JP3323601B2 - 工作物を真空雰囲気で搬送するためのチャンバ、複合チャンバ、及び工作物を真空設備内部で搬送する方法 - Google Patents

工作物を真空雰囲気で搬送するためのチャンバ、複合チャンバ、及び工作物を真空設備内部で搬送する方法

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JP3323601B2 JP25038793A JP25038793A JP3323601B2 JP 3323601 B2 JP3323601 B2 JP 3323601B2 JP 25038793 A JP25038793 A JP 25038793A JP 25038793 A JP25038793 A JP 25038793A JP 3323601 B2 JP3323601 B2 JP 3323601B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、工作物を密閉雰囲気で
搬送するためのチャンバ、複合チャンバおよび工作物を
搬送する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】円板状工作物、たとえば磁気記憶媒体用
ディスクまたは磁気光学記憶媒体用ディスクなどの記憶
媒体用ディスクを、チャンバ内で軸線回りを旋回できる
搬送手段を用いてチャンバ開口部に整合して搬送し、こ
れらの工作物を対応する開口部に整合して、非反応性ま
たは反応性真空プロセスなどの表面処理プロセス、たと
えば腐食プロセスまたはグロー放電を援用する、もしく
は援用しない被覆プロセスを工作物に施すか、あるいは
工作物をそのような開口部から送り入れたり、送り出し
たりすることが知られている。これに関連して米国特許
公報第３８５６６５４号、独国特許公報第２４５４５４
４号、独国特許公開公報第３９１２２９５号、同第４０
０９６０３号、同第３７１６４９８号、およびヨーロッ
パ特許第３８９８２０号などが挙げられる。
【０００３】これらによって知られている搬送チャンバ
では、工作物は搬送手段によって、または搬送手段から
離れて搬送手段の回転軸線に対して平行に、つまり軸方
向でチャンバ開口部に送られる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】軸線回りを回転する搬
送手段によって工作物を搬送し、搬送手段の所定の角度
位置でチャンバの開口部に送り、または開口部から受け
取る、上述のような搬送チャンバを設計する際に、チャ
ンバの軸方向に測定された奥行きと、可能な軸方向スト
ロークとの間には相関関係が生じる。つまり、旋回可能
な搬送手段と、さらに軸方向に配置されたユニットを包
含したチャンバを浅く形成すると、可能な軸方向ストロ
ークは小さくなる。同様に、大きいストロークを実現し
ようとすると、そのようなチャンバの全高も大きくな
る。チャンバ内でできるだけ多くの工作物を同時に搬送
できるように搬送手段を構成する場合、同時に搬送でき
る工作物の数はチャンバの半径方向の長さのみに依存
し、軸方向の長さには依存しないことが考慮される。
【０００５】さらに、このような搬送チャンバの設計に
おいては、開口部、したがって追加に設けるチャンバ
を、旋回可能な搬送手段で工作物を搬送するための搬送
軌道沿いにしか設けることができないという制限があ
る。
【０００６】本発明の第１の観点における目的は、これ
らの短所を取り除いた、冒頭に記載した種類のチャンバ
を提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明のチャンバは、工作物を軸方向と半径方向の
いずれにも搬送できるように、少なくとも一部が軸線に
対して平行に、他の一部が軸線を基準として半径方向
に、駆動されて直線移動できるように支持された搬送装
置が設けられている。
【０００８】つまり、公知の搬送手段の旋回運動に加
え、軸線に対して平行に、かつこの軸線を基準として半
径方向に駆動されて直線移動できる搬送装置が設けられ
ていることによって、一方ではチャンバ開口部を搬送手
段および搬送軌道に沿って設ける必要がなくなり、他方
では当該チャンバに接続される別の所定のチャンバに供
給するのに必要なストロークを設計する際に、本発明で
利用される半径方向ストロークを用いることができる。
このストロークの大きさは、旋回可能な搬送手段によっ
て決まるチャンバ直径の範囲内において広い限界内で自
由に選択できる。
【０００９】第２の観点における本発明の目的は、上述
の公知の搬送チャンバから出発し、そのようなチャンバ
を用いて、制御により、工作物を所望の処理方法に応じ
て自由に選択でき、実際上任意の数の種類の処理ステー
ションに供給できる複合真空処理設備を構成できるよう
にすることである。この場合、このような設備の最適な
コンパクト性が特に重視される。
【００１０】つまり、冒頭に記載した公知のチャンバで
は、他のチャンバの数がチャンバ自体の寸法決定によっ
て制限されているのに対し、本発明の複合チャンバで
は、当該チャンバの開口部の１つに、工作物のための開
口部を１つ以上有する別の搬送チャンバが取り付けられ
ているので、工作物を旋回可能な搬送手段によって、当
該チャンバから出てさらに搬送でき、それぞれの処理チ
ャンバを全搬送経路に沿って配置できるという長所が得
られる。
【００１１】請求項３の文言に従い、旋回可能な搬送手
段を備えた上記の１つのチャンバとして、請求項１の特
徴部に記載された特徴も有するチャンバを設けることに
より、本発明の複合チャンバを実現できることが好都合
である。
【００１２】冒頭に記載した本発明に従うチャンバまた
は複合チャンバにおいては、請求項４の文言に基づく方
策によって高いコンパクト性が達成される。これは、搬
送装置の軸方向の直線移動のための駆動手段が、開口部
に角度を合わせて軸線回りを旋回できる搬送手段に配置
されていることによって実現される。つまり、搬送手
段、駆動手段および搬送装置が１つの複合体に統合され
ているのである。
【００１３】さらに、請求項５の文言に従い、本発明の
チャンバと本発明の複合チャンバのいずれにおいても、
軸方向に移動できる搬送装置を、搬送手段の回転軸から
ずれた軸平行な一つ以上のアームによって実現し、少な
くとも一端が好ましくはプレート状の工作物保持具を有
していることが好都合である。
【００１４】上記の軸線の回りを回転できる搬送手段を
立体的に配置して、軸線からずれた軸平行なアームを設
けた場合に軸方向断面がＬ字形構造として形成されるこ
とを考慮すれば、このようなアームの一端のみを工作物
保持に利用する代わりに、両端を利用することによって
Ｔ字形構造を構成できることはすぐに分かる。そうする
ことによって、本発明に従うチャンバや本発明に従う複
合チャンバのいずれにおいても、他のチャンバを配置す
るための製造フレキシビリティーがいっそう増す。これ
は、請求項６の文言に対応している。
【００１５】さらに、特に円板状工作物を保持するのに
適したプレート状の工作物保持具の代わりに、他の、た
とえばトング状の工作物保持具を、特に処理すべき工作
物の立体形状に合わせて設けることももちろん可能であ
る。
【００１６】チャンバもしくは複合チャンバの開口部を
請求項７および／または８の文言に従って配置すること
によって、上記のチャンバの組み合わせ、もしくは他の
チャンバを有する複合チャンバ、およびそのコンパクト
な空間的編成に関して、組み合わせの大きいフレキシビ
リティーが可能となる。
【００１７】軸方向および半径方向に移動できる搬送装
置を有する本発明のチャンバであるか、さしあたり軸方
向にのみ移動できる搬送装置を有する本発明の複合チャ
ンバであるかにかかわらず、請求項９の文言に従い、供
給された開口部を閉じるために、搬送装置の軸方向移動
を利用することを提案する。この場合、当該開口部によ
って連通するチャンバの必要な雰囲気分離に応じて密な
いし気密に閉じる。
【００１８】さらに、本発明のチャンバもしくは複合チ
ャンバにおいて半径方向にも移動できる搬送装置を設け
ることに関連して、請求項１０の文言に従い、請求項９
に関して説明したのと類似の方策を提案する。
【００１９】チャンバもしくは複合チャンバの他の好適
な実施態様が、請求項１１から１６に記載されている。
【００２０】さらに、冒頭に記載した搬送問題は、請求
項１７の特徴部に記載された特徴を有する方法によって
解決される。
【００２１】
【実施例】以下に、本発明の実施例を図面に基づいて詳
細に説明する。図１〜４に、本発明が組み込まれた好適
な設備が模式的に示されている。この設備は、チャンバ
１とチャンバ３およびチャンバ１，３を連結する中間チ
ャンバ３ａを包含している。
【００２２】チャンバ１の中心には、例示されているよ
うに、６つのアーム９をもつ星形搬送部材７が回転可能
に支持され、電動機５で制御駆動されている。星形搬送
部材は軸線Ａ７の回りを回転できる。軸線Ａ７に対して
平行なチャンバ１の外壁１１は、少なくとも２つの開口
部１３ａおよび１３ｂを有している。アーム９の軸線Ａ
９が星形部材７の回転によって、これらの開口部に整合
する。アーム９は、星形搬送部材７に組み込まれた駆動
手段（図示せず）により、半径方向すなわち軸線Ａ９の
方向に直線的に伸ばしたり戻したりできる。直線駆動手
段は蛇腹１５によって包囲されている。アーム９、すな
わち軸線Ａ７を基準として半径方向に移動できる腕部の
端部には、それぞれ１つの搬送用ボックス１７が取り付
けられている。この搬送用ボックスは、図２に詳細に模
式的に示されている。図１と図４を比較すると分かるよ
うに、搬送用ボックス１７は、軸線Ａ７に対して平行方
向において、これと横断方向、すなわち包囲方向におけ
るより幅が著しく広くなっている。開口部１３ａもしく
は１３ｂは対応してスリット状に形成されている。
【００２３】軸線Ａ７の方向で見ると、各々のボックス
１７には、たとえば図２に示されているように形成され
た搬送トング１９（図２）を備えた搬送装置１８が、軸
線Ａ１９回りを旋回できるように支持されて載ってい
る。搬送トング１９は、２つのトング腕部１９ａ，１９
ｂを有している。トング腕部１９ａ，１９ｂは、旋回軸
２３ａ，ｂ回りを回転できるように支持部２１に支持さ
れており、ローラ２４を介して互いに係合しており、図
２に示されている閉鎖位置にばね等（図示せず）によっ
て付勢されている。さらに、トング腕部１９ｂには、ト
ングを開放したり閉鎖したりするために操作ローラ２５
が設けられている。
【００２４】上述のように、トング１９と支持部２１に
よって形成された搬送装置１８は、ボックス１７に旋回
できるように支持されている。搬送装置１８に回転しな
いように取り付けられている伝動体２６は、第１のレバ
ー２８が回転しないように配置されている。第１のレバ
ー２８は軸受３２で第２のレバー３０に回転可能に支持
されている。レバー３０の、軸受３２と反対側の端部
は、組立板３４を介して、アーム９の半径方向に固定さ
れた腕部に、軸受３６で回転可能に支持されている。
【００２５】上述の配置構成は次のように作動する。図
２に従い、トングが閉じた位置にあって、たとえば円板
状工作物４０を保持している搬送装置１８の旋回位置か
ら出発して、星形搬送部材７は軸線Ａ７回りを任意の位
置に旋回できる。この場合、それぞれのアーム固有の半
径方向駆動手段によって、ボックス１７は軸線Ａ７の方
向に戻されている。
【００２６】図２に示されているように、開口部の１
つ、たとえば１３ｘに供給する場合、アーム９の軸線Ａ
９、したがってトング１９の旋回面は、スリット状開口
部１３ｘに整合している。このとき、当該アーム９と連
携している駆動手段によって、ボックス１７が開口部１
３ｘの方向に送られる。それによって生じる軸線Ａ１９
および伝動体２６の直線運動に基づいて、第１のレバー
２８は軸受３２の回りを旋回する。レバー２８は伝動体
２６に、また伝動体２６は搬送装置１８に回転しないよ
うに取り付けられているので、搬送装置１８は、図２に
破線で示されているように、開口部１３ｘを貫通して旋
回し、同時にボックス１７と一緒に直線状に移動する。
この場合、ボックス１７はチャンバ１の外壁１１に静止
して開口部１３ｘを、２つのチャンバ１と３の分離に対
する要求に応じて、好ましくは密閉し、必要に応じて気
密に閉じている。
【００２７】図２に示されているように、ボックス１７
はチャンバ１内にとどまっているが、トング１９によっ
て形成された工作物保持具は、開口部１３ｘを貫通し
て、完全にチャンバ３もしくは３ａ内に旋回している。
【００２８】図２には、搬送装置１８の必要な旋回運動
に対して、ボックス１７の不必要に長い直線ストローク
が示されている。しかし、さらに図３の表現を見れば、
当業者ならば、軸線Ａ１９と軸受３２の間のレバー２８
の長さを短縮することにより、はるかに短い直線ストロ
ークＨで、支持部２１の、したがって搬送装置１８の同
じ旋回運動を実現できることを容易に理解する。
【００２９】したがって、実際上任意の小さい直線スト
ロークＨと、このために設けられる駆動・密閉部材を対
応して最小限にすることによって、所望の旋回運動を実
現でき、それとともに工作物４０の軸線Ａ１９回りの旋
回半径に基づいて、開口部１３ｘを貫通する所望のスト
ロークを実現できる。
【００３０】図２に模式的に示されているように、チャ
ンバ３もしくは３ａ内にラム４２が配置されている。ラ
ム４２の端部のローラ４３は、制御されてトング１９の
ローラ２５に作用してトング１９を開かせ、工作物４０
の拘束を解除させる。
【００３１】図１〜４に示されている好適な実施態様に
おいて、チャンバ１とチャンバ３の間に、中間スルース
チャンバ３ａが設けられている。その機能は、以下にチ
ャンバ３に関して行う説明からすぐに明らかになる。
【００３２】特に図４から明らかなように、チャンバ３
は電動機４７によって軸線Ａ４３回りを回転駆動される
半径方向アーム４５を有する星形搬送部材４３を含んで
いる。半径方向アーム４５には、図示されているよう
に、たとえば４つの軸方向アーム４９が軸線Ａ４３に対
して平行に突き出している。アーム４９の端部は、搬送
用プレート５１、又は図示されていない機械式、空気圧
式または磁気式保持具を担持する。プレート５１は、ア
ーム４９とそれぞれ連携している蛇腹５３によって包囲
された駆動手動によって、軸線Ａ４３に対して平行かつ
直線状に伸ばしたり戻したりできる。
【００３３】チャンバ３は、軸線Ａ４３回りを回転する
とプレート５１が貫通する円軌道に合わせて、たとえば
２つの開口部５５ａおよび５５ｂを有している。プレー
ト５１は、それぞれの開口部５５に向かって進出し、こ
の開口部を密封部材（図示せず）で密閉し、もしくは気
密に閉じるように形成されている。気密に閉じる必要が
ない場合は、ボックス１７とチャンバ１の壁１１におけ
るように、すきま止めで十分である。さらに、プレート
５１は開口部５５の緑部５６を越えてチャンバ３から軸
方向に突き出しているが、伸びた状態ではプレート５１
は開口部を閉じる。
【００３４】ここでまず、中間スルースチャンバ３ａを
通して開口部１３ａと連通している開口部５５ａにおけ
る関係について見る。図４に示されているように、搬送
装置１８によって円板状工作物４０が図２に破線で示さ
れている位置に旋回した場合、ボックス１７はチャンバ
１側において開口部１３ａの縁に、要求された程度で密
に接する。次に、チャンバ３において開口部５５ａと連
携したアーム４９が制御されて軸方向に伸びることによ
って、プレート５１は開口部の縁５６に要求された程度
で密に接し、たとえば磁気式、空気圧式、機械式または
重力駆動により工作物４０を受け取る。工作物４０は図
２に従いラム４２の操作によってトング１９から解放さ
れる。このとき、当該アーム４９は戻ることができる。
【００３５】チャンバ３ａは、符号５７で模式的に示さ
れているように、チャンバ１および／または３と同様
に、独立にポンプで排気できる。
【００３６】それゆえ、中間スルースチャンバ３ａを通
る工作物搬送は、次のように行われる。
【００３７】ボックス１７によって開口部１３ａを要求
された程度で密に閉じる。トング１９は空である。プレ
ート５１に工作物を載せたアーム４９が開口部５５ａの
開口区域に旋回する。工作物４０を載せたプレート５１
が軸方向に移動し、プレート５１で開口部５５ａを要求
された程度で密に閉じる。必要に応じ、中間スルースチ
ャンバ３ａをポンプで排気する。トング１９が工作物を
受け取る。搬送装置１８が戻り旋回し、同時にボックス
１７が開口部１３ａの縁から離れる。
【００３８】あるいは、空のプレート５１が開口部５５
ａを要求された程度で密に閉じる。アーム９がボックス
１７およびトング１９につかまれた工作物４０と一緒に
開口部１３ａまで回転し、ボックス１７からトング１９
が工作物４０と一緒に開口部１３ａを越えて旋回し、同
時にボックス１７によって開口部１３ａを要求された程
度で密に閉じる。プレート５１によって工作物を磁気、
空気圧、機械または重力によって駆動されて工作物４０
を開口部５５ａ内に受け取る。中間スルースチャンバ３
ａをポンプ５７で排気する。プレート５１が戻り、星形
搬送部材４３がさらに回転する。
【００３９】上記の説明から、チャンバ３ａが、独立に
ポンプで排気でき、または容積が非常に小さいためにチ
ャンバ１と３の間で十分な雰囲気分離を保証する中間ス
ルースチャンバとして働くことが容易に分かる。中間ス
ルースチャンバ３ａを設ける必要がない場合は、プレー
ト５１が引き渡し開口部で密封機能を発揮することな
く、工作物受け取りはチャンバ３内において上述の方法
で直接行うことができる。上述の実施例では、引き渡し
連結部１３ａ，５５ａで、プレート５１は一方の閉鎖弁
として働き、ボックス１７は他方の閉鎖弁として働く。
【００４０】さらに、上述の好適な実施例において、開
口部５５ｂは供給・排出通路として形成されている。こ
のために気密に閉じることのできる閉鎖部材が、たとえ
ば標準雰囲気に対する閉鎖部材として設けられており、
一時的に開口部５５ｂに整合したプレート５１が第２の
閉鎖弁として作用する。
【００４１】このスルースチャンバの容積も極めて小さ
いため、このスルースチャンバをポンプで排気するため
にここでもポンプ５７を接続できる。
【００４２】上述したように、チャンバ１の開口部１３
ｂは、図１から分かるように、ボックス１７と搬送装置
１８によって、上記のチャンバ１の開口部１３ａと同じ
ように提供される。
【００４３】チャンバ１の外部では、この開口部１３ｂ
に、たとえば腐食チャンバまたは被覆チャンバなどの処
理チャンバ５２が配置されている。工作物４０が、ほぼ
全面が覆われずにトング１９で保持されて処理チャンバ
５２に送り込まれるという事実に基づいて、このような
処理ステーション５２で工作物を全面的に、特に両側の
円板面を同時に処理することが可能である。これは、た
とえば上記の面をプラズマ腐食するための電極および／
またはそれらの被覆するためのマグネトロン・スパッタ
リング源を両側に配置することによって行う。
【００４４】図５には、２つの独立したスパッタリング
源５３ａおよび５３ｂと遮蔽板５５とを有するチャンバ
５２の構成例が、上から見た断面図で模式的に示されて
いる。円板状工作物４０は、スパッタリング源５３ａお
よび５３ｂの間に挿入されており、両側がスパッタリン
グ源５３ａ，５３ｂによって処理される。
【００４５】このようなチャンバでは、たとえば独国特
許第３９３１７１３号によって知られているように、工
作物の両側を同時に被覆することもできる。
【００４６】以下に、原理的に異なるチャンバタイプに
ついて見る。これらのチャンバタイプでは搬送されたす
べての工作物は、工作物とずれた回転軸回りを回転す
る。さらに、工作物が半径方向、軸方向、または両方を
組み合わせて半径方向と軸方向に移動できるかによって
追加的に区別する。
【００４７】第１は、工作物が個々に回転搬送され回転
軸を基準に半径方向に送られる回転搬送チャンバであ
る。
【００４８】このようなチャンバは、図１に従うチャン
バ１を形成する。工作物４０は、特にアーム９の直線駆
動手段によって個々に半径方向において開口部１３の方
向に送られる。
【００４９】第２は、すべての工作物がメリーゴーラン
ド部材上に配置され、メリーゴーランド回転軸を基準に
半径方向に個々に送られる回転搬送チャンバである。
【００５０】このようなチャンバは、図６および７に模
式的に示されている。チャンバ１２０においてメリーゴ
ーランド部材１２４が、ω１に対応して、軸線Ａ１２４
回りを駆動されて回転するように軸受されている。この
場合、工作物、たとえば上記の種類の円板状工作物１２
６は保持具１２５に支持されている。軸線Ａ１２４と共
軸に少なくとも１つのラム１２８が、チャンバ１２０の
開口部１２２に合わせて、軸線Ａ１２４を基準に半径方
向に移動できるように、かつチャンバ１２０を基準に回
転しないように支持されて設けられている。メリーゴー
ランド部材によってそれぞれ供給されるべき開口部１２
２の１つに整合した工作物１２６は、このラムを用い
て、開口部１２２から押し出されたり、開口部１２２を
通ってメリーゴーランド部材１２４に戻されたりする。
場合により、半径方向に移動できるラム１２８は、ω２
ａで示されているように、破線で示された独立の回転駆
動手段１２４ｍによってメリーゴーランド部材１２４と
は独立に回転駆動可能である。
【００５１】図７に模式的に示されている実施態様で
は、メリーゴーランド部材１２４が円板状工作物１２６
を支持しているので、円板面は回転軸Ａ１２４に対して
垂直な面上を回転搬送される。ラム１２８は対応して形
成されており、図６の構成と類似に、回転しないよう
に、またはチャンバ１２０内のメリーゴーランド部材１
２４とは独立に回転駆動されて支持されている。ラム１
２８は、チャンバ１２０の、半径方向にスリット状にな
っている開口部１２２ａに作用する。メリーゴーランド
部材１２４の駆動手段は、たとえばＰで模式的に示され
ているように、メリーゴーランド部材１２４の周縁で行
うことができる。
【００５２】第３は、工作物が工作物とずれた軸線の回
りを回転搬送され、しかも回転軸に付して平行な方向に
個々に送られる回転搬送チャンバである。
【００５３】このようなチャンバは、図１のチャンバ３
によって形成されている。工作物は軸方向に伸ばしたり
戻したりできるアーム４９を用いて、回転軸Ａ４３に対
して平行に軸方向に移動する。
【００５４】第４は、第３のチャンバと同じように軸方
向移動が行われるが、さらに工作物のための軸方向移動
部材よりはるかに多い数の工作物がメリーゴーランド部
材で回転搬送される回転搬送チャンバである。
【００５５】図８，９に従い、このようなチャンバ６０
は、回転軸Ａ１２４の回りを回転駆動されるように支持
されたメリーゴーランド部材１２４を包含している。た
とえば円板状工作物１２６の円板面は、軸線Ａ１２４回
りの回転面上に支持されている。軸線Ａ１２４に対して
平行に伸ばしたり戻したりできるラム１２８が、チャン
バ６０の少なくとも１つの開口部１２２に整合して、チ
ャンバ６０のケーシングに固く取り付けられており、工
作物１２６が開口部１２２に回転整合すると、メリーゴ
ーランド部材１２４の操作開口部１３０を貫通して、軸
線Ａ１２４を基準に軸方向に工作物１２６を開口部１２
２の方向に持ち上げ、もしくは開口部１２２からメリー
ゴーランド１２４に戻す。
【００５６】図８に従えば、上述のように、ラム１２８
はチャンバ６０のケーシングに据え付けられているが、
図９に従えば、図６の実施態様と類似に、ラム１２８は
独立の回転駆動手段１２４ｍによって軸線Ａ１２４の周
囲を、メリーゴーランド部材１２４の回転運動とは独立
に駆動されて回転する。このチャンバタイプの別の態様
においては、軸方向ストロークをメリーゴーランド部材
それ自体によって行うことができる。
【００５７】第５は、工作物が回転軸回りを回転駆動さ
れ、さらにこの軸線を基準にそれぞれ個々に軸方向に送
られ、そのうえ上記の軸線を基準にそれぞれ個々に半径
方向にも送られる回転搬送チャンバ。このようなチャン
バは、図１および４のチャンバ１を１つに考え合わせ、
搬送装置１８を備えることによって形成されている。工
作物は一方では軸線Ａ４３回りを回転し、さらにアーム
４９の軸方向直線駆動手段によって軸方向に移動し、搬
送装置１８の作用により軸線Ａ４３を基準に半径方向に
も送られる。特に工作物が上記の回転軸を基準に軸方向
と半径方向のいずれにも、つまり回転軸たとえばＡ１２
４を包含する平面上を送られる、最後に述べたチャンバ
においては、図１〜４に従う実施態様の搬送装置１８で
実現されているような旋回搬送手段を設けることが非常
に好適である。
【００５８】工作物を上記の回転軸を基準に半径方向と
軸方向に搬送することは、メリーゴーランド構造におい
てももちろん実現できるが、製作コストはより大きい。
【００５９】以下に、これらの形状のチャンバを２つ以
上組み合わせて複合チャンバを形成できることを図１０
から１５に基づいて説明し、これらのチャンバによって
いかに弾力的に真空処理設備全体を編成できるかを示
す。上述したチャンバタイプは工作物がチャンバ内の回
転軸回りを回転搬送される点で共通しているが、設備全
体の構造には必要に応じ他のチャンバタイプが加わる。
【００６０】以下においてそれぞれのチャンバタイプを
簡単に参照できるように、次の定義を用いる。 ａ）ＥＡＳＫ：工作物を両方向に送り出すスルースチャ
ンバ。 ｂ）ＥＳＫ：工作物を１方向のみに送り出すスルースチ
ャンバ。 ｃ）ＢＥＡＫ：工作物に腐食または被覆などの表面処理
を施す処理チャンバ。 ｄ）ＲＡＤＫ：図１〜４にチャンバ１で示された、半径
方向に作用するタイプ１の回転星形チャンバ。 ｅ）ＲＡＫＡＫ：図６もしくは７に模式的に示された、
半径方向に作用するタイプ２のメリーゴーランド式チャ
ンバ。 ｆ）ＡＸＤＫ：図１〜４にチャンバ３によって示され
た、軸方向に作用するタイプ３の回転星形チャンバ。 ｇ）ＡＸＫＡＫ：図８もしくは９に模式的に示された、
軸方向に作用するタイプ４のメリーゴーランド式チャン
バ。 ｈ）ＡＸＲＡＤＫ：図１〜４に装置付きチャンバ３によ
って示された、軸方向と半径方向のいずれにも作用でき
るタイプ５の回転星形チャンバ。 ｉ）ＴＲ：２つのチャンバ開口部を有し、その間を何ら
かの方法で、たとえば公知の方法で工作物を搬送するそ
の他の搬送チャンバ。
【００６１】図１０では、２つのＲＡＤＫチャンバ６２
が組み合わされている。これらのチャンバは、アームを
１つ以上備え、回転駆動され、半径方向に作用する回転
星形部材６３を１つずつ有している。一方では２つのチ
ャンバ６２の間の連結開口部６５に工作物６７が供給さ
れ、他方では別の開口部６９に供給される。これらの開
口部６９には、タイプａ）〜ｉ）の任意のチャンバを接
続できる。
【００６２】この構成においては、星形搬送部材６３の
回転軸が平行であり、図示された２つのチャンバ６２を
基準として、上記の回転軸に対してほぼ垂直な平面上で
搬送される。
【００６３】半径方向に移動できる回転星形アームで作
用される開口部６５もしくは６９を、これらのアームに
よって、要求に応じて密閉し、もしくは気密に閉じるこ
とができる。
【００６４】図１１に従い、半径方向に作用する回転星
形ＲＡＤＫチャンバ６２は、半径方向に作用するメリー
ゴーランド式チャンバＲＡＫＡＫと協働する。このチャ
ンバは、工作物６７の保持部７３を備えた、軸線回りを
回転駆動されるメリーゴーランド部材７１を有してお
り、一方では共通開口部６５に作用し、他方では少なく
とも別の開口部６９に作用する。図示の例では、ＲＡＫ
ＡＫチャンバ７２に、回転せずに半径方向に移動できる
ラム７５が設けられている。ラム７５は工作物６７をメ
リーゴーランド部材の保持部７３から、それぞれの開口
部６５，６９に送ったり戻したりする。ここでも、工作
物は回転星形部材６３もしくはメリーゴーランド部材７
１の回転軸に対して垂直な平面上を搬送される。開口部
６９もしくは６５は、回転星形部材６３のアームの作
用、もしくはラム７５の作用によって、要求に応じて密
閉され、もしくは気密に閉じられる。ここでも開口部６
９には、タイプａ）〜ｉ）の別のチャンバを接続でき
る。
【００６５】図１１に従う回転星形チャンバ６２を、半
径方向に作用する第２のメリーゴーランド式チャンバＲ
ＡＫＡＫ７２で置き換えられることが容易に分かる。そ
うすることによって、図１０に回転星形チャンバについ
て示された構成と類似に、２つのＲＡＫＡＫチャンバか
ら複合チャンバが形成される。
【００６６】図１２では、半径方向に作用する回転星形
チャンバＲＡＤＫ６２が、軸方向に作用する回転星形チ
ャンバＡＸＤＫ８０と組み合わされている。ＡＸＤＫ８
０は、回転星形部材８１を有し、これに軸方向に駆動さ
れて移動できるラム８２が取り付けられている。半径方
向に移動できる回転星形部材６３のアームと、軸方向に
移動できる回転星形部材８１のラム８２によって、チャ
ンバ開口部６５が作用され、対応する回転星形部材６３
もしくは８１によって、チャンバ８０もしくは６２の他
の開口部６９が作用される。これらのチャンバには、タ
イプａ）〜ｉ）の別のチャンバを接続できる。これから
分かるように、ここでは工作物搬送は互いに上下する２
つの互いに垂直面上で実現される。回転星形部材６３の
アームと、回転星形部材８１のラムのいずれも、開口部
６５もしくは開口部６９を、要求に応じて密閉し、もし
くは気密に閉じることができる。
【００６７】図１２において半径方向に作用する回転星
形チャンバＲＡＤＫ６２の代わりに、同様に作用するメ
リーゴーランド式チャンバＲＡＫＡＫ７２を配置できる
ことは、容易に分かる。
【００６８】図１３では、図１２の軸方向に作用する回
転星形チャンバＡＸＤＫ８０の代わりに、軸方向に作用
するメリーゴーランド式チャンバＡＸＫＡＫ８５が設け
られている。これは、工作物保持部８９を備えた、たと
えば円板状のメリーゴーランド部材８７を有している。
軸方向に移動できるラム８８は、開口部６５もしくは開
口部６９に整合して、工作物保持具８９に保持された工
作物をメリーゴーランド部材から上記の開口部に持ち上
げ、または工作物を保持具８９に戻す。ここでも工作物
の搬送は、２つの垂直面で行われる。回転星形部材６３
のアームもしくはラム８８は、開口部６５もしくは６９
を、要求に応じて密閉し、ないしは気密に閉じることが
できる。ここでも開口部６９には、タイプａ）〜ｉ）の
別のチャンバを接続できる。図１４から、半径方向に作
用する回転星形チャンバＲＡＤＫ６２を、図１１に従い
半径方向に作用するメリーゴーランド式チャンバＲＡＫ
ＡＫ７２に置き換えられることは容易に分かる。
【００６９】図１４には、半径方向に作用する回転星形
チャンバＲＡＤＫ６２と、軸方向および半径方向に作用
する回転星形チャンバＡＸＲＡＤＫ９０からなる構成が
示されている。ＡＸＲＡＤＫ９０は回転星形部材９１を
包含している。回転星形部材９１は、一方の側に半径方
向に伸びることのできるアーム９３を包含しており、こ
れに軸方向に伸ばしたり戻したりできるラム９５が支持
されている。
【００７０】この実施態様を、軸方向のみに移動できる
ラム８２が設けられている図１２の実施態様と比較する
と、図１４に従う構成の本質的な長所が明らかである。
図８ｃでは星形部材８１の回転軸を基準としたチャンバ
８０の直径の大きさは、ラム８２の軸方向移動によって
開口部６５に作用できるように選択しなければならない
が、図１４に従う実施態様では星形部材９１の回転軸を
基準としたチャンバ９０の直径は開口部６９に作用でき
る大きさにすればよい。対応するアーム９３は、たとえ
ば回転星形部材６１のある回転位置でのみ、半径方向に
伸びることができ、もっぱら軸方向移動によって開口部
６５を閉じる。したがって、９７の破線で示されている
ように、中間チャンバを通して開口部６５に作用するこ
とが可能となる。上述のように、この中間チャンバによ
って、星形部材９１の回転軸を基準としたチャンバ９０
の直径は、ある角度位置でのみ伸びることができる。
【００７１】開口部６９もしくは６５の気密に閉じるこ
とに関しては、図１０から１３に関連して説明したこと
があてはまる。さらに強調すべきことは、チャンバ９０
における軸方向および半径方向の搬送は、種々の態様で
実現できるということである。たとえば図１〜４に従う
実施態様で旋回搬送装置１８により好適に実現されてい
るような搬送手段を用いることによっても可能である。
【００７２】図１４に従う実施態様において半径方向に
作用する回転星形チャンバＲＡＤＫ６２の代わりに、図
１１に従う、半径方向に作用するメリーゴーランド式チ
ャンバＲＡＫＡＫ７２を設けることができることは、容
易に分かる。
【００７３】図１５には、軸方向に作用する２つの回転
星形チャンバＡＸＤＫ８０の組み合わせが示されてい
る。動作は容易に分かる。さらに、軸方向に移動するラ
ム８２を８２ａおよび８２ｂの対で配置でき、このよう
なラムによって、したがって同じ回転星形部材によっ
て、回転面の両側に配置された開口部６９に作用できる
ことが破線で示されている。同じ技術は、図１４に従い
半径方向および軸方向送りを有する回転星形部材ＡＸＲ
ＡＤＫについても実現できる。
【００７４】図１５の配置構成においてＡＸＤＫチャン
バ８０の１つに代えて図１３に従うＡＸＲＡＤＫチャン
バ８５を設けることは、容易に分かるように、問題なく
可能である。また、図１３のチャンバ８５に従う２つの
チャンバＡＸＫＡＫを連結することも問題なく可能であ
る。たとえば図１２に従うＡＸＤＫチャンバ８０におい
て、図１４に従いチャンバＡＸＲＡＤＫ９０を設けるこ
とも問題なく可能である。図１３に従うＡＸＫＡＫチャ
ンバ８５を、図１４に従うＡＸＲＡＤＫチャンバ９０と
組み合わせることも同様である。
【００７５】上述した複合チャンバにおいて個々のチャ
ンバをそれぞれ調整できるようにするには、それぞれの
チャンバにポンプ接続口、および必要に応じてガス入口
を設ければよい、ということは言うまでもなく明らかで
ある。
【００７６】上述した複合チャンバにより、最適に短い
搬送経路と短い搬送サイクルを有する、極めてコンパク
トな全体設備をモジュール工法で組み立てることができ
る。
【００７７】上述の方法もしくは設備は、特にＣＤやハ
ードディスクなどの、磁気記憶媒体用ディスクに適して
いる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のチャンバ、本発明の複合チャンバおよ
び本発明の搬送方法が好適な仕方で実現されている密閉
処理装置の側面断面図である。
【図２】図１の装置における引き渡し部分の拡大図であ
る。
【図３】図２の搬送装置の概略図である。
【図４】図１の装置における引き渡し部分の平面断面図
である。
【図５】図１の装置に配置された、円板状工作物の両面
スパッタリングのための腐食チャンバの平面断面図であ
る。
【図６】本発明の複合チャンバにおける可能なチャンバ
として、半径方向に作用されるチャンバ開口部を有す
る、メリーゴーランド式搬送チャンバの模式的な縦断面
図である。
【図７】本発明の複合チャンバにおける可能なチャンバ
として、半径方向に作用されるチャンバ開口部を有す
る、メリーゴーランド式チャンバの他の実施態様の図６
に準じた図である。
【図８】本発明の複合チャンバにおける可能なチャンバ
として、軸方向に作用されるチャンバ開口部を有する、
メリーゴーランド式チャンバの図６に準じた図である。
【図９】図８に従うチャンバの他の実施態様である。
【図１０】コンパクトな密閉処理設備を構成するための
最小編成における種々のタイプのチャンバの第１の組み
合わせを示す図である。
【図１１】コンパクトな密閉処理設備を構成するための
最小編成における種々のタイプのチャンバの第２の組み
合わせを示す図である。
【図１２】コンパクトな密閉処理設備を構成するための
最小編成における種々のタイプのチャンバの第３の組み
合わせを示す図である。
【図１３】コンパクトな密閉処理設備を構成するための
最小編成における種々のタイプのチャンバの第４の組み
合わせを示す図である。
【図１４】コンパクトな密閉処理設備を構成するための
最小編成における種々のタイプのチャンバの第５の組み
合わせを示す図である。
【図１５】コンパクトな密閉処理設備を構成するための
最小編成における種々のタイプのチャンバの第６の組み
合わせを示す図である。
【符号の説明】
１…搬送チャンバ ３…チャンバ ３ａ…スルースチャンバ ７…星型搬送部材 １３ａ，１３ｂ…開口部 １８…搬送装置 Ａ４３…軸線
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平６−264240（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−279987（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−184903（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−30320（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−268044（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G11B 5/84 G11B 7/26 B23P 19/00 C23C 16/44 H01L 21/02

Claims (36)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 二つ以上の外側開口部と、前記外側開口
    部に角度を合わせて軸線回りを旋回できる搬送手段とを
    有する少なくとも工作物を少なくとも一時的に真空雰囲
    気で搬送するためのチャンバ（３）において、搬送装置
    （４９，１８）が設けられ、前記工作物を前記軸線（Ａ
    ４３）に関して軸方向と半径方向のいずれにも搬送でき
    るように、前記搬送装置の第一部分が駆動されて前記軸
    線（Ａ４３）に対して平行に直線移動可能であり、前記
    搬送装置の第二部分が駆動されて前記軸線（Ａ４３）に
    対して半径方向に直線移動可能であることを特徴とする
    チャンバ。
  2. 【請求項２】 前記工作物は円板状工作物であることを
    特徴とする請求項１に記載のチャンバ。
  3. 【請求項３】 前記工作物は記憶媒体用ディスクである
    ことを特徴とする請求項１又は２に記載のチャンバ。
  4. 【請求項４】 前記搬送装置（４９，８２）の前記第一
    部分を軸方向に移動させるための駆動手段が、前記搬送
    手段（４３，８１）に取り付けられていることを特徴と
    する請求項１から３のいずれか一項に記載のチャンバ。
  5. 【請求項５】 前記搬送装置（４９，８２）が、前記軸
    線に平行で前記軸線からずれているアームを一つ以上有
    しており、前記アームの少なくとも一端が好ましくはプ
    レート状の工作物保持具を有していることを特徴とする
    請求項１から４のいずれか一項に記載のチャンバ。
  6. 【請求項６】 前記アームの両端（８２，８２ｂ）に、
    前記好ましくはプレート状の工作物保持具が設けられて
    いることを特徴とする請求項５に記載のチャンバ。
  7. 【請求項７】 前記チャンバ（３，８０）の前記外側開
    口部（５５，６５）の一つが、前記軸線に対して実質的
    に平行な法線を有する開口平面を確定することを特徴と
    する請求項１から６のいずれか一項に記載のチャンバ。
  8. 【請求項８】 前記チャンバ（３）の前記外側開口部の
    少なくとも一つ（１３ａ）が、前記軸線（Ａ４３）に対
    して実質的に垂直な法線を有する開口平面を確定するこ
    とを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載の
    チャンバ。
  9. 【請求項９】 前記チャンバ（３，９０）の前記外側開
    口部（５５，６５）の少なくとも一つが、前記軸線に対
    して実質的に平行な法線を有する開口平面を確定し、前
    記搬送装置（４９，９５）のプレート状の工作物保持具
    が、前記少なくとも一つの外側開口部に整合して前記軸
    線に対しての軸方向に移動して、前記少なくとも一つの
    外側開口部を閉じ、又は、密閉し、又は、気密に閉じる
    ことを特徴とする請求項１から８のいずれか一項に記載
    のチャンバ。
  10. 【請求項１０】 前記チャンバの前記外側開口部の少な
    くとも一つが、前記軸線に対して実質的に垂直な法線を
    有する開口平面を確定し、前記搬送装置が前記少なくと
    も一つの外側開口部を閉じ、又は、密閉し、又は、気密
    に閉じるように形成されていることを特徴とする請求項
    １から９のいずれか一項に記載のチャンバ。
  11. 【請求項１１】 前記搬送手段が前記搬送装置の前記第
    二部分を半径方向に移動するための駆動手段（９３）を
    有していることを特徴とする請求項１から１０のいずれ
    か一項に記載のチャンバ。
  12. 【請求項１２】 前記搬送装置の前記第一部分を軸方向
    に移動するための駆動手段及び前記搬送装置の前記第二
    部分を半径方向に移動するための駆動手段の少なくとも
    一方（１８）が、前記チャンバ（３）の外側に配置され
    ていることを特徴とする請求項１から１０のいずれか一
    項に記載のチャンバ。
  13. 【請求項１３】 前記工作物は円板状工作物であり、前
    記搬送手段（６３）が前記軸線回りを旋回する時に、工
    作物保持具に保持された前記円板状工作物の円板面が前
    記軸線に対して垂直な面上を進むように、前記工作物保
    持具が前記搬送手段（６３）に配置されていることを特
    徴とする請求項１から１２のいずれか一項に記載のチャ
    ンバ。
  14. 【請求項１４】 二つ以上の開口部（１３，６９）を有
    するもう一つの搬送チャンバが、前記チャンバ（３，９
    ０）の前記外側開口部（１３ａ，５５ａ；６５）の一つ
    の近傍に連通して配置され、前記もう一つの搬送チャン
    バは、もう一つの搬送装置（７，６３）を有し、前記も
    う一つの搬送装置が前記搬送装置から前記工作物を直接
    的に受け取るように、前記もう一つの搬送装置は、共通
    開口部（６５）又はスルースチャンバ（３ａ）を通して
    前記搬送装置（４９，８２）と駆動結合していることを
    特徴とする請求項１から１３のいずれか一項に記載のチ
    ャンバ。
  15. 【請求項１５】 前記搬送装置（４９）が、第一の閉鎖
    弁として、前記チャンバ（３）の前記外側開口部の少な
    くとも一つ（５５ｂ）を閉じ、又は、密閉し、又は、気
    密に閉じ、閉鎖部材が、第二の閉鎖弁として、前記搬送
    装置から離間して対向し、前記少なくとも一つの外側開
    口部を閉じ、又は、密閉し、又は気密に閉じ、それによ
    り、前記少なくとも一つの外側開口部の軸線方向に延在
    するスルースチャンバが設けられることを特徴とする請
    求項１から１４のいずれか一項に記載のチャンバ。
  16. 【請求項１６】 前記搬送装置（４９）及び前記もう一
    つの搬送装置（７）は、前記スルースチャンバを閉鎖す
    る弁として機能することを特徴とする請求項１４に記載
    のチャンバ。
  17. 【請求項１７】 二つ以上の外側開口部と、前記外側開
    口部に角度を合わせて軸線回りを旋回できる搬送手段と
    を有する少なくとも工作物を少なくとも一時的に真空雰
    囲気で搬送するためのチャンバを具備する複合チャンバ
    において、搬送装置（４９，８２）が設けられ、前記搬
    送装置は、駆動されて前記軸線に対して平行に直線移動
    可能であり、前記工作物のための一つ以上の開口部（１
    ３ｂ，６９）を有するもう一つの搬送チャンバの開口部
    は、前記チャンバ（３，８０）の前記外側開口部（１３
    ａ，６５）の一つと連通するように配置され、前記もう
    一つの搬送チャンバは、もう一つの搬送装置（７，６
    ３）を有し、前記もう一つの搬送装置が前記搬送装置か
    ら前記工作物を受け取るように、又は、前記搬送装置が
    前記もう一つの搬送装置手段から前記工作物を受け取る
    ように、前記もう一つの搬送装置は、共通開口部（１３
    ａ，６５）又はスルースチャンバ（３ａ）を通して前記
    チャンバ（３，８０）の前記搬送装置（４９，８２）と
    駆動結合していることを特徴とする複合チャンバ。
  18. 【請求項１８】 前記工作物は円板状工作物であること
    を特徴とする請求項１７に記載の複合チャンバ。
  19. 【請求項１９】 前記工作物は記憶媒体用ディスクであ
    ることを特徴とする請求項１７又は１８に記載の複合チ
    ャンバ。
  20. 【請求項２０】 前記搬送装置は、前記工作物を前記軸
    線に関して軸方向と半径方向のいずれにも搬送できるよ
    うに、駆動されて前記軸線に対して平行に直線移動可能
    な第一部分と、駆動されて前記軸線に対して半径方向に
    直線移動可能な第二部分とを有することを特徴とする請
    求項１７から１９のいずれか一項に記載の複合チャン
    バ。
  21. 【請求項２１】 前記搬送装置の前記第一部分を軸方向
    に移動する駆動手段は、前記搬送手段に配置されている
    ことを特徴とする請求項１７から２０のいずれか一項に
    記載の複合チャンバ。
  22. 【請求項２２】 前記搬送装置が、前記軸線に平行で前
    記軸線からずれているアームを一つ以上有しており、前
    記アームの少なくとも一端が好ましくはプレート状の工
    作物保持具を有していることを特徴とする請求項１７か
    ら２１のいずれか一項に記載の複合チャンバ。
  23. 【請求項２３】 前記アームの両端に、前記好ましくは
    プレート状の工作物保持具が設けられていることを特徴
    とする請求項２２に記載の複合チャンバ。
  24. 【請求項２４】 前記チャンバの前記外側開口部の一つ
    が、前記軸線に対して実質的に平行な法線を有する開口
    平面を確定することを特徴とする請求項１７から２３の
    いずれか一項に記載の複合チャンバ。
  25. 【請求項２５】 前記チャンバの前記外側開口部の少な
    くとも一つが、前記軸線に対して実質的に垂直な法線を
    有する開口平面を確定することを特徴とする請求項２０
    から２４のいずれか一項に記載の複合チャンバ。
  26. 【請求項２６】 前記チャンバの前記外側開口部の少な
    くとも一つが、前記軸線に対して実質的に平行な法線を
    有する開口平面を確定し、前記搬送装置のプレート状の
    工作物保持具が、前記少なくとも一つの外側開口部に整
    合して前記軸線に対しての軸方向に移動して、前記少な
    くとも一つの外側開口部を閉じ、又は、密閉し、又は、
    気密に閉じることを特徴とする請求項１７から２５のい
    ずれか一項に記載の複合チャンバ。
  27. 【請求項２７】 前記チャンバの前記外側開口部の少な
    くとも一つが、前記軸線に対して実質的に垂直な法線を
    有する開口平面を確定し、前記搬送装置が前記少なくと
    も一つの外側開口部を閉じ、又は、密閉し、又は、気密
    に閉じるように形成されていることを特徴とする請求項
    ２０から２６のいずれか一項に記載の複合チャンバ。
  28. 【請求項２８】 前記搬送手段が前記搬送装置の前記第
    二部分を半径方向に移動するための駆動手段を有してい
    ることを特徴とする請求項２０から２７のいずれか一項
    に記載の複合チャンバ。
  29. 【請求項２９】 前記搬送装置の前記第一部分を軸方向
    に移動するための駆動手段及び前記搬送装置の前記第二
    部分を半径方向に移動するための駆動手段の少なくとも
    一方が、前記チャンバの外側に配置されていることを特
    徴とする請求項２０から２７のいずれか一項に記載の複
    合チャンバ。
  30. 【請求項３０】 前記工作物は円板状工作物であり、前
    記搬送手段が前記軸線回りを旋回する時に、工作物保持
    具に保持された前記円板状工作物の円板面が前記軸線に
    対して垂直な面上を進むように、前記工作物保持具が前
    記搬送手段に配置されていることを特徴とする請求項２
    ０から２７のいずれか一項に記載の複合チャンバ。
  31. 【請求項３１】 前記搬送装置が、第一の閉鎖弁とし
    て、前記チャンバの前記外側開口部の少なくとも一つを
    閉じ、又は、密閉し、又は、気密に閉じ、前記もう一つ
    の搬送装置が、第二の閉鎖弁として、前記もう一つの搬
    送チェンバの前記開口部を閉じ、又は、密閉し、又は気
    密に閉じ、それにより、前記チェンバの前記少なくとも
    一つの外側開口部と前記もう一つの搬送チェンバの前記
    開口部との間にスルースチャンバが設けられることを特
    徴とする請求項１７から３０のいずれか一項に記載の複
    合チャンバ。
  32. 【請求項３２】 前記搬送装置及び前記もう一つの搬送
    装置は、前記スルースチャンバを閉鎖する弁として機能
    することを特徴とする請求項３１に記載の複合チャン
    バ。
  33. 【請求項３３】 工作物を真空設備内部で搬送する方法
    において、前記工作物は、所定の円軌道に沿って旋回さ
    せられ、前記円軌道から軸方向及び半径方向に移動させ
    られることを特徴とする方法。
  34. 【請求項３４】 工作物を真空処理部署へ及び前記真空
    処理部署から移動させて真空処理工程によって工作物を
    製造する方法において、前記工作物の移動中に、所定の
    円軌道に沿って前記工作物を移動させる段階と、前記円
    軌道から軸方向及び半径方向に前記工作物を移動させる
    段階とを実施することを特徴とする方法。
  35. 【請求項３５】 前記工作物は円板状工作物であること
    を特徴とする請求項３３又は３４に記載の方法。
  36. 【請求項３６】 前記工作物は記憶媒体用ディスクであ
    ることを特徴とする請求項３３から３５のいずれか一項
    に記載の方法。
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