JPH0990001A - Icテスタ用時間測定装置 - Google Patents

Icテスタ用時間測定装置

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JPH0990001A
JPH0990001A JP7269391A JP26939195A JPH0990001A JP H0990001 A JPH0990001 A JP H0990001A JP 7269391 A JP7269391 A JP 7269391A JP 26939195 A JP26939195 A JP 26939195A JP H0990001 A JPH0990001 A JP H0990001A
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JP
Japan
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measurement
signal
counter
time measuring
test
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP7269391A
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English (en)
Inventor
Makoto Kimura
誠 木村
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Advantest Corp
Original Assignee
Advantest Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 アナログLSIの出力信号の試験において、
トータル・テスト・タイムの大幅に削減するICテスタ
用時間測定装置を提供する。 【解決手段】 本発明は、試験項目内の複数の設定にお
いてDUTの出力波形がそれぞれ異なっていても、ゲー
ト回路21を通過する設定毎の被測定信号を一定数に限
定する第1カウンタA22と、予め定められた設定数、
例えば試験項目毎に限定する第2カウンタB31を設け
て、上記予め定められた設定数での一定数の被測定信号
を連続して時間測定器24で測定し、一括測定した後に
そのデータの基づきデータ演算器25の演算を開始させ
ると同時に、時間測定器24は次の試験項目を測定する
構成とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、アナログLSI
あるいはアナログ・デジタル混在LSI(以下総称して
「アナログIC」という)の被試験デバイス(以下、
「DUT」という)をテストするLSIテスト・システ
ム(以下「ICテスタ」という)において、試験項目内
でのDUTの出力信号、つまりDUTの出力周波数や周
期を測定する時間測定装置に関する。
【0002】
【従来の技術】通信機器やアナログ機器に用いられるI
C(Integrated Circuit)には、アナログ回路のLSI
やアナログ回路とデジタル回路とが混在したLSIが数
多く用いられる。例えば、内部にPLL( Phase Locke
d Loop)回路等の発振回路を1回路あるいは複数回路有
するデバイスや、あるいはこれらを任意分周した信号を
出力するデバイス、そして高周波信号を出力するデバイ
ス、例えばCODEC(Corder-Decorder )等の通信用
デバイス等がある。これらの信号は、ICテスタ側とは
非同期関係の出力信号の場合が多い。これらのアナログ
回路を内蔵するDUTを試験するICテスタは、これら
DUTが出力する信号の周期や周波数やパルス幅などを
測定する必要が有り、時間測定器を有している。
【0003】図5にそのアナログICテスタの構成図の
例を示し、これに基づき説明する。テスタ・プロセッサ
10からのテスト信号はテスタ・バス11を通じてデジ
タル・テスト部12、時間測定装置13、SG(Signal
Generator)14やPVM/PVS(Precision Voltag
e Measurement / Precision Voltage Source)15など
の各部署にそれぞれ送られる。それぞれの部署はテスト
信号を受けてDUT19を搭載したテスト・ヘッド18
と信号の授受を行い、DUT19をテストする。
【0004】周期やパルス幅測定には、テスト・ヘッド
18と時間測定装置13との信号線17の信号を、時間
測定装置13で測定する。この測定は、図6に示すよう
に、試験項目内での複数の設定毎の出力信号の測定が要
求される。つまり、信号線17上のDUTの出力信号は
試験の設定条件毎に繰り返し周波数が異なっている。そ
して設定毎に被測定信号を一定周期、例えば4信号(4
周期)づつ測定する。
【0005】図7に、従来の時間測定装置13の構成例
を示す。図5と対応する部分には同一符号を付す。テス
タ・プロセッサ10あるいは他部署からの設定信号でゲ
ート制御回路20は駆動し、ゲート回路21を開き(O
N)DUT19からの被測定信号を取り出し、時間測定
器24で立ち上がり時、立ち下がり時のそれぞれの時間
を測定する。この時、ゲート回路21からの被測定信号
を時間測定器24と平行して第1カウンタA22が計測
し、必要な一定データ数、例えば4周期計測すると制御
器23を通じてゲート制御回路20を駆動しゲート回路
21を閉じる(OFF)。データ演算器25では制御器
23からの指示でこの測定データに基づき演算を開始
し、それぞれの設定間の周波数や周期などを求めて、テ
スタ・バス11に演算結果を送出して処理している。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】上述のようにしてDU
Tの出力周波数や周期を測定していたが、ゲートをオン
・オフする他部署からの設定信号は設定を変える度の信
号であり、DUT出力周波数とは関係が無い。つまりゲ
ート開の信号発生時が出力周波数とは無関係であり、し
かも不定期であるため、データ演算器は、一設定の測定
毎に演算しなければならなかった。
【0007】この方法では、図8に示すように時間測定
の目的は達していたが、測定時間がかかり過ぎていた。
つまり1項目のテストにおいて、設定毎に測定、演算、
測定、演算を繰り返し、1項目内での複数の設定数が終
了して次の項目のテストを行うために1DUTの測定時
間が長く、テスト・コストがかかり過ぎていた。この発
明が解決しようとする課題は、DUTのトータル・テス
ト・タイムを短縮し、テスト・コストを軽減するもので
ある。
【0008】
【課題を解決する為の手段】上記課題を解決するため
に、この発明では、1項目のテスト間では設定を変更さ
せても時間測定器は連続して測定し、1項目の設定件数
が終了した時点で、データ演算器はその試験項目nでの
全ての設定時の演算を一括して行い、同時に時間測定器
は次の試験項目n+1の測定を行うようにするものであ
る。つまり、図8に示す従来の測定シーケンスに対し
て、この発明は図4に示すように連続して同時に測定・
演算を繰り返し行う測定シーケンスで、トータル・テス
ト・タイムを短縮するものである。
【0009】請求項1の発明は、ゲートを通過したDU
Tからの被測定信号を連続して時間測定器で測定し、同
時に被測定信号をカウントする第1カウンタAに加え
て、予め定められた設定信号をカウントする第2カウン
タBを設けて設定信号数を計数する。そして被測定信号
を第1カウンタが一定数カウントすると直ちに制御器よ
りテスタ・バスにリクエスト信号を送り、次設定の被測
定信号を送出させ受信するようにする。予め定められた
設定数を第2カウンタBがカウントした後の最後の被測
定信号を測定すると、データ演算器の演算を開始させる
と同時に、次試験項目の被測定信号を送出させて時間測
定器は連続して測定を行う。つまり、この発明は、時間
測定器とデータ演算器を平行して同時に駆動させるもの
である。
【0010】請求項2の発明は、第2カウンタBが入力
しカウントする信号を変えたものである。つまり、請求
項1での第1カウンタAがカウントする被測定信号は一
定であり、第2カウンタBがカウントする設定信号数は
予め定められている。そこで請求項2での第2カウンタ
Bは、この一定被測定信号数と予め定められた設定信号
数との積数の被測定信号をカウントしてその試験項目の
測定終了とし、データ演算器を駆動させると同時に次の
試験項目の被測定信号を測定を開始させるものである。
【0011】
【発明の実施形態】以下にこの発明の実施の形態を実施
例と共に詳細に説明する。
【0012】
【実施例】図1にこの発明の一実施例の構成図を、図2
に他の実施例の構成図を示す。共に、図5、図7と対応
する部分には同一符号を付す。図1において、時間測定
装置30にテスタ・バス11からの設定信号が送られて
ゲート制御回路20は駆動し、ゲート回路21をオンす
る。同時にDUT19から被測定信号が送られ、その被
測定信号をゲート回路21を通して時間測定器24で測
定すると同時に第1カウンタA22でもカウントする。
【0013】第1カウンタA22のカウント数が一定
数、例えば図3cに示すように4カウント計数すると制
御器23を通してゲート制御回路20を駆動してゲート
回路21をオフにすると共に、テスタ・バス11を通し
てDUT19に次設定の試験信号を要求する。すると続
いて次の設定信号と被測定信号が送られてくるので、前
述と同様にして、時間測定器24は被測定信号を測定す
る。以下同様にして、予め定められた設定数、例えば図
3dでは5つの設定数を測定する。第2カウンタB31
はこの設定信号をカウントし、図3dでは5つの設定信
号をカウントし、5つ目の設定の4つの被測定信号測定
終了で試験項目nを終了するものとする。設定信号は被
測定信号の頭にあり、5つ目の設定信号の後に5つ目の
被測定信号が4信号続くからである。
【0014】試験項目nの全ての設定数の被測定信号を
測定終了すると、制御器23はデータ演算器25に演算
開始を指示すると同時にテスタ・バス11を通じて、例
えばテスト・プロセッサ10側に測定終了信号を送出す
る。データ演算器25は、直前に測定した測定データに
基づき、各設定での被測定信号の周期や周波数やパルス
幅など、必要なデータを演算して求め、演算終了後に求
めた試験データをテスタ・バス11に送出する。テスタ
・プロセッサ10側では、引き続きDUT19と時間測
定装置30とに試験信号を送出し、次の試験項目に移
り、時間測定装置30に設定信号とDUT19から被測
定信号を送出する。
【0015】このようにして、試験項目内の全ての設定
数の被測定信号を連続して測定し、全測定が終了してデ
ータ演算器25は演算を開始し、同時に時間測定器24
は次の試験項目を測定するものである。従って、時間測
定器24の測定とデータ演算器25の演算とは同時に、
平行して、連続して稼働するので、時間的なロスが無く
なる。今まで、一括測定する単位を試験項目毎として説
明してきたが、この単位は任意の予め定めた数でよい。
つまり、一試験項目を数分割してもよいし、あるいは数
試験項目をまとめてもよい。個々の機器に適した設計を
するとよい。
【0016】(他の実施例)図2は他の実施例である。
図1と異なるところは、第2カウンタB31の入力信号
とカウント数が異なることである。異なるところのみ説
明する。一設定での被測定信号を一定数、例えば図3c
のように4信号とし、予め定める一試験項目の設定数を
5とすると、測定する信号数は上記の一定数4と予め定
めた設定数5との積数、つまり、4×5=20 とな
る。そこで、第2カウンタB31はゲート回路21から
の被測定信号を連続してカウントし、第1カウンタA2
2が計数する一定数と予め定められた設定信号数との積
数をカウントするものである。上記の例では20信号を
一括測定の単位とする。この一単位をカウントすると、
データ演算器25に演算開始の指示を与えることにす
る。
【0017】
【発明の効果】この発明は、以上説明したように構成さ
れているので、下記に記載されるような効果を奏する。
従来測定のDUTアナログ性能測定方法は、図8に示す
ように、DUT出力信号の立ち上がり時や立ち下がり時
の時間を時間測定器で測定し、周期や周波数やパルス幅
などの必要データをその都度データ演算器で演算により
求めていた。つまり、測定、演算、測定、演算の繰り返
しで、即ち測定、演算のシリーズで必要試験データを求
めていた。
【0018】この発明は、図4に示すように、測定を予
め定められたある一定区間の設定、例えば複数設定を有
する試験項目単位で連続して測定し、測定終了後にその
複数設定の測定データに基づき演算して、試験データを
それぞれの設定毎に求める。同時に時間測定器は次の測
定を行わせるので、測定と演算が平行して行われる。つ
まり、トータル・テスト・タイムを半減させることも可
能であり、大幅に削減できる。よって、その効果は大で
ある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例のICテスタ用時間測定装置
の構成図である。
【図2】本発明の他の実施例の構成図である。
【図3】図1、図2の動作を説明する説明図である。
【図4】図1、図2の実施例で測定するIC測定シーケ
ンス図である。
【図5】時間測定装置を用いるICテスタの構成図例で
ある。
【図6】図5でDUTの出力信号の時間測定を行う説明
図である。
【図7】従来のICテスタ用時間測定装置の構成図の例
である。
【図8】図6の例で測定するIC測定シーケンス図であ
る。
【符号の説明】
13、30 時間測定装置 10 テスタ・プロセッサ 11 テスタ・バス 12 デジタル・テスト部 14 SG (Signal Generator) 15 PVM/PVS (Precision Voltage Me
asurement / Precision Voltage Source ) 18 テスト・ヘッド 19 被測定デバイス(DUT) 20 ゲート制御回路 21 ゲート回路 22 第1カウンタA 23 制御器 24 時間測定器 25 データ演算器 31 第2カウンタB

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 アナログICを試験するICテスタに用
    いられ、試験項目内で複数の設定信号毎にDUT(1
    9)からの被測定信号を測定して演算する時間測定器に
    おいて、 DUT(19)からの被測定信号をゲート回路(21)
    を通して少なくとも立ち上がり時の時間を測定する時間
    測定器(24)と、 上記DUT(19)からの被測定信号をゲート回路(2
    1)を通して一定数計数して、ゲート回路(21)をオ
    フに駆動させる第1カウンタA(22)と、 予め定められた設定信号数を計数後、最後の被測定信号
    を測定すると、データ演算器(25)の演算を時間測定
    器(24)の測定データに基づいて開始させる第2カウ
    ンタB(31)と、 を具備していることを特徴とするICテスタ用時間測定
    装置。
  2. 【請求項2】 第2カウンタB(31)は、ゲート回路
    (21)からの出力信号を第1カウンタA(22)が計
    数する一定数と、予め定められた設定信号数との積数の
    被測定信号を計数してデータ演算器(25)の演算を開
    始させることを特徴とする請求項1記載のICテスタ用
    時間測定装置。
JP7269391A 1995-09-22 1995-09-22 Icテスタ用時間測定装置 Withdrawn JPH0990001A (ja)

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