JPS59147276A - 電気特性検査用試験装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、ＩＣなどの電気装置の電気特性検査用試験装
置に関する。

〔従来技術〕

製造したＩＣはその製造歩留シや性能確認のために各種
の電気特性試験全必要とする。ＩＣの保守作業に際して
も、性能や機能のチェックのために各種の電気特性試験
を必要とする。

かかる電気特性試験は、短時間で終了することが好まし
い。特に多量のＩＣを次々に検査してゆく場合には、短
時間での測定は、検査作業の短縮化に欠かせない。

ＩＣの電気特性試験は先ず、試験用に電源電圧全印加す
る。電源印加後、即座に正式な検査を行うことは不可で
ある。これは電源印加後、過渡状態が存在するためであ
る。この過渡状態では、関連する端子電圧が零ボルトか
ら急激に立上シ、やがて飽和に至る経過をとる。

第１図に電源印加後の経過時間と端子応答電圧との関係
を示す。ここで端子応答電圧とは、■Ｃ全ソケットに差
込み゛電源電圧全印加すると同時に測定した端子直流電
圧である。電源電圧印加から測定開始までには、測定待
ち時間全必要とする。

この測定待ち時間内にあっては、斜線で示すようにＩＣ
の種類によって電圧の立上り方に巾がある。

従来は、こうした巾をふ捷えて、あらゆるＩＣの種類に
適合するように１測定待ち時間全充分に大きめにとって
固定しておき、該待ち時間経過後に測定開始を行ってい
た。ここで、測定待ち時間とは、ＩＣの必要個所が飽和
して安定になる捷での時間である。

この従来の測定のやり方では、−率に長めの測定待ち時
間全採用しているため、短い待ち時間のみのＩＣの検査
では、必要以上に測定時間の開始が遅れ、全体として検
査時間が大となる欠点がある。特に検査全完全自動化さ
せたシステムにあっては、電源印加から測定開始までの
時間の短縮は、作業効率化及び高速検査のために不可欠
である。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、−率な測定待ち時間を与えるのではな
く、ＩＣの相手によって適正な測定待ち時間の測定全自
動的に検出可能にした検査装置を提供するものである１
、 〔発明の概要〕 本発明は、応答電圧を追跡し、応答電圧の変化の度合い
を計算し、その計算結果から測定待ち時間を求めた点に
ある。

〔発明の実施例〕

第２図は、本発明のＩＣ端子直流電圧検査装置の実施例
図である。１け検査対象のＩＣ−？？あり、１゜は直流
電圧検査装置である。直流電圧検査装置１゜は、増巾器
（Ａｍｐ）２、サンプルホールド回路（Ｓ／Ｈ）ろ、Ａ
Ｄｉ換器（Ａ／Ｄ　）４、フｏ　＊　ツサ（ＣＰＵ）　
５、電源６よシ成る。

ＩＣ１への電源印加の開始時点は、ＣＰＵ５の指示によ
る。電源印加後のＩＣ１の端子電圧の応答１は、Ａｍｐ
　２で増巾を受ける。Ｓ／Ｈ３はＡｍｐ　２の出力を次
々にサンプルホールドし、Ａ／Ｄ４はＳ／Ｈのホールド
出力’ｋＡＤ変換する。Ｓ／Ｈ５でのサンプリング時間
及びＡ／Ｄ４でのＡ／Ｄ変換のタイミングは、ＣＰＵ５
が行う。ＣＰＵ５は、Ａ／Ｄ４のディジタル出力を取込
み測定待ち時間の計算を行う。

第３図に、測定待ち時間の計測事例を示す。縦軸は、電
源印加後の端子直流電圧を示す。ＩＣとして２つのサン
プル１．２を用いた。２つのサンプル１，２はそれぞれ
図の如き特性を示した。図に従えば、サンプル１はサン
プル２に比べて測定待ち時間は少ない結果となる。本実
施例では、これを自動測定する。第６図の直流電圧の応
答は、電源印加当初は、大きな立上り傾ｆｉ＋’ｅ持つ
。測定待ち時間に近づくと、その傾斜は小さい値となる
。

従って、本実施例では、端子直流電圧全サンプルΔＶ 毎にＣＰＵ５で監視し、その立上り傾斜（−ｖ−但しΔ
Ｖは差分、■はその時の電圧値）が、基準値よりも小で
くなった時点’＆ＣＰＵ５が計測する。この結果、ＣＰ
Ｕ５は、サンプル１が検査対象である時にはサンプル１
の測定開始点を測一定し、サンプル２が検査対象である
時にはサンプル２の測定温始点を測定する。図“では、
傾斜の基準値ｉｏ、ｏｉとした。

第４図は、ＣＰＵ５での処理フローを示す。先ず、動作
スタートとなる。次いで、タイマーセントし、計測スタ
ートとなる。これによってＩＣ１への電源６の印加全指
示し、電源印加する。サンプル回数１＝１とする。ｉ＝
１でのＳ／Ｈ５でのサンプルホールドを行い、’Ａ／Ｄ
４でＡＤ変換する。次いで、ｉ＝１か否かをチェックし
、ｌに１であれば、未だ傾斜の比較はできない第１個の
データであると判断し、ｉ＝２とする。但し、前記スタ
ート時にセットしたタイマーがタイムアツプしていない
ことを条件とする。タイマーが、タイムアツプしていれ
ば、何らかの異常がある故、処理は終了する。

ｉ　＝　２で、サンプルホールド及びＡＤ変換を行う。

次に、ｉ＝１でない故に、傾斜対象のデータが取込オれ
たと判断し、ｉ＝１でのデータＳｌとｉ＝２でのデータ
Ｓ２との偏差をとる。この偏差ΔＳ２は、Δ５２＝Ｓ２
　８１となる。次いで、偏差ΔＳ２とＳ２との比を求め
る。この比が０．０１以内力λ否合力ヲチェックする。

式は、 ２ となる。（１２式全満足していなければ、タイマー７５
＝タイムアツプしていないか否かをチェックし、タイマ
アップしていないとの条件のもとに、ｉ−２を１＝６に
更新し、ろ回目のザンブルを行い、データ８３を得、（
１）式と同様な演算を行う。

（１）式全満足していれば、連続５回以上（１）式全満
足したか否かをチェックし、否であれば、ｉ−２をｉ＝
ろに更新し、６回目のサンプルヶ行う。

以下、ｉ＝４．ｉ＝５、・・・・・・と更新してゆく。

各更新時点毎に（１）式と同様な演算を行い、連続３回
以上０．０１以内であれば、測定待ち時間は終了したも
のと判断し、ＣＰＵ５はＩＣ端子直流電圧は確定したも
のと判断し、　ＩＣ電源電圧をオフとする。

この確定した時の測定電圧が最終１ｊｌｌｌ定値とみな
され判断処埠される。

第５図は、アンプをＩＣＩＡで構成した適用伊Ｉｔ示す
。ＩＣＩＡは、コンデンサＣＩ、Ｃ２，抵抗Ｒ＋　−Ｒ
４ＳトランジスタＴｒより成る。コンデンサＣ１は直流
阻止用コンデンサ、抵抗Ｒ４とコンデンサＣ２とはロー
パスフィルタを形成する。該ＩＣＩＡの外部には、スイ
ッチＳＷ、　、該スイッチＳＷＩ　ｋ弁して直流電圧を
印加する直流電圧電源Ｅｃ　、交流入力源Ｖ。、及びス
イッチＳＷＺを有する。

ＩＣＩＡ　ｋセットした後、スイッチＳＷＩ　ｋ　ＯＮ
　（！：し、出力Ｖｏｕｔ’（ｒ測定する。スイッチＳ
　Ｗ１投入後、電流は、抵抗Ｒ２とＲ４ｆｉｌ”経てコ
ンデンサＣ２に流れ込み、除々にＶｏｕｔ’に高くする
。十分に時間が経過した後のＶｏｕｔの飽和電圧１Ｖｓ
ａｔとすればＶｏ　ｕ　ｔは、Ｖｏｕｔ＝Ｖｓａｔｅ’
−１１！−１丁−・・・・・・・・・・・・・・・・・
・（１）となる。この時の波形を第６図に示す゛。これ
により、アンプのＤＣチェックを測定できる１゜次に、
第７図に、ＦＭ復調等に応用されるＰＬＬ（フェーズロ
ックルーズ）回路’ｅＩｃｌＢで形成した場合の適用を
示す。ＩＣＩＢは、位相検出器ＰＤ。

ループフィルタＬＦ、電圧制御発振器ｖＣＯとよ構成る
。このＰＬＬ回路は、入力の周波数ｆに比沙１１シた電
圧Ｖ’を作り出す目的を持つ。ｆの変イヒの度合いが大
きい場合、ｖＯｕｔの応答遅れは、第６図と同様な関係
となる。

以上の実施例によれば、ＩＣの実際の応答電圧＝ｚＣＰ
Ｕ５が監視し、傾斜比率を常時算出している故に、　Ｉ
Ｃの実際の応答電圧の動きに応じた適格な測定待ち時間
の算出及び測定開始点を設定できた。

尚、測定開始点を文字通り測定開始点とみなし、その後
正規の測定を行う測定の仕方もある。この場合、測定開
始後の測定内容及び手順は、求めようとするＩＣの測定
内容等によって決まるものであシ、本発明にｌｌ′ｉ：
＠接関係しない。更に、ＩＣ以外の事例にも適用できる
。更に、電圧以外に電流、周波数等の各種の電気要素の
測定でも過渡的な現象を呈する場合にも同様に適用でき
る。

〔発明の効果〕

本発明によれば、過渡的な状態を監視し、演１１定待ち
時間を自動測定できたことによシ、枳１ｊ定対象に応じ
た高速な特性等の計測が可能となった。

【図面の簡単な説明】

第１図はＩＣ測定での時間と応等との関係を示す図、第
２図は本発明の実施例図、第３図は本発明の実施例での
測定開始点を求める説明図、第４図はＣＰＵでの処理の
フローチャート、第５図はアンプへの適用例図、第６図
はその波形図、第７図はＰＬＬ回路への適用例図である
。 １・・・ｒｃ、ｉｏ・・・検査装置、５・・・ＣＰＵ、
６・・・電源。 代理人　弁理士　　秋　本　正　実 第１因 ！Ａ５２図 第３図 第４図 第５図 Ａ 第６図 第７図 Ｆ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、　被検査対象電気部の計測対象端子の測定埴全取込
   みサンプルホールドするサンプル・ホールド回路と、該
   サンプルホールド回路のサンプルホールド値ヲＡＤ変換
   するＡＤ変換器と、該ＡＤ変換器出力全取込み該計測値
   の傾斜が傾斜基準値内か否かを計算し、傾斜基準値内に
   なった時を実際の計測開始として設定するＣＰＵとよシ
   成る電気特性検査用試験装置。 ２、上記計測値の傾病が傾斜基準値内か合力・の計算は
   、 （但し、ｉはサンプル点、ΔＳｉはｉサンプル点と（ｉ
   −１）サンプル点との計測値Ｓｉ、　Ｓｌ−＋の偏差で
   ΔＳｉ＝　Ｓｉ−５４−１であり、Ｃは傾斜基準値であ
   る）である特許請求の範囲第１項記載の電気特性検査用
   試験装置。 ３、　上記被検査対象電気部はＩＣ’にもって構成され
   てなる特許請求の範囲第１項又は第２項記載の電気特性
   検査用試験装置。