JPS6110252A - ハンドリング装置のハンドリング方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明はハンドリング装置のハンドリング方法に関し、
特に半導体装置の測定及び分類時に用いるハンドリング
装置のハンドリング方法に関する。

（従来技術） 一般に、半導体装置を測定及び分類するハンドリング装
置は、大別して次の４つの動作を繰り返し行うハンドリ
ング方法によっている。すなわち第１の動作として半導
体装置を供給部より測定部へ移動する。第２の動作とし
て、半導体検査装置が半導体装置を測定する。第３の動
作として、半導体装置を測定部から分類を行う分類部へ
移動する。第４の動作として、測定結果により半導体装
置の良否判定及び良品のグレード等の分類を行い、分類
部より収納部へ移動する。１以上４つの動作である。又
、最近は、測定時に半導体装置の速度ヤ電力などを級別
して分類することが多くなってきており、特に半導体装
置及びハンドリング装置の効率的利用を目的に、多数個
の半導体装置を並列して測定する場合には、半導体装置
の分類を１個づつ分類するために、その分類に時間乞要
し、前記ハンドリング装置の第４の動作に要する時間の
測定１サイクルに占める時間の割合が大きくなる。

すなわち、従来のハンドリング装置のハンドリング方法
には、半導体装置の多数個並列測定用装置の作業効率を
下げるという欠点がある。

（発明の目的） 本発明の目的は、上記欠点を除去し、測定１サイクル当
りの時間を短かくする事が可能なハンドリング装置のハ
ンドリング方法を提供することにある。

（発明の構成） 本発明のハンドリング装置のハンドリング方法は、同時
に１個以上の製品の測定及び分類を行うハンドリング装
置のハンドリング方法において、製品の測定結果を記憶
しておき、次の製品の測定サイクルで前記記憶しておい
た測定結果をもとに製品の分類を行うことから構成され
る。

（実施例） 以下、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。

初めに、ハンドリング装置により半導体装置を測定する
のに要する測定１サイクル当りの測定時間ｔ−説明する
。説明に際してＡ、　　Ｂ、　　Ｃ，Ｄ’ｉ下記の様な
時間とする。

Ａ−半導体装置を供給部より測定部へ移動するのに要す
る時間。

Ｂ−半導体検査装置が半導体装置を測定するのに要する
時間。

Ｃ−半導体装置を測定部より分類部へ移動するの［要す
る時間。

Ｄ−測定結果により半導体装置の良否判定及び良品のグ
レード等の分類を行い、分類部より収納部へ移動するの
に要する時間。

第１図は本発明の一実施例による測定時間を示す図であ
る。第２図はこれに対し上記の従来の方法による測定時
間を示す図である。

第２図において、従来の方法によると、測定１サイクル
当りに要する時間は、上記の４つの動作に必要な、Ａ＋
Ｂ十〇十りとなっている。

これに対して、本実施例においては、製品の良否判定と
分類をあらかじめ記憶せしめて置いたデータに基づいて
、次の製品の測定と並列に行うよう制御されるので、測
定１サイクル当りに要する時間は、Ａ十Ｂ十〇となり短
縮される。すなわち、従来問題となっていた、製品の良
否判別・分類に要する時間を実質的に無視することがで
きる。

なお、本発明のハンドリング方法は、従来のハンドリン
グ装置に製品の測定結果を記憶しておき、次の製品の測
定サイクルで前記記憶しておいた測定結果をもとに製品
の分類を行う制御手段が必要であるが、これは、例えば
、シフトレジスタ等の記憶手段を用いることにより容易
に実現することができる。

（発明の効果） 以上、説明したように、本発明によれば、製品の測定結
果を記憶しておき、次の製品の測定サイクルで記憶して
おいた測定結果をもとに製品の分類を行うため、製品の
測定時間が短くなり結果として作業効率の高いハンドリ
ング装置のノ・ンドリンク方法を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例による測定時間を示す図、第
２図は従来例による測定時間金示す図である。 Ａ、　　Ｂ、　　Ｃ，Ｄ・・・・・・各段階毎の測定時
間。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 同時に１個以上の製品の測定及び分類を行うハンドリン
   グ装置のハンドリング方法において、製品の測定結果を
   記憶しておき、次の製品の測定サイクルで前記記憶して
   おいた測定結果をもとに製品の分類を行うことを特徴と
   するハンドリング装置のハンドリング方法。