JPH0933619A - 半導体試験装置における周波数測定方法 - Google Patents
半導体試験装置における周波数測定方法Info
- Publication number
- JPH0933619A JPH0933619A JP7205343A JP20534395A JPH0933619A JP H0933619 A JPH0933619 A JP H0933619A JP 7205343 A JP7205343 A JP 7205343A JP 20534395 A JP20534395 A JP 20534395A JP H0933619 A JPH0933619 A JP H0933619A
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- JP
- Japan
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- frequency
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- Measuring Frequencies, Analyzing Spectra (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 半導体試験装置が既にもっている機能を利用
して、低周波の信号の周期を測定し周波数を求める周波
数測定方法を実現する。 【構成】 被測定信号を入力し、周期時間をプログラム
指定できるテストレート信号のタイミングで、あらかじ
め設定されたレベル“Ｈ”または“Ｌ”と被測定信号の
レベルを比較し、一致検出機能２１で一致及び不一致を
検出し、一致検出機能２１の出力を、データフェイルメ
モリ２２に入力し、不一致の回数を加算して記憶し、テ
ストレートと不一致の回数を乗算することで“Ｈ”及び
“Ｌ”の時間を求め、両者を加算することで周期を求
め、周期の逆数として、周波数を求める。
して、低周波の信号の周期を測定し周波数を求める周波
数測定方法を実現する。 【構成】 被測定信号を入力し、周期時間をプログラム
指定できるテストレート信号のタイミングで、あらかじ
め設定されたレベル“Ｈ”または“Ｌ”と被測定信号の
レベルを比較し、一致検出機能２１で一致及び不一致を
検出し、一致検出機能２１の出力を、データフェイルメ
モリ２２に入力し、不一致の回数を加算して記憶し、テ
ストレートと不一致の回数を乗算することで“Ｈ”及び
“Ｌ”の時間を求め、両者を加算することで周期を求
め、周期の逆数として、周波数を求める。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、既存の周波数測定機能
で測定できなかった低周波領域の測定を可能にする半導
体試験装置における周波数測定方法に関するものであ
る。
で測定できなかった低周波領域の測定を可能にする半導
体試験装置における周波数測定方法に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】図３に従来の周波数測定の方法を簡単に
示す。この周波数測定回路は、被測定信号と例えば１０
０ＭＨｚ固定のシステム基準クロック信号を論理積する
ＡＮＤゲート１１と、ＡＮＤゲート１１から出力する１
００ＭＨｚのパルスの数を計数するカウンタ１２とで構
成される。まず、被測定信号をＡＮＤゲート１１に入力
し、被測定信号が“Ｈ”レベルの間、システム基準クロ
ック信号をカウンタ１２に入力し、そのカウント数とシ
ステム基準クロックの周期を乗算することで、被測定信
号の“Ｈ”レベルの時間が測定できる。また、被測定信
号をＡＮＤゲート１１に入力し、被測定信号が“Ｌ”レ
ベルの間、システム基準クロック信号をカウンタ１２に
入力し、そのカウント数とシステム基準クロックの周期
を乗算することで、被測定信号の“Ｌ”レベルの時間が
測定できる。被測定信号の“Ｈ”レベルの時間と“Ｌ”
レベルの時間とを加算することで周期が求められ、周期
の逆数として周波数を得ることができる。
示す。この周波数測定回路は、被測定信号と例えば１０
０ＭＨｚ固定のシステム基準クロック信号を論理積する
ＡＮＤゲート１１と、ＡＮＤゲート１１から出力する１
００ＭＨｚのパルスの数を計数するカウンタ１２とで構
成される。まず、被測定信号をＡＮＤゲート１１に入力
し、被測定信号が“Ｈ”レベルの間、システム基準クロ
ック信号をカウンタ１２に入力し、そのカウント数とシ
ステム基準クロックの周期を乗算することで、被測定信
号の“Ｈ”レベルの時間が測定できる。また、被測定信
号をＡＮＤゲート１１に入力し、被測定信号が“Ｌ”レ
ベルの間、システム基準クロック信号をカウンタ１２に
入力し、そのカウント数とシステム基準クロックの周期
を乗算することで、被測定信号の“Ｌ”レベルの時間が
測定できる。被測定信号の“Ｈ”レベルの時間と“Ｌ”
レベルの時間とを加算することで周期が求められ、周期
の逆数として周波数を得ることができる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】以上のような回路によ
って周波数を測定する場合、システム基準クロックが固
定であること、カウンタの桁数が固定であることによ
り、低周波の信号の周期を測定したときカウンタ・オー
バーフローとなり、測定不能となる。本発明は、半導体
試験装置が既にもっている機能を利用して、低周波の信
号の周期を測定し周波数を求める周波数測定方法を実現
することを目的としている。
って周波数を測定する場合、システム基準クロックが固
定であること、カウンタの桁数が固定であることによ
り、低周波の信号の周期を測定したときカウンタ・オー
バーフローとなり、測定不能となる。本発明は、半導体
試験装置が既にもっている機能を利用して、低周波の信
号の周期を測定し周波数を求める周波数測定方法を実現
することを目的としている。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の周波数測定方法においては次のように行っ
ている。つまり、被測定信号を入力し、周期時間をプロ
グラム指定できるテストレート信号のタイミングで、あ
らかじめ設定されたレベル“Ｈ”または“Ｌ”と被測定
信号のレベルを比較し、一致検出機能２１で一致及び不
一致を検出し、一致検出機能２１の出力を、データフェ
イルメモリ２２に入力し、不一致の回数を加算して記憶
し、テストレートと不一致の回数を乗算することで
“Ｈ”及び“Ｌ”の時間を求め、両者を加算することで
周期を求め、周期の逆数として、周波数を求める。
に、本発明の周波数測定方法においては次のように行っ
ている。つまり、被測定信号を入力し、周期時間をプロ
グラム指定できるテストレート信号のタイミングで、あ
らかじめ設定されたレベル“Ｈ”または“Ｌ”と被測定
信号のレベルを比較し、一致検出機能２１で一致及び不
一致を検出し、一致検出機能２１の出力を、データフェ
イルメモリ２２に入力し、不一致の回数を加算して記憶
し、テストレートと不一致の回数を乗算することで
“Ｈ”及び“Ｌ”の時間を求め、両者を加算することで
周期を求め、周期の逆数として、周波数を求める。
【０００５】
【作用】上記のように行う周波数測定方法においては、
テストレートがプログラムにより設定可能であり、低周
波の信号の周期を測定する場合は、それに合った周期の
長いテストレートを指定して周期を測定できる作用があ
る。また、この測定に使用する回路は、被試験デバイス
（ＤＵＴ）１０の出力を期待値と比較する目的の回路で
あり、半導体試験装置として新たに必要とする回路はな
い。
テストレートがプログラムにより設定可能であり、低周
波の信号の周期を測定する場合は、それに合った周期の
長いテストレートを指定して周期を測定できる作用があ
る。また、この測定に使用する回路は、被試験デバイス
（ＤＵＴ）１０の出力を期待値と比較する目的の回路で
あり、半導体試験装置として新たに必要とする回路はな
い。
【０００６】
【実施例】図１に本発明の実施例を示す。この回路は、
被測定信号を入力とし、周期時間をプログラム指定でき
るテストレート信号のタイミングで、あらかじめ設定さ
れたレベル“Ｈ”または“Ｌ”と被測定信号のレベルを
比較し、一致及び不一致を検出する一致検出機能２１
と、一致検出機能２１の出力を入力し、不一致の回数を
加算して記憶するデータフェイルメモリ２２とで構成さ
れる。
被測定信号を入力とし、周期時間をプログラム指定でき
るテストレート信号のタイミングで、あらかじめ設定さ
れたレベル“Ｈ”または“Ｌ”と被測定信号のレベルを
比較し、一致及び不一致を検出する一致検出機能２１
と、一致検出機能２１の出力を入力し、不一致の回数を
加算して記憶するデータフェイルメモリ２２とで構成さ
れる。
【０００７】図２に本発明のタイミング図を示し、その
動作を説明する。 被測定信号の“Ｌ”→“Ｈ”の変化点を検出する。 被測定信号の“Ｈ”→“Ｌ”の変化点を検出し、テ
ストレートの周期で一致／不一致の検出をスタートし、
被測定信号の“Ｌ”→“Ｈ”の変化点までの不一致の数
をデータフェイルメモリ２２で計数する。このときのテ
ストレートが被測定信号の周期測定の分解能となる。 データフェイルメモリ２２で計数した不一致の数に
テストレートの周期を乗算することで、被測定信号の
“Ｌ”の時間を測定できる。 被測定信号が“Ｈ”のとき不一致となるように一致
検出機能２１を設定することで、被測定信号の“Ｈ”の
時間を測定できる。 とで得られた時間を加えた時間が被測定信号の
周期となる。 で得られた周期の逆数で周波数を求める。
動作を説明する。 被測定信号の“Ｌ”→“Ｈ”の変化点を検出する。 被測定信号の“Ｈ”→“Ｌ”の変化点を検出し、テ
ストレートの周期で一致／不一致の検出をスタートし、
被測定信号の“Ｌ”→“Ｈ”の変化点までの不一致の数
をデータフェイルメモリ２２で計数する。このときのテ
ストレートが被測定信号の周期測定の分解能となる。 データフェイルメモリ２２で計数した不一致の数に
テストレートの周期を乗算することで、被測定信号の
“Ｌ”の時間を測定できる。 被測定信号が“Ｈ”のとき不一致となるように一致
検出機能２１を設定することで、被測定信号の“Ｈ”の
時間を測定できる。 とで得られた時間を加えた時間が被測定信号の
周期となる。 で得られた周期の逆数で周波数を求める。
【０００８】テストレートの周期は、プログラムにより
設定可能であり、被測定信号の周波数が低い場合におい
ても計測が可能となる。また、以上のように、本発明の
周波数測定方法は、被測定信号の“Ｈ”の時間の測定、
“Ｌ”の時間の測定がそれぞれ可能であるため、被測定
信号の周波数測定の他、周期測定、デューティー測定が
可能である。
設定可能であり、被測定信号の周波数が低い場合におい
ても計測が可能となる。また、以上のように、本発明の
周波数測定方法は、被測定信号の“Ｈ”の時間の測定、
“Ｌ”の時間の測定がそれぞれ可能であるため、被測定
信号の周波数測定の他、周期測定、デューティー測定が
可能である。
【０００９】また、別の目的として、被測定信号が
“Ｌ”がであるべきときに“Ｌ”と比較し不一致の信号
が発生することで被測定信号にノイズが発生したことを
検出することができる。
“Ｌ”がであるべきときに“Ｌ”と比較し不一致の信号
が発生することで被測定信号にノイズが発生したことを
検出することができる。
【００１０】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように行われる
ため、以下に記載されるような効果を奏する。つまり、
テストレートがプログラムにより設定可能であり、低周
波の信号の周期を測定する場合は、それに合った周期の
長いテストレートを指定して周期を測定できる効果があ
る。また、この測定に使用する回路は、被試験デバイス
（ＤＵＴ）１０の出力を期待値と比較する目的の回路で
あり、半導体試験装置として新たに必要とする回路はな
い。
ため、以下に記載されるような効果を奏する。つまり、
テストレートがプログラムにより設定可能であり、低周
波の信号の周期を測定する場合は、それに合った周期の
長いテストレートを指定して周期を測定できる効果があ
る。また、この測定に使用する回路は、被試験デバイス
（ＤＵＴ）１０の出力を期待値と比較する目的の回路で
あり、半導体試験装置として新たに必要とする回路はな
い。
【図１】本発明の周波数測定回路のブロック図である。
【図２】本発明の周期測定のタイミング図である。
【図３】従来の周波数測定回路のブロック図である。
１０ 被試験デバイス（ＤＵＴ） １１ ＡＮＤゲート １２ カウンタ ２１ 一致検出機能 ２２ データフェイルメモリ（ＤＦＭ）
Claims (1)
- 【請求項１】 被測定信号を入力し、周期時間をプログ
ラム指定できるテストレート信号のタイミングで、あら
かじめ設定されたレベル“Ｈ”または“Ｌ”と被測定信
号のレベルを比較し、一致検出機能（２１）で一致及び
不一致を検出し、 一致検出機能（２１）の出力を、データフェイルメモリ
（２２）に入力し、不一致の回数を加算して記憶し、 テストレートと不一致の回数を乗算することで“Ｈ”及
び“Ｌ”の時間を求め、両者を加算することで周期を求
め、 周期の逆数として、周波数を求める、 ことを特徴とする半導体試験装置における周波数測定方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20534395A JP3516778B2 (ja) | 1995-07-19 | 1995-07-19 | 半導体試験装置における周波数測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20534395A JP3516778B2 (ja) | 1995-07-19 | 1995-07-19 | 半導体試験装置における周波数測定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0933619A true JPH0933619A (ja) | 1997-02-07 |
| JP3516778B2 JP3516778B2 (ja) | 2004-04-05 |
Family
ID=16505328
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20534395A Expired - Fee Related JP3516778B2 (ja) | 1995-07-19 | 1995-07-19 | 半導体試験装置における周波数測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3516778B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005292135A (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-20 | Teradyne Inc | デューティサイクルを測定する方法 |
| JP2007085933A (ja) * | 2005-09-22 | 2007-04-05 | Agilent Technol Inc | 周波数測定方法および周波数測定装置 |
| JP2007225414A (ja) * | 2006-02-23 | 2007-09-06 | Yokogawa Electric Corp | 半導体デバイスの検査方法及び検査装置 |
| JP2008514899A (ja) * | 2004-09-30 | 2008-05-08 | 株式会社アドバンテスト | プログラム、記録媒体、試験装置、及び試験方法 |
-
1995
- 1995-07-19 JP JP20534395A patent/JP3516778B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005292135A (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-20 | Teradyne Inc | デューティサイクルを測定する方法 |
| JP2008514899A (ja) * | 2004-09-30 | 2008-05-08 | 株式会社アドバンテスト | プログラム、記録媒体、試験装置、及び試験方法 |
| JP2007085933A (ja) * | 2005-09-22 | 2007-04-05 | Agilent Technol Inc | 周波数測定方法および周波数測定装置 |
| JP2007225414A (ja) * | 2006-02-23 | 2007-09-06 | Yokogawa Electric Corp | 半導体デバイスの検査方法及び検査装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3516778B2 (ja) | 2004-04-05 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040120 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040121 |
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| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |