JP3540346B2 - 真空設備のためのチャンバおよび複合チャンバ、ならびに１つ以上の工作物を送り込む方法 - Google Patents
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、請求項１の前提部に記載されたチャンバ、請求項１７の前提部に記載された同種のチャンバを有する複合チャンバ、および請求項３１の前提部に記載された搬送方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
記憶媒体用ディスクなどの円板状工作物、特にたとえばＣＤ、磁気記憶媒体用ディスクまたは磁気光学記憶媒体用ディスクを、たとえば非反応性または反応性真空プロセス、たとえば腐食またはグロー放電を援用する、もしくは援用しない物理的または化学的被覆によって処理する真空処理設備で処理する際に、これらの工作物をチャンバ内で、駆動されて移動する搬送手段により運動軌道に沿って搬送することが知られている。
【０００３】
通常、このように搬送手段によって搬送される工作物は、直線駆動手段を設けることによってチャンバに設けられている開口部に選択的に送られ、処理手順に従い、次のチャンバおよびステーションに送られる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
真空プロセス条件に適合する直線駆動手段を実現するコストは、所望の行程では比較的大きい。純度条件を守るという観点では、特に駆動などによる粒子生成に特別に留意しなければならない。
本発明の目的は、チャンバ開口部に工作物を装入するための所望の行程に対して所要コストを大幅に減らす、冒頭に記載した種類のチャンバを提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために本発明のチャンバは、１つ以上の工作物のための保持具を備えた１つ以上の搬送装置が、開口部に対して垂直な平面上を旋回できるように搬送手段に支持されており、しかもこの保持具が搬送手段によって開口部区域に送られ、この開口部を完全に通り抜けて旋回できるようにされている。
【０００６】
上記の搬送手段を設けることによって、上記のチャンバにおいて工作物に対して所望の運動軌道を実現することが引き続き可能になる。工作物保持具を備え、旋回可能に支持された搬送装置を、この搬送手段に追加的に設けることによって本質的な長所が達成される。所定の行程のアーチ状搬送軌道を通過するために、同じ行程を直線状に実現した場合よりはるかに少ないコストとスペースしか必要としない駆動手段で十分である。極端な場合には、旋回運動に対して回転駆動手段を用いることができる。旋回運動に変換される直線駆動手段も、工作物の開口部装入に要求される行程を実現するために、直線駆動手段が直接開口部装入のために通過しなければならない行程に比べて、はるかに小さい行程を通過すればよい。
【０００７】
請求項４に従う好適な実施態様において、上記の保持具がヤットコ状に形成されており、好ましくは工作物を拘束および解放するように操作できる。
この構成は幾つかの長所を有している。つまり、たとえ工作物が保持具に保持されていても、工作物の少なくとも両面、またはほぼ全面が空いたままであり、したがってチャンバの開口部が腐食ステーションまたは被覆ステーションなどの処理ステーションに通じている場合は、両面または全面を処理できる。さらにこの構成は、特に解放もしくは拘束操作について関しても単純である。
【０００８】
さらに、この構成によって、工作物の旋回に必要な空間を、もともと工作物の旋回に必要な空間を越えて、せいぜいわずかしか拡張されず、その結果として、上記の開口部を、送り込まれるべき工作物の寸法に最適に調整することが可能となる。
真空処理設備の搬送チャンバ内にはしばしば搬送手段が設けられているので、工作物は供給すべき開口部に向かって、または開口部から少なくとも直線状に送られる。
【０００９】
請求項６、および特に請求項７の文言に従い、保持具を備えた搬送装置の上記の旋回運動のために、すでに設けられている直線駆動手段を利用できるようになる。さらに、わずかな直線送りも角度の大きい旋回運動、したがってまたこの旋回運動によって引き起こされた大きい行程に変換することが簡単に実現できる。 また円板状工作物に対し、請求項５の文言に従うチャンバを形成することが好都合である。
【００１０】
そうすることによって、上記の開口部を、円板状工作物の厚さよりわずかに広く実現することが可能となる。これは、たとえば上記の開口部の両側にある空間の雰囲気を分離するために非常に好都合である。
チャンバを請求項１０もしくは１１の文言に従って形成することにより、上述のように、搬送装置のための旋回駆動手段を、搬送手段の直線駆動手段によって簡単に実現できる。
【００１１】
これに加えて、比較的小さい直線行程を守ることができる、つまり、それぞれ供給される開口部を所望の程度で閉じることができるという長所が得られる。
請求項１５に従い、提案されたチャンバは、２つ以上の開口部を、１つ以上の処理ステーション、たとえば腐食または被覆ステーションを有する公知の１つ以上の搬送チャンバ、または供給仕切りチャンバおよび排出仕切りチャンバ、もしくは供給・排出仕切りチャンバとモジュール式に連結できる。
【００１２】
上記のチャンバを有する本発明に従う複合チャンバは、請求項１７の文言に従う特徴を有している。
複合チャンバで設けられているチャンバ内で、搬送装置の旋回軸が別の搬送手段の回転軸に対して平行に設計されていることによって、連絡開口部を通して工作物を、別のチャンバ内の旋回軸を基準にして概ね半径方向に装入することが可能となる。
【００１３】
さらに、請求項１８の文言に従い、別のチャンバ内の別の搬送手段が、概ね搬送装置の旋回面上で上記の回転軸の回りを共通に回転できる工作物のための複数個の保持具を有していることによって、工作物を上記のチャンバから順次別の搬送手段に送り、もしくは工作物を上記の開口部を通って順次戻すことが可能となる。
【００１４】
本発明の複合チャンバ他の好適な実施態様が、請求項１９から２９に記載されている。
記憶媒体用ディスクなどの円板状工作物、たとえばＣＤや磁気記憶媒体用ディスクまたは磁気光学記憶媒体用ディスクを、真空設備内で搬送手段によって環状搬送軌道を搬送することは、上述のようにすでに知られている。これについて、たとえば合衆国特許公報第３８５６６５４号、ドイツ特許公報第２４５４５４４号、ドイツ特許公開公報第３９１２２９５，４００９６０３および３７１６４９８号、ならびに欧州特許公開第０３８９８２０号を挙げることができる。この場合、工作物は環状搬送軌道と向き合う開口部を通して、環状搬送軌道を基準に軸方向に移動され、たとえば処理ステーションに送り込まれる。
【００１５】
上述のように円板状工作物の搬送軌道が円形であり、工作物が円形軌道の所定の角位置で、設置された開口部を通って軸方向に送り込まれる真空設備チャンバを設計する際に、このようなチャンバの軸方向で測定された奥行きと、工作物を軸方向に送り込むことができる可能な行程との間に相関関係が生じる。
つまり、環状搬送軌道が通っているチャンバを、軸方向に配置されている追加ユニットも含めて、コンパクトかつ薄く形成しようとすると、可能な軸方向行程は小さいままである。同様に大きい行程を実現しようとすると、全高は大きくなる。ここで考慮すべきことは、工作物を環状搬送軌道を通るように配置すると、対応するチャンバの軸方向に見た全高はリング沿いに配置された工作物の数に影響せず、この数はこのようなチャンバの、したがって工作物が配置されている環状搬送軌道の半径方向の長さによってのみ決まるということである。
【００１６】
別の観点における本発明の目的は、上記の短所を取り除いた、請求項１８の前提部に記載された種類の方法を提供することである。
この目的を達成するために、上記の方法は請求項１８の特徴部の特徴を有している。
円板状工作物をそれらの環状搬送軌道を基準に半径方向に開口部を通じて送り込むことによって、環状搬送軌道の半径方向の長さを、必要な半径方向行程の実現に利用できるようになる。また、開口部を配置するために、環状搬送軌道もしくは対応するチャンバ壁の外周も利用できる。
【００１７】
本発明の方法は、たとえば半径方向に供給し、対応する開口部に固定して、または旋回して整合されるラムなど、様々な仕方で実現できる。しかし、この方法は、冒頭に記載した本発明に従うチャンバに設けられた旋回可能な搬送装置によって好適に実現される。
上述のチャンバに設けられた搬送手段が、工作物をチャンバ内の円形軌道上を送られるように形成されている場合、搬送手段に取り付けた旋回可能な搬送装置によって、工作物は開口部に整合されて、開口部から搬送手段の回転軸を基準に半径方向に送り出され、もしくは開口を通って戻される。
【００１８】
【実施例】
以下に、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する。
図１〜４に、本発明が組み込まれた好適な設備が模式的に示されている。この設備は、チャンバ１とチャンバ３およびチャンバ１，３を連結する中間チャンバ３ａを包含している。
【００１９】
チャンバ１には、例示されているように６つのアーム９をもつ搬送用星形部材７が中心で回転可能に支持され、電動機５によって制御駆動されている。搬送用星形部材は軸線Ａ７の回りを回転できる。軸線Ａ７に対して平行なチャンバ１の外壁１１は、２つ以上の開口部１３ａおよび１３ｂを有しており、星形部材７の回転によってアーム９の軸線Ａ９がそれぞれこれらの開口部に整合する。アーム９は、搬送用星形部材７に組み込まれた駆動手段（図示せず）により、半径方向すなわち軸線Ａ９の方向に直線状に前進もしくは後退できる。直線駆動手段は蛇腹１５によって包囲されている。アーム９、すなわち軸線Ａ７を基準として半径方向に移動できる腕部の端部には、それぞれ１つの搬送用ボックス１７が取り付けられている。この搬送用ボックス１７は、図２に詳細に模式的に示されているが、図１および図４を比較すると分かるように、軸線Ａ７に対して平行方向において、これと横断方向、すなわち包囲方向におけるより幅が著しく広くなっている。
【００２０】
これに対応して、開口部１３ａもしくは１３ｂはスリット状に形成されている。
軸線Ａ７の方向で見ると、各々のボックス１７には、たとえば図２に示されているように形成された搬送用ヤットコ１９（図２）を備えた搬送装置１８が、軸線Ａ１９回りを旋回できるように支持されて載っている。搬送用ヤットコ１９は、２つのヤットコ腕部１９ａ，１９ｂを有している。ヤットコ腕部１９ａ，１９ｂは、旋回軸２３ａ，ｂ回りを回転できるように支持部２１に支持されており、ローラ２４を介して互いに係合しており、図２に示されている閉鎖位置でばね作用（図示せず）によって圧縮されている。さらに、ヤットコ腕部１９ｂには、ヤットコを開放したり閉鎖させる操作ローラ２５が設けられている。
【００２１】
上述のように、ヤットコ１９と支持部２１によって形成された搬送装置１８は、ボックス１７に旋回できるように支持されている。搬送装置１８に回転しないように取り付けられている伝動体２６に、第１のレバー２８が回転しないように配置されている。第１のレバー２８は軸受３２によって第２のレバー３０に回転できるように支持されている。レバー３０の、軸受３２と反対側の端部には、組立板３４を介してアーム９の半径方向に固定された腕部に、軸受３６で回転できるように支持されている。
【００２２】
上述の配置構成は次のように作動する。
ヤットコがたとえば円板状工作物４０を保持した閉鎖位置にある、図２に従う搬送装置１８の旋回位置から出発して、搬送用星形部材７は軸線Ａ７回りを任意の位置に旋回できる。この場合、それぞれのアーム固有の半径方向駆動手段によって、ボックス１３は軸線Ａ７の方向に戻されている。
【００２３】
図２に示されているように、開口部の１つ、たとえば１３ｘに供給する場合、アーム９の軸線Ａ９、したがってヤットコ１９の旋回面がスリット状開口部１３ｘに整合される。このとき、当該アーム９と連携している駆動手段によって、ボックス１７が開口部１３ｘの方向に送られる。それによって引き起こされる軸線Ａ１９および伝動体２６の直線運動に基づき、第１のレバー２８は軸受３２の回りを旋回する。レバー２８は伝動体２６に、また伝動体２６は搬送装置１８にそれぞれ回転しないように取り付けられているので、搬送装置１８は、図２に破線で示されているように、開口部１３ｘを通り抜けて旋回し、それと同時にボックス１７と一緒に直線移動する。この場合、ボックス１７はチャンバ１の外壁１１で静止して、開口部１３ｘを、２つのチャンバ１と３の分離に対する要求に応じて密に、必要に応じて気密に閉じることが好都合である。
【００２４】
図２から明らかなように、ボックス１７はチャンバ１内にとどまっているが、ヤットコ１９によって形成された工作物保持具は開口部１３ｘを通り抜けて、完全にチャンバ３もしくは３ａ内に旋回している。
図２には、搬送装置１８の必要な旋回運動に対して、ボックス１７の不必要に長い直線行程が示されている。しかし当業者ならばすぐに分かるように、図３の表現も見れば、軸線Ａ１９と軸受３２の間のレバー２８の長さを短縮することによって、支持部２１、したがって搬送装置１８の同じ旋回運動を、はるかに短い直線行程Ｈで実現できる。
【００２５】
したがって、ほぼ任意に小さい直線行程Ｈと、このために設けられる駆動・密閉部材を対応して最小限にすることによって、所望の旋回運動を実現でき、それとともに工作物４０の軸線Ａ１９回りの旋回半径に基づき、開口部１３ｘを通る所望の行程を実現できる。
図２に模式的に示されているように、チャンバ３もしくは３ａ内にはラム４２が配置されている。ラム４２の端部のローラ４３は、制御されてヤットコ１９の脇のローラ２５に作用することによってヤットコ１９を開かせ、工作物４０を解放させる。
【００２６】
図１〜４に示されている好適な実施態様において、チャンバ１とチャンバ３の間に中間仕切りチャンバ３ａが設けられている。その機能は、以下にチャンバ３に関して行う説明から直ちに明らかである。
特に図４から分かるように、チャンバ３は、電動機４７により軸Ａ４３回りを回転駆動される半径方向アーム４５を付けた星形搬送部材４３を含んでいる。半径方向アーム４５から、図示されているように、Ａ４３に対して平行に、たとえば４つの軸方向アーム４９が突き出している。アーム４９は端部に搬送用プレート５１、軸線Ａ４３が垂直でない場合はたとえば機械式、空気圧式または磁気式保持具を付けている（図示せず）。プレート５１は、それぞれアーム４９と連携している蛇腹５３によって包囲された駆動手段によって、軸線Ａ４３に対して平行かつ直線状に前進もしくは後退できる。
【００２７】
チャンバ３は、プレート５１が軸線Ａ４３回りを回転する際に通過する円軌道に整合して、図示されているように、たとえば２つの開口部５５ａおよび５５ｂを有している。プレート５１は、それぞれの開口部５５に向かって前進し、これを密封部材（図示せず）で密に、もしくは気密に閉じるように形成されている。気密に閉じる必要がない場合は、ボックス１７とチャンバ１の壁１１の間におけるように、すきま止めで間に合う。さらに、プレート５１は開口部５５の縁部５６を越えてチャンバ３から軸方向に突き出しているが、前進した状態ではプレート５１は接して閉じている。
【００２８】
ここでまず、中間仕切りチャンバ３ａを通して開口部１３ａと連通している開口部５５ａにおける関係について見る。図４に従い、搬送装置１８によって円板状工作物４０が図２に破線で示されている位置に旋回すると、ボックス１７はチャンバ１側で開口部１３ａの縁に、要求された程度で密に接する。次に、チャンバ３において開口部５５ａと連携したアーム４９が制御されて軸方向に前進すると、プレート５１は開口部の縁５６に要求された程度で密に接し、たとえば磁気、空気圧、機械または重力の作用で工作物４０を受け取る。工作物４０は、図２に従うラム４２の操作によってヤットコ１９から解放される。このとき、当該アーム４９は後退できる。
【００２９】
チャンバ３ａは、符号５７で模式的に示されているように、チャンバ１および／または３と同様に、独立にポンプで排気できる。
したがって、中間仕切りチャンバ３ａを通る工作物搬送は、次のように行われる。
ボックス１７が、開口部１３ａを要求された程度で密に閉じ、ヤットコ１９は空である。プレート５１に工作物を載せたアーム４９が開口部５５ａの開口区域に旋回して入る。工作物４０を載せたプレート５１が軸方向に移動し、プレート５１が開口部５５ａを要求された程度で密に閉じる。必要に応じ、中間仕切りチャンバ３ａを排気する。ヤットコ１９が工作物を受け取る。搬送装置１８が旋回して戻り、同時にボックス１７が開口部１３ｘの縁から離れる。
【００３０】
あるいは、空のプレート５１が開口部５５ａを要求された程度で密に閉じる。アーム９が、ボックス１７およびヤットコ１９に保持された工作物４０と一緒に開口部１３ａを越えて旋回する。工作物４０を保持したヤットコ１９が前進し、同時にボックス１７が開口部１３ａを要求された程度で密に閉じる。磁気、空気圧、機械または重力の作用によりプレート５１で工作物を開口部５５ａ内に受け取る。中間仕切りチャンバ３ａをポンプ５７で排気する。プレート５１が戻り、星形搬送部材４３がさらに回転する。
【００３１】
上記の説明から、チャンバ３ａが独立に排気でき、または容積が非常に小さいためにチャンバ１と３の間で十分な雰囲気分離を保証する中間仕切りチャンバとして機能することが容易に分かる。中間仕切りチャンバ３ａを設ける必要がない場合は、工作物の受け取りは、プレート５１が引き渡し開口部で密封機能を発揮することなく、上述した仕方でチャンバ３内で直接行うことができる。上記の実施例では、引き渡し連結部分の開口部１３ａ，５５ａで、プレート５１が一方の仕切り弁として働き、ボックス１７が他方の仕切り弁として働く。
【００３２】
さらに、上記の好適な実施例において、開口部５５ｂは供給・排出仕切りとして形成されている。このために気密に閉鎖できる閉鎖部材５７が、たとえば標準雰囲気に対する仕切り弁として設けられており、一時的に開口部５５ｂに整合したプレート５１が第２の仕切り弁として機能する。
符号５７で示されているように、この仕切りチャンバの容積も極めて小さいが、この仕切りチャンバを独立にポンプで排気するためにここでもポンプ５７を接続できる。
【００３３】
上述したように、チャンバ１の開口部１３ｂには、図１から分かるように、ボックス１７および搬送装置１８によって、上記のチャンバ１の開口部１３ａと同じように供給される。
チャンバ１の外部では、この開口部１３ｂに、たとえば腐食チャンバまたは被覆チャンバなどの処理チャンバ５２が配置されている。工作物４０はほぼ全面が露出した状態でヤットコ１９に保持されて処理チャンバ５２に送り込まれるので、このような処理チャンバ５２で工作物を全面的に、特に円板の両面を同時に処理することが可能である。これは、たとえば上記の両面をプラズマ腐食するための電極および／またはそれらを被覆するためのマグネトロン・スパッタリング源を両側に配置することによって可能となる。
【００３４】
図５には、２つの独立したスパッタリング源５３ａおよび５３ｂと遮蔽板５５とを有するチャンバ５２の構成例が、上から見た断面図で模式的に示されている。円板状工作物４０は、スパッタリング源５３ａおよびｂの間に挿入されており、両側がスパッタリング源５３ａ，ｂによって処理される。
このようなチャンバでは、たとえばドイツ特許公報第３９３１７１３号によって知られているように、工作物の両面の同時被覆も可能である。
【００３５】
以下に、搬送されたすべての工作物が工作物とずれた回転軸回りを回転する、原理的に異なるチャンバタイプについて見る。さらに、工作物が半径方向、軸方向、または両方を組み合わせて半径方向と軸方向に移動できるかによって追加的に区別される。
１．工作物が個々に回転搬送され、回転軸を基準に半径方向に送られる回転搬送チャンバ。
【００３６】
このようなチャンバは、図１に従うチャンバ１を形成する。工作物４０は、特にアーム９の直線駆動手段によって、個々に半径方向で開口部１３に送られる。２．すべての工作物がメリーゴーランド上に配置されており、メリーゴーランド回転軸を基準に半径方向に個々に送られる回転搬送チャンバ。
このようなチャンバは、図６および７に模式的に示されている。チャンバ１２０では、メリーゴーランド１２４が、ω１に対応して、軸線Ａ１２４回りを駆動されて回転するように支持されており、工作物、たとえば上記の種類の円板状工作物１２６は保持具１２５に支持されている。１つ以上のラム１２８が、軸線Ａ１２４と共軸に、チャンバ１２０を基準に回転しないように支持され、チャンバ１２０の開口部１２２に合わせて軸線Ａ１２４を基準に半径方向に移動できるように設けられている。このラムを用いて、メリーゴーランドによってそれぞれ供給されるべき開口部１２２の１つに整合した工作物１２６は、開口部１２２から押し出され、または開口部１２２を通ってメリーゴーランド１２４に戻される。場合により、半径方向に移動できるラム１２８は、ω２ａで示されているように、破線で暗示された独立の回転駆動手段１２４ｍによってメリーゴーランド１２４と独立に回転駆動できる。
【００３７】
図７に模式的に示されている実施態様では、メリーゴーランド１２４が円板状工作物１２６を支持しているために、円板面は回転軸Ａ１２４に対して垂直な面上を回転搬送される。ラム１２８は対応して形成されており、図６の構成と類似に、回転しないように、またはチャンバ１２０内のメリーゴーランド１２４と独立に回転駆動されて支持されている。ラム１２８は、ここではチャンバ１２０の、半径方向にスリット状になっている開口部１２２ａに供給する。メリーゴーランド１２４の駆動は、たとえば符号Ｐで模式的に示されているように、メリーゴーランド１２４の周縁で行うことができる。
３．工作物が工作物とずれた軸線の回りを回転搬送され、しかも回転軸に対して平行な方向に個々に送られる回転搬送チャンバ。
【００３８】
このようなチャンバは、図１のチャンバ３によって形成されている。工作物は軸方向に前進および後退できるアーム４９を用いて、回転軸Ａ４３に対して平行に軸方向に移動する。
４．タイプ３のチャンバと同じように、工作物の軸方向移動が行われるが、さらに工作物に対する軸方向移動部材よりはるかに多数の工作物がメリーゴーランド上で回転搬送される回転搬送チャンバ。
【００３９】
図８，９に従い、このようなチャンバ６０は、回転軸Ａ１２４の周囲で回転駆動されるように支持されたメリーゴーランド１２４を有している。たとえば円板状工作物１２６の円板面が軸線Ａ１２４回りの回転面上に支持されている。軸線Ａ１２４に対して平行に前進もしくは後退できるラム１２８が、チャンバ６０の少なくとも１つの開口部１２２に整合して、チャンバ６０のケーシングに固定されており、工作物１２６が開口部１２２に回転整合すると、メリーゴーランド１２４の開口部１３０を通り抜けて、軸線Ａ１２４を基準として軸方向で工作物１２６を開口部１２２に向かって持ち上げ、もしくは開口部１２２からメリーゴーランド１２４に戻す。
【００４０】
図８では、上述のように、ラム１２８はチャンバ６０のケーシングに据え付けられているが、図９に従えば、図６の実施態様に準じて、ラム１２８は独立の回転駆動手段１２４ｍによって軸線Ａ１２４の周囲を、メリーゴーランド１２４の回転運動とは独立に駆動されて回転する。このチャンバタイプの別の態様においては、軸方向行程をメリーゴーランドそれ自体によって行うことができる。
５．工作物が回転軸回りを回転駆動され、さらにこの軸線を基準として軸方向に個々に送られ、そのうえ上記の軸線を基準として半径方向にも個々に送られる回転搬送チャンバ。このようなチャンバは、図１および図４のチャンバ１を一緒に考え合わせ、搬送装置１８を備えることによって形成されている。工作物は一方では軸線Ａ４３回りを回転し、さらにアーム４９の軸方向直線駆動手段によって軸方向に移動し、搬送装置１８の作用により軸線Ａ４３を基準として半径方向にも送られる。特に最後に挙げたチャンバでは、工作物が上記の回転軸を基準として軸方向と半径方向のいずれにも、つまりＡ１２４などを回転軸を包含する平面上を送られるが、この場合において図１〜４に従う実施態様の搬送装置１８によって実現されているような旋回搬送手段を設けることが非常に好適である。
【００４１】
工作物を上記の回転軸を基準として半径方向と軸方向に搬送することは、メリーゴーランド構造においてももちろん実現できるが、製作コストはより大きくなる。
以下に、これらのチャンバタイプのチャンバを２つ以上組み合わせた旋回可能な複合チャンバを形成する可能性を図１０〜１５に基づいて説明し、これらのチャンバによっていかに弾力的に真空処理設備全体を編成できるかを示す。上述したチャンバタイプは工作物がチャンバ内の回転軸回りを回転搬送される点で共通しているが、設備全体の構造には必要に応じてさらに別のチャンバタイプが加わる。
【００４２】
以下においてそれぞれのチャンバタイプを簡単に参照できるように、次の定義を用いる。
ａ）ＥＡＳＫ：工作物を両方向に送り出す仕切りチャンバ。
ｂ）ＥＳＫ：工作物を１方向のみに送り出す仕切りチャンバ。
ｃ）ＢＥＡＫ：工作物に腐食または被覆などの表面処理を施す処理チャンバ。
ｄ）ＲＡＤＫ：図１〜４に示された、半径方向に供給するタイプ１の回転星形チャンバ。
ｅ）ＲＡＫＡＫ：図６もしくは７に模式的に示された、半径方向に供給するタイプ２のメリーゴーランド式チャンバ。
ｆ）ＡＸＤＫ：図１〜４にチャンバ３によって示された、軸方向に供給する回転タイプ３の星形チャンバ。
ｇ）ＡＸＫＡＫ：図８もしくは９に模式的に示された、軸方向に供給するタイプ４のメリーゴーランド式チャンバ。
ｈ）ＡＸＲＡＤＫ：図１〜４に装置付きチャンバ３によって示された、軸方向と半径方向のいずれにも供給できるタイプ５の回転星形チャンバ。
ｉ）ＴＲ：２つのチャンバ開口部を有し、その間を何らかの仕方で、たとえば公知の仕方で工作物を搬送するその他の搬送チャンバ。
図１０では、２つのＲＡＤＫチャンバ６２が組み合わされている。これらのチャンバは、アームを１つ以上備え、回転駆動され、半径方向に供給する回転星形部材６３を１つずつ有している。それによって、一方では２つのチャンバ６２の間の連結開口部６５に工作物６７が供給され、他方では別の開口部６９に供給される。これらの開口部６９には、タイプａ）〜ｉ）の任意のチャンバを接続できる。
【００４３】
この構成においては、回転星形部材６３の回転軸が平行であり、図示された２つのチャンバ６２を基準として、上記の回転軸に対して概ね垂直な平面上で搬送される。
半径方向に移動できる回転星形アームで供給される開口部６５もしくは６９を、これらのアームによって、要求に応じて密ないし気密に閉じることができる。
【００４４】
図１１に従い、半径方向に供給する回転星形チャンバ６２ＲＡＤＫは、半径方向に供給するメリーゴーランド式チャンバＲＡＫＡＫと協働する。このチャンバは、工作物６７の保持部７３を備えた、軸線回りを回転駆動されるメリーゴーランド７１を有しており、一方では共通開口部６５に供給し、他方では少なくとも別の開口部６９に供給する。図示の例では、ＲＡＫＡＫチャンバ７２に、回転せずに半径方向に移動できるラム７５が設けられている。ラム７５は工作物６７をメリーゴーランドの保持部７３から、それぞれの開口部６５，６９に送り、もしくは戻す。ここでも、工作物は回転星形部材６３もしくはメリーゴーランド７１の回転軸に対して垂直な平面上を搬送される。開口部６９もしくは６５は、回転星形部材６３のアームの作用もしくはラム７５の作用によって、要求に応じて密ないし気密に閉じられる。ここでも開口部６９には、タイプａ）〜ｉ）の別のチャンバを接続できる。
【００４５】
容易に分かるように、図１１に従う回転星形チャンバ６２は、半径方向に供給する第２のメリーゴーランド式チャンバＲＡＫＡＫ７２で置き換えることができる。そうすることによって、図１０に回転星形チャンバについて示された構成と類似に、２つのＲＡＫＡＫチャンバから複合チャンバが形成される。
図１２では、半径方向に供給する回転星形チャンバＲＡＤＫ６２が、軸方向に供給する回転星形チャンバＡＸＤＫ８０と組み合わされている。ＡＸＤＫ８０は回転星形部材８１を有し、これに軸方向に駆動されて移動できるラム８２が取り付けられている。半径方向に移動できる回転星形部材６３のアームと、軸方向に移動できる回転星形部材８１のラム８２はチャンバ開口部６５に供給し、対応する回転星形部材６３もしくは８１はチャンバ８０もしくは６２の他の開口部６９に供給する。これらのチャンバには、タイプａ）〜ｉ）の別のチャンバを接続できる。以上のことから分かるように、ここでは工作物搬送は互いに上下する２つの垂直面上で実現される。回転星形部材６３のアームと、回転星形部材８１のラムのいずれも、開口部６５もしくは開口部６９を、要求に応じて密ないし気密に閉じることができる。
【００４６】
図１２において半径方向に作用する回転星形チャンバＲＡＤＫ６２の代わりに、同様に作用するメリーゴーランド式チャンバＲＡＫＡＫ７２を配置できることが、容易に分かる。
図１２の軸方向に供給する回転星形チャンバＡＸＤＫ８０の代わりに、図１３には軸方向に作用するメリーゴーランド式チャンバＡＸＫＡＫ８５が設けられている。このチャンバは、工作物保持部８９を備えた、たとえば円板状のメリーゴーランド８７を有している。軸方向に移動できるラム８８は、開口部６５もしくは開口部６９に整合して、工作物保持具８９に保持された工作物をメリーゴーランドから上記の開口部に持ち上げ、または工作物を保持具８９に戻す。ここでも工作物の搬送は、２つの垂直面で行われる。回転星形部材６３のアームもしくはラム８８は、開口部６５もしくは６９を、要求に応じて密ないし気密に閉じることができる。ここでも開口部６９には、タイプａ）〜ｉ）の別のチャンバを接続できる。
【００４７】
図１４から、半径方向に作用する回転星形チャンバＲＡＤＫ６２を、図１１に従い半径方向に作用するメリーゴーランド式チャンバＲＡＫＡＫ７２に置き換えられることは容易に分かる。
図１４には、半径方向に作用する回転星形チャンバＲＡＤＫ６２と、軸方向および半径方向に作用する回転星形チャンバＡＸＲＡＤＫ９０からなる構成が示されている。ＡＸＲＡＤＫ９０は回転星形部材９１を包含しており、この回転星形部材が片側に半径方向に前進できるアーム９３を有し、これに軸方向に前進もしくは後退できるラム９５が支持されている。
【００４８】
この実施態様を、軸方向のみに移動できるラム８２が設けられている図１２の実施態様と比較すると、図１４に従う構成の本質的な長所が明らかである。図１２では星形部材８１の回転軸を基準としたチャンバ８０の直径の大きさは、ラム８２の軸方向移動によって開口部６５に供給できるように選択しなければならないが、図１４に従う実施態様では星形部材９１の回転軸を基準としたチャンバ９０の直径は開口部６９に供給できる大きさにすればよい。対応するアーム９３は、たとえば回転星形部材６１のある回転位置でのみ、半径方向に前進することができ、もっぱら軸方向移動によって開口部６５を閉じる。したがって、９７の破線で示されているように、中間チャンバを通して開口部６５に供給することが可能となる。上述のように、この中間チャンバによって、星形部材９１の回転軸を基準としたチャンバ９０の直径は、ある角位置でのみ伸びることができる。
【００４９】
開口部６９もしくは６５を密に閉じることに関しては、図１０〜１３に関連して説明したことが該当する。さらに強調すべきことは、チャンバ９０における軸方向および半径方向の搬送移動は、種々の態様で実現できるということである。たとえば図１〜４に従う実施態様において、旋回搬送装置１８により好適に実現されているような搬送手段を用いることによっても可能である。
【００５０】
図１４に従う実施態様において半径方向に供給する回転リングＲＡＤＫ６２の代わりに、図１１に従う、半径方向に供給するメリーゴーランド式チャンバＲＡＫＡＫ７２を設けることができることは、容易に分かる。
図１５には、軸方向に供給する２つの回転星形チャンバＡＸＤＫ８０の組み合わせが示されている。動作は容易に分かる。さらに、軸方向に移動するラム８２を８２ａと８２ｂの対で配置でき、これらラムによって、したがって同一の回転星形部材によって、回転面の両側に配置された開口部６９に供給できることが破線で示されている。同じ技術は、図１４に従い半径方向および軸方向送りを有する回転星形部材ＡＸＲＡＤＫについても実現できる。
【００５１】
図１５の配置構成において、ＡＸＤＫチャンバ８０の１つに代えて図１３に従うＡＸＲＡＤＫチャンバ８５を設けることが、問題なく可能であるということは容易に分かる。また、図１３のチャンバ８５に従う２つのチャンバＡＸＫＡＫを連結することも問題なく可能である。たとえば図１２に従うＡＸＤＫチャンバ８０において、図１４に従いチャンバＡＸＲＡＤＫ９０を設けることも問題なく可能である。図１３に従うＡＸＫＡＫチャンバ８５を、図１４に従うＡＸＲＡＤＫチャンバ９０と組み合わせることについても同様である。
【００５２】
言うまでもないが、上述した複合チャンバにおいて個々のチャンバをそれぞれ調整できるようにするには、それぞれのチャンバにポンプ接続口、および必要に応じてガス入口を設ければよい。
【００５３】
【発明の効果】
上述した複合チャンバにより、最適に短い搬送経路と短い搬送サイクルを有する、極めてコンパクトな全体設備をモジュール工法で組み立てることができる。 上述の方策もしくは設備は、特にＣＤやハードディスクなどの、磁気記憶媒体用ディスクに適している。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のチャンバおよび本発明の複合チャンバを好適な仕方で使用でき、かつ本発明の方法が実現されている真空処理設備の模式図（一部断面図）である。
【図２】図１に従う設備における供給装置の拡大図である。
【図３】図２におけるレバー２８の軸受３２のまわりの動きを示す図である。
【図４】図１に従う設備の部分の模式的な平面図（一部断面図）である。
【図５】図１〜４に従う設備に配置された、円板状工作物の両面スパッタリングのための腐食チャンバの、図４に従う模式的な断面図である。
【図６】半径方向に供給されるチャンバ開口部を有するメリーゴーランド式搬送チャンバの模式的な縦断面図である。
【図７】半径方向に供給されるチャンバ開口部を有する、メリーゴーランド式チャンバの他の実施態様の図６に準じた図である。
【図８】軸方向に供給されるチャンバ開口部を有する、メリーゴーランド式チャンバの図６に準じた図である。
【図９】図８に従うチャンバの他の実施態様である。
【図１０】コンパクトな真空処理設備を構成するための最小編成におけるチャンバの組み合わせの１例を示す図である。
【図１１】コンパクトな真空処理設備を構成するための最小編成におけるチャンバの組み合わせの１例を示す図である。
【図１２】コンパクトな真空処理設備を構成するための最小編成におけるチャンバの組み合わせの１例を示す図である。
【図１３】コンパクトな真空処理設備を構成するための最小編成におけるチャンバの組み合わせの１例を示す図である。
【図１４】コンパクトな真空処理設備を構成するための最小編成におけるチャンバの組み合わせの１例を示す図である。
【図１５】コンパクトな真空処理設備を構成するための最小編成におけるチャンバの組み合わせの１例を示す図である。
【符号の説明】
１…チャンバ
３…チャンバ
３ａ…中間仕切りチャンバ
５…電動機
７…（搬送用）星型部材
９…アーム
１１…外壁
１３ａ…開口部
１３ｂ…開口部
１３ｘ…開口部
１５…蛇腹
１７…ボックス
１８…搬送装置
１９…ヤットコ
２１…支持部
２５…ローラ
２６…伝動体
２８…（第１の）レバー
３０…（第２の）レバー
３２…軸受
３６…軸受
４０…（円板状）工作物
４２…ラム
４３…ローラ
４５…（半径方向）アーム
４７…電動機
４９…（軸方向）アーム
５１…プレート
５２…処理チャンバ
５３…蛇腹
５３ａ…スパッタリング源
５３ｂ…スパッタリング源
５５…遮蔽板
５５ａ…開口部
５５ｂ…開口部
５７…ポンプ
６２…回転星型チャンバ
６３…回転星型部材
６５…開口部
６７…工作物
６９…開口部
７２…メリーゴランド式チャンバ
８０…回転星型チャンバ
８１…回転星型部材
８５…メリーゴランド式チャンバ
８８…ラム
８９…保持具
９０…回転星型チャンバ
９１…回転星型部材
９３…アーム
１２０…チャンバ
１２２ａ…開口部
１２４…メリーゴーランド
１２４ｍ…回転駆動手段
１２５…保持具
１２６…（円板状）工作物
１２８…ラム
【産業上の利用分野】
本発明は、請求項１の前提部に記載されたチャンバ、請求項１７の前提部に記載された同種のチャンバを有する複合チャンバ、および請求項３１の前提部に記載された搬送方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
記憶媒体用ディスクなどの円板状工作物、特にたとえばＣＤ、磁気記憶媒体用ディスクまたは磁気光学記憶媒体用ディスクを、たとえば非反応性または反応性真空プロセス、たとえば腐食またはグロー放電を援用する、もしくは援用しない物理的または化学的被覆によって処理する真空処理設備で処理する際に、これらの工作物をチャンバ内で、駆動されて移動する搬送手段により運動軌道に沿って搬送することが知られている。
【０００３】
通常、このように搬送手段によって搬送される工作物は、直線駆動手段を設けることによってチャンバに設けられている開口部に選択的に送られ、処理手順に従い、次のチャンバおよびステーションに送られる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
真空プロセス条件に適合する直線駆動手段を実現するコストは、所望の行程では比較的大きい。純度条件を守るという観点では、特に駆動などによる粒子生成に特別に留意しなければならない。
本発明の目的は、チャンバ開口部に工作物を装入するための所望の行程に対して所要コストを大幅に減らす、冒頭に記載した種類のチャンバを提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために本発明のチャンバは、１つ以上の工作物のための保持具を備えた１つ以上の搬送装置が、開口部に対して垂直な平面上を旋回できるように搬送手段に支持されており、しかもこの保持具が搬送手段によって開口部区域に送られ、この開口部を完全に通り抜けて旋回できるようにされている。
【０００６】
上記の搬送手段を設けることによって、上記のチャンバにおいて工作物に対して所望の運動軌道を実現することが引き続き可能になる。工作物保持具を備え、旋回可能に支持された搬送装置を、この搬送手段に追加的に設けることによって本質的な長所が達成される。所定の行程のアーチ状搬送軌道を通過するために、同じ行程を直線状に実現した場合よりはるかに少ないコストとスペースしか必要としない駆動手段で十分である。極端な場合には、旋回運動に対して回転駆動手段を用いることができる。旋回運動に変換される直線駆動手段も、工作物の開口部装入に要求される行程を実現するために、直線駆動手段が直接開口部装入のために通過しなければならない行程に比べて、はるかに小さい行程を通過すればよい。
【０００７】
請求項４に従う好適な実施態様において、上記の保持具がヤットコ状に形成されており、好ましくは工作物を拘束および解放するように操作できる。
この構成は幾つかの長所を有している。つまり、たとえ工作物が保持具に保持されていても、工作物の少なくとも両面、またはほぼ全面が空いたままであり、したがってチャンバの開口部が腐食ステーションまたは被覆ステーションなどの処理ステーションに通じている場合は、両面または全面を処理できる。さらにこの構成は、特に解放もしくは拘束操作について関しても単純である。
【０００８】
さらに、この構成によって、工作物の旋回に必要な空間を、もともと工作物の旋回に必要な空間を越えて、せいぜいわずかしか拡張されず、その結果として、上記の開口部を、送り込まれるべき工作物の寸法に最適に調整することが可能となる。
真空処理設備の搬送チャンバ内にはしばしば搬送手段が設けられているので、工作物は供給すべき開口部に向かって、または開口部から少なくとも直線状に送られる。
【０００９】
請求項６、および特に請求項７の文言に従い、保持具を備えた搬送装置の上記の旋回運動のために、すでに設けられている直線駆動手段を利用できるようになる。さらに、わずかな直線送りも角度の大きい旋回運動、したがってまたこの旋回運動によって引き起こされた大きい行程に変換することが簡単に実現できる。 また円板状工作物に対し、請求項５の文言に従うチャンバを形成することが好都合である。
【００１０】
そうすることによって、上記の開口部を、円板状工作物の厚さよりわずかに広く実現することが可能となる。これは、たとえば上記の開口部の両側にある空間の雰囲気を分離するために非常に好都合である。
チャンバを請求項１０もしくは１１の文言に従って形成することにより、上述のように、搬送装置のための旋回駆動手段を、搬送手段の直線駆動手段によって簡単に実現できる。
【００１１】
これに加えて、比較的小さい直線行程を守ることができる、つまり、それぞれ供給される開口部を所望の程度で閉じることができるという長所が得られる。
請求項１５に従い、提案されたチャンバは、２つ以上の開口部を、１つ以上の処理ステーション、たとえば腐食または被覆ステーションを有する公知の１つ以上の搬送チャンバ、または供給仕切りチャンバおよび排出仕切りチャンバ、もしくは供給・排出仕切りチャンバとモジュール式に連結できる。
【００１２】
上記のチャンバを有する本発明に従う複合チャンバは、請求項１７の文言に従う特徴を有している。
複合チャンバで設けられているチャンバ内で、搬送装置の旋回軸が別の搬送手段の回転軸に対して平行に設計されていることによって、連絡開口部を通して工作物を、別のチャンバ内の旋回軸を基準にして概ね半径方向に装入することが可能となる。
【００１３】
さらに、請求項１８の文言に従い、別のチャンバ内の別の搬送手段が、概ね搬送装置の旋回面上で上記の回転軸の回りを共通に回転できる工作物のための複数個の保持具を有していることによって、工作物を上記のチャンバから順次別の搬送手段に送り、もしくは工作物を上記の開口部を通って順次戻すことが可能となる。
【００１４】
本発明の複合チャンバ他の好適な実施態様が、請求項１９から２９に記載されている。
記憶媒体用ディスクなどの円板状工作物、たとえばＣＤや磁気記憶媒体用ディスクまたは磁気光学記憶媒体用ディスクを、真空設備内で搬送手段によって環状搬送軌道を搬送することは、上述のようにすでに知られている。これについて、たとえば合衆国特許公報第３８５６６５４号、ドイツ特許公報第２４５４５４４号、ドイツ特許公開公報第３９１２２９５，４００９６０３および３７１６４９８号、ならびに欧州特許公開第０３８９８２０号を挙げることができる。この場合、工作物は環状搬送軌道と向き合う開口部を通して、環状搬送軌道を基準に軸方向に移動され、たとえば処理ステーションに送り込まれる。
【００１５】
上述のように円板状工作物の搬送軌道が円形であり、工作物が円形軌道の所定の角位置で、設置された開口部を通って軸方向に送り込まれる真空設備チャンバを設計する際に、このようなチャンバの軸方向で測定された奥行きと、工作物を軸方向に送り込むことができる可能な行程との間に相関関係が生じる。
つまり、環状搬送軌道が通っているチャンバを、軸方向に配置されている追加ユニットも含めて、コンパクトかつ薄く形成しようとすると、可能な軸方向行程は小さいままである。同様に大きい行程を実現しようとすると、全高は大きくなる。ここで考慮すべきことは、工作物を環状搬送軌道を通るように配置すると、対応するチャンバの軸方向に見た全高はリング沿いに配置された工作物の数に影響せず、この数はこのようなチャンバの、したがって工作物が配置されている環状搬送軌道の半径方向の長さによってのみ決まるということである。
【００１６】
別の観点における本発明の目的は、上記の短所を取り除いた、請求項１８の前提部に記載された種類の方法を提供することである。
この目的を達成するために、上記の方法は請求項１８の特徴部の特徴を有している。
円板状工作物をそれらの環状搬送軌道を基準に半径方向に開口部を通じて送り込むことによって、環状搬送軌道の半径方向の長さを、必要な半径方向行程の実現に利用できるようになる。また、開口部を配置するために、環状搬送軌道もしくは対応するチャンバ壁の外周も利用できる。
【００１７】
本発明の方法は、たとえば半径方向に供給し、対応する開口部に固定して、または旋回して整合されるラムなど、様々な仕方で実現できる。しかし、この方法は、冒頭に記載した本発明に従うチャンバに設けられた旋回可能な搬送装置によって好適に実現される。
上述のチャンバに設けられた搬送手段が、工作物をチャンバ内の円形軌道上を送られるように形成されている場合、搬送手段に取り付けた旋回可能な搬送装置によって、工作物は開口部に整合されて、開口部から搬送手段の回転軸を基準に半径方向に送り出され、もしくは開口を通って戻される。
【００１８】
【実施例】
以下に、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する。
図１〜４に、本発明が組み込まれた好適な設備が模式的に示されている。この設備は、チャンバ１とチャンバ３およびチャンバ１，３を連結する中間チャンバ３ａを包含している。
【００１９】
チャンバ１には、例示されているように６つのアーム９をもつ搬送用星形部材７が中心で回転可能に支持され、電動機５によって制御駆動されている。搬送用星形部材は軸線Ａ７の回りを回転できる。軸線Ａ７に対して平行なチャンバ１の外壁１１は、２つ以上の開口部１３ａおよび１３ｂを有しており、星形部材７の回転によってアーム９の軸線Ａ９がそれぞれこれらの開口部に整合する。アーム９は、搬送用星形部材７に組み込まれた駆動手段（図示せず）により、半径方向すなわち軸線Ａ９の方向に直線状に前進もしくは後退できる。直線駆動手段は蛇腹１５によって包囲されている。アーム９、すなわち軸線Ａ７を基準として半径方向に移動できる腕部の端部には、それぞれ１つの搬送用ボックス１７が取り付けられている。この搬送用ボックス１７は、図２に詳細に模式的に示されているが、図１および図４を比較すると分かるように、軸線Ａ７に対して平行方向において、これと横断方向、すなわち包囲方向におけるより幅が著しく広くなっている。
【００２０】
これに対応して、開口部１３ａもしくは１３ｂはスリット状に形成されている。
軸線Ａ７の方向で見ると、各々のボックス１７には、たとえば図２に示されているように形成された搬送用ヤットコ１９（図２）を備えた搬送装置１８が、軸線Ａ１９回りを旋回できるように支持されて載っている。搬送用ヤットコ１９は、２つのヤットコ腕部１９ａ，１９ｂを有している。ヤットコ腕部１９ａ，１９ｂは、旋回軸２３ａ，ｂ回りを回転できるように支持部２１に支持されており、ローラ２４を介して互いに係合しており、図２に示されている閉鎖位置でばね作用（図示せず）によって圧縮されている。さらに、ヤットコ腕部１９ｂには、ヤットコを開放したり閉鎖させる操作ローラ２５が設けられている。
【００２１】
上述のように、ヤットコ１９と支持部２１によって形成された搬送装置１８は、ボックス１７に旋回できるように支持されている。搬送装置１８に回転しないように取り付けられている伝動体２６に、第１のレバー２８が回転しないように配置されている。第１のレバー２８は軸受３２によって第２のレバー３０に回転できるように支持されている。レバー３０の、軸受３２と反対側の端部には、組立板３４を介してアーム９の半径方向に固定された腕部に、軸受３６で回転できるように支持されている。
【００２２】
上述の配置構成は次のように作動する。
ヤットコがたとえば円板状工作物４０を保持した閉鎖位置にある、図２に従う搬送装置１８の旋回位置から出発して、搬送用星形部材７は軸線Ａ７回りを任意の位置に旋回できる。この場合、それぞれのアーム固有の半径方向駆動手段によって、ボックス１３は軸線Ａ７の方向に戻されている。
【００２３】
図２に示されているように、開口部の１つ、たとえば１３ｘに供給する場合、アーム９の軸線Ａ９、したがってヤットコ１９の旋回面がスリット状開口部１３ｘに整合される。このとき、当該アーム９と連携している駆動手段によって、ボックス１７が開口部１３ｘの方向に送られる。それによって引き起こされる軸線Ａ１９および伝動体２６の直線運動に基づき、第１のレバー２８は軸受３２の回りを旋回する。レバー２８は伝動体２６に、また伝動体２６は搬送装置１８にそれぞれ回転しないように取り付けられているので、搬送装置１８は、図２に破線で示されているように、開口部１３ｘを通り抜けて旋回し、それと同時にボックス１７と一緒に直線移動する。この場合、ボックス１７はチャンバ１の外壁１１で静止して、開口部１３ｘを、２つのチャンバ１と３の分離に対する要求に応じて密に、必要に応じて気密に閉じることが好都合である。
【００２４】
図２から明らかなように、ボックス１７はチャンバ１内にとどまっているが、ヤットコ１９によって形成された工作物保持具は開口部１３ｘを通り抜けて、完全にチャンバ３もしくは３ａ内に旋回している。
図２には、搬送装置１８の必要な旋回運動に対して、ボックス１７の不必要に長い直線行程が示されている。しかし当業者ならばすぐに分かるように、図３の表現も見れば、軸線Ａ１９と軸受３２の間のレバー２８の長さを短縮することによって、支持部２１、したがって搬送装置１８の同じ旋回運動を、はるかに短い直線行程Ｈで実現できる。
【００２５】
したがって、ほぼ任意に小さい直線行程Ｈと、このために設けられる駆動・密閉部材を対応して最小限にすることによって、所望の旋回運動を実現でき、それとともに工作物４０の軸線Ａ１９回りの旋回半径に基づき、開口部１３ｘを通る所望の行程を実現できる。
図２に模式的に示されているように、チャンバ３もしくは３ａ内にはラム４２が配置されている。ラム４２の端部のローラ４３は、制御されてヤットコ１９の脇のローラ２５に作用することによってヤットコ１９を開かせ、工作物４０を解放させる。
【００２６】
図１〜４に示されている好適な実施態様において、チャンバ１とチャンバ３の間に中間仕切りチャンバ３ａが設けられている。その機能は、以下にチャンバ３に関して行う説明から直ちに明らかである。
特に図４から分かるように、チャンバ３は、電動機４７により軸Ａ４３回りを回転駆動される半径方向アーム４５を付けた星形搬送部材４３を含んでいる。半径方向アーム４５から、図示されているように、Ａ４３に対して平行に、たとえば４つの軸方向アーム４９が突き出している。アーム４９は端部に搬送用プレート５１、軸線Ａ４３が垂直でない場合はたとえば機械式、空気圧式または磁気式保持具を付けている（図示せず）。プレート５１は、それぞれアーム４９と連携している蛇腹５３によって包囲された駆動手段によって、軸線Ａ４３に対して平行かつ直線状に前進もしくは後退できる。
【００２７】
チャンバ３は、プレート５１が軸線Ａ４３回りを回転する際に通過する円軌道に整合して、図示されているように、たとえば２つの開口部５５ａおよび５５ｂを有している。プレート５１は、それぞれの開口部５５に向かって前進し、これを密封部材（図示せず）で密に、もしくは気密に閉じるように形成されている。気密に閉じる必要がない場合は、ボックス１７とチャンバ１の壁１１の間におけるように、すきま止めで間に合う。さらに、プレート５１は開口部５５の縁部５６を越えてチャンバ３から軸方向に突き出しているが、前進した状態ではプレート５１は接して閉じている。
【００２８】
ここでまず、中間仕切りチャンバ３ａを通して開口部１３ａと連通している開口部５５ａにおける関係について見る。図４に従い、搬送装置１８によって円板状工作物４０が図２に破線で示されている位置に旋回すると、ボックス１７はチャンバ１側で開口部１３ａの縁に、要求された程度で密に接する。次に、チャンバ３において開口部５５ａと連携したアーム４９が制御されて軸方向に前進すると、プレート５１は開口部の縁５６に要求された程度で密に接し、たとえば磁気、空気圧、機械または重力の作用で工作物４０を受け取る。工作物４０は、図２に従うラム４２の操作によってヤットコ１９から解放される。このとき、当該アーム４９は後退できる。
【００２９】
チャンバ３ａは、符号５７で模式的に示されているように、チャンバ１および／または３と同様に、独立にポンプで排気できる。
したがって、中間仕切りチャンバ３ａを通る工作物搬送は、次のように行われる。
ボックス１７が、開口部１３ａを要求された程度で密に閉じ、ヤットコ１９は空である。プレート５１に工作物を載せたアーム４９が開口部５５ａの開口区域に旋回して入る。工作物４０を載せたプレート５１が軸方向に移動し、プレート５１が開口部５５ａを要求された程度で密に閉じる。必要に応じ、中間仕切りチャンバ３ａを排気する。ヤットコ１９が工作物を受け取る。搬送装置１８が旋回して戻り、同時にボックス１７が開口部１３ｘの縁から離れる。
【００３０】
あるいは、空のプレート５１が開口部５５ａを要求された程度で密に閉じる。アーム９が、ボックス１７およびヤットコ１９に保持された工作物４０と一緒に開口部１３ａを越えて旋回する。工作物４０を保持したヤットコ１９が前進し、同時にボックス１７が開口部１３ａを要求された程度で密に閉じる。磁気、空気圧、機械または重力の作用によりプレート５１で工作物を開口部５５ａ内に受け取る。中間仕切りチャンバ３ａをポンプ５７で排気する。プレート５１が戻り、星形搬送部材４３がさらに回転する。
【００３１】
上記の説明から、チャンバ３ａが独立に排気でき、または容積が非常に小さいためにチャンバ１と３の間で十分な雰囲気分離を保証する中間仕切りチャンバとして機能することが容易に分かる。中間仕切りチャンバ３ａを設ける必要がない場合は、工作物の受け取りは、プレート５１が引き渡し開口部で密封機能を発揮することなく、上述した仕方でチャンバ３内で直接行うことができる。上記の実施例では、引き渡し連結部分の開口部１３ａ，５５ａで、プレート５１が一方の仕切り弁として働き、ボックス１７が他方の仕切り弁として働く。
【００３２】
さらに、上記の好適な実施例において、開口部５５ｂは供給・排出仕切りとして形成されている。このために気密に閉鎖できる閉鎖部材５７が、たとえば標準雰囲気に対する仕切り弁として設けられており、一時的に開口部５５ｂに整合したプレート５１が第２の仕切り弁として機能する。
符号５７で示されているように、この仕切りチャンバの容積も極めて小さいが、この仕切りチャンバを独立にポンプで排気するためにここでもポンプ５７を接続できる。
【００３３】
上述したように、チャンバ１の開口部１３ｂには、図１から分かるように、ボックス１７および搬送装置１８によって、上記のチャンバ１の開口部１３ａと同じように供給される。
チャンバ１の外部では、この開口部１３ｂに、たとえば腐食チャンバまたは被覆チャンバなどの処理チャンバ５２が配置されている。工作物４０はほぼ全面が露出した状態でヤットコ１９に保持されて処理チャンバ５２に送り込まれるので、このような処理チャンバ５２で工作物を全面的に、特に円板の両面を同時に処理することが可能である。これは、たとえば上記の両面をプラズマ腐食するための電極および／またはそれらを被覆するためのマグネトロン・スパッタリング源を両側に配置することによって可能となる。
【００３４】
図５には、２つの独立したスパッタリング源５３ａおよび５３ｂと遮蔽板５５とを有するチャンバ５２の構成例が、上から見た断面図で模式的に示されている。円板状工作物４０は、スパッタリング源５３ａおよびｂの間に挿入されており、両側がスパッタリング源５３ａ，ｂによって処理される。
このようなチャンバでは、たとえばドイツ特許公報第３９３１７１３号によって知られているように、工作物の両面の同時被覆も可能である。
【００３５】
以下に、搬送されたすべての工作物が工作物とずれた回転軸回りを回転する、原理的に異なるチャンバタイプについて見る。さらに、工作物が半径方向、軸方向、または両方を組み合わせて半径方向と軸方向に移動できるかによって追加的に区別される。
１．工作物が個々に回転搬送され、回転軸を基準に半径方向に送られる回転搬送チャンバ。
【００３６】
このようなチャンバは、図１に従うチャンバ１を形成する。工作物４０は、特にアーム９の直線駆動手段によって、個々に半径方向で開口部１３に送られる。２．すべての工作物がメリーゴーランド上に配置されており、メリーゴーランド回転軸を基準に半径方向に個々に送られる回転搬送チャンバ。
このようなチャンバは、図６および７に模式的に示されている。チャンバ１２０では、メリーゴーランド１２４が、ω１に対応して、軸線Ａ１２４回りを駆動されて回転するように支持されており、工作物、たとえば上記の種類の円板状工作物１２６は保持具１２５に支持されている。１つ以上のラム１２８が、軸線Ａ１２４と共軸に、チャンバ１２０を基準に回転しないように支持され、チャンバ１２０の開口部１２２に合わせて軸線Ａ１２４を基準に半径方向に移動できるように設けられている。このラムを用いて、メリーゴーランドによってそれぞれ供給されるべき開口部１２２の１つに整合した工作物１２６は、開口部１２２から押し出され、または開口部１２２を通ってメリーゴーランド１２４に戻される。場合により、半径方向に移動できるラム１２８は、ω２ａで示されているように、破線で暗示された独立の回転駆動手段１２４ｍによってメリーゴーランド１２４と独立に回転駆動できる。
【００３７】
図７に模式的に示されている実施態様では、メリーゴーランド１２４が円板状工作物１２６を支持しているために、円板面は回転軸Ａ１２４に対して垂直な面上を回転搬送される。ラム１２８は対応して形成されており、図６の構成と類似に、回転しないように、またはチャンバ１２０内のメリーゴーランド１２４と独立に回転駆動されて支持されている。ラム１２８は、ここではチャンバ１２０の、半径方向にスリット状になっている開口部１２２ａに供給する。メリーゴーランド１２４の駆動は、たとえば符号Ｐで模式的に示されているように、メリーゴーランド１２４の周縁で行うことができる。
３．工作物が工作物とずれた軸線の回りを回転搬送され、しかも回転軸に対して平行な方向に個々に送られる回転搬送チャンバ。
【００３８】
このようなチャンバは、図１のチャンバ３によって形成されている。工作物は軸方向に前進および後退できるアーム４９を用いて、回転軸Ａ４３に対して平行に軸方向に移動する。
４．タイプ３のチャンバと同じように、工作物の軸方向移動が行われるが、さらに工作物に対する軸方向移動部材よりはるかに多数の工作物がメリーゴーランド上で回転搬送される回転搬送チャンバ。
【００３９】
図８，９に従い、このようなチャンバ６０は、回転軸Ａ１２４の周囲で回転駆動されるように支持されたメリーゴーランド１２４を有している。たとえば円板状工作物１２６の円板面が軸線Ａ１２４回りの回転面上に支持されている。軸線Ａ１２４に対して平行に前進もしくは後退できるラム１２８が、チャンバ６０の少なくとも１つの開口部１２２に整合して、チャンバ６０のケーシングに固定されており、工作物１２６が開口部１２２に回転整合すると、メリーゴーランド１２４の開口部１３０を通り抜けて、軸線Ａ１２４を基準として軸方向で工作物１２６を開口部１２２に向かって持ち上げ、もしくは開口部１２２からメリーゴーランド１２４に戻す。
【００４０】
図８では、上述のように、ラム１２８はチャンバ６０のケーシングに据え付けられているが、図９に従えば、図６の実施態様に準じて、ラム１２８は独立の回転駆動手段１２４ｍによって軸線Ａ１２４の周囲を、メリーゴーランド１２４の回転運動とは独立に駆動されて回転する。このチャンバタイプの別の態様においては、軸方向行程をメリーゴーランドそれ自体によって行うことができる。
５．工作物が回転軸回りを回転駆動され、さらにこの軸線を基準として軸方向に個々に送られ、そのうえ上記の軸線を基準として半径方向にも個々に送られる回転搬送チャンバ。このようなチャンバは、図１および図４のチャンバ１を一緒に考え合わせ、搬送装置１８を備えることによって形成されている。工作物は一方では軸線Ａ４３回りを回転し、さらにアーム４９の軸方向直線駆動手段によって軸方向に移動し、搬送装置１８の作用により軸線Ａ４３を基準として半径方向にも送られる。特に最後に挙げたチャンバでは、工作物が上記の回転軸を基準として軸方向と半径方向のいずれにも、つまりＡ１２４などを回転軸を包含する平面上を送られるが、この場合において図１〜４に従う実施態様の搬送装置１８によって実現されているような旋回搬送手段を設けることが非常に好適である。
【００４１】
工作物を上記の回転軸を基準として半径方向と軸方向に搬送することは、メリーゴーランド構造においてももちろん実現できるが、製作コストはより大きくなる。
以下に、これらのチャンバタイプのチャンバを２つ以上組み合わせた旋回可能な複合チャンバを形成する可能性を図１０〜１５に基づいて説明し、これらのチャンバによっていかに弾力的に真空処理設備全体を編成できるかを示す。上述したチャンバタイプは工作物がチャンバ内の回転軸回りを回転搬送される点で共通しているが、設備全体の構造には必要に応じてさらに別のチャンバタイプが加わる。
【００４２】
以下においてそれぞれのチャンバタイプを簡単に参照できるように、次の定義を用いる。
ａ）ＥＡＳＫ：工作物を両方向に送り出す仕切りチャンバ。
ｂ）ＥＳＫ：工作物を１方向のみに送り出す仕切りチャンバ。
ｃ）ＢＥＡＫ：工作物に腐食または被覆などの表面処理を施す処理チャンバ。
ｄ）ＲＡＤＫ：図１〜４に示された、半径方向に供給するタイプ１の回転星形チャンバ。
ｅ）ＲＡＫＡＫ：図６もしくは７に模式的に示された、半径方向に供給するタイプ２のメリーゴーランド式チャンバ。
ｆ）ＡＸＤＫ：図１〜４にチャンバ３によって示された、軸方向に供給する回転タイプ３の星形チャンバ。
ｇ）ＡＸＫＡＫ：図８もしくは９に模式的に示された、軸方向に供給するタイプ４のメリーゴーランド式チャンバ。
ｈ）ＡＸＲＡＤＫ：図１〜４に装置付きチャンバ３によって示された、軸方向と半径方向のいずれにも供給できるタイプ５の回転星形チャンバ。
ｉ）ＴＲ：２つのチャンバ開口部を有し、その間を何らかの仕方で、たとえば公知の仕方で工作物を搬送するその他の搬送チャンバ。
図１０では、２つのＲＡＤＫチャンバ６２が組み合わされている。これらのチャンバは、アームを１つ以上備え、回転駆動され、半径方向に供給する回転星形部材６３を１つずつ有している。それによって、一方では２つのチャンバ６２の間の連結開口部６５に工作物６７が供給され、他方では別の開口部６９に供給される。これらの開口部６９には、タイプａ）〜ｉ）の任意のチャンバを接続できる。
【００４３】
この構成においては、回転星形部材６３の回転軸が平行であり、図示された２つのチャンバ６２を基準として、上記の回転軸に対して概ね垂直な平面上で搬送される。
半径方向に移動できる回転星形アームで供給される開口部６５もしくは６９を、これらのアームによって、要求に応じて密ないし気密に閉じることができる。
【００４４】
図１１に従い、半径方向に供給する回転星形チャンバ６２ＲＡＤＫは、半径方向に供給するメリーゴーランド式チャンバＲＡＫＡＫと協働する。このチャンバは、工作物６７の保持部７３を備えた、軸線回りを回転駆動されるメリーゴーランド７１を有しており、一方では共通開口部６５に供給し、他方では少なくとも別の開口部６９に供給する。図示の例では、ＲＡＫＡＫチャンバ７２に、回転せずに半径方向に移動できるラム７５が設けられている。ラム７５は工作物６７をメリーゴーランドの保持部７３から、それぞれの開口部６５，６９に送り、もしくは戻す。ここでも、工作物は回転星形部材６３もしくはメリーゴーランド７１の回転軸に対して垂直な平面上を搬送される。開口部６９もしくは６５は、回転星形部材６３のアームの作用もしくはラム７５の作用によって、要求に応じて密ないし気密に閉じられる。ここでも開口部６９には、タイプａ）〜ｉ）の別のチャンバを接続できる。
【００４５】
容易に分かるように、図１１に従う回転星形チャンバ６２は、半径方向に供給する第２のメリーゴーランド式チャンバＲＡＫＡＫ７２で置き換えることができる。そうすることによって、図１０に回転星形チャンバについて示された構成と類似に、２つのＲＡＫＡＫチャンバから複合チャンバが形成される。
図１２では、半径方向に供給する回転星形チャンバＲＡＤＫ６２が、軸方向に供給する回転星形チャンバＡＸＤＫ８０と組み合わされている。ＡＸＤＫ８０は回転星形部材８１を有し、これに軸方向に駆動されて移動できるラム８２が取り付けられている。半径方向に移動できる回転星形部材６３のアームと、軸方向に移動できる回転星形部材８１のラム８２はチャンバ開口部６５に供給し、対応する回転星形部材６３もしくは８１はチャンバ８０もしくは６２の他の開口部６９に供給する。これらのチャンバには、タイプａ）〜ｉ）の別のチャンバを接続できる。以上のことから分かるように、ここでは工作物搬送は互いに上下する２つの垂直面上で実現される。回転星形部材６３のアームと、回転星形部材８１のラムのいずれも、開口部６５もしくは開口部６９を、要求に応じて密ないし気密に閉じることができる。
【００４６】
図１２において半径方向に作用する回転星形チャンバＲＡＤＫ６２の代わりに、同様に作用するメリーゴーランド式チャンバＲＡＫＡＫ７２を配置できることが、容易に分かる。
図１２の軸方向に供給する回転星形チャンバＡＸＤＫ８０の代わりに、図１３には軸方向に作用するメリーゴーランド式チャンバＡＸＫＡＫ８５が設けられている。このチャンバは、工作物保持部８９を備えた、たとえば円板状のメリーゴーランド８７を有している。軸方向に移動できるラム８８は、開口部６５もしくは開口部６９に整合して、工作物保持具８９に保持された工作物をメリーゴーランドから上記の開口部に持ち上げ、または工作物を保持具８９に戻す。ここでも工作物の搬送は、２つの垂直面で行われる。回転星形部材６３のアームもしくはラム８８は、開口部６５もしくは６９を、要求に応じて密ないし気密に閉じることができる。ここでも開口部６９には、タイプａ）〜ｉ）の別のチャンバを接続できる。
【００４７】
図１４から、半径方向に作用する回転星形チャンバＲＡＤＫ６２を、図１１に従い半径方向に作用するメリーゴーランド式チャンバＲＡＫＡＫ７２に置き換えられることは容易に分かる。
図１４には、半径方向に作用する回転星形チャンバＲＡＤＫ６２と、軸方向および半径方向に作用する回転星形チャンバＡＸＲＡＤＫ９０からなる構成が示されている。ＡＸＲＡＤＫ９０は回転星形部材９１を包含しており、この回転星形部材が片側に半径方向に前進できるアーム９３を有し、これに軸方向に前進もしくは後退できるラム９５が支持されている。
【００４８】
この実施態様を、軸方向のみに移動できるラム８２が設けられている図１２の実施態様と比較すると、図１４に従う構成の本質的な長所が明らかである。図１２では星形部材８１の回転軸を基準としたチャンバ８０の直径の大きさは、ラム８２の軸方向移動によって開口部６５に供給できるように選択しなければならないが、図１４に従う実施態様では星形部材９１の回転軸を基準としたチャンバ９０の直径は開口部６９に供給できる大きさにすればよい。対応するアーム９３は、たとえば回転星形部材６１のある回転位置でのみ、半径方向に前進することができ、もっぱら軸方向移動によって開口部６５を閉じる。したがって、９７の破線で示されているように、中間チャンバを通して開口部６５に供給することが可能となる。上述のように、この中間チャンバによって、星形部材９１の回転軸を基準としたチャンバ９０の直径は、ある角位置でのみ伸びることができる。
【００４９】
開口部６９もしくは６５を密に閉じることに関しては、図１０〜１３に関連して説明したことが該当する。さらに強調すべきことは、チャンバ９０における軸方向および半径方向の搬送移動は、種々の態様で実現できるということである。たとえば図１〜４に従う実施態様において、旋回搬送装置１８により好適に実現されているような搬送手段を用いることによっても可能である。
【００５０】
図１４に従う実施態様において半径方向に供給する回転リングＲＡＤＫ６２の代わりに、図１１に従う、半径方向に供給するメリーゴーランド式チャンバＲＡＫＡＫ７２を設けることができることは、容易に分かる。
図１５には、軸方向に供給する２つの回転星形チャンバＡＸＤＫ８０の組み合わせが示されている。動作は容易に分かる。さらに、軸方向に移動するラム８２を８２ａと８２ｂの対で配置でき、これらラムによって、したがって同一の回転星形部材によって、回転面の両側に配置された開口部６９に供給できることが破線で示されている。同じ技術は、図１４に従い半径方向および軸方向送りを有する回転星形部材ＡＸＲＡＤＫについても実現できる。
【００５１】
図１５の配置構成において、ＡＸＤＫチャンバ８０の１つに代えて図１３に従うＡＸＲＡＤＫチャンバ８５を設けることが、問題なく可能であるということは容易に分かる。また、図１３のチャンバ８５に従う２つのチャンバＡＸＫＡＫを連結することも問題なく可能である。たとえば図１２に従うＡＸＤＫチャンバ８０において、図１４に従いチャンバＡＸＲＡＤＫ９０を設けることも問題なく可能である。図１３に従うＡＸＫＡＫチャンバ８５を、図１４に従うＡＸＲＡＤＫチャンバ９０と組み合わせることについても同様である。
【００５２】
言うまでもないが、上述した複合チャンバにおいて個々のチャンバをそれぞれ調整できるようにするには、それぞれのチャンバにポンプ接続口、および必要に応じてガス入口を設ければよい。
【００５３】
【発明の効果】
上述した複合チャンバにより、最適に短い搬送経路と短い搬送サイクルを有する、極めてコンパクトな全体設備をモジュール工法で組み立てることができる。 上述の方策もしくは設備は、特にＣＤやハードディスクなどの、磁気記憶媒体用ディスクに適している。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のチャンバおよび本発明の複合チャンバを好適な仕方で使用でき、かつ本発明の方法が実現されている真空処理設備の模式図（一部断面図）である。
【図２】図１に従う設備における供給装置の拡大図である。
【図３】図２におけるレバー２８の軸受３２のまわりの動きを示す図である。
【図４】図１に従う設備の部分の模式的な平面図（一部断面図）である。
【図５】図１〜４に従う設備に配置された、円板状工作物の両面スパッタリングのための腐食チャンバの、図４に従う模式的な断面図である。
【図６】半径方向に供給されるチャンバ開口部を有するメリーゴーランド式搬送チャンバの模式的な縦断面図である。
【図７】半径方向に供給されるチャンバ開口部を有する、メリーゴーランド式チャンバの他の実施態様の図６に準じた図である。
【図８】軸方向に供給されるチャンバ開口部を有する、メリーゴーランド式チャンバの図６に準じた図である。
【図９】図８に従うチャンバの他の実施態様である。
【図１０】コンパクトな真空処理設備を構成するための最小編成におけるチャンバの組み合わせの１例を示す図である。
【図１１】コンパクトな真空処理設備を構成するための最小編成におけるチャンバの組み合わせの１例を示す図である。
【図１２】コンパクトな真空処理設備を構成するための最小編成におけるチャンバの組み合わせの１例を示す図である。
【図１３】コンパクトな真空処理設備を構成するための最小編成におけるチャンバの組み合わせの１例を示す図である。
【図１４】コンパクトな真空処理設備を構成するための最小編成におけるチャンバの組み合わせの１例を示す図である。
【図１５】コンパクトな真空処理設備を構成するための最小編成におけるチャンバの組み合わせの１例を示す図である。
【符号の説明】
１…チャンバ
３…チャンバ
３ａ…中間仕切りチャンバ
５…電動機
７…（搬送用）星型部材
９…アーム
１１…外壁
１３ａ…開口部
１３ｂ…開口部
１３ｘ…開口部
１５…蛇腹
１７…ボックス
１８…搬送装置
１９…ヤットコ
２１…支持部
２５…ローラ
２６…伝動体
２８…（第１の）レバー
３０…（第２の）レバー
３２…軸受
３６…軸受
４０…（円板状）工作物
４２…ラム
４３…ローラ
４５…（半径方向）アーム
４７…電動機
４９…（軸方向）アーム
５１…プレート
５２…処理チャンバ
５３…蛇腹
５３ａ…スパッタリング源
５３ｂ…スパッタリング源
５５…遮蔽板
５５ａ…開口部
５５ｂ…開口部
５７…ポンプ
６２…回転星型チャンバ
６３…回転星型部材
６５…開口部
６７…工作物
６９…開口部
７２…メリーゴランド式チャンバ
８０…回転星型チャンバ
８１…回転星型部材
８５…メリーゴランド式チャンバ
８８…ラム
８９…保持具
９０…回転星型チャンバ
９１…回転星型部材
９３…アーム
１２０…チャンバ
１２２ａ…開口部
１２４…メリーゴーランド
１２４ｍ…回転駆動手段
１２５…保持具
１２６…（円板状）工作物
１２８…ラム
Claims (32)
- 板状工作物（４０）をそれらの処理時に送り込むための１つ以上の開口部（１３ｘ）と、駆動されて移動する、１つ以上の板状工作物のための搬送手段（７）とを有する真空設備のためのチャンバにおいて、
開口部（１３ｘ）がスリット状であって、１つ以上の板状工作物（４０）のための保持具（１９）を備えた１つ以上の搬送装置（１８）が、スリット状の開口部（１３ｘ）に対して垂直な平面上を旋回できるように搬送手段（７）に支持されており、しかもこの保持具（１９）が搬送手段（７）によってスリット状の開口部（１３ｘ）区域に送られ、このスリット状の開口部（１３ｘ）を完全に通り抜けて旋回できるようにされていることを特徴とするチャンバ。 - 板状工作物（４０）が円板状である請求項１に記載のチャンバ。
- 円板状の板状工作物（４０）が記憶媒体用ディスクである請求項２に記載のチャンバ。
- 保持具（１９）がヤットコ状に形成されている請求項１から３のいずれか１項に記載のチャンバ。
- 保持具（１９）が、工作物を拘束および解放（４２，４３）するように操作できる請求項４に記載のチャンバ。
- 搬送装置（１８）のための旋回軸受（２６）が駆動されて、開口部（１３ｘ）の平面に対して垂直方向に直線移動できる請求項１から５のいずれかに記載のチャンバ。
- 搬送装置（１８）が旋回軸受の直線駆動手段により旋回できる請求項６記載のチャンバ。
- 保持具（１９）に保持された工作物（４０）の円板面が旋回面上にあるように、前記保持具が旋回軸受（Ａ１９）を基準に配置されている、請求項１から７のいずれか１項に記載のチャンバ。
- 旋回面上における前記開口部の直径が旋回軸（Ａ１９）の方向における直径より長くなるようにされている、請求項８に記載のチャンバ。
- 搬送手段（７）が、開口部（１３ａ，ｂ）に整合したそれぞれ１つの位置で旋回でき、開口部に向かって直線状に前進する、もしくは開口部から後退するアーム（９）を有しており、搬送装置（１８）が前記アームの開口部側端部に支持されている請求項１から９のいずれか１項に記載のチャンバ。
- アーム（９）の開口部側端部が、搬送装置（１８）の旋回軸受のための直線駆動手段を形成する請求項１０記載のチャンバ。
- アーム（９）の開口部側端部が前進して開口部（１３ａ，ｂ）を閉じる、請求項１１記載のチャンバ。
- アーム（９）の開口部側端部が前進して開口部（１３ａ，ｂ）を密に閉じる、請求項１２記載のチャンバ。
- アーム（９）の開口部側端部が前進して開口部（１３ａ，ｂ）を気密に閉じる、請求項１２記載のチャンバ。
- １つ以上のチャンバ開口部に仕切りチャンバ、搬送チャンバまたは工作物の処理ステーションが配置されている請求項１から１４のいずれか１項に記載のチャンバ。
- 搬送装置（１８）によって送り込まれた工作物（４０）に、旋回軸（Ａ１９）を基準として両面または全面に腐食または被覆などの処理を施す処理ステーションが、開口部（１３ｂ）に設けられている請求項１から１５のいずれか１項に記載のチャンバ。
- 開口部に別のチャンバ（３）が配置されており、このチャンバ（３）内に、１つ以上の工作物（４０）のための回転支持された別の搬送手段（４３）が設けられており、搬送手段（４３）が搬送装置（１８）の旋回軸（Ａ１９）に対して平行な回転軸（Ａ４３）を有している、請求項１から１６のいずれか１項に記載のチャンバを有する複合チャンバ。
- 別の搬送手段（４３）が、搬送装置（１８）の概ね旋回面上で共通の回転軸（Ａ１３）の回りを回転する工作物（４０）に対して、複数個の保持具（５１）を有している請求項１７記載の複合チャンバ。
- 別の搬送手段（４３）が、回転軸（Ａ４３）回りの円筒面上に配置された、軸方向に駆動されて前進もしくは後退する、１つ以上のアーム（４９）を包含しており、アーム（４９）の端部に１つ以上の工作物（４０）のための保持具（５１）が配置されている請求項１７または１８に記載の複合チャンバ。
- 別の搬送手段（４３）が、２つ以上のアーム（４９）を包含している、請求項１９に記載の複合チャンバ。
- 別のチャンバ（３）の１つ以上の開口部（５５）が、搬送手段（４３）の回転軸（Ａ４３）に対して平行な法線を有する平面を規定している請求項１７から２０のいずれか１項に記載の複合チャンバ。
- 別の搬送手段（４３）が軸方向に駆動されて前進および後退する、１つ以上の工作物（４０）の保持具を備えた１つ以上のプレート（５１）を有し、別のチャンバ（３）の開口部（５５）の少なくとも１つが、別の搬送手段（４３）の回転軸（Ａ４３）に対して平行な法線を有する平面を規定しており、プレート（５１）が別の搬送手段（４３）の回転によってこの開口部（５５）に整合でき、さらに前進してこの開口部を閉じる、請求項１７から２１のいずれか１項に記載の複合チャンバ。
- プレート（５１）が別の搬送手段（４３）の回転によってこの開口部（５５）に整合でき、さらに前進してこの開口部を、密に閉じる、請求項２２記載の複合チャンバ。
- プレート（５１）が別の搬送手段（４３）の回転によってこの開口部（５５）に整合でき、さらに前進してこの開口部を、気密に、閉じる、請求項２２に記載の複合チャンバ。
- 少なくとも１つの開口部（５５ｂ）が、仕切り弁の働きをするチャンバ外側の閉鎖部材（５７）によって気密に閉じることができ、この開口部（５５ｂ）の上に位置して第２の仕切り弁の働きをするプレート（５１）と一緒に仕切りチャンバを形成している請求項２２記載の複合チャンバ。
- チャンバ（３）に、および／または閉鎖部材（５７）と前進したプレート（５１）の間の開口部（５５ｂ）にポンプ接続口が設けられている請求項２５記載の複合チャンバ。
- 別のチャンバの開口部の少なくとも１つに、仕切りチャンバ、２つ以上の開口部を有する搬送チャンバ、または工作物の処理チャンバ、が接続されている請求項１７から２６のいずれか１項に記載の複合チャンバ。
- 処理チャンバ、が腐食チャンバまたは被覆チャンバである請求項２７記載の複合チャンバ。
- 前記開口部が回転軸に対して平行な法線を有する平面と一緒にチャンバ（１）との連結部を形成し、その間に中間仕切りチャンバとして働くチャンバが設けられている請求項２１記載の複合チャンバ。
- 前記中間仕切りチャンバとして働くチャンバがポンプ接続口を備えている請求項２９記載の複合チャンバ。
- １つ以上の円板状工作物を、それぞれ固定した環状搬送軌道から真空処理設備の開口部を通して送り込む方法において、環状搬送軌道の半径方向に工作物を送り込むことを特徴とする方法。
- 工作物の円板面を搬送軌道の回転軸に対して垂直な平面上に配置する請求項３１記載の方法。
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