JPH03136261A - 半導体装置の直流電流・電圧特性の測定方法 - Google Patents
半導体装置の直流電流・電圧特性の測定方法Info
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- JPH03136261A JPH03136261A JP1272783A JP27278389A JPH03136261A JP H03136261 A JPH03136261 A JP H03136261A JP 1272783 A JP1272783 A JP 1272783A JP 27278389 A JP27278389 A JP 27278389A JP H03136261 A JPH03136261 A JP H03136261A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
（産業上の利用分野）
本発明は半導体装置の測定に関するもので、特に直流電
流・電圧特性試験（以下、ＤＣテストと記す）に使用さ
れ、主に測定装置のソフトウェアとして活用される方法
である。
流・電圧特性試験（以下、ＤＣテストと記す）に使用さ
れ、主に測定装置のソフトウェアとして活用される方法
である。
（従来の技術）
本発明が適用されない半導体装置のＤＣテストの工程を
第２図に示す。
第２図に示す。
半導体装置の良品、不良品の選別のためのＤＣテストの
工程は、ＤＣ測定待ち時間、測定時間を設定するステッ
プ１１と、ＤＣ測定するステップ１２と、測定結果を出
力するステップ１３とからなっている。ここに、ＤＣ測
定待ち時間とは、被検体である半導体装置に電源を投入
する時点から測定装置から被検体の半導体装置に電圧を
印加する時点までの時間をいう。また、測定時間とは半
導体装置に電圧を印加する時点から半導体装置からの出
力を測定装置で測定する時点までの時間をいう。
工程は、ＤＣ測定待ち時間、測定時間を設定するステッ
プ１１と、ＤＣ測定するステップ１２と、測定結果を出
力するステップ１３とからなっている。ここに、ＤＣ測
定待ち時間とは、被検体である半導体装置に電源を投入
する時点から測定装置から被検体の半導体装置に電圧を
印加する時点までの時間をいう。また、測定時間とは半
導体装置に電圧を印加する時点から半導体装置からの出
力を測定装置で測定する時点までの時間をいう。
この時、１１のステップのＤ ＣＩＩ定待ち時間、測定
時間は試験の初めに一義的に決められていた。
時間は試験の初めに一義的に決められていた。
（発明が解決しようとする課題）
本発明が適用されない半導体装置の試験では、ＤＣテス
トを行うに際してＤＣ測定待ち時間、測定時間が固定の
為、測定値が適性であるかどうかの判断がしにくい。そ
のため、最適なりＣ測定待ち時間、測定時間にするため
には第２図における１１．１２．１３のステップを幾度
も繰り返しＤＣ測定待ち時間、測定時間を修正しては結
果を参照するという手順を行わなければならないという
問題点があった。
トを行うに際してＤＣ測定待ち時間、測定時間が固定の
為、測定値が適性であるかどうかの判断がしにくい。そ
のため、最適なりＣ測定待ち時間、測定時間にするため
には第２図における１１．１２．１３のステップを幾度
も繰り返しＤＣ測定待ち時間、測定時間を修正しては結
果を参照するという手順を行わなければならないという
問題点があった。
本発明の目的は、このような問題点を解決することであ
り、半導体装置の試験装置に於ける半導体測定のＤＣ待
ち時間、測定時間を自動的にシフト設定することをさら
に有するＤＣテスト測測定待時間、測定時間制御方法を
提供することである。
り、半導体装置の試験装置に於ける半導体測定のＤＣ待
ち時間、測定時間を自動的にシフト設定することをさら
に有するＤＣテスト測測定待時間、測定時間制御方法を
提供することである。
（課題を解決するための手段）
本発明は半導体装置の測定装置におけるＤＣテストプロ
グラムにおいて、測定結果を考慮して測定待ち時間と測
定時間を設定するステップと、直流電流・電圧測定を行
うステップと、測定結果を出力するステップと、この３
つのステップを繰す返し実行及び中止する条件を判別す
るステップから成ることをさらに有する直流電流・電圧
測定方法である。
グラムにおいて、測定結果を考慮して測定待ち時間と測
定時間を設定するステップと、直流電流・電圧測定を行
うステップと、測定結果を出力するステップと、この３
つのステップを繰す返し実行及び中止する条件を判別す
るステップから成ることをさらに有する直流電流・電圧
測定方法である。
（作 用）
上述のような方法により、測定結果からの情報を測定待
ち時間・測定時間の設定のステップにフィードバックさ
せて時間を設定することで、測定結果に影響の出るよう
な短かすぎる測定待ち時間・測定時間の設定を回避し、
又、必要以上に長い測定待ち時間・測定時間の設定によ
り、直流電流電圧特性試験の作業効率が低下することを
阻止でき、最適の時間設定を得ることができる。また、
この設定時間のための検討作業、比較推量の作業に測定
者の手による時間をかけずに、機械的に行うことができ
る。これにより、測定結果を測定者が検討し、改めて測
定待ち時間・＃ｊ定時間の設定をおこない、これを繰り
返すという作業を行わなくてすむ。これにより、特に半
導体装置を大量に検査する場合に、最適の時間の設定に
より、測定精度の向上、測定時間の短縮が可能となる。
ち時間・測定時間の設定のステップにフィードバックさ
せて時間を設定することで、測定結果に影響の出るよう
な短かすぎる測定待ち時間・測定時間の設定を回避し、
又、必要以上に長い測定待ち時間・測定時間の設定によ
り、直流電流電圧特性試験の作業効率が低下することを
阻止でき、最適の時間設定を得ることができる。また、
この設定時間のための検討作業、比較推量の作業に測定
者の手による時間をかけずに、機械的に行うことができ
る。これにより、測定結果を測定者が検討し、改めて測
定待ち時間・＃ｊ定時間の設定をおこない、これを繰り
返すという作業を行わなくてすむ。これにより、特に半
導体装置を大量に検査する場合に、最適の時間の設定に
より、測定精度の向上、測定時間の短縮が可能となる。
（実施例）
以下、図面を引用しながら本発明の詳細な説明する。
第１図は、本発明の一実施例を示しているフローチャー
トである。本発明の測定方法は、直流電流、電圧等の測
定装置とその測定結果をデータ処理する簡単なマイクロ
コンピュータ装置等で構成された半導体装置の測定装置
で活用される。
トである。本発明の測定方法は、直流電流、電圧等の測
定装置とその測定結果をデータ処理する簡単なマイクロ
コンピュータ装置等で構成された半導体装置の測定装置
で活用される。
本発明の測定方法の対象としてはオペアンプ、バイポー
ラトランジスタ、ＭＯＳＩＣ等が考えられ、直流電流電
圧の特性の測定が必要な半導体装置であれば、その対象
となる。
ラトランジスタ、ＭＯＳＩＣ等が考えられ、直流電流電
圧の特性の測定が必要な半導体装置であれば、その対象
となる。
第１図に示される直流電流・電圧測定方法において、２
５は測定結果を考慮して測定待ち時間と測定時間を設定
するステップである。ここでは以下に述べる測定結果を
検討したステップからの情報によりその設定時間を決定
している。２２は直流電流・電圧測定を行うステップ、
２３は測定結果を出力するステップである。また２６は
この３つのステップを繰り返し実行及び中止する条件を
判別するステップである。ここでは、測定結果の出力の
ステップ２３からの情報を検討して、記録しである理想
的な測定結果と実際の測定結果とを比較することにより
それが妥当であるかどうかの判断をおこなう。また更に
時間の設定を変えて繰り返し測定を行うべきかどうかの
判断を行い、その情報を２５の時間設定のステップにル
ープとして戻している（ＹＥＳの場合）。又は、そのま
まの測定結果をよしとして、測定作業を完了する（Ｎｏ
の場合）。
５は測定結果を考慮して測定待ち時間と測定時間を設定
するステップである。ここでは以下に述べる測定結果を
検討したステップからの情報によりその設定時間を決定
している。２２は直流電流・電圧測定を行うステップ、
２３は測定結果を出力するステップである。また２６は
この３つのステップを繰り返し実行及び中止する条件を
判別するステップである。ここでは、測定結果の出力の
ステップ２３からの情報を検討して、記録しである理想
的な測定結果と実際の測定結果とを比較することにより
それが妥当であるかどうかの判断をおこなう。また更に
時間の設定を変えて繰り返し測定を行うべきかどうかの
判断を行い、その情報を２５の時間設定のステップにル
ープとして戻している（ＹＥＳの場合）。又は、そのま
まの測定結果をよしとして、測定作業を完了する（Ｎｏ
の場合）。
又、２４は本発明の実施であるループを実行するか否か
を判断するステップであり、ＹＥＳを選択され場合は前
述したように測定待ち時間とｎ１定時間を設定するステ
ップ２５と、前記直流電流・電圧測定を行うステップ２
２と、前記測定結果を出力するステップ２３との反復を
行うが、Ｎｏの場合は、これらを回避し、−度だけの時
間設定と、測定とその出力を行う。これはすでに適切な
設定時間が明白な場合に、大量の半導体装置の測定を量
産的に行う場合に選択される。
を判断するステップであり、ＹＥＳを選択され場合は前
述したように測定待ち時間とｎ１定時間を設定するステ
ップ２５と、前記直流電流・電圧測定を行うステップ２
２と、前記測定結果を出力するステップ２３との反復を
行うが、Ｎｏの場合は、これらを回避し、−度だけの時
間設定と、測定とその出力を行う。これはすでに適切な
設定時間が明白な場合に、大量の半導体装置の測定を量
産的に行う場合に選択される。
なお、本発明は以上の実施例に限るものではなく、例え
ば以上の工程をコンピュータのソフトウェアという形で
活用するのではなく、例えば適性なアナログ回路とデジ
タル回路との構成によっても、もちろん可能であり、ま
た更に様々な変形が可能である。
ば以上の工程をコンピュータのソフトウェアという形で
活用するのではなく、例えば適性なアナログ回路とデジ
タル回路との構成によっても、もちろん可能であり、ま
た更に様々な変形が可能である。
本発明によれば、半導体装置の試験装置に於ける半導体
測定のＤＣテストに於いて、装置に設定された手順を踏
むことにより、最も時間が短く、又測定の精度に影響し
ない程度の、最適のＤＣ測定待ち時間、測定時間の設定
を自動的に行うことができる。これにより、本発明が適
用されない、無作為な時間設定を行う場合に比べて、測
定時間の短縮、測定精度の向上を図ることができる。
測定のＤＣテストに於いて、装置に設定された手順を踏
むことにより、最も時間が短く、又測定の精度に影響し
ない程度の、最適のＤＣ測定待ち時間、測定時間の設定
を自動的に行うことができる。これにより、本発明が適
用されない、無作為な時間設定を行う場合に比べて、測
定時間の短縮、測定精度の向上を図ることができる。
なお、上述の実施例では更に、本発明を実行するか否か
の分岐ステップを付加したために、適性な時間設定が決
定した後、時間設定と測定結果の検討のループから抜は
出して、決定した設定時間で連続的にｎノ定を継続でき
るので、量産的に大量の半導体装置の測定を行う場合、
非常に作業速度の向上を図ることができる。
の分岐ステップを付加したために、適性な時間設定が決
定した後、時間設定と測定結果の検討のループから抜は
出して、決定した設定時間で連続的にｎノ定を継続でき
るので、量産的に大量の半導体装置の測定を行う場合、
非常に作業速度の向上を図ることができる。
第１図は、本発明の実施例を示すフローチャート、第２
図は、本発明が適用されないＤＣテストのフローチャー
トである。 １１・・・ＤＣ測定待ち時間、測定時間設定ステップ、
１２．２２・・・ＤＣ測定実行ステップ、１３・・・測
定結果出力ステップ、２４・・・実行判断ステップ、２
５・・・ＤＣ測定タイムシフトステップ、２６・・・繰
り返し判断ステップ
図は、本発明が適用されないＤＣテストのフローチャー
トである。 １１・・・ＤＣ測定待ち時間、測定時間設定ステップ、
１２．２２・・・ＤＣ測定実行ステップ、１３・・・測
定結果出力ステップ、２４・・・実行判断ステップ、２
５・・・ＤＣ測定タイムシフトステップ、２６・・・繰
り返し判断ステップ
Claims (2)
- （１）半導体装置の試験において、測定結果を考慮して
測定待ち時間と測定時間を設定するステップと、直流電
流・電圧測定を行うステップと、測定結果を出力するス
テップと、この３つのステップを繰り返し実行及び中止
する条件を判別するステップを有することを特徴とする
直流電流・電圧測定方法。 - （２）前記測定待ち時間と測定時間を設定するステップ
と、前記直流電流・電圧測定を行うステップと、前記測
定結果を出力するステップとの反復を回避できるバイパ
スを選択できるステップをさらに有する特許請求の範囲
第１項記載の直流電流・電圧測定方法。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1272783A JP2582906B2 (ja) | 1989-10-21 | 1989-10-21 | 半導体装置の直流電流・電圧特性の測定方法 |
| KR1019900016660A KR930007486B1 (ko) | 1989-10-21 | 1990-10-19 | 반도체장치의 직류전류 · 전압특성의 측정방법 |
| EP90120128A EP0424825B1 (en) | 1989-10-21 | 1990-10-19 | Method for measuring DC current/voltage characteristic of semi-conductor device |
| DE69013459T DE69013459T2 (de) | 1989-10-21 | 1990-10-19 | Messverfahren für die Gleichstrom/Gleichspannungs-Charakteristik von Halbleiterbauteilen. |
| US07/965,613 US5389990A (en) | 1989-10-21 | 1992-10-22 | Method for measuring DC current/voltage characteristic of semiconductor device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1272783A JP2582906B2 (ja) | 1989-10-21 | 1989-10-21 | 半導体装置の直流電流・電圧特性の測定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03136261A true JPH03136261A (ja) | 1991-06-11 |
| JP2582906B2 JP2582906B2 (ja) | 1997-02-19 |
Family
ID=17518689
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1272783A Expired - Lifetime JP2582906B2 (ja) | 1989-10-21 | 1989-10-21 | 半導体装置の直流電流・電圧特性の測定方法 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5389990A (ja) |
| EP (1) | EP0424825B1 (ja) |
| JP (1) | JP2582906B2 (ja) |
| KR (1) | KR930007486B1 (ja) |
| DE (1) | DE69013459T2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP3442822B2 (ja) * | 1993-07-28 | 2003-09-02 | アジレント・テクノロジー株式会社 | 測定用ケーブル及び測定システム |
| US5818206A (en) * | 1995-04-21 | 1998-10-06 | Dell Usa L.P. | Method and apparatus for automatically detecting device specifications and providing a corresponding operating voltage |
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1989
- 1989-10-21 JP JP1272783A patent/JP2582906B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1990
- 1990-10-19 EP EP90120128A patent/EP0424825B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1990-10-19 DE DE69013459T patent/DE69013459T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1990-10-19 KR KR1019900016660A patent/KR930007486B1/ko not_active IP Right Cessation
-
1992
- 1992-10-22 US US07/965,613 patent/US5389990A/en not_active Expired - Lifetime
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR930007486B1 (ko) | 1993-08-11 |
| EP0424825A2 (en) | 1991-05-02 |
| DE69013459D1 (de) | 1994-11-24 |
| DE69013459T2 (de) | 1995-03-23 |
| KR910008421A (ko) | 1991-05-31 |
| EP0424825B1 (en) | 1994-10-19 |
| JP2582906B2 (ja) | 1997-02-19 |
| US5389990A (en) | 1995-02-14 |
| EP0424825A3 (en) | 1992-03-04 |
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