 2중벽의 사이에 일정온도로 유지한 액체를 흐르게 하는 방법이 특히 바람직한 태양으로서 들 수 있다.
제 1 도에 2중구조 머플의 일구체예를, 제 2 도에 냉각파이프부착머플의 일구체예를 표시한다.
유리미립자의 퇴적면에의 부착은 화염(고온쪽)과 퇴적면(저온쪽)과의 온도구배에 의한 더어모포레시스효과에 의해서 일어난다. 이 더어모포레시스효과를 크게 해서 유리미립자의 부착효율을 높이기 위해서는, 온도 구배를 크게하면 된다.
그 하나의 방법으로서, 동일한 화염을 형성한 체로, 퇴적면의 온도를 내리는 것을 생각할 수 있다. 퇴적면의 온도는, 퇴적면으로부터 복사에 의해 도망가는 열량과, 화염으로부터 받는 열량, 그리고 머플로부터 복사에 의해 들어오는 열량의 균형에 의해 결정된다. 따라서, 머플표면온도를 낮추어서 머플로부터 들어오는 열량을 낮추므로서, 퇴적면의 온도는 내려가고, 유리미립자의 부착효율은 향상한다.
그런데, 머플내에서는 H2와 O2의 반응에 의해 물이 생성되고 있기 때문에, 수증기압의 외계보다 높아져 있으며, 머플벽면을 실온(20℃)정도까지 냉각하였을 경우, 머플벽면에서 결로가 일어난다. 상기와 같이, 머플러내에 결로가 발생하면, 부식에 의해 머플수명이 짧아지고, 또, 부식된 금속이 비산하여, 유리모재속으로 침입하기 때문에, 광파이버용 모재를 제작하는 경우에는 전송손실을 높게 해버려 큰문제가 된다.
이 결로를 방지하기 위해서는, 머플표면온도를 머플내의 결노점이상으로 하면되나, 너무 온도를 지나치게 올리면, 머플로부터 유리미립자퇴적면에의 복사열이 증가하여, 유리미립자퇴적면의 온도가 올라간다. 유리 미립자퇴적면에 온도가 상승하면 더어모포레시스효과가 약해져서, 유리미립자의 부착효율은 떨어지는 결과된다. 즉, 머플에의 결로를 방지하고, 유리미립자의 부착효율을 올리기 위해서는, 머플표면온도를 머플내의 결노점이하가 되지 않는 범위에서 될 수 있는 한 내리면 된다.
그래서 본 발명자 등은 머플온도와 결로의 관계를 조사하는 실험을 행하였다. 그 결과, 머플표면온도가 45℃ 이하로 되면 결로가 발생하는 것을 알았다. 또 퇴적속도와 머플표면평균온도의 관계를 조사하였던바, 머플표면평균온도가 50~150℃의 범위내에서는 퇴적속도에 차가 없다는 것을 알았다.
따라서, 머플내면에의 결로를 방지해서, 퇴적속도를 올리기 위해서는, 머플표면 최저온도를 50℃이상으로 하고 또한 머플표면평균온도를 50℃~150℃의 범위내로 냉각한면 된다.
이하 본 발명의 실시예를 첨부한 도면에 의거하여 상세히 설명한다.
[비교예 1]
12중관 버어너를 사용하여, 제 1 포오트로부터 원료(SiCl4)를 10리터/분, 제 2, 6, 10 포오트로부터 H2를 200리터/분, 제 4, 8, 12 포오트로부터 O2를 200리터/분, 제 3, 5, 7, 9, 11 포오트로부터 Ar을 40리터/분 흐르게 해서, 머플냉각을 행하지 않고 유리미립자퇴적체를 제작하였다. 이때의 머플온도는 350℃~450℃(평균 400℃), 퇴적면 최고온도는 1080℃, 퇴적속도는 16.1g/분 이었다.
[비교예 2]
버어너, 가스유량조건은 비교예 1과 동일하게 해서, 수냉머플에 의해 머플온도를 10~100℃(평균 50℃)에 냉각하였던바, 머플온도가 48°이하의 부분에서 결로가 일어나고, 머플이 부식되었다. 이때 퇴적면 최고온도는 970℃, 퇴적속도는 17.3g/분이였다.
[실시예 1]
버어너, 가스유량조건은 비교예 1과 동일하게 해서, 수냉머플에 의해 머플온도를 50~150℃(평균 90℃)로 냉각하였던바, 머플내에 결로는 일어나지 않았다. 이때 퇴적면 최고온도는 990℃, 퇴적속도는 17.1g/분였다.
[실시예 2]
버어너, 가스유량조건은 비교예 1과 동일하게 해서, 수냉머플에 의해 머플온도를 90~190℃(평균 140℃)로 냉각하였던바, 결로는 일어나지 않았고, 이때의 퇴적면 최고온도는 1000℃, 퇴적속도는 17.0g분였다.
이상의 실시예 및 비교예의 결과에서, 비교예 1의 냉각없는 경우에 퇴적속도는 가장 작고, 비교예 2는 퇴적속도는 크나 머플의 부식이 일어나는 것, 본 발명의 실시예 1,2는 비교예 2의 평균 50℃로 냉각하였을 경우와 거의 동일정도의 퇴적속도를 얻게 되고, 또한 결로의 발생이 없으므로 머플의 부식이 없는 것을 알수 있다. 따라서, 본 발명이 한정하는 머플온도범위는 결로방지와 퇴적속도향상에 매우 유효하다.
본 발명과 같이 머플을 특정의 온도범위로 냉각하면서 유리미립자퇴적체를 형성하므로서, 유리미립자 퇴적체의 퇴적속도를 향상시킬 수 있는, 즉 유리모재의 생산성을 높일 수 있고, 또 금속머플의 경우는 수명연장과 유리모재의 오염방지 효과를 얻을 수 있고, 설비코스트의 저감과 동시에 품질을 향상시킬 수 있다.
따라서 본 발명은 각종의 유리제조에 이용할 수 있고, 불순물이 없고 고품질이 요구되는 광파이버모재등의 제조에도 적합한 유리한 방법이다.

Claims (3)

  1. 폐쇄된 머플속에 있어서, 기체의 유리원료가스를 연소버어너로부터 분출시켜서 화염속에서 가수분해시키므로서 유리미립자를 생성하고, 이 유리미립자를 회전하는 출발재의 선단부 또는 주위에 퇴적시켜 유리미립자퇴적체를 형성시키는 유리미립자퇴적체의 제조방법에 있어서, 상기 머플표면최저온도를 50℃ 이상으로 하고, 또한, 상기 머플표면평균온도를 50~150℃로 유지하는 것을 특징으로 하는 유리미립자퇴적체의 제조방법.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 머플표면에 냉각용파이프를 장착하고, 상기 파이프내에 일정온도로 유지된 액체를 흐르게 하는 것을 특징으로 하는 유리미립자퇴적체의 제조방법.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 머플을 2중구조로해서, 2중벽의 사이에 일정온도로 유지한 액체를 흐르게 하는 것을 특징으로 하는 유리미립자퇴적체의 제조방법.
KR1019920009666A 1991-06-05 1992-06-04 유리미립자 퇴적체의 제조방법 KR940011120B1 (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP91-134,223 1991-06-05
JP91-134223 1991-06-05
JP3134223A JPH04362034A (ja) 1991-06-05 1991-06-05 ガラス微粒子堆積体の製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR930000398A KR930000398A (ko) 1993-01-15
KR940011120B1 true KR940011120B1 (ko) 1994-11-23

Family

ID=15123300

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019920009666A KR940011120B1 (ko) 1991-06-05 1992-06-04 유리미립자 퇴적체의 제조방법

Country Status (7)

Country Link
US (1) US5250097A (ko)
EP (1) EP0517246B1 (ko)
JP (1) JPH04362034A (ko)
KR (1) KR940011120B1 (ko)
AU (1) AU650756B2 (ko)
CA (1) CA2070481A1 (ko)
DE (1) DE69209147T2 (ko)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
ZA994432B (en) * 1998-08-12 2000-01-13 Corning Inc Method of making a fiber preform using cooled spindle.
WO2000060286A1 (fr) * 1999-04-06 2000-10-12 Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. Bruleur et four a combustion de combustion et d'hydrolyse a la flamme, et procede de combustion correspondant
EP1057792B1 (en) * 1999-06-03 2005-08-17 Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. A process and apparatus for vaporizing a liquid glass precursor for the manufacture of optical fibre preforms
US20040216494A1 (en) * 2000-09-19 2004-11-04 Shinichi Kurotani Burner for combustion or flame hydrolysis, and combustion furnace and process
KR100775238B1 (ko) * 2007-02-22 2007-11-28 주식회사 엔케이 벤추리형혼합기와 오존공급장치를 갖는 밸러스트수 처리장치
WO2017184417A2 (en) 2016-04-19 2017-10-26 Corning Incorporated Glass forming apparatuses and methods for making glass ribbons
KR102309591B1 (ko) * 2021-09-09 2021-10-07 주식회사 세라코 건축물 마감재 분사장치

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4202682A (en) * 1976-05-07 1980-05-13 International Standard Electric Corporation Glass manufacture
US4253863A (en) * 1977-06-07 1981-03-03 International Telephone And Telegraph Corporation Apparatus for mass producing fiber optic preforms and optic fibers
JPS57100931A (en) * 1980-12-12 1982-06-23 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Preparing apparatus of base material for optical fiber
JPS61103433A (ja) * 1984-10-24 1986-05-21 日本光電工業株式会社 酸素センサ
JPS61171938A (ja) * 1985-01-23 1986-08-02 Daido Kogyo Co Ltd スチ−ルｖベルト
JPH0615416B2 (ja) * 1986-01-14 1994-03-02 住友電気工業株式会社 光フアイバ用多孔質母材の製造方法
JPS62162642A (ja) * 1986-01-14 1987-07-18 Sumitomo Electric Ind Ltd 光フアイバ用多孔質母材の製造方法
JPH0712952B2 (ja) * 1986-01-22 1995-02-15 住友電気工業株式会社 光フアイバ用母材の製造方法
JPS6437443A (en) * 1987-08-04 1989-02-08 Nippon Chemical Ind Slag-treating agent

Also Published As

Publication number Publication date
EP0517246A1 (en) 1992-12-09
EP0517246B1 (en) 1996-03-20
JPH04362034A (ja) 1992-12-15
DE69209147T2 (de) 1996-09-05
DE69209147D1 (de) 1996-04-25
CA2070481A1 (en) 1992-12-06
AU1802092A (en) 1992-12-17
AU650756B2 (en) 1994-06-30
KR930000398A (ko) 1993-01-15
US5250097A (en) 1993-10-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR900008503B1 (ko) 광파이버용 유리모재의 제조법
KR940011120B1 (ko) 유리미립자 퇴적체의 제조방법
US4421540A (en) System for producing an optical fiber preform with gas volume control
US20040060326A1 (en) Device and method for producing stack of fine glass particles
US20040065120A1 (en) Multi-tube burner and glass preform manufacturing method using the same
JP2803510B2 (ja) 光ファイバ用ガラス母材の製造方法および装置
JPH0337123A (ja) フロートバスによるガラス製造方法
AU739089B2 (en) Method of manufacturing a porous glass preform for an optical fiber
JP2012176861A (ja) 多孔質ガラス微粒子堆積体の製造方法および製造装置
EP1853525B1 (en) Process and apparatus for producing porous quartz glass base
JP3591540B2 (ja) 合成石英ガラス製造装置
JP3635706B2 (ja) 多孔質母材の製造方法及び多孔質母材製造用反応容器
KR900002262B1 (ko) 광파이버 모재성장용 반응용기
JP3134524B2 (ja) ハーメチックコート光ファイバの製造装置
EP0571915B1 (en) Apparatus for the production of hermetically coated optical fiber
JP4449272B2 (ja) ガラス微粒子堆積体の製造方法
JPS6126527A (ja) 多孔質石英ガラス母材の製造法
JPH11292558A (ja) 光ファイバ用ガラス微粒子堆積体製造用反応容器
JP3295444B2 (ja) シリカ多孔質母材の製造方法
US11820700B2 (en) Method of depositing a coating utilizing a coating apparatus
JP2000344530A (ja) 多孔質ガラス母材の製造方法
JP2006232638A (ja) 多孔質石英ガラス母材の製造方法及び装置
JPH0829958B2 (ja) 多孔質石英ガラス母材の製造方法
JPH02153835A (ja) 光ファイバ用母材の製造方法
JP2008074651A (ja) 微粒子合成用バーナー

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
G160 Decision to publish patent application
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20111028

Year of fee payment: 18

EXPY Expiration of term