KR940006237A - 웨이퍼 생산과정에서의 홈(flaw) 진단 검사회로 - Google Patents

Abstract

본 발명은 웨이퍼가 생산되는 어떠한 과정에서도 A-C 결함을 신속하게 탐지해내는 한 집적회로검사 웨이퍼를 제공한다. 이와같은 검사웨이퍼는 한 주(major)표면이 있는 반포체 기질, 그리고 웨이퍼 표면 대부분에서 반복적으로 집적되는 진단회로를 포함한다. 각 진단회로는 a)각각의 주기적 출력신호를 발생시키는 다수의 링 발진기, b)외부 입력신호를 수신하며 이에 응답하여 다수의 발진기중 어떠한 특정링 발진기로부터의 출력신호도 선택하는 한 주소지정회로, c)일정 시간간격으로 한타이밍신호를 발생시키는 타이밍회로, 그리고 d)그와 같은 일정한 시간간격중에 선택된 출력신호에서 발생되는 주기수를 계수하고 그주기수를 이들 상대적 또는 절대적 속도를 비교하므로써, A-C결함을 갖는 링발진기가 탐지된다. 결함이 있는 링발진기가 다음에 E-비임 현미경으로 분석되어 결합원인을 결정하도록 한다.

바람직하게는 링 발진기는 검사웨이퍼 표면의 적어도 90%를 검유하며 따라서 A-C결함은 이들이 검사웨이퍼상에서 드문드문 분산되어 있는 때에도 탐지되도록 한다.

Description

웨이퍼 생산과정에서의 홈(flaw) 진단 검사회로

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제3도는 제2도 진단회로의 논리적도표,

제4도는 제3도 진단회로에서 다중적 시간에 발생되는 링발진기의 세부 사항을 도시한 도면.

Claims (10)

1. 주 표면을 갖는 반도체 기질, 그리고 상기 표면 대부분에서 반복적으로 집적되는 진단회로를 포함하며, 각 진단회로가 각각의 주기적을 출력신호를 발생시키는 다수의 링 발진기, 외부 입력신호를 수신하며 이에 응답하여 다수의 발진기중 어떠한 특정링 발진기로부터의 출력신호를 선택하는 한 주소 지정회로, 일정 시간간격으로 한타이밍신호를 발생시키는 타이밍회로; 그리고 그와 같은 일정한 시간간격중에 선택된 출력신호에서 발생되는 주기수를 계수하고 그 주기수를 한 출력으로 제공하는 계수회로를 포함함을 특징으로 하는 웨이퍼가 생산되는 어떠한 과정에서의 홈도 탐지하는 집적회로 검사회로.
2. 제1항에 있어서, 상기 타이밍회로가 주기적 기준신호를 발생시키는 한 기중링 발진기. 그리고 상기 기준신호내 예정된 주기수를 계수하므로써 상기 타이밍신호를 발생시키는 한 기준계수기를 포함함을 특징으로 하는 검사웨이퍼.
3. 제2항에 있어서, 상기 기준 계수기가 상기 타이밍 신호를 발생시키기 위해 적어도 100주기의 기준신호를 계수함을 특징으로 하는 검사웨이퍼.
4. 제1항에 있어서, 상기 타이밍신호가 한 외부소스로부터 한 주기적 기준신호를 수신하는 한 논리게이트, 그리고 상기 기준신호내 에정된 주기수를 계수하므로써 상기 타이밍신호를 발생시키는 한 기준계수기를 포함함을 특징으로 하는 검사웨이퍼.
5. 제4항에 있어서, 상기 기준신호의 상기 타이밍신호를 발생시키기 위해 적어도 상기 기준신호의 100주기를 계수함을 특징으로 하는 검사웨이퍼.
6. 제1항에 있어서, 상기 진단회로가 상기 기질 주표면중 적어도 90%상에서 반복됨을 특징으로 하는 검사웨이퍼.
7. 제1항에 있어서. 상기 다수의 링발진기가 상기 기질 주표면중 적어도 90%상에서 반복됨을 특징으로 하는 검사웨이퍼.
8. 제1항에 있어서, 상기 다수 발진기중 각 링 발진기가 각각이 하나의 각기 다른 논리기능을 수행하는 적어도 5개의 논리모듈로 구성한 한 직렬체인을 포함함을 특징으로 하는 검사웨이퍼.
9. 제1항에 있어서, 상기 다수 발진기중 각 링발진기가 논리모듈로 구성된 한 직렬 스트링을 포함하며, 각 스트링내 모듈의 수가 같지 않음을 특징으로 하는 검사웨이퍼.
10. 제1항에 있어서, 상기 다수 발진기중 각 링발진기가 논리모듈로 구성된 한 직렬 스트링을 포함하며, 각 스트링의 모듈사이 직렬 연결이 같은 길이가 아님을 특징으로 하는 검사웨이퍼.

    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.