KR940009029A - 진공실 및 그의 조합과 적어도 하나의 부품을 이송하는 방법 - Google Patents

진공실 및 그의 조합과 적어도 하나의 부품을 이송하는 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 메모리판등과 같은 원판형 부품들을 이송하는 진공시설에 관한 것으로 적어도 하나의 입구(13X)와 이송배열(7)을 구비한 진공시설 공간에 있어 이송배열(7)측부에 적어도 하나의 부품(40)을 위한 지징장치(19)를 갖는 적어도 하나의 이송장치(18)가 입구(13X)의 평면과 수직으로 하나의 영역에서 회전가능하게 설치되고, 이송장치(7)를 통해 입구(13X) 영역으로 이송되는 지지장치(19)는 입구(13X)를 관통하여 회전가능하게 구성되게한 진공실 및 이를 이용한 부품이송방법이 제공되며 콤팩트디스크나 하드디스트와 같은 자기 메로리판의 처리에 적합한 것이다.

Description

진공실 및 그의 조합과 적어도 하나의 부품을 이송하는 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 진공처리시설을 부분 절단한 전면도로써, 본 발명에 의한 공간과 그 조합이 설치되고 본 발명에 따른 처리공정을 바람직한 실시예로써 개략 나타낸 것이다.
제2도는 제1도의 장치에서 이송장치의 확대단면도,
제3도는 제1도의 장치의 한 부분을 도식적으로 부분 절단한 도면,
제3,a도는 판형 부품들을 양쪽에서 스퍼터링하기 위해 제1도에서 제3도의 장치에 배치되어 있는 부식실을 제3도에 따라 자른 한 절단면도,
제4도는 방사형으로 작동되는 공간 입구를 갖는 회전체 이송실을 나타낸 부분 횡단면도.

Claims (19)

  1. 부품들(40)을, 메모리 판의 이송과 같이 특히 원판형 부품들을 이송하기 위해 적어도 하나의 입구(13X)을 가지며, 또 적어도 하나의 부품을 위해 작동하는 이송 배열(7)을 갖는 진공시설을 위한 공간에 있어서, 이송배열(7) 측부에 적어도 하나의 부품(40)을 위한 지지장치(19)를 갖는 적어도 하나의 이송장치(18)가, 입구(13X)의 평면과 수직으로 하나의 영역에서 회전할 수 있게 설치되며, 이송장치(7)을 통해 입구(13X)의 영역으로 이송되는 지지장치(19)는 입구(13X)를 관통하여 회전가능한 구성인 것을 특징으로 하는 진공실.
  2. 제1항에 있어서 지짖장치(19)는 집게형으로 형성되며, 부품을 잡고 내놓을수 있도록 조종가능한(42,43)것을 특징으로 하는 진공실.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서 공간은 회전베어링(26)이 이송장치(18)을 위해 구동으로 입구(13X)의 평면에 대해 직선으로, 수직으로 위치를 바꾸는 것을 특징으로 하는 진공실.
  4. 제3항에 있어서 이송장치(18)가 회전베이어링의 직선추진 장치를 통해 회전하도록 한 것을 특징으로 하는 진공실.
  5. 제1항 내지 제4항에 있어서 지지장치는, 회전베어링(A19)에 의해 지지장치(19)에 고정되 있는 판형부품(40)의 판평면이 회전영역에 놓여있고 특히 입구의 직경은 회전축(A19)쪽에서 보다 회전영역에서 더길게 형성되는 것을 특징으로 하는 진공실.
  6. 제1항 내지 제5항에 있어서 이송배열(7)은, 입구(13a,b)각각에 따라 배칟되 있는 공간내에서 회전가능하고, 입구를 통해 직선으로 뻗을 수 있고 특히 입구에 의해 접을 수 있는 적어도 하나의 아암(9)을 갖추고 있으며 이송장치(18)는 아암의 입구측 끝에 위치하는 것을 특징으로 하는 진공실.
  7. 제6항에 있어서, 아암(9)의 입구측 끝은 이송장치(18)의 회전베어링을 위한 직선추진 장치를 형성하며 특히 밖으로 뻗은 상태로 입구(13a,b)를 기밀하게 진공 상태로 밀폐하는 것을 특징으로 하는 진공실.
  8. 제1항 내지 제7항중 어느 한 항에 있어서, 적어도 하나의 공간 입구 측에 하나의 공간 혹은 하나의 수송실 또는 하나의 처리 공간이 부품들을 위해 배치되는 것을 특징으로 하는 진공실.
  9. 제1항 내지 제8항중 어느 한 항에 있어서 입구(13b) 옆에 하나의 처리장소가 설치되어 이송장치(18)을 가지고 회전한 부품(40)이 회전축(A19)과 관련하여 양쪽으로부터 혹은 사방으로부터 부식 또는 코팅 처리되는 것을 특징으로 하는 진공실.
  10. 제1항 내지 제9항중 어느 한 항에 있어서. 입구에 하나의 또 다른 공간(3)이 형성되어 최소한 하나의 부품(40)을 위해 회전식으로 놓여있는 다른 이송배열(43)이 설치되며 이송장치(18)의 회전축(A19)에 대해 평행인 회전축(A43)을 갖는 것을 특징으로 하는 진공실.
  11. 제10항에 있어서 이송배열(43)은 회전축(A13)주위를 함께 회전가능한 부품들을 위해 이송장치(18)의 회전영역속에 여러개의 지지장치들(51)을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공실.
  12. 제10항 또는 제11항에 있어서, 이송배열(43)은 회전축(A43)을 둘러싸는 하나의 원통 표면 위치에서 축방향으로 이동하여 신장 및 접을 수 있는 적어도 하나의 또는 2개 이상의 아암들(49)을 포함하며, 아암의 각 단부엔 적어도 하나의 부품(40)을 위한 지지장치(51)가 설치되는 것을 특징으로 하는 진공실.
  13. 제10항 내지 12항 중 어느 한 항에 있어서, 공간(3)의 적어도 하나의 입구(55)는 이 송배열(43)의 회전축(A43)에 대해 평행인 평면 구성으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 진공실.
  14. 제10항 내지 13항 중 어느 한 항에 있어서, 다른 이송배열(43)은 적어도 한 부품을(40)위해, 축방향으로 이동하여 신장 및 접힘이 가능한 적어도 하나의 플레이트(51)를 갖는 지지장치를 가지며, 다른 공간(3)의 입구들중 적어도 하나는 다른 이송배열(43)의 회전(A43)에 대해 평행해 있는 평면 기준으로 되며, 플레이트(51)는 다른 이송배열(43)의 회전을 통해 이 입구(55) 위로 설치 가능하고 플레이트를 밖으로 신장하여 이 입구가 진공 상태로 밀폐되는 것을 특징으로 하는 진공실.
  15. 제14항에 있어서, 적어도 하나의 입구(55b)는, 상부에 설치되는 플레이트(51)를 가지고 공간외부의 체결장치(57)에 의해 체결밸브로 진공차단 가능하며, 하나의 공간(중간방)을 형성하여 제2체결밸브로 진공차단 가능하며, 하나의 공간(중간봉)을 형성하여 제2체결밸브를 구성하고, 공간 및/또는 체결장치(57)와 외부로 신장하는 플레이트(51)사이의 입구에는 하나 이상의 펌프 접속장치가 설치되는 것을 특징으로 하는 진공실.
  16. 제10항 내지 15항중 어느 한 항에 있어서, 다른 공간의 구멍들중 적어도 한 측부엔 부품들을 위해 공간 혹은 적어도 2개의 구멍을 가진 이송실 또는 부식실이나 코팅실과 같은 처리실이 연결되는 것을 특징으로 하는 진공실.
  17. 제13항에 있어서, 회전축과 평행한 평면 기준을 갖는 입구는 공간(1)에 연결되고 그 사이에 중간 공간(3e)의 역할을 하면서 경우에 따라 펌프접속장치가 설치되어 있는 공간(3a)이 형성되는 것을 특징으로 하는 진공실.
  18. 각각 고정되어 있는 이송라인에 의해 진공처리 장치내에 있는 입구를 통해 판형 부품을 이송하는 방법에 있어서, 상기 부품은 원형 이송라인에 의해 방사형으로 이동, 도착하는 것을 특징으로 하는 부품 이송 방법.
  19. 제18항에 있어서, 판 평면을 가진 상기 부품은 여러 영역에서 이송라인의 회전축에 수직이 되게 설치되는 것을 특징으로 하는 부품이송 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019930020569A 1992-10-06 1993-10-06 진공실 및 그의 조합과 적어도 하나의 부품을 이송하는 방법 KR940009029A (ko)

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