JPS61117466A - 伝搬遅延時間の測定方法 - Google Patents

伝搬遅延時間の測定方法

Info

Publication number
JPS61117466A
JPS61117466A JP59238337A JP23833784A JPS61117466A JP S61117466 A JPS61117466 A JP S61117466A JP 59238337 A JP59238337 A JP 59238337A JP 23833784 A JP23833784 A JP 23833784A JP S61117466 A JPS61117466 A JP S61117466A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
output
dut
delay time
signal
propagation delay
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP59238337A
Other languages
English (en)
Inventor
Fumio Ikeuchi
池内 史夫
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP59238337A priority Critical patent/JPS61117466A/ja
Publication of JPS61117466A publication Critical patent/JPS61117466A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明はデジタルIC等の試験に係り、伝搬遅延時間測
定の自動化に適する伝搬遅延時間の測定方法に関する。
〔発明の背景〕
実開昭53−97968号公報に記載されている半導体
試験装置の遅延時間測定方法は、DUTをループカウン
タとして構成し、その発振周波数を周波数カウンタで測
定した値から遅延時間を求めている。しかしこの方法は
NANDゲートやNOR,ゲートなどのような単純なも
のには向いているが、複雑な動作をするマイクロコンピ
ユータLSIやアナログデジタル混在のA/Dコンバー
タなどKこの方法を用℃・ることは困難である。
〔発明の目的〕
本発明の目的は、複雑な動作をするマイクロコンヒ品−
夕やアナデジ混在のA/Dコンバータなど°に対しても
、伝搬遅延時間の測定を可能にすることにある。
〔発明の概要〕
本発明は上記の目的を達成するため、DUTの出力に変
化が現れる所望の人力を与え、それに同時した信号をコ
ンパレータ/ドライバに入力し、その出力を積分器を介
してサンプル/ホールドアンプだ入力する。遅延したD
UTの出力信号によってサンプル/ホールドアンプをホ
ールド状態にし、積分器の出力をホールドし、その時の
電圧をA/Dコンバータによってデジタルコードに変換
する。積分器の出力電圧yoftlは。
コンパレータの出力電圧をVとするなら−t/Ca ?。ft1=V(1−e   ’)        ・
・・・・・・・・(1)で表される。ホールドがかかっ
た時の電圧を?o(tH)とするなら t=−CRム(1−り坦)       ・・・・・・
・・・(2)(2)式に代入することKよりtHは求め
られる。この演算を処理装置に行わせることにより、伝
搬遅延時間の測定を自動的だ行うことができることを特
徴としたものである。
〔発明の実施例〕
以下1本発明の一実施例を図により説明する。
第1図は、本発明のブロック構成を示したもので、第2
図は、各ブロックの入出力のタイミングチャートを示し
たものである。まず第1図で実施例の構成を説明する。
まず、DUT3.高速コンパレータ/ドライバ10とそ
れらに信号2゜9を出力するための信号発生器1.それ
をコントロールする信号20を与えろことと演算処理を
行うための処理装置19.DUT3の出力4を整形する
高速コンパレータ/ドライバ5.コンノ(レータ/ドラ
イバ10の出力波形11を積分するための積分器13.
その出力14をホールドするサンプル/ホールドアンプ
15.コンパレータ/ドライバ5の出力6に遅延を与え
、A/D変換器17のコンバージョン信号8を生器する
遅延線7゜サンプル/ホールドアンプの出力16をA/
D変換するためのA/D変換器から構成される。
次に本ブロックの動作を第2図のタイミングチャートを
用いながら説明する。
DUT3の出力4を得るための所望の入力2を信号発生
器1から入力する。信号発生器1は。
処理装置19からのコントロール信号20によって出力
信号をコントロールする。
信号発生器lはDUT3に与える信号2に同期した信号
9を高速コンパレータ/ドライツク10に入力する。本
コンパレータ/ドライノ<10の比較電圧12はDUT
のスライスレベルに設定すれ。
DUTとのタイミングを合わせるよ5にしている。この
出力は、積分器13に入力され積分波形14を出力に得
る。この出力電圧14は、積分器130入力をステップ
波形とみなし、その波高値なVとし、出力電圧14を時
間の関数として?oftlとおいた時、前述の(1)式
で与えられる。
一方DUT3に入力された信号2からの応答出力4は、
第2図に示す21の伝搬遅延時間tpdだけ遅れて出力
される。この出力は、高速コンパレータ/ドライバ5に
よって波形整形されて出力6を得る。このコンパレータ
/ドライノ(も10同様に比較電圧12はDUTのスラ
イスレベルに設定されている。
DUTの持つtpd21は高速コンノ(レータ/ドライ
バ5,10が持つ遅延時間に比べ大きいものとする。(
高速コンパレータ/ドライノ<5.10は。
上記条件を満たすものを用いる。) 積分器13から出力される波形14は、入力信号9に対
してコンパレータ/ドライバ10の遅延時間23 (t
pdclo)分だけ遅れて出力されろ。こ虹に対l−出
力6は、DUT3の遅延時間tpd21とコンパレータ
/ドライバ5の遅延時間22 (tpdcs )ヲ加え
た分だけ遅れて出力される。それぞれの信号14,6は
サンプル/ホールドアンプ15に入力され、積分波形1
4は、 tpd+tpdcsの時間経過した時間でホー
ルドされる。高速コンノくレータ/ドライバ5,10に
同一のものを用いたとして、tpdc+Qとtpdcs
をほぼ等しいとみなし、積分波形がOボルトから変化し
はじめた時点を0秒とするなら、ホールドがかかる時の
時刻はtpd秒となり、その時のサンプル/ホールドア
ンプの出力電圧16は(1)式より ?o(tpd) = V (1e−”””)となる。
サンプルホールドアンプ15で得られた出力16はA/
Dコンバータ17に入力され、 yo(tpd)に対応
するデジタル出力データ18を得る。このデータに対し
て、前述(2)に示した式を用いることにより、 tp
dを求めることが可能となる。
なお、上述では高速コンパレータ/ドライバの遅延時間
を等しいとしたが、実際には等しいとは限らないため、
DUT3の部分にあらかじめ遅延時間が明らかな遅延線
等を用いて1回路全体をキャリブレーションしておくこ
とで対処可能である。
積分器のR,Cの定数変動についてもキャリブレーショ
ンで対処可能である。
〔発明の効果〕
以上の説明のように、本発明によればDUTにいかなる
デバイスが置かれても、そのDUTのtpdを測定する
ことが可能となる。
なお、対架となるDUTのtpdの平均的な値+C対し
て、それに見合った積分器OCRの定数を変えることで
高精度の測定が可能となる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例を示す回路ブロック図、第2
図はそのブロックのタイミングチャートである。 1・・・信号発生器、   2・・・DUT入力信号3
・・・DUT、     4・・DUT出力信号6・・
・ホールド信号、  7・・遅延線8・・・コンバージ
ョン信号 9・・・高速コンパレータ/ドライバ入力信号11・・
・ステッフハルス、13・・・8分器14・・・積分波
形、    16・・・ホールド電圧17・・・A/D
コンバータ 18・・・デジタル変換コード 19・・・処理装置。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、デジタルIC等の伝搬遅延時間測定において、デジ
    タル信号を被試験デバイス(以下 DUT)と高速コンパレータ/ドライバに処理装置から
    支えられる所望の信号を同時に入力し、コンパレータ/
    ドライバの出力信号を積分器を介してサンプル/ホール
    ドアンプに入力し、その後DUTから出力される信号で
    サンプル/ホールドアンプをホールドモードにし、その
    出力をA/Dコンバータでデジタルコードに変換して、
    ホールドした積分器の出力電圧とその時定数から処理装
    置によつて演算し、DUTの伝搬遅延時間を求めること
    を特徴とする伝搬遅延時間の測定方法。
JP59238337A 1984-11-14 1984-11-14 伝搬遅延時間の測定方法 Pending JPS61117466A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59238337A JPS61117466A (ja) 1984-11-14 1984-11-14 伝搬遅延時間の測定方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59238337A JPS61117466A (ja) 1984-11-14 1984-11-14 伝搬遅延時間の測定方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS61117466A true JPS61117466A (ja) 1986-06-04

Family

ID=17028700

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP59238337A Pending JPS61117466A (ja) 1984-11-14 1984-11-14 伝搬遅延時間の測定方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS61117466A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103163449A (zh) * 2013-04-01 2013-06-19 河海大学常州校区 信号电路时延检测系统

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103163449A (zh) * 2013-04-01 2013-06-19 河海大学常州校区 信号电路时延检测系统

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6263463B1 (en) Timing adjustment circuit for semiconductor test system
US4799008A (en) AC level calibration apparatus
JP2001324552A (ja) 電源電流測定ユニット及び半導体テストシステム
CA1207848A (en) Ac parametric circuit
JPS61117466A (ja) 伝搬遅延時間の測定方法
JPH0322949B2 (ja)
JP3269060B2 (ja) Lsiテスタ
US4527907A (en) Method and apparatus for measuring the settling time of an analog signal
JPS63131726A (ja) A/d変換器試験装置
JPH05107307A (ja) Lsiテスタ
JP2944307B2 (ja) A/dコンバータの非直線性の検査方法
JPH02214913A (ja) クロック調整方式
JPH04198773A (ja) 半導体装置の試験装置
JPS61189472A (ja) 集積回路の試験法
JPH07111454B2 (ja) 入力閾値電圧測定方法
JPH10282189A (ja) Lsiテスタの遅延時間調整装置及び方法
JPS5958364A (ja) 周波数測定方式
JPH06249921A (ja) ミックスドシグナルicテスタ
CN116125157A (zh) 信号线缆延时测量系统
JPS60131478A (ja) 計測装置
JPH0389180A (ja) 期待パターンの後半反転回路
JPH03186010A (ja) 遅延回路の校正方法および装置
JPS6050417A (ja) 工業計器自動試験装置
JPH09288148A (ja) リニアリティ・チェック回路
JPH04225177A (ja) 半導体装置のスルーレート測定装置